JP2009134710A - 薄型化icインレット及びこれを用いたicカードとその製造方法 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】IC回路及び接続端子が形成されたシリコンウェハを研削し、研削されたシリコンウェハの裏面に接着剤を用いて、シリコンウェハより厚い補強板を貼り合わせ、補強板を貼り合わせたシリコンウェハをダイシングして薄型化ICチップを製造し、さらに薄型化ICチップに樹脂組成物を介してアンテナシートを貼り合わせる。
【選択図】図1
Description
厚さ20μmの金バンプが形成されているSiウエハを研磨し、厚さ75μmに加工し、この片面に厚さ45μmのDAF材を介して厚み145μmの補強板(SUS)を貼り合わせ、これをダイシング装置によりチップ単位に個片化した。これを、異方性導電性樹脂フィルム(ACF)を介在させ、厚さ78μm(アンテナ含む)のアンテナシートに実装し、薄型化ICインレットを得た。この薄型化ICインレットの総厚は363μmとなった。
厚さ20μmの金バンプが形成されているSiウエハを研磨し、厚さ75μmに加工し、この片面に厚さ45μmのDAF材を介して厚み145μmの補強板(SUS)を貼り合わせ、これをダイシング装置によりチップ単位に個片化した。このICチップを超音波法で厚さ78μm(アンテナ含む)のアンテナシートに実装し、液状樹脂(アンダーフィル)でICチップとアンテナシートとの隙間を充填し、薄型化ICインレットを得た。この薄型化ICインレットの総厚は363μmとなった。
厚さ20μmの金バンプが形成されているSiウエハを研磨し、厚さ70μmに加工し、この片面に厚さ25μmのDAF材を介して厚み120μmの補強板(SUS)を貼りあわせ、これをダイシング装置によりチップ単位に個片化した。このICチップを超音波方で厚さ78μm(アンテナ含む)のアンテナシートに実装し、液状樹脂(アンダーフィル)でICチップとアンテナシートとの隙間を充填し、薄型化ICインレットを得た。この薄型化ICインレットの総厚は313μmとなった。
厚さ20μmの金バンプが形成されているSiウエハを研磨し、厚さ80μmに加工し、この片面に厚さ35μmのDAF材を介して厚み50μmの補強板(SUS)を貼り合わせ、これをダイシング装置によりチップ単位に個片化した。これを、異方性導電性樹脂フィルム(ACF)を介在させ、厚さ78μm(アンテナ含む)のアンテナシートに実装した後、アンテナシートのICチップ実装部の裏側に、厚さ10μmのDAF材を介して厚さ125μmの補強板を設け、薄型化ICインレットを得た。この薄型化ICインレットの総厚は398μmとなった。
厚さ20μmの金バンプが形成されているSiウエハを研磨し、厚さ80μmに加工し、この片面に厚さ35μmのDAF材を介して厚み50μmの補強板(SUS)を貼り合わせ、これをダイシング装置によりチップ単位に個片化した。このICチップを超音波法により厚さ78μm(アンテナ含む)のアンテナシートに実装し、液状樹脂(アンダーフィル)でICチップとアンテナシートとの隙間を充填した後、アンテナシートのICチップ実装部の裏側に、厚さ10μmのDAF材を介して厚さ110μmの補強板を設け、薄型化ICインレットを得た。この薄型化ICインレットの総厚は383μmとなった。
厚さ20μmの金バンプが形成されているSiウエハを研磨し、厚さ60μmに加工し、この片面に厚さ25μmのDAF材を介して厚み50μmの補強板(SUS)を貼り合わせ、これをダイシング装置によりチップ単位に個片化した。このICチップを超音波法により厚さ78μm(アンテナ含む)のアンテナシートに実装し、液状樹脂(アンダーフィル)でICチップとアンテナシートとの隙間を充填した後、アンテナシートのICチップ実装部の裏側に、厚さ5μmのDAF材を介して厚さ100μmの補強板を設け、薄型化ICインレットを得た。この薄型化ICインレットの総厚は338μmとなった。
厚さ175μmに加工したSiウエハに厚さ20μの金バンプを形成し、これを異方性導電性樹脂フィルム(ACF)を介在させ、厚さ78μm(アンテナ含む)のアンテナシートに実装した後、アンテナシートのICチップ実装部の両面を樹脂封止し、これに各々30μmの補強板及び裏面補強板を貼りあわせて、ICインレットを得た。このICインレットの総厚は468μmとなった。
2、2´・・・シリコンウエハ
3・・・接着剤
4、4´・・・補強板(SUS)
5・・・ダイシングブレード
6・・・ダイシングテープ
7、7´・・・薄型化ICインレット
8、8´・・・接続端子(バンプ)
9、9´・・・樹脂シート
10・・・アンテナ
11・・・アンテナシート
12・・・絶縁性樹脂フィルム(NCF)又は異方性導電性樹脂フィルム(ACF)
13・・・裏面補強板
14・・・液状樹脂(アンダーフィル)
15・・・ICカード
16(1)・・・第1の外装シート基材
16(2)・・・第2の外装シート基材
17・・・シート状接着剤
18´・・・封止樹脂
Claims (10)
- IC回路及び接続端子が形成されたシリコンウエハと該シリコンウエハの片面に接着剤を介して貼り合わせた補強板とを有する薄型化ICチップが、樹脂組成物を介してアンテナシートに貼り合わされ、
該補強板は該シリコンウエハより厚いことを特徴とする薄型化ICインレット。 - IC回路及び接続端子が形成されたシリコンウエハと該シリコンウエハの片面に接着剤を介して貼り合わせた補強板とを有する薄型化ICチップが、樹脂組成物を介してアンテナシートに貼り合わされ、
該アンテナシートの該薄型化ICチップが貼り合わされた反対側に、更に接着剤を介して裏面補強板が貼り合わされてなり、
該補強板及び該裏面補強板の少なくとも一方は、該シリコンウエハより厚いことを特徴とする薄型化ICインレット。 - 前記樹脂組成物が絶縁性樹脂フィルム(NCF)又は異方性導電性樹脂フィルム(ACF)であることを特徴とする請求項1又は2に記載の薄型化ICインレット。
- 前記樹脂組成物がアンダーフィルを介してアンテナシートであることを特徴とする請求項1又は2に記載の薄型化ICインレット。
- 請求項1乃至4のいずれか1項に記載の薄型化ICインレットの両面に、シート状接着剤を介して第1の外装シート基材と第2の外装シート基材を積層してなる非接触ICカード。
- IC回路及び接続端子が形成されたシリコンウエハを研削し、
研削されたシリコンウエハの裏面に接着剤を用いて補強板を貼り合わせ、
補強板を貼り合わせたシリコンウエハをダイシングして薄型化ICチップを製造し、
該薄型化ICチップを、樹脂組成物を介してアンテナシートに実装することを特徴とする薄型化ICインレットの製造方法。 - 前記薄型化ICチップの前記アンテナシートへの実装が、絶縁性樹脂フィルム(NCF)又は異方性導電性樹脂フィルム(ACF)を介して貼りあわせることにより行われることを特徴とする請求項6に記載の薄型化ICインレットの製造方法。
- 前記薄型化ICチップの前記アンテナシートへの実装が、超音波法により行われ、更に液状樹脂(アンダーフィル)を薄型化ICチップとアンテナシートの隙間に充填させることを特徴とする請求項6に記載の薄型化ICインレットの製造方法。
- 前記アンテナシートの前記薄型化ICチップを実装した反対側に、
接着剤を介して裏面補強板をさらに貼り合わせることを特徴とする請求項6乃至8のいずれか1項に記載の薄型化ICインレットの製造方法。 - 請求項6乃至9のいずれか1項で製造した薄型化ICインレットの両面に、シート状接着剤を介して第1の外装シート基材と第2の外装シート基材とを積層することを特徴とする非接触ICカードの製造方法。
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JP2008282913A JP2009134710A (ja) | 2007-11-05 | 2008-11-04 | 薄型化icインレット及びこれを用いたicカードとその製造方法 |
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JP2007287130 | 2007-11-05 | ||
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JP2008282913A Pending JP2009134710A (ja) | 2007-11-05 | 2008-11-04 | 薄型化icインレット及びこれを用いたicカードとその製造方法 |
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Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
WO2024018921A1 (ja) * | 2022-07-21 | 2024-01-25 | 東京応化工業株式会社 | 基板貼り付け装置、基板処理システム、及び基板貼り付け方法 |
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-
2008
- 2008-11-04 JP JP2008282913A patent/JP2009134710A/ja active Pending
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