JP2009132956A - めっき装置における給電方法及びその給電装置 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】めっき装置の処理槽に沿って配置された給電レール20と、被処理物を取り付け該被処理物を処理槽に没入・引上げ及び搬送する搬送ハンガー12と、給電レール20から被処理物に給電するための給電部材18と、搬送ハンガー12に被処理物が取り付けられている場合には給電部材18を給電位置へ切り替えて被処理物に給電し、被処理物が取り付けられていない場合には給電部材18を非給電位置へ切り替えて被処理物に給電しないようにするスイッチ機構30と備えた。
【選択図】図2
Description
めっき槽内には、銅めっきの場合、例えば、チタン製の籠に銅ボールを入れたものを配置し、槽内にはめっき液を満たしておく。そして、銅ボールには数v程度の陽極電圧を印加し、搬送ハンガーに吊り下げた被処理物には陰極電圧を印加して、陽極側の銅ボールから溶け出した銅イオンが陰極側の被処理物からの電子を受け取って金属の銅となって被処理物に付着することにより銅めっきが行われる。
また、最近では、銅ボールを入れたチタン籠に代えて不溶性陽極板を用い、不溶性陽極板に陽極電圧を印加するとともに、めっき槽内のめっき液として予め銅が溶解しためっき液を注入するようにしている。
このため、めっき槽への被処理物を没入する状態で陰極電圧が印加されると、被処理物が吊り下げられていない搬送ハンガーについても電圧が印加されることになる。
その結果、電流集中した部分にBURNING(焼けめっき)が発生し、数十μ〜数百μの金属粉が付着することになる。
現在のめっき装置においてはめっき槽内への固形物などの持ち込みを防止するため槽周辺から塵や油などの落下を防ぐ工夫をしており、また液循環系のフィルターメッシュを微細にし、循環回数を多くして槽内の固形物等の蓄積を防止を図っている。
しかし、上記の特許文献1,2に記載されているように被処理物の吊り下げの有無にかかわらず被処理物のクランプまたは治具に必ず給電するようにしたものでは、フィルターメッシュをいかに微細にし槽上の環境を良くしても、金属粉の浮遊及び沈殿が続き、金属粉を問題ない程度まで除去することが困難である。
図1は、本発明に係るめっき装置における給電装置の第1の実施の形態とめっき槽の断面図を示している。
図に示すように、このめっき装置1は、めっき槽2を有しており、該めっき槽(処理槽)2の左右壁面に沿ってそれぞれに陽極電圧が印加される不溶性陽極板3が配置されていて、めっき槽2の内部には金属銅が溶解しためっき液4が注入されている。
また、給電装置10は、導電部材で形成された搬送ハンガー12を有しており、該搬送ハンガー12の先端部には被処理物(プリント配線板等)14を吊り下げるクランプ16が取り付けられている。また、搬送ハンガー12には給電部材18が装着されていて、該給電部材18の給電スライダー18aはコイルバネ18bにより下方に付勢されている。
スイッチ機構30は、図示せぬ固定物に取り付けられた昇降用エアシリンダー32を有しており、該エアシリンダー32から下方に延出した伸縮自在の2本のロッド32aの先端には給電シフト用エアシリンダー34が取り付けられている。また、該給電シフト用エアシリンダー34から水平方向に延出した伸縮自在の2本のロッド34aの先端には、下側が凹部となるコ字状の係止板34bが取り付けられている。該係止板34bの凹部の幅は、搬送ハンガー12の幅より若干の広くなっている。
なお、このとき昇降用エアシリンダー32のロッド32aは収縮してシフト用エアシリンダー34を上部に収納している待機状態にあり、シフト用エアシリンダー34のロッド34aも収縮している状態にある。
なお、上記センサ40としては、フォトカプラー等が便利である。
なお、いずれの場合でも、搬送ハンガー12がめっき槽2へ処理物14を持ち込む前に、上記動作は行われる。
この実施の形態は、第1または2の実施の形態の変形例で、図4に示すように、第1の実施の形態と同様、給電部材18はハンガー12に配置されているガイド棒12bを摺動自在となるように嵌装したもので、給電部材18は被処理物14を保持する治具16と給電線18dで接続されている。
2 めっき槽
3 陽極電極
4 めっき液
10 給電装置
12 搬送ハンガー
18 給電部材
18a 給電スライダー
18b バネ
20 給電レール
30 スイッチ機構
32 昇降用エアシリンダー
34 シフト用エアシリンダー
40 センサー
Claims (4)
- めっき装置の搬送レール上に送り込まれる搬送ハンガーに取り付けられた被処理物に給電する方法であって、被処理物が取り付けられている場合には給電し、被処理物が取り付けられていない場合には給電しないようにしたことを特徴とするめっき装置における給電方法。
- 前記給電するか否かの切替は、搬送ハンガーに被処理物が取り付けられているか否かをセンサーにより行い、該センサーの信号に基づき行われることを特徴とする請求項1記載のめっき装置における給電方法。
- めっき装置の処理槽に沿って配置された給電レールと、被処理物を取り付け該被処理物を前記処理槽に投入・引上げ及び搬送する搬送ハンガーと、前記給電レールから前記被処理物に給電するための給電部材と、前記搬送ハンガーに被処理物が取り付けられている場合には前記給電部材を給電位置へ切り替えて被処理物に給電し、被処理物が取り付けられていない場合には前記給電部材を非給電位置へ切り替えて被処理物に給電しないようにするスイッチ機構とを備えたことを特徴とするめっき装置における給電装置。
- 前記スイッチ機構は、搬送ハンガーに被処理物が取り付けられているか否かを判断するセンサーの信号に基づき切り替え作動することを特徴とする請求項3記載のめっき装置における給電装置。
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