JP2009136759A - 保持治具の洗浄方法及び保持治具の洗浄装置 - Google Patents

Abstract

【課題】保持孔に複数の異物が付着していてもこれらの異物を高い除去率で容易かつ速やかに除去することのできる保持治具の洗浄方法及び保持治具の洗浄装置を提供すること。
【解決手段】複数の保持孔を有する弾性部材を備えて成る保持治具の洗浄方法であって、前記保持孔における一方の開口部から他方の開口部へと洗浄水を前記保持孔内に噴射する第１の工程と、前記保持孔における前記他方の開口部から前記一方の開口部へと洗浄水を前記保持孔内に噴射する第２の工程とを有することを特徴とする保持治具の洗浄方法、並びに、保持治具を支持する支持部１０と、前記保持孔における一方の開口部から他方の開口部へと洗浄水を前記保持孔内に噴射する第１の噴射ノズル２０と、前記保持孔における前記他方の開口部から前記一方の開口部へと洗浄水を前記保持孔内に噴射する第２の噴射ノズル２５とを備えて成ることを特徴とする保持治具の洗浄装置１。
【選択図】 図１

Description

この発明は、保持治具の洗浄方法及び保持治具の洗浄装置に関し、さらに詳しくは、保持孔に複数の異物が付着していても、これらの異物を高い除去率で容易かつ速やかに除去することのできる保持治具の洗浄方法及び保持治具の洗浄装置に関する。

コンピュータ、電話機、ゲーム機、自動車電装機器等の電子機器には、例えば、積層セラミックチップコンデンサ（単に、チップコンデンサと称することがある。）、インダクタ等の電子部品が搭載されている。このような電子部品は、通常小型であるから、電子部品を形成しうる電子部品用部材を保持する保持治具を用いて、製造され、搬送され、又は、保存等される。電子部品を保持する保持治具として、例えば、図８及び図９に示されるように、電子部品用部材を弾発力及び／又は粘着力で保持する複数の保持孔６８が貫通形成されて成る弾性部材６１と、前記弾性部材６１に埋設された補強部材６０とを備えて成る保持治具５０等が挙げられる。

このような保持治具５０の弾性部材６１は、通常、粘着性を有する弾性材料を成形して複数の保持孔６８を有する成形体とし、この成形体（例えば、その表面、保持孔の周縁等）を研磨又は研削して、形成される。このとき発生する研磨カス及び研削カス等は、弾性及び粘着性を有しているから、弾性部材６１の表面、保持孔６８の内表面に強固に付着する。

前記したような保持治具は、その保持孔に電子部品用部材又は電子部品を挿入保持した状態で、電子部品の製造、搬送又は保存に使用される。そうすると、電子部品用部材又は電子部品等の挿入及び離脱時に弾性部材又は電子部品用部材若しくは電子部品の一部が欠落することがある。また、電子部品の製造等はすべてクリーンルームで実施されるわけではないから、弾性部材の表面、保持孔の内表面に、弾性部材等の欠落片又は空気中等の塵等が付着することがある。

前記研磨カス、前記研削カス、前記欠落片及び塵等の異物が弾性部材の表面特に保持孔の内表面に付着すると、電子部品用部材及び電子部品を所望のように保持することができなくなるから、製造される電子部品の品質低下を招くことになる。したがって、製造後及び使用後の保持治具は、弾性部材の表面特に保持孔の内表面に付着した異物を除去する洗浄工程を行う必要がある。

保持治具を洗浄する方法として、例えば、特許文献１には、「前記保持プレート面の保持孔内部に、前記混合液を通過させることにより、前記保持孔内部の付着物を除去することを特徴とする請求項１又は請求項２に記載の保持プレートの保持孔洗浄装置を用いた保持孔の洗浄方法」（請求項５参照。）、及び、この方法を実施可能な装置の一例として、「厚さ方向の複数の貫通孔を設けた剛性を有する芯材プレートと、前記貫通孔の軸心と同じ軸心を備えた弾性を有する保持孔とを有する電子部品の保持プレートの洗浄装置であって、該洗浄装置には前記保持プレートを保持する保持部と、全ての前記保持孔に研磨材と液体の混合液を通過させることのできる圧送部とを有していることを特徴とする保持プレートの保持孔洗浄装置」（請求項１参照。）が記載されている。

特許文献１に記載の洗浄方法及び洗浄装置は、保持孔内部の付着物を除去するのに有効であるが、混合液内に含まれる研磨材が弾性部材の表面及び／又は保持孔内部に残存することがある。保持孔内部に多数の研磨材が残存した場合には、これらの研磨剤を除去する必要があり、保持治具を再度洗浄することになる。そうすると、保持治具の洗浄効率が低下することがあり、近年、特に注目されている効率主義に反することがある。したがって、保持孔の内表面等に付着した異物の除去率をある程度犠牲にしても、異物を容易かつ速やかに除去して、保持治具の洗浄効率を高めることが望まれている。

ところで、近年、前記ポータブル機器等の小型化等に伴って電子部品もさらなる小型化等が図られている。したがって、このような小型化された電子部品を保持する保持治具においても、弾性部材に形成される保持孔が当然に小径化されている。このように小径化された保持孔の内表面に異物が付着していると、保持孔に対する前記異物の寸法は相対的に大きくなるから、この保持孔に保持された状態で製造される小型部品の品質は大きく低下する。したがって、近年の小型部品を保持する保持治具においては、洗浄効率をある程度犠牲にしても、保持孔の内表面に付着する異物を、従来の保持治具よりも高い除去率で、除去することが望まれている。

特開２００５−１４４２４９号公報

この発明は、保持孔に複数の異物が付着していても、これらの異物を高い除去率で容易かつ速やかに除去することのできる保持治具の洗浄方法及び保持治具の洗浄装置を提供することを、目的とする。

前記課題を解決するための手段として、
請求項１は、複数の保持孔を有する弾性部材を備えて成る保持治具の洗浄方法であって、前記保持孔における一方の開口部から他方の開口部へと洗浄水を前記保持孔内に噴射する第１の工程と、前記保持孔における他方の開口部から一方の開口部へと洗浄水を前記保持孔内に噴射する第２の工程とを有することを特徴とする保持治具の洗浄方法であり、
請求項２は、請求項１に記載の保持治具を支持する支持部と、前記保持孔における一方の開口部から他方の開口部へと洗浄水を前記保持孔内に噴射する第１の噴射ノズルと、前記保持孔における他方の開口部から一方の開口部へと洗浄水を前記保持孔内に噴射する第２の噴射ノズルとを備えて成ることを特徴とする保持治具の洗浄装置である。

この発明に係る保持治具の洗浄方法によれば、研磨材等の成分を含んでいない洗浄水が保持孔の軸線方向に互いに逆向きに保持孔内に噴射される第１の工程と第２の工程とが実施される。また、この発明に係る保持治具の洗浄装置によれば、研磨材等の成分を含んでいない洗浄水を保持孔の軸線方向に互いに逆向きに保持孔内に噴射する第１の噴射ノズルと第２の噴射ノズルとを備えている。その結果、この発明に係る保持治具の洗浄方法及びこの発明に係る保持治具の洗浄装置によれば、保持治具に形成された保持孔がたとえ小径化された保持孔であっても、その内表面に付着した異物を高い除去率で比較的短時間で容易かつ速やかに除去することができると共に、洗浄水に由来する付着物が洗浄後の保持孔内に存在することはない。したがって、この発明によれば、保持治具の保持孔に複数の異物が付着していても、これらの異物を高い除去率で容易かつ速やかに除去することのできる保持治具の洗浄方法及び保持治具の洗浄装置を提供することができる。

この発明に係る保持治具の洗浄方法及びこの発明に係る保持治具の洗浄装置によって洗浄される保持治具は、複数の保持孔を有する弾性部材を備えて成る保持治具である。このような保持治具の一例として、図８及び図９に示されるように、被保持物を保持する複数の保持孔６８が貫通形成されて成る平板状の弾性部材６１と、前記弾性部材６１に埋設された平板状の補強部材６０とを備えて成る保持治具５０が挙げられる。

前記補強部材６０は、弾性部材６１に埋設され、弾性部材６１を平坦に維持する。補強部材６０は、図９に示されるように、複数の貫通孔６７が形成された矩形の平坦部６５と、平坦部６５の周囲に平坦部６５の上面方向及び下面方向に突出した鍔部６６換言するとフランジ部とを備えている。この鍔部６６は、平坦部６５を囲繞するように形成され、平坦部６５を補強し、また、保持治具５０の取扱性を確保する。前記平坦部６５に貫通形成される貫通孔６７は、通常、後述する保持孔６８が配列されるパターンと同一のパターンで保持孔６８と同数形成される。貫通孔６７を水平面で切断したときの断面形状は、特に限定されず、例えば、円形、楕円形、矩形、多角形等の形状とされ、この例においては略円形とされている。貫通孔６７は、被保持物及び保持孔６８の大きさ等に応じてその寸法が調整され、好ましくは保持孔６８の内径よりも大きくされる。

補強部材６０は、被保持物等の生産性及び被保持物等の長さ等を考慮して、鍔部６６及び平坦部６５の大きさ及び厚さが調整される。補強部材６０は、弾性部材６１を平坦な形状に維持することのできる材料で形成されていればよく、このような材料として、ステンレス鋼及びアルミニウム合金等の金属、又は、ポリフェニレンスルフィド樹脂等の樹脂等が挙げられる。

前記弾性部材６１は、図８及び図９に示されるように、複数の保持孔６８が貫通形成された平板状を成している。より具体的には、弾性部材６１は、図９に示されるように、前記補強部材６０具体的には平坦部６５を埋設し、換言すると、補強部材６０の平坦部６５の両面を被覆すると共に、補強部材６０の貫通孔６７に貫入し、補強部材６０の鍔部６６と面一になるように、形成されている。すなわち、弾性部材６１は、前記補強部材６０の両面に配設されると共に、補強部材６０の貫通孔６７に貫入することによって、両面に配設された弾性部材６１が一体に成っている。したがって、弾性部材６１は鍔部６６によって囲繞されている。

弾性部材６１は、図８及び図９に示されるように、被保持物等を挿入保持する複数の保持孔６８を有し、保持孔６８に挿入又は貫入された被保持物等を弾発的に及び／又は粘着力で保持する。弾性部材６１は、保持孔６８を複数、例えば、約２０００個以上、好ましくは、少なくとも約３０００個以上、より好ましくは、少なくとも約３５００個以上、有している。保持孔６８が配列されるパターンは特に限定されず、この例では、保持孔６８は縦横に所定の間隔をおいて碁盤目状に配列されている。保持孔６８を水平面で切断したときの断面形状は、特に限定されず、例えば、円形、楕円形、矩形、多角形等の形状とされ、この例においては略円形とされている。保持孔６８は、被保持物等の大きさ等に応じてその寸法が調整され、具体的には、保持孔６８の内径は、０．４〜２．０ｍｍであり、近年の小型化された被保持物を保持する場合には０．２〜０．５ｍｍに調整される。

弾性部材６１の表面は、平滑であるのが好ましい。弾性部材６１の表面を平滑にするには、成形後の表面を常法に従って研磨処理又は研削処理する方法等を選択することができる。弾性部材６１（すなわち、保持治具５０）は、被保持物等の生産性及び被保持物等の長さ等を考慮して、通常、前記鍔部６６と面一になるように、その大きさ及び厚さが調整される。弾性部材６１は、弾性変形し、電子部品又は電子部品用部材を挿入保持することのできる材料で形成されていればよく、このような材料として、シリコーンゴム等のゴム、及び、エラストマー等が挙げられる。

このような保持治具５０は、例えば、弾性部材６１に形成される保持孔６８の位置に対応した位置に複数の成形ピンが形成された金型に、被保持物の断面寸法よりも大きい径を有する複数の貫通孔６７が配列されて成る補強部材６０を、前記貫通孔６７内に前記成形ピンが位置するように、挿入し、次いで、この金型と補強部材６０とで形成される間隙に弾性材料を注入して、成形する製造方法によって、製造される。

この発明に係る保持治具の洗浄方法及びこの発明に係る保持治具の洗浄装置によって洗浄される保持治具は、前記構成を有する保持治具であればよいが、保持孔６８の内表面に異物が付着した保持治具であるのがこの発明の目的をよく達成することができる。このような保持治具として、例えば、補強部材６０に成形された弾性部材６１を研磨又は研削して製造された保持治具、被保持物の製造工程等に使用された保持治具等が挙げられる。

このような保持治具５０に保持される被保持物は、特に限定されないが、例えば、インダクタ、コンデンサ、抵抗器等の電子部品、及び、これらの電子部品を形成する前駆体である電子部品形成用部材が挙げられる。これらの電子部品及び電子部品形成用部材は近年急速に小型化され、その一例として、例えば、縦０．３ｍｍ×横０．３ｍｍ×高さ０．６ｍｍの長方体をなす電子部品及び電子部品形成用部材が挙げられる。

この保持治具５０は、電子部品の製造方法、例えば、電子部品用部材をめっきする工程等の製造工程、電子部品用部材又は電子部品（この発明において、電子部品用部材には電子部品を含み、以下、電子部品用部材等と称することがある。）を保持して、搬送する工程、電子部品用部材等を保持して保存する工程等に好適に使用される。特に、この保持治具５０は、電子部品用部材等の製造工程に有利に使用される。

この発明に係る保持治具の洗浄装置を、図面を参照して、説明する。この発明に係る保持治具の洗浄装置の一実施例である保持治具の洗浄装置１（以下、単に、洗浄装置１と称することがある。）は、図１及び図２に示されるように、前記保持治具例えば保持治具５０を支持する支持部１０と、保持治具５０の保持孔６８における一方の開口部５２から他方の開口部５４へと洗浄水を保持孔６８内に噴射する第１の噴射ノズル２０と、前記保持孔６８における他方の開口部５４から一方の開口部５２へと洗浄水を前記保持孔６８内に噴射する第２の噴射ノズル２５とを備えて成る。

図１に示されるように、支持部１０は、保持治具５０を支持することができればよく、例えば、クランプ等の挟持具、ボルト及びナット等の締結具等を特に制限されることなく、選択される。支持部１０は、図１に示されるように、保持治具５０を略垂直な起立状態（保持孔の軸線を略水平）に支持してもよく、また、保持治具５０を略水平な伏臥状態（保持孔の軸線を略垂直）に支持してもよく、さらに、保持治具５０を斜めに支持してもよい。洗浄装置１において、支持部１０は、保持治具５０を略垂直な起立状態に支持固定する挟持具とされ、図示しない洗浄装置筐体に固定されている。

図１及び図２に示されるように、第１の噴射ノズル２０は、保持孔６８における一方の開口部５２から他方の開口部５４へと洗浄水を保持孔６８内に噴射することができればよく、従来の噴射ノズルを使用することができる。洗浄装置１において、第１の噴射ノズル２０は、噴射口（図示しない。）を有するノズル先端部３１と、ノズル先端部３１を所定の位置に配置する支柱３３と備えて成り、ノズル先端部３１に洗浄水を移送する移送路（図示しない。）が接続されている。第１の噴射ノズル２０は、保持治具５０の洗浄効率を考慮して、八行に配列されたすべての保持孔６８に洗浄水を洗浄することができるように、八行に配列された複数の保持孔６８の配列長さよりも長い噴射口（図示しない）が形成されたノズル先端部３１を１つ備えている。すなわち、第１の噴射ノズル２０は、八行に配列されたすべての保持孔６８に対向する１つの噴射口（図示しない）が１つのノズル先端部３１に設けられている。このように、洗浄装置１が八行に配列されたすべての保持孔６８に一挙に洗浄水を噴射することのできる第１の噴射ノズル２０を備えていると、高い洗浄効率を実現することができる。第２の噴射ノズル２５は、保持孔６８における他方の開口部５４から一方の開口部５２へと洗浄水を保持孔６８内に噴射することができればよく、図１に示されるように、第１の噴射ノズル２０と基本的に同様に構成されている。

第１の噴射ノズル２０及び第２の噴射ノズル２５における噴射口の口径は、保持孔６８の配列長さ、保持孔３８の内径、噴射される洗浄水の噴射圧等に応じて、洗浄水が保持孔６８内を流通することのできる口径に適宜調整される。噴射口の口径は、特に制限されず、後述するように、ノズル先端部３１を弾性部材６１に当接又は圧接して洗浄水を噴射する場合には、保持孔６８の内径よりも大きいのが好ましい。例えば、洗浄される保持治具として、複数の保持孔６８が一行に配列された（列方向の）長さが１４５ｍｍ、行間隔が２．１ｍｍの保持治具５０において、八行に配列されたすべての保持孔６８に洗浄水を一度に噴射することを想定するのであれば、噴射口の口径は１７×１５０（ｍｍ）に調整されることができる。また、第１の噴射ノズル２０及び第２の噴射ノズル２５における洗浄水の加圧力は、保持孔６８の内表面に付着した異物の数等に応じて適宜調整される。例えば、洗浄水の加圧力として、２．０〜３．０ＭＰａの噴射圧（ノズル先端部の噴射口から噴射される洗浄水の噴射圧）に調整される。

第１の噴射ノズル２０及び第２の噴射ノズル２５は、洗浄装置１内のいずれの位置に配置されていてもよいが、特に洗浄水を噴射する直前及び／又は洗浄水を噴射している間には、図２に示されるように、第１の噴射ノズル２０は、その軸線Ｃ_ｎが保持孔６８の軸線Ｃ_ｈと略並行となるように、保持治具５０における一方の表面５１側にノズル先端部３１（噴射口）が配置され、一方、第２の噴射ノズル２５は、その軸線Ｃ_ｎが保持孔６８の軸線Ｃ_ｈと略並行となるように、保持治具５０における他方の表面５３側にノズル先端部３５（噴射口）が配置されるのが好ましい。換言すると、第１の噴射ノズル２０及び第２の噴射ノズル２５は、保持治具５０を介してノズル先端部３１及びノズル先端部３５が相対向するように、好ましくは、保持孔６８の軸線Ｃ_ｈ、ノズル先端部３１の軸線Ｃ_ｎ及びノズル先端部３５の軸線Ｃ_ｎが略並行となるように、配置されるのが好ましい。

この洗浄装置１においては、第１の噴射ノズル２０及び第２の噴射ノズル２５それぞれは、前記配置関係を維持した状態で、洗浄水を噴射する際に保持治具５０の弾性部材６１に当接又は圧接されるように、支持部１０で支持された保持治具５０における保持孔６８の軸線方向に独立に前後進可能に構成されている。第１の噴射ノズル２０及び第２の噴射ノズル２５がこのように構成されていると、第１の噴射ノズル２０及び第２の噴射ノズル２５に形成された噴射口が１つであっても、第１の噴射ノズル２０及び第２の噴射ノズル２５から噴射される洗浄水を保持孔６８内に均一に流通させることができる。このような構成は、例えば、モータ等の駆動部（図示しない。）を適宜採用することができる。

第１の噴射ノズル２０及び第２の噴射ノズル２５それぞれには、洗浄水をノズル先端部３１及び３５に移送する移送路（図示しない。）が、例えば支柱３３及び３７の内部を経由して接続されている。移送路は金属管又は樹脂管等で構成され、ノズル先端部３１又は３５と洗浄水貯留槽又は洗浄液回収経路（共に図示しない。）とに接続されている。洗浄水貯留槽は洗浄液を貯留することができる容器であればよく、洗浄液回収経路は例えば支持部１０の下方に形成された洗浄液回収部又は洗浄液回収部から延在する移送路等であればよい。この移送路には加圧機構及び移送手段（共に図示しない。）が介装されている。加圧機構は、洗浄水を加圧することができればよく、例えば、コンプレッサ、圧縮ポンプ等が挙げられる。移送手段は、洗浄水をノズル先端部３１に強制的に移送することができればよく、例えば、各種ポンプが挙げられる。なお、この移送手段は、介装されていなくてもよい。前記移送路は、洗浄水貯留槽又は洗浄後の洗浄液回収経路に接続されている。

第１の噴射ノズル２０及び第２の噴射ノズル２５それぞれから噴射される洗浄水は、水道水、精製水、蒸留水等であり、研磨剤等の成分は含んでいない。なお、噴射された洗浄水は、移送路又は洗浄液回収経路等に設けられたろ過装置等によって異物を除去した後、再度、第１の噴射ノズル２０又は第２の噴射ノズル２５に移送されてもよい。

洗浄装置１は、第１の噴射ノズル２０及び第２の噴射ノズル２５からの洗浄水の噴射を制御する制御装置（図示しない。）を備えている。この制御装置は、また、第１の噴射ノズル２０及び第２の噴射ノズル２５の前記軸線方向への前後進及び垂直方向への前後進も制御する。このような制御手段は、コンピュータ等の自動制御でもよく、また、操作者による手動制御等でもよい。洗浄装置１は、支持部１０、第１の噴射ノズル２０、第２の噴射ノズル２５、支持部１０に固定された保持治具５０が筐体（図示しない。）に収容されている。

この発明に係る保持治具の洗浄装置の別の一実施例である保持治具の洗浄装置２（以下、単に、洗浄装置２と称することがある。）は、図３に示されるように、第１の噴射ノズル２１におけるノズル先端部３２及び第２の噴射ノズル２６におけるノズル先端部３６が異なる以外は、前記洗浄装置１と基本的に同様に構成されている。すなわち、図３に示されるように、第１の噴射ノズル２１は、八行に配列された保持孔６８の配列間隔及び配列数と同じ配列間隔及び配列数で八行に配列されたノズル先端部３２を備えている以外は前記第１の噴射ノズル２０と基本的に同様に構成され、また、第２の噴射ノズル２６は、八行に配列された保持孔６８の配列間隔及び配列数と同じ配列間隔及び配列数で八行に配列されたノズル先端部３６を備えている以外は前記第２の噴射ノズル２５と基本的に同様に構成されている。そして、ノズル先端部３２及びノズル先端部３６に形成される噴射口（図示しない。）の口径は、特に制限されず、例えば、１．０ｍｍ程度である。このように、ノズル先端部３２及びノズル先端部３６が八行に配列された複数の保持孔６８それぞれに対向するように配列されていると、高い洗浄効率を維持したまま、保持孔６８それぞれに洗浄水をより確実に噴射して洗浄することができる。

この発明に係る保持治具の洗浄装置のまた別の一実施例である保持治具の洗浄装置３（以下、単に、洗浄装置３と称することがある。）は、図４（ａ）に示されるように、第１の噴射ノズル２２におけるノズル先端部３４及び第２の噴射ノズル２７におけるノズル先端部３８が異なる以外は、前記洗浄装置１と基本的に同様に構成されている。すなわち、図４（ａ）に示されるように、第１の噴射ノズル２２は、一行に配列されたノズル先端部３４を備えている以外は前記第１の噴射ノズル２０と基本的に同様に構成され、また、第２の噴射ノズル２６は、一行に配列されたノズル先端部３８を備えている以外は前記第２の噴射ノズル２５と基本的に同様に構成されている。このように、ノズル先端部３４及びノズル先端部３８が一行に配列されていると、保持治具５０の一行に配列された保持孔６８をより確実に洗浄することができる。

この発明に係る保持治具の洗浄装置のさらにまた別の一実施例である保持治具の洗浄装置４（以下、単に、洗浄装置４と称することがある。）は、ノズル先端部３１及びノズル先端部３５を囲繞するカバー３９及びカバー４０を備えている以外は、前記洗浄装置１と基本的に同様に構成されている。すなわち、図４（ｂ）に示されるように、第１の噴射ノズル２３は、ノズル先端部３１を囲繞し、ノズル先端部３１よりも長い円筒状のカバー３９を備えている以外は前記第１の噴射ノズル２０と基本的に同様に構成され、また、第２の噴射ノズル２８は、ノズル先端部３５を囲繞し、ノズル先端部３５よりも長い円筒状のカバー４０を備えている以外は前記第２の噴射ノズル２５と基本的に同様に構成されている。このように、第１の噴射ノズル２３及び第２の噴射ノズル２８がノズル先端部３１及びノズル先端部３５を囲繞するカバー３９及びカバー４０を備えていると、ノズル先端部３１及び３５を保持治具５０の弾性部材６１に当接又は圧接したときに、カバー３９及び４０が弾性部材６１に当接又は圧接し、弾性部材６１とカバー３９及び４０とで形成される空間に洗浄水１５が噴射され、その結果、噴射された洗浄水１５は前記空間内に一旦充満して、均一な噴射圧で保持孔６８内を流通する。したがって、洗浄装置４によれば、保持孔６８の内表面のいかなる位置に異物が付着していても、この異物をより一層容易かつ速やかに除去することができる。

この発明に係る洗浄装置１〜４は、この発明に係る保持治具の洗浄方法を容易に実施することができる。したがって、この発明に係る洗浄装置によれば、保持治具の保持孔に複数の異物が付着していても、これらの異物を高い除去率で容易かつ速やかに除去することができる。

この発明に係る保持治具の洗浄装置は、前記した実施例に限定されることはなく、本願発明の目的を達成することができる範囲において、種々の変更が可能である。例えば、洗浄装置１〜４によれば、各ノズル先端部３１、３２、３４、３５、３６、３８は、上下方向に一行又は八行に配列されているが、この発明において、ノズル先端部は、上下方向に、二行に配列されても三行に配列されてもよく、また、保持治具における保持孔の配列数と同じ配列数に配列されてもよい。さらに、各ノズル先端部３１、３２、３４、３５、３６、３８は、一行に配列されたすべての保持孔６８に一挙に洗浄水を噴射することができるような噴射口、又は、一行に配列された各保持孔６８それぞれに洗浄水を噴射することができるような噴射口を有しているが、この発明において、ノズル先端部に設けられる噴射口の口径は洗浄水を一挙に噴射する保持孔の数等に応じて適宜調整することができる。

また、洗浄装置１〜４は、いずれも、各ノズル先端部３１、３２、３４、３５、３６、３８は、上下方向に一行又は八行に配列されているが、この発明において、ノズル先端部は、縦方向に一列又は二列以上に配列され、一列に配列されるすべての保持孔を洗浄可能に構成されてもよい。

さらに、洗浄装置１〜４は、いずれも、支持部１０が固定され、各噴射ノズル２０〜２２及び２５〜２７がその軸線方向に前後進可能になっているが、この発明においては、各噴射ノズルが固定され、支持部が噴射ノズルの軸線方向に前後進可能になっていてもよく、また、各噴射ノズル及び支持部それぞれが前記軸線方向に前後進可能になっていてもよい。

また、洗浄装置１〜４は、各噴射ノズル２０〜２３及び２５〜２８が弾性部材６１に当接又は圧接した状態で洗浄水１５を噴射するが、この発明において、噴射ノズルは、噴射した洗浄水が保持孔内を流通することのできる間隔をあけた状態で洗浄水を噴射してもよい。前記間隔は、噴射ノズルに設けられた噴射口の口径、噴射角等に応じて適宜調整され、例えば、１．０〜５．０ｍｍに調整される。

さらに、洗浄装置１〜４は、各噴射ノズル２０〜２３及び２５〜２８がその軸線方向に前後進可能になっているが、この発明において、噴射ノズルは、前記軸線方向に前後進可能であると共に、上下方向（垂直方向）に前後進可能になっていてもよい。

また、洗浄装置１〜４は、第１の噴射ノズル２０〜２３及び第２の噴射ノズル２５〜２７を備えているが、この発明においては、第１の噴射ノズルと第２の噴射ノズルとを備えている必要はなく、噴射ノズルに対向する面を保持治具における一方の表面と他方の表面とに適宜に設定することのできる回転可能な支持部と、第１の噴射ノズルとを備えていてもよい。

この発明に係る保持治具の洗浄方法は、保持孔における一方の開口部から他方の開口部へと洗浄水を保持孔内に噴射する第１の工程と、保持孔における他方の開口部から一方の開口部へと洗浄水を保持孔内に噴射する第２の工程とを実施することを特徴の１つとする。この特徴を有する、この発明に係る保持治具の洗浄方法の一実施例（以下、この発明に係る洗浄方法と称する。）を、洗浄装置１を用いて、説明する。

この発明に係る洗浄方法を実施するには、図５（ａ）に示されるように、第１の噴射ノズル２０及び第２の噴射ノズル２５の間の下方に設置された支持部１０に洗浄すべき保持治具５０を支持固定する。洗浄装置１においては、図５（ａ）及び図５（ｂ）に示されるように、保持治具５０における保持孔６８の軸線Ｃ_ｈが略水平となるように、保持治具５０を略垂直な起立状態に支持固定する。この保持治具５０は、保持孔６８の内表面に異物６９例えば研磨カスが付着している。異物６９は、保持孔６８の内表面に付着することのできるサイズであれば特に限定されず、例えば、０．００５〜０．３ｍｍ程度のサイズを有している。特に、保持孔６８が小径化されている場合に付着する異物６９のサイズは、０．００５〜０．０５ｍｍ程度である。

次いで、第１の噴射ノズル２０及び第２の噴射ノズル２５それぞれは、垂直方向（図５において上下方向）に移動され、図５（ｂ）に示されるように、ノズル先端部３１の軸線Ｃ_ｎ及びノズル先端部３５の軸線Ｃ_ｎが保持孔６８の軸線Ｃ_ｈと略並行となり、洗浄予定の保持孔６８に洗浄水が噴射される位置に配置される。

次いで、図６に示されるように、第１の噴射ノズル２０が保持孔６８の軸線方向であって保持治具５０に近接する方向に前進され、ノズル先端部３１が保持治具５０の弾性部材６１に当接又は圧接される。この状態を維持したまま、第１の工程が実施され、保持孔６８における一方の開口部５２から他方の開口部５４へと第１の噴射ノズル２０から洗浄水１５が前記噴射圧で噴射される。そうすると、図６に示されるように、洗浄水１５は異物６９をその噴射圧で第２の噴射ノズル２５に向かって押し流しながら保持孔６８を流通し、第２の噴射ノズル２５に向かって保持孔６８から放出される。洗浄水１５を噴射する時間は異物６９を押し流すことができる時間であればよく、噴射圧等に応じて適宜調整される。例えば、第１の噴射ノズル２０からの洗浄水１５の噴射時間は、１回の噴射につき０．５秒以上であるのがよく、その上限は特に制限されないが、洗浄効率を考慮すれば、例えば、１０秒程度である。このようにして、噴射された洗浄水１５の噴射圧で保持孔６８の内表面に付着した異物６９を押し流すことができ、理想的には除去することができる。

この発明に係る洗浄方法においては、次いで、図７に示されるように、第１の噴射ノズル２０が保持孔６８の軸線方向であって保持治具５０から離れる方向に後進し、初期位置に復帰すると共に、第２の噴射ノズル２５が保持孔６８の軸線方向であって保持治具５０に近接する方向に前進し、ノズル先端部３５が保持治具５０の弾性部材６１に当接又は圧接される。この状態を維持したまま、第２の工程が実施され、保持孔６８における他方の開口部５４から一方の開口部５２へと第２の噴射ノズル２５から洗浄水１５が前記噴射圧で噴射される。そうすると、図７に示されるように、洗浄水１５は保持孔６８内に残存する異物６９を今度はその噴射圧で第１の噴射ノズル２０に向かって逆方向に押し流しながら保持孔６８を流通し、第１の噴射ノズル２０に向かって保持孔６８から放出される。洗浄水１５を噴射する時間は前記第１の噴射ノズル２０と同じ時間に調整されるのがよい。このようにして、噴射された洗浄水１５の噴射圧で保持孔６８の内表面に付着した異物６９を逆方向に押し流すことができ、場合によっては除去することができる。

この発明に係る洗浄方法においては、所望により、第２の噴射ノズル２５が初期位置に復帰すると共に、第１の噴射ノズル２０が保持治具５０に近接する方向に前進し、ノズル先端部３１が保持治具５０の弾性部材６１に当接又は圧接する（図６参照。）。この状態を維持したまま、前記と同様にして、第１の工程が実施される。

この発明に係る洗浄方法においては、所望により、第１の噴射ノズル２０が初期位置に復帰すると共に、第２の噴射ノズル２５が保持治具５０に近接する方向に前進し、ノズル先端部３５が保持治具５０の弾性部材６１に当接又は圧接する（図７参照。）。この状態を維持したまま、第２の工程が実施される。

この発明に係る洗浄方法においては、このように、第１の工程と第２の工程とが交互に繰り返し実施され、第１の噴射ノズル２０と第２の噴射ノズル２５とから、交互に、かつ、逆方向に、保持孔６８に向けて、繰り返し、洗浄水１５を噴射する。第１の工程及び第２の工程を実施する回数は、異物６９の付着力、保持孔６８の直径等に応じて適宜設定することができ、例えば、１回の第１の工程と１回の第２の工程とを１サイクルとして２〜５０サイクルの範囲から選択される。もちろん、保持孔６８が小径化されている場合、異物６９が強固に保持孔６８の内表面に付着している場合、多数の異物６９が保持孔６８の内表面に付着している場合等においては、洗浄水１５の噴射回数は前記サイクル数よりも多く設定することができる。

この発明に係る洗浄方法においては、このように、第１の工程と第２の工程とが交互に繰り返し実施され、互いに逆方向に、所望により繰り返して、噴射された洗浄水１５を保持孔６８に流通させること、換言すると、洗浄水１５を互いに逆方向に間欠的に、所望により繰り返して、噴射することによって、保持孔６８の内表面に付着した異物６９を逆方向に交互に押し流して、異物６９と前記内表面との付着力を徐々に弱めていき、保持孔６８を流通する洗浄水１５の噴射圧で除去することができる。

この発明に係る洗浄方法においては、次いで、前記のようにして洗浄が終了した保持孔６８の行と異なる行に配列されている保持孔６８の軸線Ｃ_ｈとノズル先端部３１の軸線Ｃ_ｎ及びノズル先端部３５の軸線Ｃ_ｎが略並行となり、洗浄予定の保持孔６８に洗浄水が噴射される位置に、第１の噴射ノズル２０及び第２の噴射ノズル２５それぞれを、垂直方向（図５において上下方向）に移動し、配置する。そして、前記のようにして、八行に配列されたすべての保持孔６８を洗浄する。

この発明に係る洗浄方法においては、異なる行に配列された保持孔６８を順次洗浄し、すべての行に配列された保持孔６８の洗浄を行う。このようにして、保持治具５０における弾性部材６１に形成されたすべての保持孔６８を洗浄することができる。

この発明に係る洗浄方法においては、所望により、洗浄水１５で保持孔６８を洗浄した後に、保持治具５０を乾燥することができる。保持治具５０の乾燥方法は、加熱乾燥法、送風乾燥法、自然乾燥法等の公知の乾燥方法を特に制限されることなく選択することができる。

この発明に係る洗浄方法によれば、第１の工程と第２の工程とを所望により繰り返して実施することによって、すなわち、噴射された洗浄水１５を、互いに逆方向に所望により繰り返して保持孔６８に流通させることによって、保持孔６８を流通する洗浄水１５の噴射圧で保持孔６８内の異物６９を除去することができる。また、この発明に係る洗浄方法によれば、第１の噴射ノズル２０と第２の噴射ノズル２５とから噴射される洗浄水１５は水であり、研磨材等の成分を含んでいないから、洗浄後の保持治具５０特に保持孔６８には洗浄水に由来する付着物（例えば研磨剤及びその乾燥物等）が存在することはない。それ故、被保持物の製造においてこれらの付着物による悪影響をなくすことができる。

すなわち、この発明に係る洗浄方法によれば、保持孔６８の内表面に強大な付着力で付着した異物６９であっても、また、保持治具５０に形成された保持孔６８がたとえ小径化されていても、その内表面に付着した異物６９を高い除去率で比較的短時間で容易かつ速やかに除去することができると共に、洗浄水１５に由来する付着物が洗浄後の保持孔６８内に存在することはない。

また、この発明に係る洗浄方法に用いる洗浄水１５は前記したように水であるから、洗浄水１５を廃棄する際に特別な処理等をする必要はない。なお、洗浄水１５が保持孔６８から除去した異物６９を多量に含んでいても、固液分離するだけで多量の異物６９を容易に洗浄水１５から除去することができる。したがって、この発明に係る洗浄方法によれば、洗浄水を容易かつ低コストで廃棄処分することができる。

さらに、この発明に係る洗浄方法は、八行に配列された保持孔６８に一挙に洗浄水を噴射することのできる洗浄装置１を用いているから、保持治具５０の多数の保持孔６８を短時間で洗浄することができる。

なお、この発明に係る洗浄方法によれば、洗浄装置１に代えて洗浄装置２〜４を用いても、同様の効果が得られる。

この発明に係る保持治具の洗浄方法は、前記した実施例に限定されることはなく、本願発明の目的を達成することができる範囲において、種々の変更が可能である。例えば、前記洗浄方法では、第１の工程と第２の工程とを交互に実施しているが、この発明においては、第１の工程と第２の工程とをそれぞれ少なくとも１回ずつ実施すればよく、第１の工程を連続して繰り返し実施することもできるし、第２の工程を連続して繰り返し実施することもできる。例えば、第１の工程を２回以上繰り返して実施した後に、第２の工程を少なくとも１回実施してもよく、実施される第１の工程及び第２の工程の順序及び回数は任意に設定することができる。

また、前記洗浄方法では、八行に配列された保持孔６８について、第１の工程及び第２の工程を実施しているが、この発明においては、保持治具に形成されたすべての保持孔について第１の工程を実施した後に、保持治具に形成されたすべての保持孔について第２の工程を実施してもよい。さらに、この発明においては、特定の行に配列された保持孔について第１の工程を実施し、これと同時に、他の行に配列された保持孔について第２の工程を実施してもよい。

さらに、前記洗浄方法では、保持孔６８は八行毎に洗浄されているが、この発明において、一度に洗浄される保持孔の行は一行であっても複数行であってもよい。一度に洗浄される保持孔の行は、保持治具が有する保持孔の数、洗浄装置の大型化、洗浄水の噴射圧等に応じて適宜に調整される。また、この発明において、一度に洗浄される保持孔は、一列に配列された複数の保持孔であってもよく、一度に洗浄される保持孔の列は一列又は複数列であってもよい。

また、前記洗浄方法では、第１の噴射ノズル２０及び第２の噴射ノズル２５をそれらの軸線方向に前後進させているが、この発明においては、支持部を噴射ノズルの軸線方向に前後進させてもよく、また、噴射ノズル及び支持部それぞれを前記軸線方向に前後進させてもよい。

さらに、前記洗浄方法では、第１の噴射ノズル２０及び第２の噴射ノズル２５を弾性部材６１に当接又は圧接させた状態で洗浄水１５を噴射しているが、この発明において、第１の噴射ノズル及び第２の噴射ノズルは、噴射した洗浄水が保持孔内を流通することのできる間隔をあけた状態で洗浄水を噴射してもよい。前記間隔は前記した通りである。

前記洗浄方法では、保持孔６８の洗浄と保持治具５０の乾燥を実施しているが、この発明においては、前記洗浄及び前記乾燥に加えて、他の操作、例えば、弾性部材の表面に付着した付着物の除去処理等の前処理を実施してもよい。

（保持治具Ｉの製造）
厚さ９ｍｍのアルミ合金（Ａ７０７５）を、縦１８０ｍｍ、横２８０ｍｍの長方形を成す板に切り出した。切り出された板の周辺部を幅約１０ｍｍの鍔部６６とし、鍔部６６で囲繞される領域を、厚さが６ｍｍとなるように、切削して、縦約１６０ｍｍ、横約２６０ｍｍの平担部１１１を形成した。また、この平担部１１１に、直径１．６ｍｍの円形を成す貫通孔６７を縦７５列及び横１２４行のパターンで穿孔した。このようにして、補強部材６０を作製した。

次いで、保持孔６８に対応する成形ピンを備えた金型を準備し、この金型に作製した補強部材６０を収納した。金型と補強部材６０とで形成された間隙に、金型に設けられた注入口からシリコーンゴム（信越化学工業株式会社製、商品名「ＫＥ−１９５０−５０」）を注入して、１２０℃で、１０分間加熱し、補強部材６０とシリコーンゴムとを一体成形した。このようにして、縦７５列及び横１２４行に配列された、直径０．８ｍｍの円形を成す保持孔６８を有する弾性部材６１を成形した（保持孔６８は縦約１６０ｍｍ、横約２６０ｍｍの領域に等間隔で形成されている。）。次いで、この弾性部材６１を研磨して、保持治具Ｉを製造した。この保持治具Ｉにおける保持孔６８は、その内表面に保持孔１個あたり平均３０個の研磨カスが付着していた。

（保持治具ＩＩの製造）
直径０．４５ｍｍの円形を成す保持孔６８を形成した以外は、前記保持治具Ｉと同様にして、保持治具ＩＩを製造した。この保持治具ＩＩにおける保持孔６８は、その内表面に保持孔１個あたり平均３０個の研磨カスが付着していた。

（実施例１）
図１に示される洗浄装置１を準備した。第１の噴射ノズル２０及び第２の噴射ノズル２５として、ノズル先端部３１（噴射口の口径１７×１５０（ｍｍ）、噴射口の噴射角９０°）を有する噴射ノズルをそれぞれ準備した。また、第１の噴射ノズル２０及び第２の噴射ノズル２５に供給される洗浄水１５を加圧する加圧機構として、圧縮ポンプ（商品名「立形多段うず巻きポンプＣＲＮ」、グランドフォス株式会社製、最大圧縮圧４．５ＭＰａ）を採用した。図示しない洗浄水貯留槽と第１の噴射ノズル２０及び第２の噴射ノズル２５それぞれとを接続し、洗浄水１５を移送する移送路が設けられている。第１の噴射ノズル２０、第２の噴射ノズル２５、移送路、洗浄水貯留槽、支持部１０を筐体内の所定の位置に固定して、図１に示される洗浄装置１を製造した。

次いで、図５に示されるように、前記支持部１０に前記保持治具Ｉを挟持して、保持治具Ｉの縦方向（短辺方向）が水平となるように、保持治具Ｉを垂直な起立状態に支持し、ノズル先端部３１の軸線Ｃ_ｎと、ノズル先端部３５の軸線Ｃ_ｎと、保持治具Ｉにおける横方向（長辺方向）の最上行（１行目）〜８行に配列された保持孔６８の軸線Ｃ_ｈとが並行となり、前記最上行（１行目）〜８行に配列されたすべての保持孔６８に洗浄水が噴射される位置に、第１の噴射ノズル２０及び第２の噴射ノズル２５を配置した。

次いで、図６に示されるように、第１の噴射ノズル２０のノズル先端部３１を弾性部材６１に圧接（圧接圧力約０．４ＭＰａ）し、第１の噴射ノズル２０から洗浄水１５を噴射圧２．５ＭＰａで１秒間にわたって噴射した。この後、図７に示されるように、第１の噴射ノズル２０を初期位置に復帰させ、第２の噴射ノズル２５のノズル先端部３５を弾性部材６１に圧接（圧接圧力約０．４ＭＰａ）し、第２の噴射ノズル２５から洗浄水１５を噴射圧２．５ＭＰａで１秒間にわたって噴射した。このような、第１の噴射ノズル２０及び第２の噴射ノズル２５からの洗浄水１５の交互噴射サイクルを３０サイクル繰り返して実施した。

次いで、洗浄した最下行（８行目）の直下行（保持治具Ｉにおける横方向９行目）〜１６行に配列された保持孔６８を、同様にして、洗浄し、引き続き同様して、洗浄した最下行の直下行から８行目までに配列された保持孔６８を順次洗浄した。このようにして、最下行（保持治具Ｉにおける横方向１２４行目）に配列された保持孔６８まで洗浄した。この後、エアーガンを用いて、２３℃の空気を０．５ＭＰａで３分にわたって、保持治具Ｉに送風し、保持治具Ｉを乾燥した。実施例１において、保持治具Ｉの洗浄及び乾燥工程に合計２２分を要した。

（実施例２）
保持治具Ｉに代えて保持治具ＩＩを用いた以外は、実施例１と同様にして、保持治具ＩＩを洗浄した。実施例２において、保持治具ＩＩの洗浄及び乾燥工程に合計２２分を要した。

（比較例１）
特許文献１に記載の保持プレートの保持孔洗浄方法に従って前記保持治具Ｉを洗浄した。研磨剤として、ジルコニアビーズ（商品名「ジルコンビーズ ＦＺＡ１２０」、不二製作所株式会社製、粒径（ふるい分け法）６３〜１２５μｍ）を用い、このジルコニアビーズの５質量％濃度の混合水を、圧力０．３ＭＰａで２０分にわたってすべての保持孔６８に通過させた。この後に、すべての保持孔６８に水を６分間にわたって通過させ、次いで、エアーガンを用いて、２３℃の空気を０．５ＭＰａで３分にわたって、保持治具Ｉに送風した。最後に、倍率１０倍のルーペで、各保持孔内部を確認し、保持孔内部に付着している異物をブラシで取り除いた（仕上げ工程）。この作業に２０分を要し、保持治具Ｉの洗浄、乾燥工程及び仕上げ工程に合計４９分を要した。

（比較例２）
保持治具Ｉに代えて保持治具ＩＩを用いた以外は、比較例１と同様にして、保持治具ＩＩを洗浄した。比較例２において、保持治具ＩＩの洗浄、乾燥工程及び仕上げ工程に合計４９分を要した。

実施例１及び２並びに比較例１及び２で洗浄した各保持治具Ｉ及び各保持治具ＩＩにおける保持孔６８を顕微鏡で観察し、各保持孔６８の内表面における研磨カスの有無、及び、各保持孔６８の内表面に残存する研磨カス等の数を数えた。評価対象の保持孔は、保持治具Ｉ及び保持治具ＩＩにおける横１行目の全保持孔、横６０行目の全保持孔、横１２４行目の全保持孔とした。評価は、保持孔の内表面に研磨カスが残存していない場合を「洗浄レベル０」、保持孔の内表面に１個又は２個の研磨カスが残存していた場合を「洗浄レベルＡ」、保持孔の内表面に３個又は４個の研磨カスが残存していた場合を「洗浄レベルＢ」、保持孔の内表面に５個以上の研磨カスが残存していた場合を「洗浄レベルＣ」とし、評価対象とした保持孔全数に対する前記評価レベルとしてカウントされた保持孔数の割合（％）を算出した。その結果を下記表に示す。

図１は、この発明に係る保持治具の洗浄装置の一実施例である保持治具の洗浄装置を示す概略図であり、図１（ａ）はこの発明に係る保持治具の洗浄装置の一実施例である保持治具の洗浄装置の正面を示す概略正面図であり、（ｂ）はこの発明に係る保持治具の洗浄装置の一実施例である保持治具の洗浄装置の上面を示す概略上面図である。 図２は、第１の噴射ノズル及び第２の噴射ノズルが、洗浄水を噴射する直前及び／又は洗浄水を噴射している間に配置される位置を説明する説明図である。 図３は、この発明に係る保持治具の洗浄装置の別の一実施例である保持治具の洗浄装置の上面を示す概略上面図である。 図４は、この発明に係る保持治具の洗浄装置の変形例を示す概略正面図であり、図４（ａ）はこの発明に係る保持治具の洗浄装置のまた別の一実施例である保持治具の洗浄装置の正面を示す概略正面図であり、図４（ｂ）はこの発明に係る保持治具の洗浄装置のさらにまた別の一実施例である保持治具の洗浄装置の正面を示す概略正面図である。 図５は、この発明に係る保持治具の洗浄装置を用いて保持治具を洗浄する準備が終了した状態を説明する説明図であり、図５（ａ）はこの発明に係る保持治具の洗浄装置に保持治具を支持固定し、第１の噴射ノズル及び第２の噴射ノズルを配置した状態を示す説明図であり、図５（ｂ）は第１の噴射ノズル及び第２の噴射ノズルが洗浄水を噴射する直前及び洗浄水を噴射する間に配置される位置を説明する説明図である。 図６は、第１の噴射ノズルから保持孔に洗浄水を噴射した状態を説明する説明図であり、図６（ａ）は第１の噴射ノズルから保持孔に洗浄水を噴射した状態を示す洗浄装置の概略正面図であり、図６（ｂ）は第１の噴射ノズルから保持孔に洗浄水を噴射した状態を示す洗浄装置の概略上面図である。 図７は、第２の噴射ノズルから保持孔に洗浄水を噴射した状態を説明する説明図であり、図７（ａ）は第２の噴射ノズルから保持孔に洗浄水を噴射した状態を示す洗浄装置の概略正面図であり、図７（ｂ）は第２の噴射ノズルから保持孔に洗浄水を噴射した状態を示す洗浄装置の概略上面図である。 この発明に係る保持治具の洗浄装置及びこの発明に係る保持治具の洗浄方法によって洗浄される保持治具を示す概略斜視図である。 図９は、図８のＡ−Ａ線で切断した保持治具における断面の一部を示す概略断面図である。

符号の説明

１、２、３、４ 洗浄装置
１０ 支持部
１５ 洗浄水
２０、２１、２２、２３ 第１の噴射ノズル
２５、２６、２７、２８ 第２の噴射ノズル
３１、３２、３４、３５、３６、３８ ノズル先端部
３３、３７ 支柱
３９、４０ カバー
５０ 保持治具
５１ 一方の表面
５２ 一方の開口部
５３ 他方の表面
５４ 他方の開口部
６０ 補強部材
６１ 弾性部材
６５ 平坦部
６６ 鍔部
６７ 貫通孔
６８ 保持孔
６９ 異物

Claims (2)

1. 複数の保持孔を有する弾性部材を備えて成る保持治具の洗浄方法であって、
   前記保持孔における一方の開口部から他方の開口部へと洗浄水を前記保持孔内に噴射する第１の工程と、
   前記保持孔における他方の開口部から一方の開口部へと洗浄水を前記保持孔内に噴射する第２の工程とを有することを特徴とする保持治具の洗浄方法。
2. 請求項１に記載の保持治具を支持する支持部と、
   前記保持孔における一方の開口部から他方の開口部へと洗浄水を前記保持孔内に噴射する第１の噴射ノズルと、
   前記保持孔における他方の開口部から一方の開口部へと洗浄水を前記保持孔内に噴射する第２の噴射ノズルとを備えて成ることを特徴とする保持治具の洗浄装置。

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