JP4915104B2 - 超音波探触子とこれを用いた超音波診断装置および超音波探傷装置ならびに超音波探触子の製造方法 - Google Patents
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Description
本発明の第一の実施の形態に係る超音波探触子を構成する圧電振動子の概略図を図1に示す。
次に、本発明に係る超音波診断装置の一例を示す概略図を図5に示す。
次に、本発明に係る超音波探傷装置の一例を示す概略図を図5に示す。
2,62 圧電体層
3,63 電極層
4,64 側面電極層
5,65 絶縁層
6,66 積層体
7 超音波診断装置本体
8 超音波探触子
9 被検者
10 超音波探傷装置本体
11 被検物
Claims (7)
- 複数の圧電体層と複数の電極層が交互に積層され、積層方向に平行な少なくとも1つの側面に側面電極層が形成された圧電振動子を有する超音波探触子であって、
前記複数の電極層は積層方向に交互に配設された第1の電極層と第2の電極層からなり、
前記第1の電極層は前記側面電極層と前記側面と平行な方向の幅全体にわたって電気的に接続され、
前記第2の電極層は前記側面電極層と電気的に接続されず、
前記側面電極層は、当該側面電極層が前記第1の電極層と接続される前記積層方向の位置において前記側面全体を占めるように形成され、
前記側面電極層が前記第2の電極層と空間的に重なる前記積層方向の位置における前記側面電極層の前記側面に占める割合は、前記側面電極層が前記第1の電極層と接続される前記積層方向の位置における当該割合よりも少ない超音波探触子。 - 前記側面電極層は、前記側面電極層が前記第2の電極層と空間的に重なる前記積層方向の位置において前記側面の幅方向の両方の端部に配置されている請求項1記載の超音波探触子。
- 前記側面電極層が前記第1の電極層と接続される前記積層方向の位置において、前記側面電極層と前記第1の電極層は、前記側面と平行な方向の幅が概等しい請求項1または請求項2の何れかに記載の超音波探触子。
- 請求項1から請求項3のいずれかに記載の超音波探触子と、前記超音波探触子と電気的に接続された超音波診断装置本体とを含む超音波診断装置。
- 請求項1から請求項3のいずれかに記載の超音波探触子と、前記超音波探触子と電気的に接続された超音波探傷装置本体とを含む超音波探傷装置。
- 第1の電極層、第2の電極層、及び圧電体層を、前記第1の電極層と前記第2の電極層が前記圧電体層を挟んで積層方向に交互に配設されるように、積層して積層体を形成する工程と、
積層方向と平行な少なくとも1つの側面に前記第2の電極層を覆うように真空薄膜形成法によって絶縁層を形成する工程と、
前記絶縁層を形成した後にレーザで絶縁層の一部を除去する工程と、
前記側面に、前記第1の電極と電気的に接続されるように側面電極層を形成する工程とを含む請求項1から請求項3の何れかに記載の超音波探触子の製造方法。 - 第1の電極層、第2の電極層、及び圧電体層を、前記第1の電極層と前記第2の電極層が前記圧電体層を挟んで積層方向に交互に配設されるように、積層して積層体を形成する工程と、
積層方向と平行な少なくとも1つの側面に前記第2の電極層を覆うように絶縁層を形成する工程と、
前記絶縁層を形成した後にレーザで絶縁層の一部を除去する工程と、
前記側面に、前記第1の電極と電気的に接続されるように真空薄膜形成法によって側面電極層を形成する工程とを含む請求項1から請求項3の何れかに記載の超音波探触子の製造方法。
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