JP2009141192A - 固体撮像素子およびそれを用いた撮像装置 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】 固体撮像素子を、所定のピッチで2次元配置された複数の受光部と、個々の受光部に対応させて配置された複数の開口部を有する遮光層とを少なくとも備えているものとし、遮光層を構成する開口部を、開口面積が異なる2種以上の矩形の開口部からなるものとし、開口面積が異なる開口部間の一辺の寸法差を0.2nm以上とし、有効撮像領域を中心から周辺に向って複数の部分領域に分割し、個々の部分領域内には、開口面積が同じ開口部を配置し、開口部の開口面積が異なる部分領域が隣接する境界部には、隣接する部分領域における各々の開口面積の開口部を混在させて有する遮光層を備えた中間帯状部が存在するものとした。
【選択図】 図2
Description
ここで、固体撮像素子には有効撮像領域周辺で感度が低下するシェーディングという現象がある。このシェーディングは、図19に示されるように、カメラレンズから入射する光が、有効撮像領域中心ではほぼ垂直に入射するのに対し、有効撮像領域周辺に向うにつれて入射角度が大きくなり、有効撮像領域周辺での受光部51に対する入射光量の低下が起こることにより生じる現象である。
ここで、画素数2592個×1944個(約500万画素)、画素寸法2μmの撮像素子を例として、特許文献2に開示されているように、遮光層の開口部の大きさを有効撮像領域の中心から周辺部へ向って大きくする方法を検討する。撮像素子に、その有効撮像領域の中心と最外周との間に非線形の感度差があり、これに対応するために、画素毎に設けられている遮光層の開口部の大きさを連続的に変化させるように個々の開口寸法を設計すると、100万以上の開口寸法の設計が必要である。また、2μmの画素サイズに対応して、例えば、図21に示すような非線形の感度差(最大40%)を遮光層の開口部の開口面積に置き換えて連続的に開口寸法を個々に変える場合、開口部(正方形)の最大寸法(一辺)を2μmとすると、最小寸法(一辺)は1.55μmとなる。このサイズの差0.45μmを1296画素に亘って分配すると、隣接する画素間での開口部の開口寸法差は平均0.3472nmとなる。これは5倍体フォトマスク上で1.736nmとなり、フォトマスク描画時のグリッドが5nmの場合、グリッドに適合せず、設計寸法を忠実にフォトマスク上に再現することが困難である。また、最小グリッド1nmでマスク描画データを作成した場合、データ量が膨大となり、マスク描画時間の長時間化、マスク製造コストの増大を来たし好ましくない。
本発明は、上記のような実情に鑑みてなされたものであり、シェーディングを防止した固体撮像素子と、このような固体撮像素子を使用した撮像装置を提供することを目的とする。
本発明の他の態様として、前記中間帯状部での開口面積が異なる開口部の混在比率は1:0〜0:1の範囲内で連続的に変化するような構成とした。
本発明の他の態様として、部分領域内での開口面積の異なる開口部の混在比率は、該部分領域内において有効撮像領域の中心から周辺に向う方向に沿って変化しているような構成とした。
本発明の他の態様として、部分領域内での開口面積の異なる開口部の混在比率は、該部分領域内においてほぼ均一であるような構成とした。
本発明の他の態様として、同一の部分領域において隣接して配置される開口部の開口面積の差が10%以下であるような構成とした。
本発明の他の態様として、部分領域毎の開口部の開口面積の平均的大きさが、有効撮像領域の中心から周辺に向って大きくなる傾向であるような構成とした。
本発明の他の態様として、前記部分領域はモザイク状であるような構成とした。
本発明の他の態様として、前記部分領域は有効撮像領域中心を中心とする同心の環状領域であるような構成とした。
本発明の撮像装置は、上述の固体撮像素子を備えるような構成とした。
本発明の撮像装置は、シェーディングが防止され、有効撮像領域内で、斜め入射に起因するケラレ等のロスが少なく、入射光量に対しての効率分布の少ない高品位のものであり、小型化、薄型化が可能である。
[固体撮像素子]
図1は本発明の固体撮像素子の一例を示す概略構成図である。図1において、固体撮像素子1は、一定の配置ピッチで設けられた複数の受光部3と金属電極4を備える基板2と、遮光層6を備えたパッシベーション層5を介して基板2と対向するように積層された下平坦化層7、カラーフィルタ8、上平坦化層9、および、マイクロレンズアレイ10を有している。遮光層6は、個々の受光部3に対応して配置された複数の開口部6aを有するものである。そして、一定の配置ピッチで設けられた複数の受光部3に対して、遮光層6を構成する開口部6aは、開口面積が異なる2種以上の矩形の開口部からなるものである。尚、本発明の固体撮像素子は、図1に示す構成に限定されるものではない。例えば、金属電極4の上面(マイクロレンズアレイ10側)に遮光膜を備えるものであってもよい。
上記の本発明の固体撮像素子を、シェーディング補正のために図22に示すように遮光層6の開口率を変化させる場合を例として説明する。この場合、図2に示すように、有効撮像領域のX軸方向を(1)〜(9)の9個の部分領域に分割し、図2に実線で示される開口率となるように、各部分領域内の遮光層には、開口面積が同じ開口部が配置されている。そして、部分領域が隣接する境界部には、隣接する部分領域における各々の開口面積の開口部を混在して有する遮光層6を備えた中間帯状部を設ける。
また、中間帯状部における開口面積が異なる開口部の混在比率を連続的に、すなわち、1:0〜0:1に変化させた場合には、図2に鎖線で示されるように、遮蔽層の開口部の開口面積変化を更にスムースなものとすることができる。
尚、中間帯状部の幅は適宜設定することができ、例えば、部分領域の幅の1〜50%の範囲で、あるいは、20〜5,000μmの範囲で設定することができる。
また、本発明では、固体撮像素子1を、遮光層6が有する開口部について、開口面積が異なる開口部間の一辺の寸法差を0.2nm以上とし、有効撮像領域を中心から周辺に向って複数の部分領域に分割し、これらの複数の部分領域には、開口面積の異なる開口部を混在させて有する遮光層を備えた部分領域が存在するものであってもよい。
尚、本発明では、同一の部分領域において隣接して配置される開口部の開口面積の差が10%以下、好ましくは5%以下とすることがノイズ防止の点から望ましい。
ここで、本発明における平均的大きさとは、ある画素に着目した際の、その画素を含む近傍の連続した画素の集合での遮光層が有する開口部の開口面積の平均値である。
(第1の実施形態)
図5は、本発明の固体撮像素子の一実施形態における遮光層の開口部の配置を説明するための図である。本実施形態の固体撮像素子は、開口部の開口面積を2種以上で設定し、矩形の開口部の一辺の寸法差を0.2nm以上とする。さらに、有効撮像領域を中心から周辺に向って複数の部分領域に分割し、個々の部分領域内の遮光層には開口面積が同じ開口部を配置し、開口部の開口面積が異なる部分領域が隣接する境界部には、隣接する部分領域における各々の開口面積の開口部を混在して有する遮光層を備えた中間帯状部を設ける。すなわち、図5に示されるように、複数の開口部を有する遮光層において、有効撮像領域が中心(0,0)から周辺に向ってX軸方向に3分割、Y軸方向に3分割され、モザイク状に(1)〜(9)までの9種の部分領域に分割されている。そして、隣接する部分領域には鎖線で示すような中間帯状部が設定されている。
図6は図5において円で囲んだ部分領域(1)、(2)、(4)、(5)の拡大図であり、隣接する部分領域に設定される中間帯状部は鎖線で囲まれた領域であり、斜線を付して示している。この図6のY軸方向では、部分領域(1)と部分領域(4)の境界の中間帯状部に、1.65μm×1.65μmと1.685μm×1.685μmの2種の開口部が混在して配置される。このような2種の開口部の混在比率は、例えば、1.65μm×1.65μmと1.685μm×1.685μmとが交互となるような1:1とすることができる。また、2種の開口部の混在比率を1:0〜0:1の範囲内で連続的に変化させてもよい。例えば、部分領域(1)側では1.65μm×1.65μmの開口部が2/3、1.685μm×1.685μmの開口部が1/3の比率で混在し、部分領域(4)側では1.65μm×1.65μmの開口部が1/3、1.685μm×1.685μmの開口部が2/3の比率で混在するように連続的に変化させることにより、部分領域(1)と部分領域(4)の境界部付近でのスムースな開口面積の変化が可能となる。さらに、部分領域(1)側では1.65μm×1.65μmの開口部の比率をほぼ100%とし、部分領域(4)に向うにつれて1.685μm×1.685μmの開口部の比率を高め、部分領域(4)側では1.685μm×1.685μmの開口部がほぼ100%となるように混在させることにより、部分領域(1)と部分領域(4)の境界部付近での開口部の開口面積の変化が更にスムースなものとなる。
また、同様に、Y軸方向の部分領域(2)と部分領域(5)の境界の中間帯状部には、1.685μm×1.685μmと1.72μm×1.72μmの2種の開口部が混在して配置される。
また、中間帯状部が交差する部分については、例えば、図7(A)に示すように、隣接する中間帯状部の境界を交差中心の向けて斜め方向に設けることもでき、また、図7(B)に示すように、交差する部分(斜線を付した部分)に隣接する4つの部分領域(1)、(2)、(4)、(5)に配置される開口部の全て種類を混在して配置してもよい。この場合、混在比率は、交差する部分の左下側から右上側に向って(図7(B)に矢印で示す方向)開口面積が連続的に大きくなるように配置してもよく、また、4種の開口面積の開口部をランダムに配置して、交差する部分での混在比率を均等にしてもよい。
本実施形態の固体撮像素子は、遮光層を構成する開口部の開口面積を2種以上で設定し、矩形の開口部の一辺の寸法差を0.2nm以上とし、さらに、有効撮像領域を中心から周辺に向って複数の部分領域に分割し、これらの複数の部分領域には、開口面積の異なる開口部を混在させて有する遮光層を備えた部分領域が存在するものである。
図8は本実施形態の固体撮像素子における遮光層の開口部配置を示す図である。図8において、(0,0)点は有効撮像領域の中心点を示し、図面が煩雑になるのを避けるために、中心点から右上の1/4の領域の30個×30個の画素のみを示している。図8に示される固体撮像素子では、X軸方向、Y軸方向とも5画素毎に部分領域に分割され、X軸方向では(X1)〜(X6)の6分割、Y軸方向では(Y1)〜(Y6)の6分割とされ、中心点から右上の1/4の領域はモザイク状に36個の部分領域に分割されている。また、遮光層を構成する開口部は、正方形の一辺がEのものと、一辺がEよりDだけ小さいFのもの、2種類で構成されている。そして、これらが図8に示すように、1個の部分領域当たり25個の割合で、36個の部分領域に配置されている。尚、図8では、一辺がEである開口寸法の開口部を斜線で表示し、一辺がFである開口寸法の開口部を白で表示している。また、図9は、図8において円で囲んだ箇所の2個の開口部を示す図である。
上記の例で、E=1.9μm、F=1.8μmであれば、Eを基準としたとき、遮光層の開口率を90%から100%まで2%以下の刻みでほぼ連続的に表現できる。そして、実際に使用される開口部は2種類であり、マスク作製時のマスクデータも比較的小さくすることができ、5倍体マスクとして作製するのであれば、電子線描画のグリッドも5nmとすることができる。
本実施形態の固体撮像素子は、遮光層を構成する開口部の開口面積を2種以上で設定し、矩形の開口部の一辺の寸法差を0.2nm以上とし、さらに、有効撮像領域を中心から周辺に向って複数の部分領域に分割し、これらの複数の部分領域には、開口面積の異なる開口部を混在させて有する遮光層を備えた部分領域が存在するものである。
図12は本実施形態の固体撮像素子における遮光層の開口部配置を示す図である。図12において、(0,0)点は有効撮像領域の中心点を示し、有効撮像領域はこの中心点を中心とする同心の環状領域に分割されて4つの部分領域(1)〜(4)が画定されている。また、遮光層を構成する開口部は、開口面積の小さい開口部O1と開口面積の大きい開口部O2の2種類で構成されている。そして、部分領域(1)には、小さい開口部O1のみが配置され、部分領域(2)には、小さい開口部O1が2/3、大きい開口部O2が1/3の混在比率となるようにランダムに配置され、部分領域(3)には、小さい開口部O1が1/3、大きい開口部O2が2/3の混在比率となるようにランダムに配置され、部分領域(4)には、大きい開口部O2のみが配置されている。
上述の実施形態では、開口面積の小さい開口部O1と開口面積の大きい開口部O2の2種類を用いているが、この中間となるような大きさの開口部を用いて種類を増やし、また、部分領域を細分化することにより、更に滑らかな補正を行うことができる。図13は、このような実施形態を示す図である。
本実施形態の固体撮像素子は、遮光層の開口部の開口面積の変化と、マイクロレンズの配置ピッチの変化を組み合わせたものである。図14に示されるように、(0,0)点は有効撮像領域の中心点を示し、有効撮像領域はこの中心点を中心とする同心の環状領域に分割されて3つの部分領域(1)〜(3)が画定されている。そして、部分領域(1)〜(3)では、例えば、図15に示すようなカメラレンズ特性の線形変化部位に対応するように、有効撮像領域の中心では、マイクロレンズの中心と受光部の中心が一致し、部分領域(1)の周辺に向うにつれて、マイクロレンズの中心を受光部の中心よりも有効撮像領域の中心側にずれるようにマイクロレンズの配置ピッチが調整されている。しかし、このようなマイクロレンズの配置ピッチの変化には、図15に示すカメラレンズ特性の非線形性は加味されていないため、依然として部分領域(2)、(3)では感度低下(例えば、5〜10%程度)が生じることになる。そこで、本発明では、例えば、部分領域(1)に、1.7μm×1.7μmの開口面積の開口部のみを配置し、部分領域(2)には、1.7μm×1.7μmと1.742μm×1.742μmの2種の開口面積の開口部を混在させて配置し、部分領域(3)には、1.742μm×1.742μmと1.783μm×1.783μmの2種の開口面積の開口部を混在させて配置する。そして、部分領域(2)では、部分領域(1)との境界近傍で1.7μm×1.7μmの開口部の混在比率を高くし、部分領域(3)方向に向って1.742μm×1.742μmの開口部の混在比率を高くする。また、部分領域(3)では、部分領域(2)との境界近傍で1.742μm×1.742μmの開口部の混在比率を高くし、最外周部方向に向って1.783μm×1.783μmの開口部の混在比率を高くする。
上述の実施形態は例示であり、本発明の固体撮像素子はこれらに限定されるものではない。
図16は、本発明の撮像装置の一実施形態を示す概略断面図である。図16において、本発明の撮像装置31は、本発明の固体撮像素子32を備えた基板33と、固体撮像素子32の外側に配した封止用部材34と、この封止用部材34を介して固体撮像素子32と所望の間隙を設けて対向するように配設された保護材35とを備えている。また、固体撮像素子32は配線36、表裏導通ビア37を介して外部端子38に接続されている。このようなセラミックパッケージ型の撮像装置31は、種々のデジタルカメラ、ビデオカメラ等に使用することができ、カメラの高感度化、小型化、薄型化が可能である。
本発明の撮像装置は上述の実施形態に限定されるものではなく、固体撮像素子として本発明の固体撮像素子を備えるものであればよく、従来の種々の撮像装置の構成をそのまま採用することができる。
[実施例]
まず、画素受光部ピッチ2.0μm、画素数2592個×1944個のCMOSイメージセンサーを形成したウェハを用意した。
次に、上記のウェハ上に、以下のようにして、遮光層、パッシベーション層、下平坦化層、カラーフィルタ、上平坦化層、および、マイクロレンズを形成した。
ウェハ表面をスピンスクラパーで洗浄した後、スパッタリング法によってアルミニウム薄膜層(厚み0.6μm)を形成した。このアルミニウム薄膜層上にポジ型の感光性レジスト(住友化学(株)製 PFI58)を塗布し、プリベーク、1/5縮小型のi線ステッパーによる露光、現像を行ってレジストパターンを形成した。その後、このレジストパターンをマスクとしてアルミニウム薄膜層をエッチング(エッチングガスとしてBCl3、Cl2を使用したドライエッチング法)して開口部を設けて遮光層を形成した。
上記の露光においては、図11にてA=2.0μm、B=C=0.1μm、D=0.08μmとし、E=1.8μm、F=1.72μmの2種の光透過部を有する遮光層形成用フォトマスクを使用し、図12に示されるように、部分領域(1)〜(4)に開口部を配置した。この場合、部分領域(1)はX軸上の400画素までとし、部分領域(2)はX軸上の401画素から750画素まで、部分領域(3)はX軸上の751画素から1100画素まで、部分領域(4)はX軸上の1101画素から最外周の1296画素までとした。
遮光層を被覆するように、プラズマCVD法により二酸化珪素層(厚み0.3μm)と窒化珪素層(厚み0.3μm)を順次形成して、2層構造のパッシベーション層とした。
パッシベーション層上に、光硬化型アクリル系透明樹脂材料(富士マイクロエレクトロニクスマテリアルズ(株)製 CT−2020L)をスピン塗布し、次いで、プリベーク、紫外線全面露光、ポストベークを行って下平坦化層(厚み0.3μm)を形成した。
ネガ型感光性の赤色材料(R用材料)、緑色材料(G用材料)、青色材料(B用材料)として以下の材料を用意した。
R用材料:富士マイクロエレクトロニクスマテリアルズ(株)製 SR−4000L
G用材料:富士マイクロエレクトロニクスマテリアルズ(株)製 SG−4000L
B用材料:富士マイクロエレクトロニクスマテリアルズ(株)製 SB−4000L
G、R、Bの形成順序で、上記材料をスピン塗布し、プリベーク、1/5縮小型のi線ステッパーによる露光、現像、ポストベークを行って、RGBカラーフィルタ(厚み0.8μm)を形成した。尚、現像液として、富士マイクロエレクトロニクスマテリアルズ(株)製 CD−2000の50%希釈液を使用した。また、カラーフィルタの配置ピッチは2.0μmとした。
RGBカラーフィルタ上に、光硬化型アクリル系透明樹脂材料(富士マイクロエレクトロニクスマテリアルズ(株)製 CT−2020L)をスピン塗布し、次いで、プリベーク、紫外線全面露光、ポストベークを行って上平坦化層(厚み0.3μm)を形成した。
上平坦化層上に、マイクロレンズ材料としてJSR(株)製 MFR401Lをスピン塗布し、プリベーク、1/5縮小型のi線ステッパーによる露光、現像、後露光、ポストベークによるメルトフローを行って、マイクロレンズを形成した。尚、現像液として、TMAH(テトラメチルアンモニウムハイドロオキサイド)の1.19%液を使用した。
上記の露光においては、配置ピッチを2.0μmとしたマイクロレンズ用フォトマスクを使用した。
次いで、ウェハのダイシングを行い、パッケージ組立を行って、本発明の固体撮像素子を作製した。
遮光層の形成において、E=1.72μmの1種の光透過部を有する遮光層形成用フォトマスクを使用した他は、実施例と同様にして固体撮像素子を作製した。
[評 価]
上述のように作製した固体撮像素子に関して、下記の条件で感度を測定し、結果を図18に示した。図18に示されるように、本発明の固体撮像素子は、シェーディング補正が有効になされ、その感度分布(図18に実線で示す)は比較例の固体撮像素子の感度分布(図18に鎖線で示す)に比べて約10%改善されていることが確認された。
(感度の測定条件)
作製した固体撮像素子に、カメラレンズとして図15に示す特性のものを用い、
白色光源に対するX軸方向の感度分布を測定した。
2…基板
3…受光部
4…金属電極
5…パッシベーション層
6…遮光層
6a…開口部
7…下平坦化層
8…カラーフィルタ
9…上平坦化層
10…マイクロレンズアレイ
11…マイクロレンズ
31,41…撮像装置
32,42…固体撮像素子
Claims (11)
- 所定のピッチで2次元配置された複数の受光部と、個々の前記受光部に対応させて配置された複数の開口部を有する遮光層とを少なくとも備えている固体撮像素子において、
遮光層を構成する開口部は、開口面積が異なる2種以上の矩形の開口部からなり、開口面積が異なる開口部間の一辺の寸法差は0.2nm以上であり、有効撮像領域は中心から周辺に向って複数の部分領域に分割され、個々の部分領域内の遮光層は開口面積が同じ開口部を有し、開口部の開口面積が異なる部分領域が隣接する境界部には、隣接する部分領域における各々の開口面積の開口部を混在させて有する遮光層を備えた中間帯状部が存在することを特徴とする固体撮像素子。 - 前記中間帯状部での開口面積が異なる開口部の混在比率は1:0〜0:1の範囲内で連続的に変化することを特徴とする請求項1に記載の固体撮像素子。
- 所定のピッチで2次元配置された複数の受光部と、個々の前記受光部に対応させて配置された複数の開口部を有する遮光層とを少なくとも備えている固体撮像素子において、
遮光層を構成する開口部は、開口面積が異なる2種以上の矩形の開口部からなり、開口面積が異なる開口部間の一辺の寸法差は0.2nm以上であり、有効撮像領域は中心から周辺に向って複数の部分領域に分割され、該複数の部分領域には、開口面積の異なる開口部を混在させて有する遮光層を備えた部分領域が存在することを特徴とする固体撮像素子。 - 部分領域内での開口面積の異なる開口部の混在比率は、該部分領域内において有効撮像領域の中心から周辺に向う方向に沿って変化していることを特徴とする請求項3に記載の固体撮像素子。
- 部分領域内での開口面積の異なる開口部の混在比率は、該部分領域内においてほぼ均一であることを特徴とする請求項3に記載の固体撮像素子。
- 部分領域内にて、開口面積の異なる開口部がランダムに配置されていることを特徴とする請求項3に記載の固体撮像素子。
- 同一の部分領域において隣接して配置される開口部の開口面積の差が10%以下であることを特徴とする請求項3乃至請求項6のいずれかに記載の固体撮像素子。
- 部分領域毎の開口部の開口面積の平均的大きさが、有効撮像領域の中心から周辺に向って大きくなる傾向であることを特徴とする請求項1乃至請求項7のいずれかに記載の固体撮像素子。
- 前記部分領域はモザイク状であることを特徴とする請求項1乃至請求項8のいずれかに記載の固体撮像素子。
- 前記部分領域は有効撮像領域中心を中心とする同心の環状領域であることを特徴とする請求項1乃至請求項8のいずれかに記載の固体撮像素子。
- 請求項1乃至請求項10のいずれかに記載の固体撮像素子を備えることを特徴とする撮像装置。
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