JP2009158365A - カソード保持構造およびそれを備えるイオン源 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】 このカソード保持構造は、熱電子を放出させるための前部22、その背後の後部24およびその側壁の周囲に形成された溝26を有しているカソード20と、筒状のものであってその先端部付近内にカソード20の後部24が通る貫通穴34を有する棚部32を備えているカソードホルダー30と、平面形状がC形、断面形状が円形をしているロックワイヤ40とを備えていて、カソード20の後部24を貫通穴34に挿通し、溝26にロックワイヤ40を嵌めて、ロックワイヤ40でカソード20をカソードホルダー30の棚部32に係止している。
【選択図】 図2
Description
4 プラズマ生成容器
20 カソード
22 前部
24 後部
26 溝
27 溝の奥部
30 カソードホルダー
32 棚部
34 貫通穴
40 ロックワイヤ
42 開いた部分
Claims (7)
- 貫通穴を有する棚部を備えている筒状のカソードホルダーと、
前記カソードホルダーの棚部の貫通穴に挿通されているカソードであってその側壁の周囲に溝を有するカソードと、
一箇所が前記カソードの溝の奥部の直径以下に開いていて当該開いた部分以外で前記カソードの溝の奥部を囲む平面形状をしており、かつ断面形状が円形をしているロックワイヤとを備えていて、
前記カソードの溝に前記ロックワイヤを嵌めて、当該ロックワイヤを用いて前記カソードを前記カソードホルダーの棚部に係止していることを特徴とするカソード保持構造。 - 前記カソードは、前記溝から離れた部分に、前記カソードホルダーの棚部の貫通穴よりも大きい前部を有しており、
前記前部の端面と前記ロックワイヤとの間に前記カソードホルダーの棚部の内側端部を位置させている請求項1記載のカソード保持構造。 - 前記カソードはその軸方向に間隔をあけて前記溝を二つ有しており、
前記ロックワイヤは二つあり、
前記カソードの各溝に前記各ロックワイヤをそれぞれ嵌めて、両ロックワイヤの間に前記カソードホルダーの棚部の内側端部を位置させている請求項1記載のカソード保持構造。 - 貫通穴を有する棚部を備えている筒状のカソードホルダーと、
前記カソードホルダーの棚部の貫通穴に挿通されているカソードであってその側壁の周囲に溝を有するカソードと、
一箇所が前記カソードの溝の奥部の直径以下に開いていて当該開いた部分以外で前記カソードの溝の奥部を囲む平面形状をしており、かつ断面形状が円形をしているロックワイヤとを備えており、
かつ前記カソードは、前記溝に続く部分に、前記カソードホルダーの棚部の貫通穴よりも大きい後部を有しており、
前記カソードの溝に前記ロックワイヤを嵌めて、前記カソードの後部の端面と前記ロックワイヤとの間に前記カソードホルダーの棚部の内側端部を位置させて前記カソードを保持していることを特徴とするカソード保持構造。 - 前記ロックワイヤは、平面形状がC形をしている請求項1ないし4のいずれかに記載のカソード保持構造。
- 前記ロックワイヤは、平面形状が、前記一箇所が開いた多角形をしている請求項1ないし4のいずれかに記載のカソード保持構造。
- 請求項1ないし6のいずれかに記載のカソード保持構造と、
前記カソードホルダー内に設けられていて前記カソードを加熱するフィラメントとを備えていることを特徴とする傍熱陰極型のイオン源。
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Cited By (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2019526922A (ja) * | 2016-09-07 | 2019-09-19 | ペイトン タービン テクノロジーズ エルエルシー | 同軸型電子銃 |
WO2019180242A1 (en) * | 2018-03-23 | 2019-09-26 | Freemelt Ab | Cathode assembly for electron gun |
WO2021058513A1 (en) | 2019-09-23 | 2021-04-01 | Freemelt Ab | Electron gun cathode technology |
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JPS5291752U (ja) * | 1975-12-29 | 1977-07-08 | ||
JP2001517857A (ja) * | 1997-09-24 | 2001-10-09 | ザ ウェルディング インスティテュート | 荷電粒子ビームに関する改善 |
JP2007214033A (ja) * | 2006-02-10 | 2007-08-23 | Nissin Ion Equipment Co Ltd | イオン源 |
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2007
- 2007-12-27 JP JP2007336979A patent/JP4636082B2/ja active Active
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