JP2007043017A - 半導体センサ装置 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】 可動部及び梁部21を有する半導体センサが形成されている半導体基板2の片面にケース板3が接着剤層5を介して半導体基板2に積層されており、ケース板3の半導体基板2に貼り合わされている側とは反対側の面に複数の突起3bが設けられており、複数の突起3bの外表面に設けられた端子電極7が、半導体基板2に設けられるように、半導体センサを外部と電気的に接続するための外部接続用電極9に対し、ケース板3の側面において端子電極に連ねられるように設けられている接続電極8により電気的に接続されている、半導体センサ装置。
【選択図】 図1
Description
2…半導体基板
3…ケース板
3b…突起
3c,3d…側面
3e…凹部
4…第2のケース板
4a…凹部
7…端子電極
8…接続電極
9…外部接続用電極
21…梁部
Claims (7)
- 可動部を有する半導体センサが形成されている半導体基板と、
前記半導体基板の片面に積層されたケース板と、
前記ケース板の前記半導体基板に貼り合わされている側とは反対側の面に、該ケース板と同じ材料で一体的に複数の突起とが形成されており、
前記複数の突起の外表面に設けられた端子電極と、
前記半導体基板において、前記半導体センサを外部と電気的に接続されるように設けられている外部接続用電極と、
前記突起に設けられた端子電極と、前記外部接続用電極とを電気的に接続するように前記ケース板側面において前記端子電極に連ねられるように設けられている接続電極とをさらに備えることを特徴とする、半導体センサ装置。 - 前記接続電極は、前記半導体基板の側面には至らないように形成されている、請求項1に記載の半導体センサ装置。
- 前記外部接続用電極と接続される接続電極が前記ケース板の側面から前記半導体基板の側面に至るように形成されており、それによって前記外部接続用電極が、前記接続電極にT字接続されている、請求項1に記載の半導体センサ装置。
- 前記半導体基板の前記ケース板が積層されている面とは反対側の面に、第2のケース板が積層されている、請求項1〜3のいずれか1項に記載の半導体センサ装置。
- 前記第2のケース板は、突起を有せず、平板状の部材である、請求項4に記載の半導体センサ装置。
- 前記ケース板の前記端子電極及び接続電極が形成される面が粗面とされており、該粗面に前記端子電極及び接続電極が形成されている、請求項1〜5のいずれか1項に記載の半導体センサ装置。
- 前記ケース板の側面に向って開いた複数の凹部が前記ケース板に形成されており、前記接続電極の少なくとも一部が前記凹部に形成されている、請求項1〜6のいずれか1項に記載の半導体センサ装置。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
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JP (1) | JP2007043017A (ja) |
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- 2005-08-05 JP JP2005228244A patent/JP2007043017A/ja active Pending
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