JP2009142132A - リニアアクチュエータ - Google Patents
リニアアクチュエータ Download PDFInfo
- Publication number
- JP2009142132A JP2009142132A JP2007318974A JP2007318974A JP2009142132A JP 2009142132 A JP2009142132 A JP 2009142132A JP 2007318974 A JP2007318974 A JP 2007318974A JP 2007318974 A JP2007318974 A JP 2007318974A JP 2009142132 A JP2009142132 A JP 2009142132A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- linear actuator
- core
- spline shaft
- coil
- axial direction
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Withdrawn
Links
Images
Landscapes
- Reciprocating, Oscillating Or Vibrating Motors (AREA)
Abstract
【課題】小型化を図ると共に、コスト安で、所望の推力を確保できるリニアアクチュエータを提供する。
【解決手段】複数の永久磁石14a及び永久磁石14bを有する筒状のケーシング10と、ケーシング10に対して軸方向に相対移動自在に設けられ、永久磁石14a及び永久磁石14bが形成する磁界との間で電磁力を発生させるコイル40を有するスプラインシャフト20とを備えるリニアアクチュエータ1であって、スプラインシャフト20の一端部に一体となって形成され、コイル40を軸方向に分離するコア30を有するという構成を採用する。
【選択図】図1
【解決手段】複数の永久磁石14a及び永久磁石14bを有する筒状のケーシング10と、ケーシング10に対して軸方向に相対移動自在に設けられ、永久磁石14a及び永久磁石14bが形成する磁界との間で電磁力を発生させるコイル40を有するスプラインシャフト20とを備えるリニアアクチュエータ1であって、スプラインシャフト20の一端部に一体となって形成され、コイル40を軸方向に分離するコア30を有するという構成を採用する。
【選択図】図1
Description
本発明は、磁界との間の電磁的相互作用を利用したリニアモータ駆動のリニアアクチュエータに関する。
従来、高い制御性という電動シリンダの利点を有し、コンパクトで駆動力の伝達効率が高いシリンダ装置(リニアアクチュエータ)として、特許文献1に記載のリニアモータシリンダ装置が知られている。
当該リニアモータシリンダ装置は、円筒形状を有する筒形部材の一端側内部に複数の永久磁石を配置して磁界を形成し、他端側にボールスプライン外筒が嵌合されており、筒形部材内に挿入されたシリンダロッドの一端側にはスプライン溝が形成され、他端側には永久磁石によって発生する磁界によって電磁力を得るコイルが巻回される構成となっている。
当該リニアモータシリンダ装置は、駆動源にリニアモータを採用することで、コンパクトで駆動力の伝達効率が高いシリンダ装置を提供することを実現している。
特開2007−43877号公報
当該リニアモータシリンダ装置は、駆動源にリニアモータを採用することで、コンパクトで駆動力の伝達効率が高いシリンダ装置を提供することを実現している。
しかしながら、近年、装置のさらなる小型化の要請がされており、小型化に伴って装置の推力を確保することが課題となっている。また、小型化の要請にあわせて装置のコストの低減が求められている。
本発明は、上記した点に鑑みてなされたものであり、小型化を図ると共に、コスト安で、所望の推力を確保できるリニアアクチュエータを提供することを目的としている。
上記の課題を解決するために、本発明は、複数の発磁体を有する筒状の筐体と、上記筐体に対して軸方向に相対移動自在に設けられ、上記発磁体が形成する磁界との間で電磁力を発生させるコイル体を有するロッドとを備えるリニアアクチュエータであって、上記ロッドの一端部に一体となって形成され、上記コイル体を上記軸方向に分離するコアを有するという構成を採用する。
このような構成を採用することによって、本発明では、コアによって分離されたコイル体の間において磁束密度を大きくし、発生する電磁力を高めることができる。また、コアがロッドと一体に形成されているため、コアとロッドとを別体とした場合にこれら両部材を結合するための結合部材が不要であり、部品点数を削減することができる。
このような構成を採用することによって、本発明では、コアによって分離されたコイル体の間において磁束密度を大きくし、発生する電磁力を高めることができる。また、コアがロッドと一体に形成されているため、コアとロッドとを別体とした場合にこれら両部材を結合するための結合部材が不要であり、部品点数を削減することができる。
また、本発明では、上記コアは、上記軸方向において所定の間隔で複数、上記ロッドの軸を中心とした円盤形状を有するという構成を採用する。
このような構成を採用することによって、本発明では、コアに形成された円盤形状によりコイル体を分離させることができる。更に、ロッドが円柱状であると、コアを円盤状とすることで、ロッド及びコアを旋削によって同一の工程で形成することができ、製造コストを低減することができる。
このような構成を採用することによって、本発明では、コアに形成された円盤形状によりコイル体を分離させることができる。更に、ロッドが円柱状であると、コアを円盤状とすることで、ロッド及びコアを旋削によって同一の工程で形成することができ、製造コストを低減することができる。
また、本発明では、上記ロッドは、上記軸方向の相対移動に伴う上記磁界の変化に基づいて、上記筐体との相対位置を検出する位置検出センサを有するという構成を採用する。
このような構成を採用することによって、本発明では、配列された発磁体をスケールとして利用し、ロッドと筐体との相対位置を検出することができる。
このような構成を採用することによって、本発明では、配列された発磁体をスケールとして利用し、ロッドと筐体との相対位置を検出することができる。
また、本発明では、上記コアによって分離された上記コイル体は、各々独立して通電制御されるという構成を採用する。
このような構成を採用することによって、本発明では、各コイル体が形成する磁界の極を独立に制御して高い推力を得ることができる。
このような構成を採用することによって、本発明では、各コイル体が形成する磁界の極を独立に制御して高い推力を得ることができる。
本発明によれば、複数の発磁体を有する筒状の筐体と、上記筐体に対して軸方向に相対移動自在に設けられ、上記発磁体が形成する磁界との間で電磁力を発生させるコイル体を有するロッドとを備えるリニアアクチュエータであって、上記ロッドの一端部に一体となって形成され、上記コイル体を上記軸方向に分離するコアを有するという構成を採用することによって、コアによって分離されたコイル体の間において磁束密度を大きくし、発生する電磁力を高めることができる。また、コアがロッドと一体に形成されているため、コアとロッドとを別体とした場合にこれら両部材を結合するための結合部材が不要であり、例えば、コアとロッドとを連結する連結部材を別途用いることがなく部品点数を削減することができ、また該連結部材の長さ分のストロークを低減させて装置の小型化を図ることができる。
したがって、本発明では、小型化を図ると共に、コスト安で、所望の推力を確保できるリニアアクチュエータを提供することができる効果がある。
したがって、本発明では、小型化を図ると共に、コスト安で、所望の推力を確保できるリニアアクチュエータを提供することができる効果がある。
次に、本発明の実施形態を図面に基づいて説明する。なお、以下の図面において、各部材を認識可能な大きさとするために、各部材の縮尺を適宜変更している。
図1は、本発明の実施の形態におけるリニアアクチュエータ1を示す断面斜視図である。
図2及び図3は、本発明の実施の形態におけるリニアアクチュエータ1の外観示す斜視図である。なお、図2はリニアアクチュエータ1の全長が収縮した状態を、図3はリニアアクチュエータ1の全長が伸展した状態を示す。
図2及び図3は、本発明の実施の形態におけるリニアアクチュエータ1の外観示す斜視図である。なお、図2はリニアアクチュエータ1の全長が収縮した状態を、図3はリニアアクチュエータ1の全長が伸展した状態を示す。
リニアアクチュエータ1は、図1に示すように、筒状のケーシング(筐体)10と、ケーシング10内側に配置され、ケーシング10に対して軸方向に移動自在に設けられるスプラインシャフト(ロッド)20とを有している。
ケーシング10は、リニアアクチュエータ1の外郭を形成する円筒形状の部材であり、一端10Aが開口するのに対して他端10Bが閉塞されている。他端10Bには、リニアアクチュエータ1の取り付け、又は、固定するための取付孔を有するエンドキャップ11が接続されている。
また、ケーシング10は内部に、スプラインシャフト20を軸方向に案内するスプライン外筒12と、磁界発生源となる磁界発生部13とを備える構成となっている。
また、ケーシング10は内部に、スプラインシャフト20を軸方向に案内するスプライン外筒12と、磁界発生源となる磁界発生部13とを備える構成となっている。
スプライン外筒12は、スプラインシャフト20と略同一の径を有する中空部を形成する円筒形状を有しており、該円筒形状の内周面に、スプラインシャフト20に設けられたスプライン溝20aと係合する突部(不図示)が長さ方向に亘って形成されている。
このような構成のスプライン外筒12は、ケーシング10の一端10A内側に嵌合され、スプラインシャフト20を軸方向においてガイドすると共に、軸方向に移動自在に支持する構成となっている。
なお、本実施形態では、スプライン外筒12がスプラインシャフト20とすべり接触する方式であるが、スプライン外筒12にボール又はローラである転動体を多数、循環するように設けて、スプライン外筒12とスプラインシャフト20とが、これら転動体を介して組まれる転がり方式としても良い。
このような構成のスプライン外筒12は、ケーシング10の一端10A内側に嵌合され、スプラインシャフト20を軸方向においてガイドすると共に、軸方向に移動自在に支持する構成となっている。
なお、本実施形態では、スプライン外筒12がスプラインシャフト20とすべり接触する方式であるが、スプライン外筒12にボール又はローラである転動体を多数、循環するように設けて、スプライン外筒12とスプラインシャフト20とが、これら転動体を介して組まれる転がり方式としても良い。
磁界発生部13は、スプラインシャフト20が挿通可能な中空部を有する円筒形状を有しており、より詳しくは、スプラインシャフト20が挿通可能な中空部を有する円環形状を有する永久磁石(発磁体)14a及び永久磁石(発磁体)14bが、軸方向に交互に配列されており、互いに隣接して全体として円筒形状を形成する構成となっている。永久磁石14a及び永久磁石14bは、内周面に向って発現する極性(N極又はS極)が互いに異なるように配列されており、スプラインシャフト20が推力を得るための磁界を形成する構成となっている。
このような構成の磁界発生部13は、ケーシング10の他端10B内側に嵌合され、長さ方向において、他端10Bからスプライン外筒12が設けられた位置まで延在する構成となっている。
このような構成の磁界発生部13は、ケーシング10の他端10B内側に嵌合され、長さ方向において、他端10Bからスプライン外筒12が設けられた位置まで延在する構成となっている。
一方、スプラインシャフト20は、円柱形状を有し、外周面には長さ方向に延びるスプライン溝20aがスプラインシャフト20の中心軸を挟んで対称的に形成されている。スプラインシャフト20の伸展方向の一端(前端)部には、エンドキャップ11と略同形状の取付部材21が接続されており、他端(後端)側にはスプラインシャフト20と一体形成されたコア30と、コア30に巻回されたコイル(コイル体)40と、収縮方向(前端から後端へ向う方向)のコア30の端部に接続されたエンコーダヘッド(位置検出センサ)50とを有する構成となっている。
なお、スプラインシャフト20は、例えばフェライト等の磁性体から形成されている。
なお、スプラインシャフト20は、例えばフェライト等の磁性体から形成されている。
エンコーダヘッド50は、コア30の端部に接続され、スプラインシャフト20と一体となって軸方向に移動する構成となっており、磁界発生部13が形成する中空部と略同一の径を有する円盤形状を有して、該円盤形状の外周部と磁界発生部13の内周部とが当接することでスプラインシャフト20の後端を軸方向においてガイドする構成となっている。
エンコーダヘッド50は、上記移動の際に、磁界発生部13を形成する永久磁石14a及び永久磁石14bが発現するN極又はS極の磁極を検出して、開始位置(例えば、ケーシング10端部)からN極及びS極を検出したカウント数に基づいて、スプラインシャフト20とケーシング10との相対位置関係を検出する構成となっている。なお、エンコーダヘッド50は、不図示ではあるがエンドキャップ11を貫通する配線によって給電を受け、更に、リニアアクチュエータ1の動作を制御する不図示の制御部に電気的に接続され、当該検出結果を出力する構成となっている。
エンコーダヘッド50は、上記移動の際に、磁界発生部13を形成する永久磁石14a及び永久磁石14bが発現するN極又はS極の磁極を検出して、開始位置(例えば、ケーシング10端部)からN極及びS極を検出したカウント数に基づいて、スプラインシャフト20とケーシング10との相対位置関係を検出する構成となっている。なお、エンコーダヘッド50は、不図示ではあるがエンドキャップ11を貫通する配線によって給電を受け、更に、リニアアクチュエータ1の動作を制御する不図示の制御部に電気的に接続され、当該検出結果を出力する構成となっている。
続いて、コア30及びコイル40の構成について図4を参照して説明する。
図4は、コア30及びコイル40を示す軸線方向の断面斜視図である。
コア30は、磁性体であるスプラインシャフト20と一体に形成され、スプラインシャフト20の略半分の径を有する軸30aと、軸30aに軸方向において所定の間隔で複数、軸30aを中心としたスプラインシャフト20と略同一の径を有する円盤形状30bとから形成されている。
図4は、コア30及びコイル40を示す軸線方向の断面斜視図である。
コア30は、磁性体であるスプラインシャフト20と一体に形成され、スプラインシャフト20の略半分の径を有する軸30aと、軸30aに軸方向において所定の間隔で複数、軸30aを中心としたスプラインシャフト20と略同一の径を有する円盤形状30bとから形成されている。
軸30aは、コイル40が巻回される芯部材であり、スプラインシャフト20の軸と同軸上に形成される。円盤形状30bは、軸30aに巻回されたコイル40が発現する磁束を円盤形状30bの周面方向に誘導して、且つ、スプラインシャフト20と一体に形成されており磁性体であることから、磁束密度を大きくして発生する電磁力を高める構成となっている。なお、円盤形状30bが形成される所定の間隔は、磁界発生部13を形成する永久磁石14a及び永久磁石14bとの間で電磁力による推力が効率よく得られる間隔に設定するのが好ましい。
このような構成のコア30は、鍛造(粉体)によるスプラインシャフト20との一体成型、又は、素材を旋削することでスプラインシャフト20と同一工程にて一体に形成される。
このような構成のコア30は、鍛造(粉体)によるスプラインシャフト20との一体成型、又は、素材を旋削することでスプラインシャフト20と同一工程にて一体に形成される。
コイル40は、円盤形状30bによって分離された各相が、不図示の制御部と各々接続されており、制御部によって通電制御されて交番磁界を形成する構成となっている。
制御部は、コイル40の各相を独立的に通電制御することによって、磁界発生部13との間で推力を得られるように、例えば、隣り合う円盤形状30bに異なる磁極を発現させる配列(例えば、N極、S極、N極又は、S極、N極、S極の配列)を形成するようにし、且つ、エンコーダヘッド50の検出結果に基づいて、コイル40に流す電流を調節し、電磁力の推力を制御する構成となっている。
制御部は、コイル40の各相を独立的に通電制御することによって、磁界発生部13との間で推力を得られるように、例えば、隣り合う円盤形状30bに異なる磁極を発現させる配列(例えば、N極、S極、N極又は、S極、N極、S極の配列)を形成するようにし、且つ、エンコーダヘッド50の検出結果に基づいて、コイル40に流す電流を調節し、電磁力の推力を制御する構成となっている。
続いて、上記構成のリニアアクチュエータ1の動作について説明する。
図1に示すように、リニアアクチュエータ1は、不図示の制御部の制御の下、コア30に巻回されたコイル40に図示しない電源から電流が流されることによりコイル40に交番磁界を形成させる。円盤形状30bは、軸30aに巻回されたコイル40が発現する磁束を円盤形状30bの周面方向に誘導し、且つ、磁束密度を大きくして発生する電磁力を高めることとなる。
そして、リニアアクチュエータ1は、コイル40によって、ケーシング10内部に設けられた磁界発生部13を形成する直列状に配置された永久磁石14a及び永久磁石14bとの間に吸引力及び反発力を生じさせることにより高い推力を得て、スプラインシャフト20をケーシング10の長手方向に移動させるようになっている(図2及び図3参照)。
そして、リニアアクチュエータ1は、エンコーダヘッド50によりスプラインシャフト20とケーシング10との相対位置関係を検出して、所望のストロークを出力することとなる。
図1に示すように、リニアアクチュエータ1は、不図示の制御部の制御の下、コア30に巻回されたコイル40に図示しない電源から電流が流されることによりコイル40に交番磁界を形成させる。円盤形状30bは、軸30aに巻回されたコイル40が発現する磁束を円盤形状30bの周面方向に誘導し、且つ、磁束密度を大きくして発生する電磁力を高めることとなる。
そして、リニアアクチュエータ1は、コイル40によって、ケーシング10内部に設けられた磁界発生部13を形成する直列状に配置された永久磁石14a及び永久磁石14bとの間に吸引力及び反発力を生じさせることにより高い推力を得て、スプラインシャフト20をケーシング10の長手方向に移動させるようになっている(図2及び図3参照)。
そして、リニアアクチュエータ1は、エンコーダヘッド50によりスプラインシャフト20とケーシング10との相対位置関係を検出して、所望のストロークを出力することとなる。
また、リニアアクチュエータ1は、不図示の制御部の制御の下、コイル40の各相に流れる電流の向きを変えることにより推力の向きが変化するようになっており、コイル40の各相に流れる電流の向きを切り替えることでスプラインシャフト20の移動方向を切り替え可能となっている。さらに、リニアアクチュエータ1は電源から流される電流の大きさにより推力の大きさを変化させることができ、電流の大きさを変えることによりスプラインシャフト20の移動速度を変更することができる。
したがって、上述した本実施形態によれば、複数の永久磁石14a及び永久磁石14bを有する筒状のケーシング10と、ケーシング10に対して軸方向に相対移動自在に設けられ、永久磁石14a及び永久磁石14bが形成する磁界との間で電磁力を発生させるコイル40を有するスプラインシャフト20とを備えるリニアアクチュエータ1であって、スプラインシャフト20の一端部に一体となって形成され、コイル40を軸方向に分離するコア30を有するという構成を採用することによって、コア30によって分離されたコイル40の間において磁束密度を大きくし、発生する電磁力を高めることができる。また、コア30がスプラインシャフト20と一体に形成されているため、コア30とスプラインシャフト20とを別体とした場合にこれら両部材を結合するための結合部材が不要であり、例えば、コア30とスプラインシャフト20とを連結する連結部材を別途用いることがなく部品点数を削減することができ、また該連結部材の長さ分のストロークを低減させて装置の小型化を図ることができる。
したがって、本実施形態では、小型化を図ると共に、コスト安で、所望の推力を確保できるリニアアクチュエータ1を提供することができる効果がある。
したがって、本実施形態では、小型化を図ると共に、コスト安で、所望の推力を確保できるリニアアクチュエータ1を提供することができる効果がある。
また、本実施形態では、コア30は、軸方向において所定の間隔で複数、スプラインシャフト20の軸を中心とした円盤形状30bを有するという構成を採用することによって、コア30に形成された円盤形状によりコイル40を分離させることができる。更に、スプラインシャフト20が円柱状であると、コア30を円盤状とすることで、スプラインシャフト20及びコア30を旋削によって同一の工程で形成することができ、製造コストを低減することができる。また、円盤形状30bは、軸30aに巻回されたコイル40が発現する磁束を円盤形状30bの周面方向に誘導して、且つ、スプラインシャフト20と一体に形成されており磁性体であることから、磁束密度を大きくして発生する電磁力を高めることができる。
また、本実施形態では、スプラインシャフト20は、軸方向の相対移動に伴う上記磁界の変化に基づいて、上記ケーシング10との相対位置を検出するエンコーダヘッド50を有するという構成を採用することによって、配列された永久磁石14a及び永久磁石14bをスケールとして利用し、スプラインシャフト20とケーシング10との相対位置を検出することができる。
また、本実施形態では、コア30によって分離されたコイル40は、各々独立して通電制御されるという構成を採用することによって、各コイル40が形成する磁界の磁極を独立に制御して高い推力を得ることができる。
以上、図面を参照しながら本発明の好適な実施形態について説明したが、本発明は上記実施形態に限定されるものではない。上述した実施形態において示した各構成部材の諸形状や組み合わせ等は一例であって、本発明の主旨から逸脱しない範囲において設計要求等に基づき種々変更可能である。
例えば、本実施形態において、発磁体は、永久磁石から構成されると説明したが、例えば、電磁石や界磁マグネット等から構成されても良い。
1…リニアアクチュエータ、10…ケーシング、14a,14b…永久磁石(発磁体)、30…コア、30b…円盤形状、40…コイル(コイル体)、50…エンコーダヘッド(位置検出センサ)
Claims (4)
- 複数の発磁体を有する筒状の筐体と、前記筐体に対して軸方向に相対移動自在に設けられ、前記発磁体が形成する磁界との間で電磁力を発生させるコイル体を有するロッドとを備えるリニアアクチュエータであって、
前記ロッドの一端部に一体となって形成され、前記コイル体を前記軸方向に分離するコアを有することを特徴とするリニアアクチュエータ。 - 前記コアは、前記軸方向において所定の間隔で複数、前記ロッドの軸を中心とした円盤形状を有することを特徴とする請求項1に記載のリニアアクチュエータ。
- 前記ロッドは、前記軸方向の相対移動に伴う前記磁界の変化に基づいて前記筐体との相対位置を検出する位置検出センサを有することを特徴とする請求項1または2に記載のリニアアクチュエータ。
- 前記コアによって分離された前記コイル体は、各々独立して通電制御されることを特徴とする請求項1〜3に記載のリニアアクチュエータ。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2007318974A JP2009142132A (ja) | 2007-12-10 | 2007-12-10 | リニアアクチュエータ |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2007318974A JP2009142132A (ja) | 2007-12-10 | 2007-12-10 | リニアアクチュエータ |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2009142132A true JP2009142132A (ja) | 2009-06-25 |
Family
ID=40872175
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2007318974A Withdrawn JP2009142132A (ja) | 2007-12-10 | 2007-12-10 | リニアアクチュエータ |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP2009142132A (ja) |
Cited By (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2011214624A (ja) * | 2010-03-31 | 2011-10-27 | Hitachi Automotive Systems Ltd | リニアアクチュエータ |
CN106953493A (zh) * | 2017-04-13 | 2017-07-14 | 珠海三吉士健康科技有限公司 | 一种无刷交流振荡微电机 |
CN111092534A (zh) * | 2019-04-08 | 2020-05-01 | 道下铁工株式会社 | 线性致动器和使用线性致动器的簇绒机 |
-
2007
- 2007-12-10 JP JP2007318974A patent/JP2009142132A/ja not_active Withdrawn
Cited By (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2011214624A (ja) * | 2010-03-31 | 2011-10-27 | Hitachi Automotive Systems Ltd | リニアアクチュエータ |
CN106953493A (zh) * | 2017-04-13 | 2017-07-14 | 珠海三吉士健康科技有限公司 | 一种无刷交流振荡微电机 |
CN106953493B (zh) * | 2017-04-13 | 2023-06-20 | 珠海三吉士健康科技有限公司 | 一种无刷交流振荡微电机 |
CN111092534A (zh) * | 2019-04-08 | 2020-05-01 | 道下铁工株式会社 | 线性致动器和使用线性致动器的簇绒机 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
KR100442676B1 (ko) | 자석가동형 전자액츄에이터 | |
US7859144B1 (en) | Low frequency electromagnetic motor to create or cancel a low frequency vibration | |
US8860261B2 (en) | Actuator | |
US8278785B2 (en) | Electromagnetic linear motor with stator having cylindrical body of magnetically soft material and rotor having axially-magnetized permanent magnet | |
WO2012039293A1 (ja) | リニアアクチュエータ | |
US20090195087A1 (en) | Linear actuator | |
EP2503677B1 (en) | Reciprocal vibration type power generator equipped with inner columnar and outer annular magnetic motion block | |
JP2008236832A (ja) | 筒形リニアモータ | |
JP2006311715A (ja) | リニア・ロータリ複合型モータ | |
JP6609567B2 (ja) | 双安定電磁アクチュエータ及び外科用器具 | |
JP2016154436A (ja) | リニアモータを有するピペット装置 | |
JP2005150305A (ja) | 電磁アクチュエータ | |
JP2009142132A (ja) | リニアアクチュエータ | |
JP5342207B2 (ja) | リニアアクチュエータ | |
CN108736675B (zh) | 一种动圈式单极性永磁体旋转直线电机 | |
JP5525416B2 (ja) | リニアアクチュエータ | |
JP2005039147A (ja) | 低速駆動可能なリニアアクチュエータ | |
JP2010104093A (ja) | リニアアクチュエータ | |
JP5927266B2 (ja) | リニアアクチュエータ | |
JPH0239847B2 (ja) | ||
JP6340219B2 (ja) | リニアモータ | |
JP2010130805A (ja) | リニアアクチュエータ | |
WO2006098500A1 (ja) | 磁気装置 | |
JP6585894B2 (ja) | リニアアクチュエータ | |
JP6340218B2 (ja) | リニアモータ |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A300 | Withdrawal of application because of no request for examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A300 Effective date: 20110301 |