JP2009156641A - 圧電センサ - Google Patents
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Abstract
【解決手段】本発明の圧電センサ10は、基板1上に下部電極2、圧電体薄膜3および上部電極4を設ける構造において、圧電体薄膜3と上部電極4との間に空隙層6をさらに設けた構成である。空隙層6を設けることにより、圧電体薄膜3の製造時に欠損があったり疲労亀裂が発生した場合にも、下部電極2と上部電極4とが短絡しにくくなる。したがって、圧電センサの歩留まりおよび耐久性が向上する。
【選択図】図1
Description
本発明は上述した実施形態に限定されるものではなく、請求項に示した範囲で種々の変更が可能である。すなわち、請求項に示した範囲で適宜変更した技術的手段を組み合わせて得られる実施形態についても本発明の技術的範囲に含まれる。
2 下部電極
3 圧電体薄膜
4 上部電極
6 空隙層
8、18 絶縁層
Claims (11)
- 下部電極と上部電極と圧電体薄膜とを有し、前記圧電体薄膜が前記下部電極と前記上部電極との間に設けられる圧電センサにおいて、
前記下部電極と前記圧電体薄膜との間、および前記上部電極と前記圧電体薄膜との間の少なくとも一方に空隙を有することを特徴とする圧電センサ。 - 前記空隙は空隙層を構成し、
当該空隙層の厚さが120μm以下であることを特徴とする請求項1に記載の圧電センサ。 - 前記空隙層の厚さが60μm以下であることを特徴とする請求項2に記載の圧電センサ。
- 前記空隙は円形の空隙層を構成し、
当該空隙層は、直径に対する厚さの比率が0.4%以上であることを特徴とする請求項1〜3のいずれか1項に記載の圧電センサ。 - 前記下部電極と前記圧電体薄膜との間、および前記上部電極と前記圧電体薄膜との間の少なくとも一方に絶縁層が設けられ、
当該絶縁層に開口部を形成することにより、前記空隙層が設けられることを特徴とする請求項2〜4のいずれか1項に記載の圧電センサ。 - 前記空隙層が複数設けられることを特徴とする請求項5に記載の圧電センサ。
- 前記下部電極および上部電極は、可撓性を有する材料からなることを特徴とする請求項1〜4のいずれか1項に記載の圧電センサ。
- 前記下部電極、前記上部電極および前記絶縁層は、可撓性を有する材料からなることを特徴とする請求項5または6に記載の圧電センサ。
- 前記下部電極および上部電極は、金属または導電性高分子を主成分とし、厚さ0.5mm以下であることを特徴とする請求項7または8に記載の圧電センサ。
- 前記絶縁層は有機高分子フィルムであることを特徴とする請求項8に記載の圧電センサ。
- 前記有機高分子フィルムがポリイミドを主成分とすることを特徴とする請求項10に記載の圧電センサ。
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