JP2009172595A - 量産用の常圧プラズマ発生装置 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】直流パルスまたは交流電源に連結される電源電極と、前記電源電極から離れて設けられ、プラズマガスが通過可能な噴射通孔を有する接地電極と、前記電源電極と接地電極を収容固定するフレームと、前記フレームの外部から電源電極と接地電極との間にガスを供給するガス供給部と、前記ガス供給部から配管により連結されてフレームの内部に流入するガスの温度を調節するガス恒温調節装置と、を備えてなる量産用の常圧プラズマ発生装置。本発明によれば、プラズマ発生装置の初期から前記プラズマ発生装置を量産に必要とされる所定の温度以上に昇温することができることから、初期段階から量産可能なプラズマ発生装置を提供することが可能になる。
【選択図】図3
Description
20:電源電極
30:接地電極
31:噴射通孔
40:フレーム
41:内部空間部
42:第2のフレーム
50:ガス供給部
60:ガス恒温調節装置
61:ガス温度センサー
62:ヒーター
63:配管
70:雰囲気温度制御装置
71:熱線
80:移送装置
81:移送手段
Claims (8)
- 直流パルスまたは交流電源に連結される電源電極と、
前記電源電極から離れて設けられ、プラズマガスが通過可能な噴射通孔を有する接地電極と、
前記電源電極と接地電極を収容固定するフレームと、
前記フレームの外部から電源電極と接地電極との間にガスを供給するガス供給部と、
前記ガス供給部から配管により連結されてフレームの内部に流入するガスの温度を調節するガス恒温調節装置と、
を備えてなる量産用の常圧プラズマ発生装置。 - 前記フレームに熱を供給する熱供給手段をさらに備えることを特徴とする請求項1に記載の量産用の常圧プラズマ発生装置。
- 前記フレームの側面には、前記ガス供給部及び熱供給手段を含んで一体に設けられる第2のフレームが取り付けられることを特徴とする請求項1または2に記載の量産用の常圧プラズマ発生装置。
- 前記熱供給手段は熱線であることを特徴とする請求項2に記載の量産用の常圧プラズマ発生装置。
- 前記第2のフレームは、アルミニウム製のものであることを特徴とする請求項3に記載の量産用の常圧プラズマ発生装置。
- 前記ガス恒温調節装置は、ガスの温度を上げるためのヒーターと、フレームの内部に流入するガスの温度を測定するためのガス温度センサー及び前記ガス供給部との連結を行うための配管を備えてなることを特徴とする請求項1に記載の量産用の常圧プラズマ発生装置。
- 前記量産用の常圧プラズマ発生装置には、前記熱供給手段に熱源を提供可能なヒーター及びフレームの内部の温度を測定するためのフレーム内部温度センサーを有する雰囲気温度制御装置がさらに配備されることを特徴とする請求項2に記載の量産用の常圧プラズマ発生装置。
- 前記量産用の常圧プラズマ発生装置の下端には、被処理物を移送可能な移送手段を有する移送装置がさらに配備されることを特徴とする請求項1に記載の量産用の常圧プラズマ発生装置。
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