JP2009150813A - 波面センサ - Google Patents
波面センサ Download PDFInfo
- Publication number
- JP2009150813A JP2009150813A JP2007330023A JP2007330023A JP2009150813A JP 2009150813 A JP2009150813 A JP 2009150813A JP 2007330023 A JP2007330023 A JP 2007330023A JP 2007330023 A JP2007330023 A JP 2007330023A JP 2009150813 A JP2009150813 A JP 2009150813A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- optical path
- wavefront
- optical
- path difference
- measured
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
Links
- 230000003287 optical effect Effects 0.000 claims abstract description 287
- 238000005259 measurement Methods 0.000 claims abstract description 69
- 238000003384 imaging method Methods 0.000 claims description 32
- 210000001747 pupil Anatomy 0.000 abstract description 42
- 230000001902 propagating effect Effects 0.000 abstract 2
- 230000004075 alteration Effects 0.000 description 10
- 238000005286 illumination Methods 0.000 description 9
- 210000005252 bulbus oculi Anatomy 0.000 description 4
- 238000010008 shearing Methods 0.000 description 4
- 230000014509 gene expression Effects 0.000 description 3
- 238000007689 inspection Methods 0.000 description 3
- 238000005305 interferometry Methods 0.000 description 3
- 230000003044 adaptive effect Effects 0.000 description 2
- 230000015572 biosynthetic process Effects 0.000 description 2
- 239000011521 glass Substances 0.000 description 2
- 239000000463 material Substances 0.000 description 2
- 238000000034 method Methods 0.000 description 2
- 239000012466 permeate Substances 0.000 description 2
- 240000000543 Pentas lanceolata Species 0.000 description 1
- 210000004087 cornea Anatomy 0.000 description 1
- 239000013078 crystal Substances 0.000 description 1
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 1
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 1
- 230000001678 irradiating effect Effects 0.000 description 1
- 239000004033 plastic Substances 0.000 description 1
- 239000011347 resin Substances 0.000 description 1
- 229920005989 resin Polymers 0.000 description 1
- 210000001525 retina Anatomy 0.000 description 1
- 230000002207 retinal effect Effects 0.000 description 1
- 238000004088 simulation Methods 0.000 description 1
- 239000000758 substrate Substances 0.000 description 1
- 230000004304 visual acuity Effects 0.000 description 1
Images
Classifications
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01J—MEASUREMENT OF INTENSITY, VELOCITY, SPECTRAL CONTENT, POLARISATION, PHASE OR PULSE CHARACTERISTICS OF INFRARED, VISIBLE OR ULTRAVIOLET LIGHT; COLORIMETRY; RADIATION PYROMETRY
- G01J9/00—Measuring optical phase difference; Determining degree of coherence; Measuring optical wavelength
- G01J9/02—Measuring optical phase difference; Determining degree of coherence; Measuring optical wavelength by interferometric methods
- G01J9/0215—Measuring optical phase difference; Determining degree of coherence; Measuring optical wavelength by interferometric methods by shearing interferometric methods
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01B—MEASURING LENGTH, THICKNESS OR SIMILAR LINEAR DIMENSIONS; MEASURING ANGLES; MEASURING AREAS; MEASURING IRREGULARITIES OF SURFACES OR CONTOURS
- G01B9/00—Measuring instruments characterised by the use of optical techniques
- G01B9/02—Interferometers
- G01B9/02097—Self-interferometers
- G01B9/02098—Shearing interferometers
Landscapes
- Physics & Mathematics (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- Spectroscopy & Molecular Physics (AREA)
- Testing Of Optical Devices Or Fibers (AREA)
- Instruments For Measurement Of Length By Optical Means (AREA)
Abstract
【解決手段】入射瞳Pに入った被測定光波面は半透鏡3で第1の光路L1と第2の光路L2とに分岐され、第1の光路L1を進む波面W1は第1の光路差補償部材7を透過し、第2の光路L2を進む波面W2は第2の光路差補償部材8を透過する。これら波面W1及びW2は、シェアリング量Sだけ互いに位置をずらした状態で半透鏡6により再度混合され、干渉計測面Mに干渉縞を形成する。この干渉縞の強度分布が光検出器9によって測定され、波面計測部10で被測定光波面の形状が測定される。被測定光波面の到来方向に起因して傾斜した状態で干渉計測面Mに至る波面W1’と波面W2’との間に発生する光路差は、これら波面W1’及びW2’がそれぞれ第1の光路差補償部材7及び第2の光路差補償部材8を透過する際に事前に補償される。
【選択図】図1
Description
例えば、特許文献1には、被測定光波面を2つの光路に分岐して互いに位置をずらし、これらの波面を再度混合させて、その干渉縞から被測定光波面の形状を測定するシェアリング干渉計が開示されている。
この発明はこのような問題点を解消するためになされたもので、面光源や複数の点光源等、一点とみなせない光源からの波面や、一点とみなせる大きさ以上に動いてしまう点光源からの波面に対しても計測を行うことができる波面センサを提供することを目的とする。
なお、それぞれの光路差補償部材が対応する光路に対して所定角度だけ傾斜して配置されたレンズを有し、2つの光路に対してレンズが互いに逆方向に傾斜するように双方の光路差補償部材を配置することが好ましい。
この場合、それぞれの光路差補償部材が、結像レンズとコリメータレンズとを有するように構成することができる。
実施の形態1
図1に実施の形態1に係る波面センサの構成を示す。入射瞳Pの次に半透鏡3が配置され、入射瞳Pから半透鏡3に至る光路がこの半透鏡3により第1の光路L1と第2の光路L2とに分岐される。半透鏡3を透過する第1の光路L1上には第1の平面鏡4が配置され、半透鏡3で反射する第2の光路L2上には第2の平面鏡5が配置されている。第1の平面鏡4によって反射された第1の光路L1と第2の平面鏡5によって反射された第2の光路L2とが交差する位置に半透鏡6が配置され、この半透鏡6により第1の光路L1と第2の光路L2が互いにシェアリング量Sだけ位置をずらした状態で再び結合される。さらに、半透鏡6の次に干渉計測面Mが規定されている。なお、入射瞳PはXY面内に規定され、Z軸は、入射瞳Pでの軸上光の進行方向とする。また、干渉計測面MはX’Y’面内に規定され、第1の光路L1に対して第2の光路L2が+X’方向にシェアリング量Sだけずらした状態で結合されるものとする。また、Z’軸は、干渉計測面Mでの軸上光の進行方向とする。
第1の光路差補償部材7は、半透鏡3の前方で且つ第1の光路L1の光軸に対して角度φだけ傾斜させて配置された結像レンズ7aと、結像レンズ7aに対して平行に配置されたコリメータレンズ7bとを有している。これらの結像レンズ7aとコリメータレンズ7bは、共通の焦点距離Fを有し、互いにそれらの光軸上で距離2・Fだけ隔てるように配置されている。
第2の光路差補償部材8は、第2の平面鏡5の前方で且つ第2の光路L2の光軸に対して角度−φだけ傾斜させて配置された結像レンズ8aと、結像レンズ8aに対して平行に配置されたコリメータレンズ8bとを有している。これらの結像レンズ8aとコリメータレンズ8bは、それぞれ第1の光路差補償部材7の結像レンズ7a及びコリメータレンズ7bと同一の焦点距離Fを有し、互いにそれらの光軸上で距離2・Fだけ隔てるように配置されている。
また、第2の平面鏡5には、この第2の平面鏡5の配置位置及び角度を移動させることにより光路L1及びL2の間に任意の相対的な光路差を生じさせる移動装置11が接続されている。
なお、移動装置11で第2の平面鏡5の配置位置や角度を移動させることにより、被測定光波の波長をλとして、第1の光路L1と第2の光路L2との間の光路差をλ/4、λ/2、3λ/4などとずらした状態の干渉縞を干渉計測面Mに形成し、光検出器9で測定されたこの干渉縞の強度分布をも使用して波面計測部10で被測定光波面の形状を測定することもできる。
A=S・sinθ ・・・(1)
と表される。ただし、Sは、第1の光路L1と第2の光路L2との間のシェアリング量である。
Δr1=J(α)
Δr1=J(θ−φ)
と表される。
焦平面Q1からコリメータレンズ7bによって入射瞳Pが再結像される干渉計測面Mまでの光路が、入射瞳Pから焦平面Q1までの光路と対称的であるとすると、互いに光路長の増加分Δr1が等しくなり、入射瞳P上の中心点P0から第1の光路L1を通って干渉計測面Mに再結像された瞳の中心点M0にまで至る光路長の増加分ΔR1は、
ΔR1=2・Δr1=2・J(θ−φ) ・・・(2)
となる。
Δr2=J(α)
Δr2=J(θ+φ)
と表される。
焦平面Q2からコリメータレンズ8bによって入射瞳Pが再結像される干渉計測面Mまでの光路が、入射瞳Pから焦平面Q2までの光路と対称的であるとすると、互いに光路長の増加分Δr2が等しくなり、入射瞳P上の中心点P0から第2の光路L2を通って干渉計測面Mに再結像された瞳の中心点M0にまで至る光路長の増加分ΔR2は、
ΔR2=2・Δr2=2・J(θ+φ) ・・・(3)
となる。
B=ΔR1−ΔR2
=2・J(θ−φ)−2・J(θ+φ) ・・・(4)
J(α)=aα2+bα4+・・・ ・・・(5)
となる。
ここで、関数J(α)が2次式で表されるものとすると、式(4)及び(5)から、
B=2・a(θ−φ)2−2・a(θ+φ)2
=2・a(θ2−2θφ+φ2)−2・a(θ2+2θφ+φ2)
=−8・aθφ ・・・(6)
と表される。なお、比例定数aは、使用する結像レンズ7a、8a及びコリメータレンズ7b、8bのパラメータとして既知であるものとする。
A≒−B
とすればよい。言い換えると、光路差Aと光路差Bとを加算した全体の光路差Cをほぼ0とすればよい。
A+B=C≒0
式(1)と(6)を用いると、
S・sinθ−8・aθφ≒0 ・・・(7)
と表される。
角度θの絶対値が小さい場合には、
sinθ≒θ
と近似することができるので、式(7)は、
S−8・aφ≒0
と表される。
このとき、
φ=S/(8・a) ・・・(8)
となる。
また、波面W1’及びW2’の進行方向が、図1、図3及び図4に示した角度θとは逆方向に傾いた場合でも、同様に、その傾きに起因して発生する光路差が第1の光路差補償部材7及び第2の光路差補償部材8の作用によって事前に補償され、干渉計測面Mにおいてほぼ同一の干渉状態を得ることができる。
なお、上記の説明では、レンズの収差により等光路長面が湾曲した場合の入射瞳上の中心点から焦平面までの光路長の増加分を示す関数J(α)が2次式で表されるものとしたが、4次以上の偶数次の多項式で表されるものとしても、同様にして、全体の光路差Cが入射角度θの値に関わらずにほぼ一定値0となるような結像レンズ7a、8a及びコリメータレンズ7b、8bの傾斜角度φを求めることができる。
−0.00006≦0.1・sinθ≦0.00006
すなわち、
−0.0006≦sinθ≦0.0006
でなければならず、このように角度θの絶対値が小さい場合には、
sinθ≒θ
であるので、およそ、
−0.0006≦θ≦0.0006(rad)
となり、光路差補償部材を採用することによって、同じ光路差が発生する角度範囲が約250倍も広くなっていることがわかる。
また、±60nm以下を光路差C及び光路差Aの許容量として、光路差補償部材を採用したときと採用しないときの光路差補償を行い得る角度範囲を比較したが、光路差C及び光路差Aの許容量を変えると、それに応じて光路差補償を行い得る角度範囲は変化する。
光路差Cは、入射角度θx及びθyの値に応じて変化しているが、−0.15≦θx≦+0.15(rad)、−0.15≦θy≦+0.15(rad)の範囲において±0.11μm以下の値であり、高精度に波面の光路差が補償されて、干渉状態が変わらず、波面計測が可能となることがわかる。
上述した実施の形態1の波面センサにおいては、半透鏡6で反射した第1の光路L1と半透鏡6を透過した第2の光路L2を互いにシェアリング量Sだけ位置をずらした状態で結合させたが、半透鏡6を透過した第1の光路L1と半透鏡6で反射した第2の光路L2も互いにシェアリング量Sだけ位置をずらした状態で結合させることができる。そこで、この実施の形態2では、図8に示されるように、第1の光路L1を進んで半透鏡6を透過した波面W1と第2の光路L2を進んで半透鏡6で反射した波面W2とにより入射瞳Pが再結像される位置に干渉計測面Maが規定され、この干渉計測面Maに光検出器9aが配置されている。そして、干渉計測面Mに配置されている光検出器9と干渉計測面Maに配置された光検出器9aの双方に波面計測部10が接続されている。
双方の光検出器9及び9aにより得られた干渉縞の強度分布に基づいて波面計測部10が被測定光波面の形状を測定する。
干渉計測面Maには、第1の光路L1を進んで半透鏡6を透過した波面W1と第2の光路L2を進んで半透鏡6で反射した波面W2とにより入射瞳Pが再結像されるが、第1の光路L1による瞳像G1aに対して第2の光路L2による瞳像G2aがシェアリング量Sだけ+X’’方向に位置をずらして重なるように構成され、干渉計測面Mに形成される干渉縞に対して明暗が反転した干渉縞が干渉計測面Maに同時に得られることとなる。このため、2つの波面W1とW2の位相差のほかに、2つの波面W1とW2の光の強度の合計、すなわち、瞳面Pにおける光の強度を、2つの干渉計測面M及びMaにおける強度の和から求めることができ、波面計測部10で波面を算出する際に、瞳面の明るさの変化による誤差を減らすことが可能となる。
また、結像とコリメートを行い得る光学系であれば、レンズの代わりに凹面鏡等の反射鏡を使用して同様の効果を得ることもできる。さらに、結像とコリメートのうち、一方をレンズにより、他方を反射鏡により行ってもよい。
さらに、この発明は、シェアリング干渉法を用いているので、広帯域の光を使用する場合には、第1の光路L1と第2の光路L2の光路長が光のコヒーレンス長以下の精度で互いに等距離に調整されていることが好ましい。
また、図12のように、大型の光学素子22を測定対象とする場合には、光学素子23を用いて照明用光源18からのビーム径を拡大することが好ましい。
さらに、図13に示されるように、光源24から発せられる光を波面センサ20に入射させて、光源24の品質検査を行うこともできる。
分岐した2つの波面を混合する際に、2つの波面の位相差が半波長より十分小さく、強めあう干渉と弱めあう干渉の中間の強度になるように平均の位相差を調整すれば、干渉強度と2つの波面の位相差が単調な関係になるため、分岐した光路L1とL2の相対的な光路長を固定したままで、波面形状を求めることも可能である。
この他、この発明の波面センサは、レーザビーム制御用の波面計測に適用することもできる。
さらに、この発明は、干渉計測面において2つの波面を互いに傾けることにより多数の干渉縞を形成して波面計測を行う方法にも適用可能である。
Claims (3)
- 被測定光波面を2つの光路に分岐して互いに位置をずらし、これらの波面を再度混合させて干渉計測面に形成された干渉縞から被測定光波面の形状を測定する波面センサにおいて、
前記2つの光路に分岐された波面をそれぞれ一旦結像させて再度コリメートすることにより被測定光波面の入射角度に依存して発生する光路差を除去するための光路差補償部材を前記2つの光路上にそれぞれ配置し、前記2つの光路における干渉計測面までの伝播光路差が被測定光波面の入射角度に関わらずに一定となるようにしたことを特徴とする波面センサ。 - それぞれの前記光路差補償部材は、対応する光路に対して所定角度だけ傾斜して配置されたレンズを有し、
前記2つの光路に対して前記レンズが互いに逆方向に傾斜するように双方の前記光路差補償部材が配置される請求項1に記載の波面センサ。 - それぞれの前記光路差補償部材は、結像レンズとコリメータレンズとを有する請求項2に記載の波面センサ。
Priority Applications (3)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2007330023A JP4659019B2 (ja) | 2007-12-21 | 2007-12-21 | 波面センサ |
EP08252988.4A EP2072980B1 (en) | 2007-12-21 | 2008-09-10 | Wavefront sensor |
US12/232,370 US7733500B2 (en) | 2007-12-21 | 2008-09-16 | Wavefront sensor with optical path difference compensation |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2007330023A JP4659019B2 (ja) | 2007-12-21 | 2007-12-21 | 波面センサ |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2009150813A true JP2009150813A (ja) | 2009-07-09 |
JP4659019B2 JP4659019B2 (ja) | 2011-03-30 |
Family
ID=40418891
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2007330023A Active JP4659019B2 (ja) | 2007-12-21 | 2007-12-21 | 波面センサ |
Country Status (3)
Country | Link |
---|---|
US (1) | US7733500B2 (ja) |
EP (1) | EP2072980B1 (ja) |
JP (1) | JP4659019B2 (ja) |
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2012198197A (ja) * | 2011-02-18 | 2012-10-18 | Carl Zeiss Smt Gmbh | 光学試験表面の形状を判定する方法及び装置 |
Families Citing this family (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US8279449B2 (en) * | 2010-11-15 | 2012-10-02 | Raytheon Company | All-reflective, radially shearing interferometer |
CN102564612B (zh) * | 2012-02-07 | 2013-09-18 | 中国科学院光电技术研究所 | 一种基于组合棱镜的相位差波前传感器 |
CN115687881B (zh) * | 2022-11-08 | 2023-05-23 | 杭州宇称电子技术有限公司 | 用于测距传感器精度优化的误差补偿测算方法及其应用 |
Citations (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US20060154156A1 (en) * | 2005-01-12 | 2006-07-13 | John Farah | Interferometric imaging with reduced aperture |
Family Cites Families (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH0777413A (ja) | 1993-07-13 | 1995-03-20 | Fuji Xerox Co Ltd | シェアリング干渉計測方法並びにシェアリング干渉計 |
US6580509B1 (en) * | 2000-04-24 | 2003-06-17 | Optical Physics Company | High speed high resolution hyperspectral sensor |
US7330274B2 (en) * | 2002-05-13 | 2008-02-12 | Zygo Corporation | Compensation for geometric effects of beam misalignments in plane mirror interferometers |
US7538890B2 (en) * | 2004-06-07 | 2009-05-26 | Fujinon Corporation | Wavefront-measuring interferometer apparatus, and light beam measurement apparatus and method thereof |
-
2007
- 2007-12-21 JP JP2007330023A patent/JP4659019B2/ja active Active
-
2008
- 2008-09-10 EP EP08252988.4A patent/EP2072980B1/en active Active
- 2008-09-16 US US12/232,370 patent/US7733500B2/en not_active Expired - Fee Related
Patent Citations (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US20060154156A1 (en) * | 2005-01-12 | 2006-07-13 | John Farah | Interferometric imaging with reduced aperture |
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2012198197A (ja) * | 2011-02-18 | 2012-10-18 | Carl Zeiss Smt Gmbh | 光学試験表面の形状を判定する方法及び装置 |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JP4659019B2 (ja) | 2011-03-30 |
EP2072980A1 (en) | 2009-06-24 |
EP2072980B1 (en) | 2013-08-07 |
US7733500B2 (en) | 2010-06-08 |
US20090161115A1 (en) | 2009-06-25 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
US10416039B2 (en) | Interferometer having a reference fluid tank with a prism and a motion matching window for characterizing a contact lens | |
US6804011B2 (en) | Apparatus and method(s) for reducing the effects of coherent artifacts in an interferometer | |
US6643024B2 (en) | Apparatus and method(s) for reducing the effects of coherent artifacts in an interferometer | |
JP2009162539A (ja) | 光波干渉測定装置 | |
JP2010261934A (ja) | 目標形状からの光学試験面のずれを測定する方法および装置 | |
JP4659019B2 (ja) | 波面センサ | |
US10989524B2 (en) | Asymmetric optical interference measurement method and apparatus | |
JP2008089356A (ja) | 非球面測定用素子、該非球面測定用素子を用いた光波干渉測定装置と方法、非球面の形状補正方法、およびシステム誤差補正方法 | |
US8279449B2 (en) | All-reflective, radially shearing interferometer | |
JP5107547B2 (ja) | 干渉型表面形状測定装置 | |
US20150077759A1 (en) | Compact, Slope Sensitive Optical Probe | |
JP2008107144A (ja) | 屈折率分布測定装置及び測定方法 | |
EP1384044B1 (en) | Reducing coherent artifacts in an interferometer | |
JP2009244227A (ja) | 光波干渉測定装置 | |
JP5009709B2 (ja) | 厚み測定用光干渉測定装置 | |
US11092425B2 (en) | Telecentric and broadband achromatic objective lens systems | |
US9534883B1 (en) | Methods for determining error in an interferometry system | |
JP2017075909A (ja) | キャリア法干渉計 | |
JPH08219737A (ja) | 干渉計 | |
WO2023174524A1 (en) | Non-contact optical metrology system to measure simultaneously the relative piston and the relative inclination in two axes (tip and tilt) between two reflective surfaces | |
JP2012215426A (ja) | レンズの面ズレ・面倒れを測定するレンズ測定装置 | |
JPH01212304A (ja) | 縞走査・シアリング方法 | |
JPS60107507A (ja) | シエアリング干渉計 | |
JP2005062113A (ja) | 屈折率分布の測定方法及び測定装置 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20091026 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20091201 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20100201 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20100629 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20100827 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20101207 |
|
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20101224 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20140107 Year of fee payment: 3 |
|
R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Ref document number: 4659019 Country of ref document: JP Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |