JP2009167023A - 使用済み基板の再生方法 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】本発明は、基板上に形成した金属酸化物からなる触媒粒子を核としてカーボン系薄膜を合成し、同薄膜を他材料に転写した後、基板を再生する方法であって、転写後、基板上に残留したカーボン成分を酸素雰囲気で加熱して酸化させる工程と、前記基板上に残留した前記金属酸化物を、フッ化物溶液を用いた処理により除去する工程とからなることを特徴とする使用済み基板の再生方法である。
【選択図】 図1
Description
Claims (3)
- 基板上に形成した金属酸化物からなる触媒粒子を核としてカーボン系薄膜を合成し、同薄膜を他材料に転写した後、基板を再生する方法であって、転写後、基板上に残留したカーボン成分を酸素雰囲気で加熱して酸化させる工程と、前記基板上に残留した前記金属酸化物を、フッ化物溶液を用いた処理により除去する工程とからなることを特徴とする使用済み基板の再生方法。
- 前記フッ化物溶液が、フッ化水素1〜50%、フッ化アンモニウム1〜40%および残部水からなることを特徴とする、請求項1記載の使用済み基板の再生方法。
- 前記カーボン系薄膜が、カーボンナノチューブまたはカーボンナノコイルであることを特徴とする、請求項1又は2記載の使用済み基板の再生方法。
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