JP2009128248A - 圧力分布測定方法 - Google Patents

Abstract

【課題】真空圧着における微小な圧力又は圧力分布を測定できる圧力測定方法を提供する。
【解決手段】０．１ＭＰａ以下の圧力範囲の測定が可能な圧力測定用材料を用いて、真空圧着における圧力分布を測定することを特徴とする圧力分布測定方法。
【選択図】なし

Description

本発明は、面圧などの圧力分布を測定する圧力測定用材料を用いた圧力分布測定方法に関する。

圧力測定用の材料は、液晶ガラスの貼合せ工程、プリント基板へのハンダ印刷、ローラ間の圧力調整などの用途に使われている。このような圧力測定用の材料には、例えば、富士フイルム（株）から提供されているプレスケール（商品名）に代表される圧力測定フィルムがある。

この圧力測定フィルムの例として、電子供与性無色染料前駆体と電子受容性化合物との発色反応を利用した圧力測定用シートが開示されており（例えば、特許文献１参照）、０．１ＭＰａ〜２０ＭＰａ程度の圧力範囲で測定することができるとされている。圧力測定フィルムは、測定部位に合わせてフィルムを任意の大きさに裁断して使用できる特徴を有するほか、筆圧による高い線圧によって発色反応を起こさせる、いわゆる感圧複写紙とは異なり、面圧を測定することができる特徴を有している。

近年、製品の高機能化、高精細化により、微小な圧力の分布を測定する必要性が増加している。例えば、液晶パネルの貼り合わせでは、大面積化により真空貼り合わせ方式が増加し、大気圧である０．１ＭＰａ以下の領域での圧力分布測定が重要になっている。また、プリント基板へのハンダ印刷では、電子部品の高精細化や基板の多層化により、０．１ＭＰａ以下の微小な圧力を含む圧力領域でのハンドリングが増加しており、０．１ＭＰａ以下の微小な圧力の分布測定に対する要望が高まっている。

微小な圧力を測定するための技術としては、前記圧力測定フィルムと、表面に微細な凹凸を均一に有する定盤と、を組み合わせて用いる技術（例えば、特許文献２参照）や、前記圧力測定フィルムと、片面に多数の凸部を形成したゴム製の弾性マットと、を組み合わせて用いる技術（例えば、特許文献３、４参照）が知られている。
特公昭５７−２４８５２号 特開平６−３３１４６７号公報 特開平９−３２９５１３号公報 特開平１０−６２２７６号公報

しかしながら、特許文献１のような従来から圧力や圧力分布の測定に用いられている材料では、例えば０．０５ＭＰａ付近など、０．１ＭＰａを下回るような微少な圧力領域では発色せず、あるいは充分な発色濃度が得られない。そのため、上記のように、僅かな圧力変化が製品の品質バラツキに影響を与えるような過程では使用できない、あるいは発色してもそれをスキャン等によりデータとして取り込んだ場合に細かい濃度分析や制御ができない等の課題が残されていた。また、特許文献２の表面に微細な凹凸を有する定盤を用いる技術では、例えば、搬送ローラーにおける挟み圧測定のような可撓性（フレキシブル性）や薄さが要求される用途に使用することはできない。また、特許文献３、４の凸部を形成したゴム製の弾性マットを用いる技術では、弾性マット自身が圧力分布を緩和するクッションの役割をしてしまい、特に、液晶パネルの貼り合わせ圧測定やシリコンウエハの研磨工程における抑え圧測定等、薄さが要求され、正確な圧力分布を測定する必要がある用途に用いることはできない。

本発明は、上記に鑑みなされたものであり、真空圧着における微小な圧力又は圧力分布を測定できる圧力分布測定方法を提供することを目的とする。

＜１＞ ０．１ＭＰａ以下の圧力範囲の測定が可能な圧力測定用材料を用いて、真空圧着における圧力分布を測定することを特徴とする圧力分布測定方法。
＜２＞ 前記圧力測定用材料がマイクロカプセルに内包された電子供与性無色染料前駆体と前記電子供与性無色染料前駆体を発色させる電子受容性化合物とを含み、前記マイクロカプセルはδ／Ｄ＝１．０×１０^−３〜２．０×１０^−２〔δ：マクロカプセルの数平均壁厚（μｍ）、Ｄ：マイクロカプセルの体積標準のメジアン径（μｍ）〕の関係を満たすことを特徴とする上記＜１＞に記載の圧力分布測定方法。
＜３＞ 前記圧力測定用材料が、０．０５ＭＰａでの加圧前後における発色濃度差ΔＤが０．０２以上であることを特徴とする上記＜１＞又は＜２＞に記載の圧力分布測定方法。

＜４＞ 前記圧力測定用材料が、前記マイクロカプセルの体積標準のメジアン径がＡμｍであるときに、直径（Ａ＋５）μｍ以上のマイクロカプセルが２ｃｍ×２ｃｍ当たり５０００〜３００００個存在することを特徴とする上記＜２＞又は＜３＞に記載の圧力分布測定方法。
＜５＞ 前記マイクロカプセルの体積標準のメジアン径Ａ（μｍ）が１０〜４０μｍであることを特徴とする上記＜４＞に記載の圧力分布測定方法。

＜６＞ 下記条件（Ａ）又は（Ｂ）を満たす凹凸シートを更に用い、前記凹凸シートの凸部が前記圧力測定用材料に接触するように配置して測定することを特徴とする上記＜１＞〜＜５＞のいずれか１項に記載の圧力分布測定方法。
＜条件：（Ａ）＞
厚さ０．０５ｍｍ以上の基底部上に軟質樹脂からなる円錐状の凸部を有し、総厚０．５ｍｍ以下であり、加圧により形成した発色領域をスキャナーで読み取り、圧力を求める場合に、前記スキャナーの読み取り解像度をＩ、前記スキャナーによる読み取り階調数をＮ、前記凸部の高さをＨ、前記凸部の頂角をθ、前記加圧を前記圧力測定用材料の測定下限の圧力で行った際の前記発色領域の直径をＤ_ｍａｘとしたとき、
ｔａｎ（θ／２）＝Ｉ×（Ｎ＋１）／（２×Ｈ）かつＤ_ｍａｘ≧Ｉ×（Ｎ＋１）の関係を満たす。
＜条件：（Ｂ）＞
硬質樹脂からなる厚さ０．０５ｍｍ以上の基底部上に、該基底部に平行な露出面を有する硬質樹脂からなる凸部を複数有し、総厚０．５ｍｍ以下であり、前記露出面の面積をＳ、前記複数の凸部間の間隔をＬ、圧力測定用材料と共に用いて圧力測定を行う場合の圧力測定下限に対する前記圧力測定用材料の圧力測定下限の比をＲとしたとき、
Ｓ＝（Ｌ×Ｌ）／Ｒの関係を満たす。

本発明によれば、真空圧着における微小な圧力又はその圧力分布を測定できる圧力分布測定方法を提供することができる。

本発明の圧力分布測定方法は、０．１ＭＰａ以下の圧力範囲の測定が可能な圧力測定用材料を用いて、真空圧着における圧力分布を測定することを特徴とする。
本発明の圧力分布測定方法は上記構成とすることにより、真空圧着における微小な圧力又は圧力分布を測定できる。

本発明の圧力測定方法は、前記圧力測定材料を用いて真空圧着における圧力分布を測定する方法であれば特に限定されないが、（１）圧力測定用材料のみを用いた圧力測定方法、及び（２）下記条件（Ａ）又は（Ｂ）を満たすと凹凸シートを更に用い、前記凹凸シートの凸部が前記圧力測定用材料に接触するように配置して測定する圧力分布測定方法が好ましい態様である。
＜条件：（Ａ）＞
厚さ０．０５ｍｍ以上の基底部上に軟質樹脂からなる円錐状の凸部を有し、総厚０．５ｍｍ以下であり、加圧により形成した発色領域をスキャナーで読み取り、圧力を求める場合に、前記スキャナーの読み取り解像度をＩ、前記スキャナーによる読み取り階調数をＮ、前記凸部の高さをＨ、前記凸部の頂角をθ、前記加圧を前記圧力測定用材料の測定下限の圧力で行った際の前記発色領域の直径をＤ_ｍａｘとしたとき、
ｔａｎ（θ／２）＝Ｉ×（Ｎ＋１）／（２×Ｈ）、かつ、Ｄ_ｍａｘ≧Ｉ×（Ｎ＋１）の関係を満たす。
＜条件：（Ｂ）＞
硬質樹脂からなる厚さ０．０５ｍｍ以上の基底部上に、該基底部に平行な露出面を有する硬質樹脂からなる凸部を複数有し、総厚０．５ｍｍ以下であり、前記露出面の面積をＳ、前記複数の凸部間の間隔をＬ、圧力測定用材料と共に用いて圧力測定を行う場合の圧力測定下限に対する前記圧力測定用材料の圧力測定下限の比をＲとしたとき、
Ｓ＝（Ｌ×Ｌ）／Ｒの関係を満たす。

上記の圧力測定方法（１）、（２）の中でも、前記（２）の方法がより微圧の圧力範囲を測定できることから好ましい。上記（２）の方法のうち、圧力測定用材料がＡ条件、Ｂ条件を満たす圧力測定方法をそれぞれ（２Ａ）圧力測定方法、（２Ｂ）圧力測定方法（以下、単に、適宜（２Ａ）の方法、（２Ｂ）の方法ともいう。）という。
以下、（１）、（２Ａ）及び（２Ｂ）のそれぞれの測定方法について詳細に説明する。

＜（１）圧力測定用材料のみを用いた圧力測定方法＞
本発明において、圧力測定用材料のみを用いた測定方法の実施形態の例について説明するが、下記の実施形態に限定されるものではない。
本実施形態における圧力測定材料としては、マイクロカプセルに内包された電子供与性無色染料前駆体と前記電子供与性無色染料前駆体を発色させる電子受容性化合物（顕色剤）を含み、前記マイクロカプセルと前記電子受容性化合物とが単一の基材に設けられたモノシートタイプと、別々の基材に設けられた２シートタイプ（電子供与性無色染料シートと顕色剤シート）が用いられる。前記圧力測定用材料はその保存性や取り扱いの観点から前記２シートタイプが好ましい。前記圧力測定材料については詳細には後述する。

本実施態様の圧力測定方法は、（ａ）〜（ｃ）工程から構成されることが好ましい。
（ａ）工程：真空圧着装置の真空チャンバー内に被測定物と圧力測定用材料とを配置する工程。
（ｂ）工程：前記真空チャンバー内の圧力が所望の圧力になるまで、減圧する工程。
（ｃ）工程：真空チャンバー内の真空を解除して、前記圧力測定用材料を取り出し、圧力測定用材料に形成された発色領域の発色濃度を読み取り、その発色濃度に基づき圧力分布を測定する工程。

本実施態様の圧力測定方法について、以下に図１を用いて具体的に説明するがこれに限定されるものではない。
図１は、本発明の真空圧着における圧力測定方法の一実施形態を示す斜視図である。
本発明における圧力分布は、以下の（ａ）〜（ｃ）工程を行うことによって測定することができる。

＜（ａ）工程＞
（ａ）工程は、真空圧着装置１００が有する真空チャンバー１１０内に被測定物（ガラス基板１０４、１０６）を配置し、更に、被測定物１０４の上全面に圧力測定用材料１０２（１０２Ａ，１０２Ｃ）を配置する工程である。

前記真空圧着装置は、特に限定されることなく、公知の真空圧着装置、真空チャンバー等を用いることができる。
前記被測定物１０４、１０６としては特に限定はなく、液晶パネル、ガラス基板、シリコンウエハ、プリント基板、並びにコピー機やプリンターの搬送ローラー等を用いることができる。被測定物が液晶パネルのような場合、前記被測定物１０４と１０６の間にはＵＶ硬化樹脂１１２が設けられている。
本実施態様においては、後述の圧力測定用材料のうち、電子供与性無色染料シートと顕色剤シートからなる２シートタイプの圧力測定用材料を用いているがこれに限定されるものではない。
さらに、圧力測定用材料は、１シートタイプ又は２シートタイプの１つを単独で用いても、必要に応じて、１シートタイプ及び／又は２シートタイプを複数組合せて用いてもよく、特に限定されない。
真空チャンバー内の被測定物と圧力測定材料との配置関係について、圧力測定用材料は、被測定物の下全面であっても、また、被測定物のガラス基板１０４と１０６との間に位置してもよく、必要に応じて、適宜選択することができる。
前記圧力測定用材料の大きさは、被測定物の大きさより小さくとも圧力測定用材料を複数用いて測定することができるが、面圧力分布の測定及び面圧力測定の精度の観点から、圧力分布を測定する被測定物の大きさと同じ大きさであることが好ましい。

＜（ｂ）工程＞
前記真空チャンバー１１０内の圧力が所望の圧力になるまで、真空チャンバー１１０の減圧口Ｖを介して真空ポンプ（図示せず。）で減圧する工程である。

上記（ｂ）工程において、前記減圧された真空チャンバー１１０内の被測定物（ガラス基板１０４、１０６）と圧力測定用材料１０２は、それらの上下に設けられたエア抜きエンボスシート（１８０μｍＰＥＴ）１０８により圧着され、圧着された圧力測定用材料は所望の圧力（真空度）に応じて発色する。

前記所望の圧力とは、０．１ＭＰａ以下の圧力であり、十分な圧着効果を得る観点から、０．０〜０．０９ＭＰａが好ましく、０.０〜０．０８ＭＰａがより好ましく、０．０〜０．７０ＭＰａが特に好ましい。０．１ＭＰａ以下の圧力を測定可能な圧力測定用材料を用いることにより、従来測定が困難であった機器等を測定することができる点で好ましい。
前記減圧に用いる装置としては、真空ポンプを示すが減圧できれば特に限定されないで、公知の減圧装置を用いることができる。
本実施態様においては、エア抜きエンボスシートを用いて被測定物を圧着しているが、エア抜きができて被測定物を圧着できる機能を有するものであれば特に限定されるものではない。
前記エア抜きエンボスシートの材質としては、クッション性のない硬度を有することが好ましいとの観点から、ポリエチレンテレフタレート、ポリエチレン、ポリスチレン、ポリプロピレン、ポリカーボネート、アクリル等が挙げられる。

＜（ｃ）工程＞
真空チャンバー１１０内の真空を解除して、前記（ｂ）工程により減圧された圧力測定用材料１０２を取り出し、重ね合わせた電子供与性無色染料シート１０２Ａと顕色剤シート１０２Ｃとを剥離し、圧力の度合いに応じて顕色剤シート１０２Ｃに形成された発色領域の発色濃度（Ｄ）を読み取り、その発色濃度に基づき面内圧力分布を測定する工程である。

前記顕色剤シートに形成された発色濃度の分布は、スキャナーを用いた圧力画像解析システム（例えば、ＦＰＤ−９２１０、富士フイルム（株）製）等により濃度分布を読み取って面内圧力分布を解析することにより、圧力分布を測定することができる。
また、簡易的には、発色濃度を目視により観察することにより測定することができる。

＜（２Ａ）圧力測定用材料と凹凸シート（凸部が円錐状）を用いた圧力測定方法＞
本実施態様の圧力測定方法（以下、単に、（２Ａ）圧力測定方法ともいう。）は、（ａ）厚さ０．０５ｍｍ以上の基底部上に軟質樹脂からなる円錐状の凸部を有する総厚０．５ｍｍ以下の凹凸シートを、被測定物と加圧部位が発色する圧力測定用材料との間に、前記凸部が前記圧力測定用材料側となる向きに配置する工程と、（ｂ）加圧により前記凹凸シートの凸部を前記圧力測定用材料に圧接し、前記凸部を変形させ、前記圧力測定用材料に凸部の変形量に対応した面積の発色領域を形成する工程と、（ｃ）前記発色領域をスキャナーで読み取り、圧力を求める工程と、を有し、前記スキャナーの読み取り解像度をＩ、前記スキャナーによる読み取り階調をＮ、前記凸部の高さをＨ、前記凸部の頂角をθ、前記加圧を前記圧力測定用材料の測定下限の圧力で行った際の前記発色領域の直径をＤ_ｍａｘとしたとき、
ｔａｎ（θ／２）＝Ｉ×（Ｎ＋１）／（２×Ｈ）、かつ、
Ｄ_ｍａｘ≧Ｉ×（Ｎ＋１）
の関係を満たすように構成される。

加圧部位が発色する圧力測定用材料を用いて被測定物に加えられた圧力を測定する際、凹凸シートをその凸部が該圧力測定用材料となる側にして該圧力測定用材料と被測定物との間に挟むことで、被測定物全体に加えられた圧力を、凹凸シートの凸部に集中させることができる。このため、前記被測定物全体に加えられた圧力が該圧力測定用材料固有の測定下限以下である場合でも、圧力測定や圧力分布の測定を行うことができる。ところが、この際、凹凸シートの性状（例えば、基底部の厚さ、凸部の高さ、凸部の形状、凸部の硬さ（変形量）等）によっては、凹凸シート自身により圧力が緩和される不都合や、各測定点の圧力値を分類する段階数が不足する不都合等を生じ、正確な圧力を測定できない場合がある。

圧力測定方法を上記本実施態様の構成とした場合、即ち、上記関係を満たす凹凸シートを使用した場合には、加圧により被測定物と圧力測定用材料との間に加えられた圧力が圧力測定用材料の測定下限であるときには、凹凸シートの凸部は、高さほぼ０となるまで潰れ、発色領域の直径（面積）は最大となる。一方、前記圧力が圧力測定用材料の測定下限未満の場合には、前記凸部が高さを有する程度に潰れることとなり、このときの発色領域の直径（面積）は、前記測定下限である場合の発色領域の直径（面積）に比べて小さくなる。
従って、発色領域の直径（面積）をスキャナーで読み取ることにより、加圧により被測定物と圧力測定用材料との間に加えられた圧力が圧力測定用材料固有の測定下限以下である場合であっても、圧力値又は圧力分布を正確に測定できる。特に、コピー機又はプリンター製造工程での搬送ローラーにおける挟み圧測定、液晶ディスプレイ製造工程でのガラス基板の接着における貼り合わせ圧測定、半導体製造工程でのシリコンウエハの研磨における押し付け圧測定等に好適である。

本発明において「圧力測定用材料の測定下限」とは、凹凸シートと共に用いずに、圧力測定用材料単独で圧力測定を行う場合の測定下限を指す。圧力測定用材料はその構成により固有の測定下限を有しているが、前記凹凸シートと組み合わせて用いることにより、圧力測定の感度を向上させることができる（即ち、圧力測定用材料固有の測定下限値以下の圧力の測定が可能となる）。

本発明においてスキャナーの読み取り解像度Ｉは、スキャナーが読み取ることができる最小の幅である。本発明において発色領域の直径は、実際には加圧の際の圧力に応じて連続的な値となるが、スキャナーによる読み取りの際には解像度Ｉ毎の段階的（不連続的）な値として読み取られる。
本実施態様におけるスキャナーによる読み取り階調Ｎは、発色領域の直径を読み取る際の段階を示し、予め設定しておくことができる。
本実施態様では、発色領域の直径の読み取り値がＩのとき階調は「０」であり（０階調）、該読み取り値が２Ｉのとき階調は「１」であり（１階調）、該読み取り値が３Ｉのとき階調は「２」であり（２階調）、該読み取り値がＩ×（Ｎ＋１）のとき階調は「Ｎ」である（Ｎ階調）。

本実施態様の圧力測定方法では、前記Ｉ及び前記Ｎと、前記加圧を前記圧力測定用材料の測定下限の圧力で行った際の前記発色領域の直径Ｄ_ｍａｘと、の間には、
Ｄ_ｍａｘ≧Ｉ×（Ｎ＋１）
の関係がある。
Ｄ_ｍａｘが「Ｉ×（Ｎ＋１）」より小さい場合、、 各測定点の圧力値を段階的に分類する際の段階数が不足し、圧力測定用材料の測定下限以下の微小な圧力又はその分布を測定することができない。
本発明による効果をより効果的に得る観点からは、
Ｄ_ｍａｘ＝Ｉ×（Ｎ＋１）
の関係を満たすことが好ましい。

本実施態様の圧力測定方法は、被測定物と圧力測定用材料との間に加えられた圧力が、下記Ｐ_ｍｉｎ〜Ｐ_ｍａｘの範囲であるときの圧力測定に特に適している。
Ｐ_ｍｉｎ：発色領域の直径の読み取り値がＩとなる圧力
Ｐ_ｍａｘ：発色領域の直径の読み取り値がＩ×（Ｎ＋１）となる圧力
ここで、Ｐ_ｍａｘは圧力測定用材料固有の測定下限以下の圧力である。
また、本実施態様では、前記圧力Ｐ_ｍｉｎのときの発色領域の直径をＤ_ｍｉｎということがある。前記Ｄ_ｍｉｎは前記Ｉに等しい。

スキャナーの読み取り解像度Ｉの具体的な範囲としては、本発明による効果をより効果的に奏する観点からは、０．２ｍｍ以下が好ましく、０．１５ｍｍ以下がより好ましい。
スキャナーの読み取り階調Ｎの具体的な範囲としては、本発明による効果をより効果的に奏する観点からは、１０以上が好ましく、１５以上がより好ましい。
本実施態様の圧力測定方法において測定できる圧力範囲は、ともに用いる圧力測定用材料の測定下限値以下の範囲であることが好ましい。本発明による効果をより効果的に奏する観点からは、０．００２〜０．０８ＭＰａの範囲が好ましく、０．００４〜０．０４ＭＰａの範囲がより好ましい。

＜（ａ）工程＞
本発明における（ａ）工程は、厚さ０．０５ｍｍ以上の基底部上に軟質樹脂からなる円錐状の凸部を有する総厚０．５ｍｍ以下の凹凸シートを、被測定物と加圧部位が発色する圧力測定用材料との間に、前記凸部が前記圧力測定用材料側となる向きに配置する工程である。
被測定物としては特に限定はなく、液晶パネル、ガラス基板、シリコンウエハ、プリント基板、並びにコピー機やプリンターの搬送ローラー等を用いることができる。
図２は、本発明の一実施形態における凹凸シート１０を示した斜視図である。シート状の基底部１２に円錐状の凸部１４が設けられている。なお、図２では説明の便宜上、凸部は９個となっているが、本発明において凸部の数、密度等に限定はない（好ましい密度については後述する）。

＜（ｂ）工程＞
本発明における（ｂ）工程は、加圧により凹凸シートの凸部を圧力測定用材料に圧接し、前記凸部を変形させ、前記圧力測定用材料に凸部の変形量に対応した面積の発色領域を形成する工程である。

ここで、加圧の実施形態について、図３（Ａ）、図３（Ｂ）、図４（Ａ）、図４（Ｂ）、図５（Ａ）、及び図５（Ｂ）を参照して説明する。
図３（Ａ）、図４（Ａ）、及び図５（Ａ）は、本発明の一実施形態における加圧の様子を概念的に示した図である。図３（Ａ）、図４（Ａ）、及び図５（Ａ）では、被測定物２０と被測定物２２との間に圧力測定用材料２４が配置され、更に、被測定物２２と圧力測定用材料２４との間に、凹凸シート１０が、その凸部１４が圧力測定用材料２４側となる向きで配置されている。被測定物２０と被測定物２２との間にかけられた圧力（図３〜５では双方から圧力Ｐずつで加圧している）により、凹凸シートの凸部が変形し、凸部の変形量に対応した面積の発色領域２８が圧力測定用材料２４に形成されている。なお、上記実施形態中の圧力測定用材料２４は、後述する２シートタイプであり、基材上に発色層が設けられた電子供与性無色染料シート２４Ａと、基材上に顕色層が設けられた顕色剤シート２４Ｃとからなり、発色層と顕色層とが接する向きに重ね合わせた構成となっている。

図３（Ａ）は、低圧時の様子を概念的に示した断面図であり、図３（Ｂ）は、図３（Ａ）における圧力測定用材料を概念的に示した平面図である。図３（Ａ）、（Ｂ）に示すように、凸部の変形量は少なく、発色領域２８の面積も小さい。
図４（Ａ）は、中圧時の様子を概念的に示した断面図であり、図４（Ｂ）は、図４（Ａ）における圧力測定用材料を概念的に示した平面図である。図４（Ａ）、（Ｂ）に示すように、凸部の変形量及び発色領域２８の面積は、低圧時に比べて大きくなっている。
図５（Ａ）は、高圧時の様子を概念的に示した断面図であり、図５（Ｂ）は、図５（Ａ）における圧力測定用材料を概念的に示した平面図である。図５（Ａ）、（Ｂ）に示すように、凸部の変形量及び発色領域２８の面積は、中圧時に比べて更に大きくなっている。

なお、本発明における加圧は上記実施形態に限定されることはなく、例えば、被測定物２０と被測定物２２のいずれか一方を固定し、他方のみから加圧する形態であってもよい。また、圧力測定用材料としては、モノシートタイプの圧力測定シート等、上記２シートタイプ以外のものを用いることもできる。また、凹凸シートに設けられた凸部の数（密度）は適宜設定することができる。

＜（ｃ）工程＞
本発明における（ｃ）工程は、前記発色領域をスキャナーを用いて前記解像度Ｉ及び前記階調Ｎで読み取り、圧力を求める工程である。
スキャナーとしては、例えばラインセンサを圧力測定用材料に沿って移動させるものや、２次元ＣＣＤエリヤセンサを用いるものなどが使用できる。
前記圧力を求める方法については特に限定はないが、例えば、予め求めておいた発色領域の面積と圧力との関係に基づいて、読み取った発色領域の面積を圧力値に換算する方法等を用いることができる。さらに、圧力が等しくなる位置同士を結んで多次元表示し、圧力分布を求めることができる。また、読み取った各発色領域の面積の合計と、被測定物に対し実際に圧力が加えられた面積と、の比に基づいて、被測定物に加えられた平均圧力を求めることもできる。

ここで、（ｃ）工程の好ましい実施形態について、図６〜８を参照して説明するが、本発明はこの形態に限定されるものではない。この実施形態は、各発色領域の面積をスキャナーで読み取り、凸部による加圧力を求め、加圧力が等しくなる位置を結んで加圧力の分布を多次元表示する形態である。
図６は、前記（ｂ）工程後の圧力測定用材料の例を示した平面図であり、図７は、圧力画像解析装置の構成を概念的に示した図であり、図８（Ａ）は圧力測定結果を２次元的に示した図であり、図８（Ｂ）は、図８（Ａ）のＡ−Ａ線に沿った圧力測定結果である。

図６では、圧力測定用材料である圧力測定用材料２４上に、凸部の変形量に対応した種々の直径の発色領域２８が複数形成されている。図６では、一部の発色領域のみに符号２８を付している。
図７に示した圧力画像解析装置５０では、発色領域を読み取るためのスキャナー３０と、読み取った発色領域から圧力及び圧力分布を演算するマイクロコンピュータ３２と、得られた圧力及び圧力分布を多次元表示する多次元表示手段４４と、から構成される。

図６に示す圧力測定用材料２４の発色領域２８（加圧点）の画像は、図７に示すスキャナー３０によって読み取られる。
スキャナー３０の出力はマイクロコンピュータ３２に入力される。このコンピュータ３２はソフトウェアで構成される種々の機能を持つ。加圧点読取り手段３４はスキャナー３０の出力を取入れて、各発色領域２８の座標位置と面積とを求める。圧力検出手段３６はこの面積に対応する圧力Ｐ_０を演算する。すなわち各面積に対応する圧力Ｐ_０の換算を求めるための換算表、マップあるいは換算式を予めルックアップテーブル（ＬＵＴ）３８にメモリしておき、圧力検出手段３６はこのＬＵＴ３８を用いて圧力Ｐ_０を計算するものである。

等圧力分布演算手段４０では発色領域２８の圧力Ｐ_０を用いた圧力が等しくなる位置を結んで圧力分布を求める。すなわち発色領域２８が図８（Ａ）に示すように一定間隔の格子上に位置する場合、Ａ−Ａ線に載った発色領域２８の圧力Ｐ_０を縦軸にしてその分布を示すと、図８（Ｂ）のようになる。

この図８（Ｂ）においてＰ_１、Ｐ_２、Ｐ_３、Ｐ_４、・・・は、Ａ−Ａ線上の加圧点Ｑ_１、Ｑ_２、Ｑ_３、Ｑ_４、・・・の圧力を示す。等圧力分布演算手段４０では、点Ｐ_１、Ｐ_２、Ｐ_３、Ｐ_４、・・・をつなぐ滑らかな曲線を例えば数学的な補間法を用いて求める。補間法としては種々の方法が使用でき、例えば一定数の点Ｐ_１、Ｐ_２、Ｐ_３、Ｐ_４、・・・を結ぶ多項式や多次元曲線を求める方法が用いられる。

このように求めた圧力曲線を用い、等圧力分布演算手段４０では予め決めた一定の圧力（設定圧）Ｐ_ａ、Ｐ_ｂ、Ｐ_ｃとなる座標Ｒ_ａ、Ｒ_ｂ、Ｒ_ｃを求める。以上の演算をＡ−Ａ線と別なＢ−Ｂ線、Ｃ−Ｃ線などの格子状の線に対して繰り返し、設定圧Ｐ_ａになる座標Ｒ_ａを結ぶことにより、図８（Ａ）に示す等圧力線Ｓ_ａを求めることができる。同様に設定圧Ｐ_ｂ、Ｐ_ｃになる座標Ｒ_ｂ、Ｒ_ｃを結ぶことにより、等圧力線Ｓ_ｂ、Ｓ_ｃを求めることができる。

ここに設定圧Ｐ_ａ、Ｐ_ｂ、Ｐ_ｃは設定変更手段４２によって任意に変更できるようにしておく。この設定圧Ｐ_ａ、Ｐ_ｂ、Ｐ_ｃ、・・・を変えることにより図８（Ａ）に示す等圧力線Ｓ_ａ、Ｓ_ｂ、Ｓ_ｃの位置や間隔が変化でき、加圧物の形状などを特定するのに都合がよい。

このようにして求めた等圧線Ｓ_ａ、Ｓ_ｂ、Ｓ_ｃは多次元表示手段４４により出力される。例えばプリンタやＣＲＴなどにより図８（Ａ）に示す等圧線Ｓ_ａ、Ｓ_ｂ、Ｓ_ｃをプリント出力させたり画像表示させる。等圧線Ｓ_ａ、Ｓ_ｂ、Ｓ_ｃで示す所定の圧力範囲ごとに表示色を変えてカラー表示するようにしてもよい。また圧力を高さ方向にとって３次元表示してもよい。

この結果、格子状に表れた圧力測定用材料２４の発色領域２８を２次元あるいは多次元に連続的に表示した圧力分布に変えることができる。従って視覚により直ちに圧力分布を知ることができ、取扱が極めて簡単になる。

＜（２Ｂ）圧力測定用材料と基底部に平行な露出面をもつ凸部を有する凹凸シートとを用いた圧力測定方法＞
本実施態様における凹凸シートは、硬質樹脂からなる厚さ０．０５ｍｍ以上の基底部上に、該基底部に平行な露出面を有する硬質樹脂からなる凸部を複数有し、総厚０．５ｍｍ以下の凹凸シート（以下、適宜「凹凸シートＢ」ともいう。）である。詳細については、後述する。
ここで、凹凸シートＢを用いた圧力測定方法の実施形態の例について説明するが、下記の実施形態に限定されるものではない。
本実施形態における圧力測定方法は、
（ａ） 凹凸シートを、被測定物と加圧部位が発色する圧力測定用材料との間に、該凹凸シートの凸部が前記圧力測定用材料側となる向きに配置する工程と、
（ｂ） 加圧により前記凸部の基底部に平行な露出面を前記圧力測定用材料に圧接し、前記圧力測定用材料に凸部による圧力に対応した濃度の発色領域を形成する工程と、
（ｃ） 前記発色領域をスキャナーで読み取り、圧力を求める工程と、を有し、
前記露出面の面積をＳ、前記複数の凸部間の間隔をＬ、前記凹凸シートと前記圧力測定用材料とを共に用いて圧力測定を行う場合の圧力測定下限に対する前記圧力測定用材料の圧力測定下限の比をＲとしたとき、
Ｓ＝（Ｌ×Ｌ）／Ｒ
の関係を満たすように構成される。

圧力測定方法を上記構成とすることにより、圧力測定用材料の測定下限値にて被測定物と圧力測定用材料との間に圧力を加えた場合には、該圧力は約（（Ｌ×Ｌ）／Ｓ）倍に増幅される。このため、前記被測定物と圧力測定用材料との間に加える圧力が、該圧力測定用材料に固有の測定下限以下である場合であっても、圧力値又は圧力分布を正確に測定できる。

＜（ａ）工程＞
前記（ａ）工程は、本実施態様の凹凸シートを、被測定物と加圧部位が発色する圧力測定用材料との間に、凹凸シートの凸部が前記圧力測定用材料側となる向きに配置する工程である。
被測定物としては特に限定はなく、液晶パネル、ガラス基板、シリコンウエハ、プリント基板、並びにコピー機やプリンターの搬送ローラー等を用いることができる。

＜（ｂ）工程＞
前記（ｂ）工程は、加圧により前記凸部の基底部に平行な露出面を前記圧力測定用材料に圧接し、前記圧力測定用材料に凸部による圧力に対応した濃度の発色領域を形成する工程である。

ここで、加圧の実施形態について、図１７（Ａ）、図１７（Ｂ）、図１７（Ａ）、図１８（Ｂ）、図１９（Ａ）、及び図１９（Ｂ）を参照して説明する。
図１７（Ａ）、図１８（Ａ）、及び図１９（Ａ）は、本発明の一実施形態における加圧の様子を概念的に示した図である。図１７（Ａ）、図１８（Ａ）、及び図１９（Ａ）では、被測定物６１と被測定物６２との間に圧力測定用材料６４が配置され、更に、被測定物６２と圧力測定用材料６４との間に、凹凸シート７０が、その凸部７４が圧力測定用材料６４側となる向きで配置されている。被測定物６１と被測定物６２との間にかけられた圧力（図１７〜１９では双方から圧力Ｐずつで加圧している）が、凹凸シートの凸部上に集中し、凸部上の圧力に対応した色濃度の発色領域６８が圧力測定用材料６４に形成されている。なお、上記実施形態中の圧力測定用材料６４は、後述する２シートタイプであり、基材上に発色層が設けられた電子供与性無色染料シート６４Ａと、基材上に顕色層が設けられた顕色剤シート６４Ｃとからなり、発色層と顕色層とが接する向きに重ね合わせた構成となっている。

図１７（Ａ）は、低圧時の様子を概念的に示した断面図であり、図１７（Ｂ）は、図１７（Ａ）における圧力測定用材料を概念的に示した平面図である。図１７（Ａ）、（Ｂ）に示すように、凸部７４にかかる圧力は低く、発色領域６８の色濃度は薄い。
図１８（Ａ）は、中圧時の様子を概念的に示した断面図であり、図１８（Ｂ）は、図１８（Ａ）における圧力測定用材料を概念的に示した平面図である。図１８（Ａ）、（Ｂ）に示すように、低圧時に比べて凸部７４にかかる圧力は上がり、発色領域６８の色濃度は濃くなっている。
図１９（Ａ）は、高圧時の様子を概念的に示した断面図であり、図１９（Ｂ）は、図１９（Ａ）における圧力測定用材料を概念的に示した平面図である。図１９（Ａ）、（Ｂ）に示すように、中圧時に比べて凸部７４にかかる圧力はさらに上がり、発色領域６８の色濃度はさらに濃くなっている。
なお、低圧時、中圧時、及び高圧時をとおして、凸部７４の変形量は変わらず（好ましくは、加圧により変形せず）発色領域６８の面積自体は変化しない。

なお、本発明における加圧は上記実施形態に限定されることはなく、例えば、被測定物６１と被測定物６２のいずれか一方を固定し、他方のみから加圧する形態であってもよい。また、圧力測定用材料としては、モノシートタイプの圧力測定シート等、上記２シートタイプ以外のものを用いることもできる。また、凹凸シートに設けられた凸部の数（密度）は適宜設定することができる。

＜（ｃ）工程＞
本発明における（ｃ）工程は、前記発色領域をスキャナーで読み取り、圧力を求める工程である。
スキャナーとしては、例えばラインセンサを圧力測定用材料に沿って移動させるものや、２次元ＣＣＤエリヤセンサを用いるものなどが使用できる。
前記圧力を求める方法については特に限定はないが、例えば、予め求めておいた発色領域の色濃度と圧力との関係に基づいて、読み取った発色領域の色濃度を圧力値に換算する方法等を用いることができる。さらに、圧力が等しくなる位置同士を結んで多次元表示し、圧力分布を求めることができる。また、読み取った各発色領域の面積の合計と、被測定物に対し実際に圧力が加えられた面積と、の比に基づいて、被測定物に加えられた平均圧力を求めることもできる。

ここで、（ｃ）工程の好ましい実施形態について、図２０〜２２を参照して説明するが、本発明はこの形態に限定されるものではない。この実施形態は、各発色領域の色濃度をスキャナーで読み取り、凸部による加圧力を求め、加圧力が等しくなる位置を結んで加圧力の分布を多次元表示する形態である。
図２０は、前記（ｂ）工程後の圧力測定用材料の例を示した平面図であり、図２１は、圧力画像解析装置の構成を概念的に示した図であり、図２２（Ａ）は圧力測定結果を２次元的に示した図であり、図２２（Ｂ）は、図２２（Ａ）のＡ−Ａ線に沿った圧力測定結果である。

図２０では、圧力測定用材料である圧力測定用材料６４上に、凸部による押し付け圧に対応した種々の色濃度の発色領域６８が複数形成されている（図２０では、一部の発色領域のみに符号６８を付している）。
図２１に示した圧力画像解析装置１００では、発色領域を読み取るためのスキャナー８０と読み取った発色領域から圧力及び圧力分布を演算するマイクロコンピュータ８２と得られた圧力及び圧力分布を多次元表示する多次元表示手段９４とから構成される。

図２０に示す圧力測定用材料６４の発色領域６８（加圧点）の画像は、図２１に示すスキャナー８０によって読み取られる。
スキャナー８０の出力はマイクロコンピュータ８２に入力される。このマイクロコンピュータ８２はソフトウェアで構成される種々の機能を持つ。加圧点読取り手段８４はスキャナー８０の出力を取入れて、各発色領域６８の座標位置と色濃度とを求める。圧力検出手段８６はこの色濃度に対応する圧力Ｐ_０を演算する。すなわち各色濃度に対応する圧力Ｐ_０の換算を求めるための換算表、マップあるいは換算式を予めルックアップテーブル（ＬＵＴ）８８にメモリしておき、圧力検出手段８６はこのＬＵＴ８８を用いて圧力Ｐ_０を計算するものである。

等圧力分布演算手段９０では発色領域６８の圧力Ｐ_０を用いた圧力が等しくなる位置を結んで圧力分布を求める。すなわち発色領域６８は図２２（Ａ）に示すように一定間隔の格子上に位置する場合、Ａ−Ａ線に載った発色領域６８の圧力Ｐ_０を縦軸にしてその分布を示すと、図２２（Ｂ）のようになる。なお、図２２（Ａ）では、発色領域の色濃度が濃く押し付け圧が高い加圧点を半径の大きなプロットで表し、色濃度が薄く押し付け圧が低い加圧点を半径の小さなプロットで表している。

この図２２（Ｂ）においてＰ_１、Ｐ_２、Ｐ_３、Ｐ_４、・・・は、Ａ−Ａ線上の加圧点Ｑ_１、Ｑ_２、Ｑ_３、Ｑ_４、・・・の圧力を示す。等圧力分布演算手段９０では、点Ｐ_１、Ｐ_２、Ｐ_３、Ｐ_４、・・・をつなぐ滑らかな曲線を例えば数学的な補間法を用いて求める。補間法としては種々の方法が使用でき、例えば一定数の点Ｐ_１、Ｐ_２、Ｐ_３、Ｐ_４、・・・を結ぶ多項式や多次元曲線を求める方法が用いられる。

このように求めた圧力曲線を用い、等圧力分布演算手段９０では予め決めた一定の圧力（設定圧）Ｐ_ａ、Ｐ_ｂ、Ｐ_ｃとなる座標Ｒ_ａ、Ｒ_ｂ、Ｒ_ｃを求める。以上の演算をＡ−Ａ線と別なＢ−Ｂ線、Ｃ−Ｃ線などの格子状の線に対して繰り返し、設定圧Ｐ_ａになる座標Ｒ_ａを結ぶことにより、図２２（Ａ）に示す等圧力線Ｓ_ａを求めることができる。同様に設定圧Ｐ_ｂ、Ｐ_ｃになる座標Ｒ_ｂ、Ｒ_ｃを結ぶことにより、等圧力線Ｓ_ｂ、Ｓ_ｃを求めることができる。

ここに設定圧Ｐ_ａ、Ｐ_ｂ、Ｐ_ｃは設定変更手段９２によって任意に変更できるようにしておく。この設定圧Ｐ_ａ、Ｐ_ｂ、Ｐ_ｃ、・・・を変えることにより図２２（Ａ）に示す等圧力線Ｓ_ａ、Ｓ_ｂ、Ｓ_ｃの位置や間隔が変化でき、加圧物の形状などを特定するのに都合がよい。

このようにして求めた等圧線Ｓ_ａ、Ｓ_ｂ、Ｓ_ｃは多次元表示手段９４により出力される。例えばプリンタやＣＲＴなどにより図２２（Ａ）に示す等圧線Ｓ_ａ、Ｓ_ｂ、Ｓ_ｃをプリント出力させたり画像表示させる。等圧線Ｓ_ａ、Ｓ_ｂ、Ｓ_ｃで示す所定の圧力範囲ごとに表示色を変えてカラー表示するようにしてもよい。また圧力を高さ方向にとって３次元表示してもよい。

この結果、格子状に表れた圧力測定用材料６４の発色領域６８を２次元あるいは多次元に連続的に表示した圧力分布に変えることができる。従って視覚により直ちに圧力分布を知ることができ、取扱が極めて簡単になる。

［圧力測定用材料］
本発明において用いられる前記圧力測定用材料について、以下に詳細に説明する。
本発明における圧力測定用材料は、０．１ＭＰａ以下の圧力範囲を測定できる材料であれば特に限定されないで用いることができるが、中でも、電子供与性無色染料前駆体（以下、「発色剤」ともいう。）（好ましくは、更に溶媒含む。）を内包したマイクロカプセルと、前記電子供与性無色染料前駆体と反応して発色させる電子受容性化合物（以下、「顕色剤」ともいう。）とを含み、単一の基材あるいは別々の基材に設けて構成されることが好ましく、特に、前記マイクロカプセルはδ／Ｄ＝１．０×１０^−３〜２．０×１０^−２〔δ：マクロカプセルの数平均壁厚（μｍ）、Ｄ：マイクロカプセルの体積標準のメジアン径（μｍ）〕の関係を満たすことが好ましい。
前記圧力測定用材料は上記構成とすることにより、０．１ＭＰａ以下の圧力範囲の測定が可能となる。

前記マイクロカプセルのカプセル壁の壁厚については、カプセル壁材の種類やカプセル径など種々の条件にも依存するが、０．１ＭＰａ以下の加圧で破壊可能な範囲であれば、制限なく任意に選択することができる。
中でも、０．０５ＭＰａ以下の低圧で良好な発色性を得る観点から、好ましい壁厚は０．００５〜２．０μｍの範囲であり、より好ましくは０．０５〜０．３０μｍの範囲であり、更に好ましくは、マイクロカプセルのメジアン径Ａを１０〜４０μｍとした場合において０．０６〜０．２８μｍである。特に好ましいカプセル壁の壁厚は、メジアン径Ａが１０〜４０μｍのマイクロカプセルのカプセル壁をポリウレタン・ウレアで構成した場合において、０．０７〜０．２７μｍである。

電子供与性無色染料前駆体を内包するマイクロカプセルは、ウレタン結合を含むポリウレタン・ウレアを壁材として形成されると共に、下記式１に示す関係を満たすことが、０．１ＭＰａ未満の低圧で良好な発色を得る点で特に好ましい。この関係式を満たすマイクロカプセルに構成することで、低圧領域（０．１ＭＰａ未満の圧力領域）での加圧でも発色しやすい発色系を形成することができる。下記式１において、δはマクロカプセルの数平均壁厚（μｍ）を表し、Ｄはマイクロカプセルの体積標準のメジアン径（μｍ）を表す。
１．０×１０^−３ ≦ δ／Ｄ ≦ ２．０×１０^−２ ・・・式１
δ／Ｄ値が前記範囲内であると、カプセルサイズとカプセル壁の厚みとのバランスが良く、薄すぎて経時でカプセルの中身が漏れる等がなく、低圧領域（好ましくは０．１ＭＰａ未満の圧力領域）で良好な発色を得ることができる。

本発明において、壁厚とは、マイクロカプセルのカプセル粒を形成する樹脂膜（いわゆるカプセル壁）の厚みをいい、数平均壁厚（μｍ）とは、５個のマイクロカプセルの個々のカプセル壁の厚みを走査型電子顕微鏡により求めて平均した平均値をいう。

上記のδ／Ｄ値の範囲のうち、低圧領域（好ましくは０．１ＭＰａ未満の圧力領域）で良好な発色（着色）を得る点で、δ／Ｄ値は、２．０×１０^−３〜１．５×１０^−２が好ましく、３．０×１０^−３〜１．３×１０^−２がより好ましい。

本発明における圧力測定用材料が、マイクロカプセルと電子受容性化合物とが単一の基材に塗工等して設けられた、いわゆるモノシートタイプの場合、シートやフィルム等の基材と、基材上に該基材側から順に設けられた顕色剤含有の顕色剤層とマイクロカプセル含有の発色剤層とを有してなり、これを圧力あるいは圧力分布を測定したい部位に単独で挟んで、または載せて加圧する。

また、本発明における圧力測定用材料が、マイクロカプセルと電子受容性化合物とが別個の基材に塗工等して設けられた、いわゆる２シートタイプの場合、シートやフィルム等の基材上に顕色剤含有の顕色剤層を有する材料Ａ（顕色剤シート）と、シートやフィルム等の基材上にマイクロカプセル含有の発色剤層を有する材料Ｂ（発色剤シート）と、を有して構成されており、材料Ｂのマイクロカプセルが存在する面（発色剤層表面）と、材料Ａの電子受容性化合物が存在する面（顕色剤層表面）とが互いに向き合うように両材料を重ね、重ねた状態で圧力あるいは圧力分布を測定したい部位に挟んで、又は載せて加圧する。

加圧は、任意の方法により点、線、又は面で圧力（点圧、線圧、又は面圧等）を与えることにより行なうことができる。本発明では、特に０．１ＭＰａ未満の低圧域において、微小な圧力差を識別するための発色部の濃度差が小さく、差圧が捉えにくい面圧が与えられる場合に有効である。

上記のように加圧されることで、マイクロカプセルが破壊されて電子供与性無色染料前駆体を含む内包物が放出され、電子供与性無色染料前駆体と電子受容性化合物が反応することによって着色が見られるものである。このとき、加圧する圧力に対応して電子供与性無色染料前駆体を含む内包物がより多く放出されるようになり、電子受容性化合物との反応量が増えるため、濃い発色が得られる。
上記のうち、圧力測定用材料は、その保存性や取扱い性の観点から、電子供与性無色染料前駆体を内包するマイクロカプセルと電子受容性化合物とは、別個の基材に塗工等して設けられた２シートタイプに構成されるのがより好ましい。

本発明における前記圧力測定材料は、読み取り可能な濃度差を得る観点から、電子供与性無色染料前駆体と電子受容性化合物との発色反応を利用したもので、０．０５ＭＰａでの加圧前後における発色濃度差ΔＤが０．０２以上になるように構成したものであることが好ましい。

本発明においては、０．０５ＭＰａの微圧を与えることにより、視認ないしスキャニングにより読み取り可能な濃度差ΔＤ（≧０．０２）が発現されることが好ましい。
このような構成とすることにより、近年の製品の高機能化、高精細化に伴なって増加する微小な圧力差や圧力分布の検知、測定が可能である。

本発明においては、特に、発色成分の一方である電子供与性無色染料前駆体をマイクロカプセルに内包すると共に、このマイクロカプセルの体積標準のメジアン径をＡμｍとしたときの（Ａ＋５）μｍ以上のマイクロカプセルの存在数を、２ｃｍ×２ｃｍ当たり５０００〜３００００個とすることにより、電子供与性無色染料前駆体を内包するマイクロカプセルのうち所定の径以上の大サイズを選択的に存在させるようにするので、視認ないしスキャニングにより読み取り可能な濃度である０．０２以上のΔＤが好適に得られる。

マイクロカプセルの体積標準のメジアン径をＡμｍとした場合、（Ａ＋５）μｍ以上のマイクロカプセルが２ｃｍ×２ｃｍ当たり５０００個以上であると、電子供与性無色染料前駆体を内包するマイクロカプセルのうち発色に影響する比較的大きいサイズのカプセル数が多くなり、より高い発色濃度が得られ、読取り性も良好になる。また、３００００個以下であると、０．０５ＭＰａの微少な圧力でカプセル破壊（すなわち発色）が起こりやすくなる。

上記のように、（Ａ＋５）μｍ以上のマイクロカプセルは、０．０５ＭＰａの微圧を与えたときの発色濃度を高め、視認性、スキャニング時の読取り性を向上させる点で、２ｃｍ×２ｃｍ当たり５０００〜３００００個存在する場合が好ましく、更には７０００〜２８０００個存在する場合がより好ましい。

また、マイクロカプセルの体積標準のメジアン径としては、微少な圧力（特に０．１ＭＰａ未満の圧力（好ましくは面圧））での発色濃度を高め、視認性、スキャニング時の読取り性を向上させる点で、１０〜４０μｍが好ましく、１３〜３７μｍがより好ましく、更には１５〜３５μｍが好ましい。

上記のうち、本発明においては、０．１ＭＰａ未満の圧力（好ましくは面圧）での発色濃度を高め、視認性、スキャニング時の読取り性を向上させる点から、マイクロカプセルの体積標準のメジアン径が１５〜３５μｍであるときに、（１５〜３５μｍ）＋５μｍ以上のマイクロカプセルが２ｃｍ×２ｃｍ当たり７０００〜２８０００個存在する場合が特に好ましい。

本発明において、体積標準のメジアン径は、マイクロカプセル全体を体積累計が５０％となる粒子径を閾値に２つに分けたときに、大径側と小径側での粒子の体積の合計が等量となる径Ｄ^５０である。この体積標準のメジアン径は、マイクロカプセル液を支持体に塗布し、その表面を光学顕微鏡により１５０倍で撮影して、２ｃｍ×２ｃｍの範囲にある全てのマイクロカプセルの大きさを計測して算出される値である。

（基材）
本発明における圧力測定用材料を構成する基材は、シート状、フィルム状、板状等のいずれであってもよく、具体的な例として、紙、プラスチィックフィルム、合成紙等が挙げられる。圧力測定用材料がモノシートタイプ及び２シートタイプのいずれの形態であっても、同様である。

前記紙の具体例としては、上質紙、中質紙、更紙、中性紙、酸性紙、再生紙、コート紙、マシンコート紙、アート紙、キャストコート紙、微塗工紙、トレーシングペーパー、再生紙等を挙げることができる。
また、前記プラスチックフィルムの具体例としては、ポリエチレンテレフタレートフィルム等のポリエステルフィルム、三酢酸セルロース等のセルロース誘導体フィルム、ポリプロピレン、ポリエチレン等のポリオレフィンフィルム、ポリスチレンフィルム、等を挙げることができる。
また、前記合成紙の具体例としては、ポリプロピレンやポリエチレンテレフタレート等を二軸延伸してミクロボイドを多数形成したもの（ユポ等）や、ポリエチレン、ポリプロピレン、ポリエチレンテレフタレート、ポリアミドなどの合成繊維からなるもの、これらを紙の一部、一面、両面に積層したものなどが挙げられる。
但し、本発明においては、これらに限定されるものではない。
これらの中でも、加圧によって生じる発色濃度をより高くする点で、プラスチックフィルム、合成紙が好ましく、プラスチックフィルムがより好ましい。

（電子供与性無色染料前駆体）
本発明における圧力測定用材料の発色剤層に含有されるマイクロカプセルは、電子供与性無色染料前駆体の少なくとも一種を内包する。
マイクロカプセルに内包される電子供与性無色染料前駆体は、感圧複写紙あるいは感熱記録紙の用途において公知のものを使用することができる。例えば、トリフェニルメタンフタリド系化合物、フルオラン系化合物、フェノチアジン系化合物、インドリルフタリド系化合物、ロイコオーラミン系化合物、ローダミンラクタム系化合物、トリフェニルメタン系化合物、ジフェニルメタン系化合物、トリアゼン系化合物、スピロピラン系化合物、フルオレン系化合物など各種の化合物を使用することができる。
これら化合物の詳細については、特開平５−２５７２７２号公報に記載されており、電子供与性無色染料前駆体は、１種単独で又は２種以上を混合して使用することができる。

電子供与性無色染料前駆体は、０．１ＭＰａ未満の圧力（好ましくは面圧）での発色性を高め、微少な圧力で高い濃度を得る（圧力変化に対する濃度変化（濃度勾配）を高める）観点から、モル吸光係数（ε）の高いものが好ましい。電子供与性無色染料前駆体のモル吸光係数（ε）は、１００００ ｍｏｌ^−１・ｃｍ^−１・Ｌ以上であることが好ましく、１５０００ ｍｏｌ^−１・ｃｍ^−１・Ｌ以上あることがより好ましく、更には２５０００ｍｏｌ^−１・ｃｍ^−１・Ｌ以上あることが好ましい。

εが前記範囲の電子供与性無色染料前駆体の好ましい例としては、３−（４−ジエチルアミノ−２−エトキシフェニル）−３−（１−エチル−２−メチルインドール−３−イル）−４−アザフタリド（ε＝６１０００）、３−（４−ジエチルアミノ−２−エトキシフェニル）−３−（１−ｎ−オクチル−２−メチルインドール−３−イル）フタリド（ε＝４００００）、３−［２，２−ビス（１−エチル−２−メチルインドール−３−イル）ビニル］−３−（４−ジエチルアミノフェニル）−フタリド（ε＝４００００）、９−［エチル（３−メチルブチル）アミノ］スピロ［１２Ｈ−ベンゾ［ａ］キサンテン−１２，１’（３’Ｈ）イソベンゾフラン］−３’−オン（ε＝３４０００）、２−アニリノ−６−ジブチルアミノ−３−メチルフルオラン（ε＝２２０００）、６−ジエチルアミノ−３−メチル−２−（２，６−キシリジノ）−フルオラン（ε＝１９０００）、２−（２−クロロアニリノ）−６−ジブチルアミノフルオラン（ε＝２１０００）、３，３−ビス（４−ジメチルアミノフェニル）−６−ジメチルアミノフタリド（ε＝１６０００）、２−アニリノ−６−ジエチルアミノ−３−メチルフルオラン（ε＝１６０００）等が挙げられる。

モル吸光係数εが前記範囲の電子供与性無色染料前駆体を１種単独で用い、あるいはモル吸光係数εが前記範囲の電子供与性無色染料前駆体を含む２種以上を混合して用いる場合、電子供与性無色染料前駆体の合計量に占める、モル吸光係数（ε）が１００００ ｍｏｌ^−１・ｃｍ^−１・Ｌ以上の電子供与性無色染料前駆体の割合は、０．１ＭＰａ未満の低圧（好ましくは面圧）での発色性を高め、低圧で高い濃度を得る（圧力変化に対する濃度変化（濃度勾配）を高める）観点から、１０〜１００質量％の範囲が好ましく、２０〜１００質量％の範囲がより好ましく、更には３０〜１００質量％の範囲が好ましい。
２種以上の電子供与性無色染料前駆体を用いる場合、εがそれぞれ１００００ ｍｏｌ^−１・ｃｍ^−１・Ｌ以上のものを２種以上併用するのが好ましい。

モル吸光係数（ε）は、電子供与性無色染料前駆体を９５％酢酸水溶液中に溶解したときの吸光度から算出することができる。具体的には、吸光度が１．０以下となるように濃度を調節した電子供与性無色染料前駆体の９５％酢酸水溶液において、測定用セルの長さをＡｃｍ、電子供与性無色染料前駆体の濃度をＢ ｍｏｌ／Ｌ、吸光度をＣとしたときに、下記式によって算出することができる。
モル吸光係数（ε）＝ Ｃ／（Ａ×Ｂ）

電子供与性無色染料前駆体の量（例えば塗布量）は、低圧（好ましくは０．１ＭＰａ未満）での発色性を高める観点から、乾燥後の質量で０．１〜５ｇ／ｍ^２であることが好ましく、０．１〜４ｇ／ｍ^２であることがより好ましく、０．２〜３ｇ／ｍ^２であることがさらに好ましい。

（溶媒）
本発明におけるマイクロカプセルは、電子供与性無色染料前駆体と共に溶媒の少なくとも一種を内包する。
マイクロカプセルに内包される溶媒としては、感圧複写紙用途において公知のものを使用することができる。例えば、ジイソプロピルナフタレン等のアルキルナフタレン類、１−フェニル−１−キシリルエタン等のジアリールアルカン類、イソプロピルビフェニル等のアルキルビフェニル類、その他トリアリールメタン類、アルキルベンゼン類、ベンジルナフタレン類、ジアリールアルキレン類、アリールインダン類等の芳香族炭化水素；フタル酸ジブチル、イソパラフィン等の脂肪族炭化水素、大豆油、コーン油、綿実油、菜種油、オリーブ油、ヤシ油、ひまし油、魚油等の天然動植物油等、鉱物油等の天然物高沸点留分等が挙げられる。溶媒は、１種単独で又は２種以上を混合して使用してもよい。

マイクロカプセルに内包される溶媒と電子供与性染料前駆体との質量比（溶媒：前駆体）としては、発色性の点で、９８：２〜３０：７０の範囲が好ましく、９７：３〜４０：６０の範囲がより好ましく、９５：５〜５０：５０の範囲が更に好ましい。

また、必要に応じて、補助溶媒として、メチルエチルケトン等のケトン類や酢酸エチルなどのエステル類、イソプロピルアルコール等のアルコール類等、沸点が１３０℃以下の溶媒を添加することもできる。

（マイクロカプセルの作製方法）
電子供与性無色染料前駆体及び溶媒を内包するマイクロカプセルは、それ自体公知の任意の方法、例えば、界面重合法、内部重合法、相分離法、外部重合法、コアセルベーション法等の方法により製造することができる。

前記マイクロカプセルの壁材としては、従来から感圧記録材料の電子供与性無色染料前駆体含有のマイクロカプセルの壁材として使用されている水不溶性、油不溶性のポリマーの中から、特に限定されることなく使用できる。中でも、壁材としては、ウレタン・ウレア樹脂（ポリウレタン・ウレア）、メラミン・ホルムアルデヒド樹脂、ゼラチンが好ましく、低圧（好ましくは０．１ＭＰａ未満）で良好な発色を得る観点から、ポリウレタン・ウレア、メラミン・ホルムアルデヒド樹脂がより好ましく、特にウレタン結合を含むポリウレタン・ウレアが好ましい。

ここで、カプセル璧材にポリウレタン・ウレアを用いた場合を例に説明する。
電子供与性無色染料前駆体を内包する、ポリウレタン・ウレア壁のマイクロカプセルの分散液の調製は、感圧複写紙用途において公知の方法を使用することができる。例えば、電子供与性無色染料前駆体と多価イソシアネートとを溶媒に溶解した溶液（油相）を、水溶性高分子（ポリオール、ポリアミンなどのカプセル壁形成用物質）を含有する親水性溶液（例えば水など；水相）に乳化分散させ、得られた乳化分散液中の油滴をポリウレタン・ウレアで被覆してマイクロカプセル化する方法が挙げられる。このとき、加温することによって油滴界面で高分子形成反応が進み、マイクロカプセル壁を形成できる。

マイクロカプセル化する工程途中には、多価ヒドロキシ化合物と多価アミンなどの反応調整剤を添加してもよい。多価ヒドロキシ化合物の具体例としては、脂肪族又は芳香族の多価アルコール、ヒドロキシポリエステル、ヒドロキシポリアルキレンエーテル、多価アミンのアルキレンオキサイド付加物等を挙げることができる。中でも、脂肪族又は芳香族の多価アルコール、多価アミンのアルキレンオキサイド付加物が好ましく、より好ましくは、多価アミンのアルキレンオキサイド付加物である。

多価アミンとしては、分子中に２個以上の−ＮＨ基または−ＮＨ_２基を有するものであれば、いずれも使用可能である。具体的な化合物としては、例えば、ジエチレントリアミン、トリエチレンテトラミン、１，３−プロピレンジアミン、ヘキサメチレンジアミンなどの脂肪族多価アミン；脂肪族多価アミンのエポキシ化合物付加物；ピペラジン等の脂環式多価アミン；３，９−ビス−アミノプロピル−２，４，８，１０−テトラオキサスピロ−（５，５）ウンデカンなどの複素環式ジアミンなどを挙げることができる。

多価ヒドロキシ化合物や多価アミンの添加量は、使用する多価イソシアネートの種類及び量、さらには所望のカプセル膜硬度などにより適宜決定される。多価ヒドロキシ化合物や多価アミンを添加する場合、「多価ヒドロキシ化合物及び／又は多価アミンの総量：多価イソシアネートの量」の比（質量比）は、０．１：９９．９〜３０：７０であることが好ましく、１：９９〜２５：７５であることがより好ましい。また、多価ヒドロキシ化合物の添加量としては、多価イソシアネート：多価ヒドロキシ化合物が質量比で９９．９：０．１〜７０：３０であることが好ましく、９９：１〜７５：２５であることがより好ましく、９８：２〜８０：２０であることがさらに好ましい。

多価ヒドロキシ化合物や多価アミンの添加時期は、電子供与性無色染料前駆体を溶解する溶媒や補助溶媒中にあらかじめ添加しておいてもよいし、乳化分散前あるいは乳化分散後に添加してもよい。

親水性溶液中には、乳化剤として、種々の両性高分子、イオン系高分子、非イオン系高分子、例えばゼラチン、でんぷん、カルボキシメチルセルロース、ポリビニルアルコール、ポリアルキルベンゼンスルホン酸塩、ポリオキシエチレン硫酸塩、ポリオキシアルキルエーテルやその変性体、イソブチレン−無水マレイン酸共重合体等を添加してもよい。

前記多価イソシアネートとしては、感圧複写紙用途において公知のものを使用することができる。例えば、水添キシリレンジイソシアネート（一般に水添ＸＤＩと称される）のイソシアヌレート体、イソホロンジイソシアネート（一般にＩＰＤＩと称される）のイソシアヌレート体、４，４′−ジフェニルメタンジイソシアネート、ヘキサメチレンジイソシアネートとトリメチロールプロパンとの付加物、ヘキサメチレンジイソシアネートのビュレット体、ヘキサメチレンジイソシアネートのイソシアヌレート体、ヘキサメチレンジイソシアネートのイソシアヌレート体にウレタン結合により脂肪族ジオール（例、アルキレンジオール）が結合した化合物、ポリメチレンポリフェニルイソシアネート、カルボジイミド変性ジフェニルメタンジイソシアネート、トリレンジイソシアネートとトリメチロールプロパンとの付加物、キシリレンジイソシアネートとトリメチロールプロパンとの付加物、トリレンジイソシアネートのイソシアヌレート体、水添キシリレンジイソシネートとトリメチロールプロパンとの付加体、イソホロンジイソシネートとトリメチロールプロパンとの付加体、キシリレンジイソシアネートのビュレット体及びトリス−（ｐ−イソシアネートフェニル）チオホスファイトを挙げることができる。多価イソシアネートは、１種単独で又は２種以上を混合して使用することができる。

また、マイクロカプセルには、上記の電子供与性無色染料前駆体、溶媒、及び補助溶媒以外に、必要に応じて、添加剤を内包してもよい。添加剤としては、紫外線吸収剤、光安定化剤、酸化防止剤、ワックス、臭気抑制剤などを挙げることができる。

（発色剤層形成用の調製液の調製）
マイクロカプセルは上記のように分散液として得ることができるが、このマイクロカプセルの分散液は、そのまま電子供与性無色染料前駆体を含有する発色剤層を形成するための調製液（特に塗布液）としてもよい。また、上記のように得られたマイクロカプセルの分散液に更に、澱粉又は澱粉誘導体の微粉末、セルロース繊維粉末等の緩衝剤、ポリビニルアルコール等の水溶性高分子結着剤、酢酸ビニル系、アクリル系、スチレン・ブタジエン共重合体ラテックス等の疎水性高分子結着剤、蛍光増白剤、消泡剤、浸透剤、紫外線吸収剤、防腐剤を添加して調製液（特に塗布液）としてもよい。
このようにして得られた調製液（特に塗布液）を、基材の上に塗工等して付与し、乾燥させることにより、圧力測定用材料を構成する発色剤層を形成することができる。

前記発色剤層形成用の調製液を塗布液として用いる場合、塗布液の塗工方法は、通常の塗工機を用いて塗布、乾燥させて行なえる。具体的な塗工機の例としては、エアーナイフコーター、ロッドコーター、バーコーター、カーテンコーター、グラビアコータ−、エクストルージョンコーター、ダイコーター、スライドビードコーター、ブレードコーター等を挙げることができる。

本発明における圧力測定用材料が、電子供与性無色染料前駆体内包のマイクロカプセルと電子受容性化合物とがそれぞれ別個の基材に塗工等されて構成される２シートタイプの場合、例えば、上記塗布液を所望のシート状基材の上に、直接もしくは他の層を介して塗布し、乾燥させることにより、少なくとも発色剤層が形成されたシート材を得ることができる。また、電子供与性無色染料前駆体内包のマイクロカプセルと電子受容性化合物とが単一のシート状基材に塗工等されて構成されるモノシートタイプの場合、例えば、所望の基材上に形成された後述の顕色剤層の上に上記塗布液を重ねて塗布し、乾燥させることにより、圧力測定用材料が得られる。

（電子受容性化合物）
本発明における圧力測定用材料の顕色剤層は、電子受容性化合物（顕色剤）の少なくとも一種を含有する。
本発明における顕色剤層に含有される電子受容性化合物としては、無機化合物と有機化合物を挙げることができる。無機化合物の具体例としては、酸性白土、活性白土、アタパルジャイト、ゼオライト、ベントナイト、カオリンのような粘土物質等を挙げることができる。有機化合物としては、芳香族カルボン酸の金属塩、フェノールホルムアルデヒド樹脂、カルボキシル化テンペルフェノール樹脂の金属塩等を挙げることができる。中でも、酸性白土、活性白土、ゼオライト、カオリン、芳香族カルボン酸の金属塩、カルボキシル化テンペルフェノール樹脂の金属塩が好ましく、酸性白土、活性白土、カオリン、芳香族カルボン酸の金属塩であることがより好ましい。

前記芳香族カルボン酸の金属塩の好ましい具体例としては、３，５−ジ−ｔ−ブチルサリチル酸、３，５−ジ−ｔ−オクチルサリチル酸、３，５−ジ−ｔ−ノニルサリチル酸、３，５−ジ−ｔ−ドデシルサリチル酸、３−メチル−５−ｔ−ドデシルサリチル酸、３−ｔ−ドデシルサリチル酸、５−ｔ−ドデシルサリチル酸、５−シクロヘキシルサリチル酸、３，５−ビス（α，α−ジメチルベンジル）サリチル酸、３−メチル−５−（α−メチルベンジル）サリチル酸、３−（α，α−ジメチルベンジル）−５−メチルサリチル酸、３−（α，α−ジメチルベンジル）−６−メチルサリチル酸、３−（α−メチルベンジル）−５−（α，α−ジメチルベンジル）サリチル酸、３−（α，α−ジメチルベンジル）−６−エチルサリチル酸、３−フェニル−５−（α，α−ジメチルベンジル）サリチル酸、カルボキシ変性テルペンフェノール樹脂、３，５−ビス（α−メチルベンジル）サリチル酸とベンジルクロリドとの反応生成物であるサリチル酸樹脂等の、亜鉛塩、ニッケル塩、アルミニウム塩、カルシウム塩等を挙げることができる。

（顕色剤分散液の調製）
顕色剤分散液は、電子受容性化合物が上記の無機化合物である場合、無機化合物を機械的に水系で分散処理することにより調製することができ、また、電子受容性化合物が有機化合物である場合、有機化合物を機械的に水系で分散処理するか、又は有機溶媒に溶解することにより調製することができる。
詳細は、特開平８−２０７４３５号公報に記載された方法を参照することができる。

（顕色剤層形成用の調製液の調製）
上記のようにして調製された顕色剤分散液（電子受容性化合物分散液）は、そのまま電子受容性化合物を含有する顕色剤層を形成するための調製液（特に塗布液）としてもよい。また、顕色剤層を形成するための調製液（特に塗布液）には、バインダーとして、スチレン−ブタジエン共重合体ラテックス、酢酸ビニル系ラテックス、アクリル酸エステル系ラテックス、ポリビニルアルコール、ポリアクリル酸、無水マレイン酸−スチレン−共重合体、デンプン、カゼイン、アラビアゴム、ゼラチン、カルボキシメチルセルロース、メチルセルロースなどの合成又は天然高分子物質を添加してもよい。また、顔料として、カオリン、焼成カオリン、カオリン凝集体、重質炭酸カルシウム、種々の形態（米粒状、角状、紡錘状、イガ状、球状、アラゴナイト系柱状、無定形等）の軽質炭酸カルシウム、タルク、ルチル型またはアナターゼ型の二酸化チタン等を添加してもよい。更には、所望により蛍光増白剤、消泡剤、浸透剤、防腐剤を添加することもできる。

前記顕色剤層形成用の調製液を塗布液として用いる場合、塗布液の塗工方法としては、通常の塗工機を用いて塗布、乾燥させて行なえる。具体的な塗工機の例としては、ブレードコーター、ロッドコーター、エアーナイフコーター、カーテンコーター、グラビアコーター、バーコーター、ロールコーター、エクストルージョンコーター、ダイコーター、スライドビードコーター、ブレードコーター等を挙げることができる。

本発明における圧力測定用材料が、電子供与性無色染料前駆体内包のマイクロカプセルと電子受容性化合物とがそれぞれ別個の基材に塗工等されて構成される２シートタイプの場合、例えば、顕色剤含有の塗布液を所望のシート状基材の上に、直接もしくは他の層を介して塗布し、乾燥させることにより、少なくとも顕色剤層が形成されたシート材を得ることができる。また、電子供与性無色染料前駆体内包のマイクロカプセルと電子受容性化合物とが単一のシート状基材に塗工等されて構成されるモノシートタイプの場合、例えば、所望のシート状基材の上に直接もしくは他の層を介して、顕色剤含有の塗布液を塗布し、乾燥させることにより、圧力測定用材料を構成する顕色剤層を形成することができる。

電子受容性化合物（顕色剤）の顕色剤層中における量（塗布による場合は塗布量）は、乾燥後の質量で０．１〜３０ｇ／ｍ^２が好ましく、より好ましくは、無機化合物の場合は３〜２０ｇ／ｍ^２であり、有機化合物の場合は０．１〜５ｇ／ｍ^２であり、さらに好ましくは、無機化合物の場合は５〜１５ｇ／ｍ^２であり、有機化合物の場合は０．２〜３ｇ／ｍ^２である。

本発明における圧力測定用材料は、その構成により固有の圧力測定範囲の下限を有している。圧力測定範囲の下限としては、０．０１〜０．１ＭＰａが好ましく、０．０２〜０．０５ＭＰａがより好ましい。

＜凹凸シート＞
本発明において用いられる凹凸シートは、前記（２Ａ）及び（２Ｂ）圧力測定方法に用いられる凹凸シート（以下、適宜、それぞれ「凹凸シートＡ」及び「凹凸シートＢ」ともいう。）である。以下に、前記凹凸シートＡ及びＢについて詳細に説明する。

＜凹凸シートＡ＞
前記（２Ａ）圧力測定方法において用いられた凹凸シートＡは、厚さ０．０５ｍｍ以上の基底部上に、軟質樹脂からなる円錐状の凸部を有し、総厚０．５ｍｍ以下に構成される。ここで、総厚とは、基底部の厚さと凸部の高さとの合計である。
前記総厚が０．５ｍｍより厚いと、圧力測定の際に凹凸シートがクッションの役割をしてしまい、正確な圧力分布の測定を行うことができない場合がある。本発明による効果をより効果的に奏する観点からは、前記総厚としては、０．０５〜０．４ｍｍが好ましく、０．０７〜０．３ｍｍがより好ましい。

前記基底部は、製造の容易性の観点や取り扱いの容易性の観点から、厚さ０．０５ｍｍ以上であることが必要である。
本発明による効果をより効果的に奏する観点からは、前記基底部の厚さは０．０５〜０．１５ｍｍが好ましく、０．０５〜０．１ｍｍがより好ましい。

基底部の材質には特に限定はなく、硬質樹脂、軟質樹脂（例えば、凸部と同材質の軟質樹脂）等の材料を用いることができる。
中でも、製造の容易性、取り扱いの容易性の観点や圧力又はその分布をより正確に測定する観点からは、硬質樹脂が好ましい。
本発明において「硬質樹脂」とは、ヤング率が５００ＭＰａ以上である樹脂をいう。
硬質樹脂としては、ポリエチレンテレフタレート（ＰＥＴ）、ポリエチレン、ポリスチレン、ポリプロピレン、ポリカーボネート、アクリル等が好ましく、ポリエチレンテレフタレート（ＰＥＴ）、ポリカーボネート、アクリルがより好ましく、ポリエチレンテレフタレート（ＰＥＴ）が特に好ましい。

前記凹凸シートＡにおける凸部は、軟質樹脂からなり円錐状の構造を有して構成される。
本発明において「軟質樹脂」とは、ヤング率が５０ＭＰａ以下である樹脂をいう。
軟質樹脂としては、軟質ＵＶ硬化性樹脂、軟質アクリルが好ましく、軟質ＵＶ硬化性樹脂がより好ましい。
前記軟質ＵＶ硬化性樹脂としては、アクリル系のＵＶ硬化性樹脂が好ましい。
なお、本発明において「ＵＶ」とは、紫外光（Ｕｌｔｒａ Ｖｉｏｌｅｔ）を意味する。

前記凹凸シートＡにおける凸部は、圧力により変形する硬さであれば特に限定はないが、凸部のヤング率が０．０５〜５ＭＰａであることが好ましく、０．１〜１ＭＰａであることがより好ましい。
前記凹凸シートＡにおける凸部の頂角としては、本発明による効果をより効果的に奏する観点からは、１４５〜１６５°が好ましく、１５０〜１６０°がより好ましい。
前記凹凸シートＡにおける凸部の間隔としては、本発明による効果をより効果的に奏する観点からは、１〜１０ｍｍが好ましく、２〜５ｍｍがより好ましい。
前記凹凸シートＡにおける凸部の高さとしては、本発明による効果をより効果的に奏する観点からは、０．０５〜０．４５ｍｍが好ましく、０．１〜０．３ｍｍがより好ましい。
前記凹凸シートＡにおける凸部の密度としては、本発明による効果をより効果的に奏する観点からは、１〜１００個／ｍｍ^２が好ましく、４〜２５個／ｍｍ^２がより好ましい。

図９は、本発明の一実施形態（（２Ａ）の測定方法）における凹凸シート５２を模式的に示した断面図である。図９の凹凸シートは、基底部と凸部とが同材質の軟質熱可塑性樹脂である形態である。厚さｔ１の基底部の上に、高さＨ、頂角θの凸部が、間隔Ｌで設けられている。
図１０は、本発明の別の実施形態における凹凸シート５４を模式的に示した断面図である。図１０の凹凸シートは、凸部が軟質ＵＶ硬化性樹脂であり、基材（基底部）が硬質樹脂である形態である。厚さｔ２の基材（基底部）の上に、高さＨ、頂角θの凸部が、間隔Ｌで設けられている。

＜凹凸シートの製造方法＞
本発明における凹凸シートの製造方法には特に限定はなく、フォトリソグラフィー方式を用いて製造する方法、熱プレス方式を用いて製造する方法、パターンロールとＵＶ硬化樹脂とを用いて製造する方法等、種々の方法を用いることができる。

中でも、凹凸シートの厚さを薄く、かつ、均一に形成できる点等からは、パターンロールとＵＶ硬化性樹脂とを用いて製造する方法が好ましい。例えば、凹凸シートの凸部の反転パターン（凹部）が表面に形成されたパターンロールと、連続的に供給される基材との間に、ＵＶ硬化性樹脂の前駆体であるモノマー溶液を供給し、供給されたモノマー溶液にＵＶ光を照射してＵＶ硬化性樹脂からなる凸部を基材上に形成し、形成された凸部をパターンロールから剥離して凸部が形成された基材を得、必要に応じ該基材を巻き取る方法が好適である。

図１１は、上記好ましい製造方法に用いられる凹凸シート製造装置６０を模式的に示した断面図である。
凹凸シート製造装置６０は、凹凸シートの基底部となる基材８２を連続的に搬送する搬送路の上流側から下流側に向かって（搬送方向Ｓの方向）、基材８２を連続的に供給する供給ローラー６２、供給された基材８２を連続的に搬送する搬送ローラー６４、搬送ローラー６６、搬送ローラー６８、及び基材８２を巻き取るための巻き取りローラー７２を有して構成される。さらに、基材８２の搬送路を介して搬送ローラー６４に対向する位置には塗布装置７４が備えられており、ＵＶ硬化樹脂の前駆体であるモノマー溶液７６を基材８２上に付与できるようになっている。搬送ローラー６６と搬送ローラー６８との間には、円柱状のパターンロール８０が備えられており、この間では基材８２は、該パターンロール８０の弧に沿って変形し、該パターンロールの回転に合わせて移動するようになっている。パターンロール８０の表面には、製造する凹凸シートの凸部の反転パターンである凹部８１（図１０中では、便宜上一部の凹部にのみ符号８１を付す）が設けられている。また、基材８２の搬送路を介してパターンロール８０に対向する位置には、基材８２上に供給されたモノマー溶液７６を硬化するためのＵＶ光源７０が設けられている。

次に、凹凸シート製造装置６０を用いて凹凸シートを製造する方法について説明する。
まず、供給ローラー６２により基材８２を連続的に供給し、供給された基材８２上に塗布装置７４によりモノマー溶液７６を連続的に塗布する。
基材８２の幅（搬送方向Ｓに直交する方向における長さ）は、２００〜２０００ｍｍが好ましい。基材８２の長さは、１００〜４０００ｍが好ましい。基材８２の厚さは、５０〜４５０μｍが好ましい。搬送速度は０．５〜５０ｍ／ｍｉｎが好ましい。モノマー溶液７６の塗布幅は、１００〜１８００ｍｍが好ましく、モノマー溶液７６の塗布量は、２〜２００ｍｌ／ｍ^２が好ましい。

モノマー溶液７６が塗布された基材８２は、搬送ローラー６６を通過後、回転方向Ｒに回転するパターンロール８０の弧に沿って変形し、該回転に合わせて搬送される。この際、モノマー溶液７６は、パターンロール８０表面の凹部８１と基材８２との間に充填される。
ここで、パターンロール８０の回転速度は、基材８２の搬送速度と等しくなっていることが好ましい。パターンロール８０の直径は、１００〜５００ｍｍが好ましく、パターンロール８０の幅は、３００〜２２００ｍｍが好ましい。

次に、パターンロール８０の回転に合わせて移動する基材８２及びモノマー溶液７６に対し、ＵＶ光源７０によりＵＶ光（紫外光）を照射し、モノマー溶液７６の硬化を行い、ＵＶ硬化樹脂からなる凸部８４を基材８２上に形成する。この際のＵＶ照射量は、１００〜２０００ｍＪ／ｃｍ^２が好ましい。

次に、基材８２が搬送ローラー６８を通過する際に、形成された凸部８４を、パターンロール８０から剥離する。凸部８４が形成された基材８２は、巻き取りローラー７２によって巻き取る。
巻き取られた凸部８４付き基材８２は、用途に応じて適当な大きさに切断され、凹凸シートとして用いられる。

＜凹凸シートＢ＞
前記（２Ｂ）圧力測定方法において用いられた凹凸シートＢは、前記圧力測定用材料と共に用いて圧力測定を行うための凹凸シートであって、硬質樹脂からなる厚さ０．０５ｍｍ以上の基底部上に、該基底部に平行な露出面を有する硬質樹脂からなる凸部を複数有し、総厚０．５ｍｍ以下であり、前記露出面の面積をＳ、前記複数の凸部間の間隔をＬ、前記凹凸シートと前記圧力測定用材料とを共に用いて圧力測定を行う場合の圧力測定下限に対する前記圧力測定用材料の圧力測定下限の比をＲとしたとき、Ｓ＝（Ｌ×Ｌ）／Ｒ
の関係を満たすように構成される凹凸シートである。

前記凹凸シートＢを上記構成とすることで、圧力測定用材料に固有の圧力測定下限値にて被測定物と圧力測定用材料との間に圧力を加えた場合には、被測定物中の該圧力が加えられた面の面積と、該圧力が集中する前記露出面の面積と、の関係により、該圧力は約（（Ｌ×Ｌ）／Ｓ）倍に増幅される。このため、前記被測定物と圧力測定用材料との間に加える圧力が、該圧力測定用材料に固有の測定下限以下である場合であっても、圧力値又は圧力分布を正確に測定できる。特に、コピー機又はプリンター製造工程での搬送ローラーにおける挟み圧測定、液晶ディスプレイ製造工程でのガラス基板の接着における張り合わせ圧測定、半導体製造工程でのシリコンウエハの研磨における押し付け圧測定等に好適である。

本発明において、「複数の凸部間の間隔」とは、凸部の露出面中心と該凸部に最近接する別の凸部の露出面中心との距離をいう。
本発明において、「圧力測定用材料の圧力測定下限」とは、凹凸シートＢと共に用いずに、圧力測定用材料単独で圧力測定を行う場合の測定下限を指す。圧力測定用材料はその構成により固有の測定下限を有しているが、本実施態様の凹凸シートＢと組み合わせて用いることにより、圧力測定の感度がＲ倍となる（即ち、圧力測定用材料固有の測定下限値の１／Ｒの圧力の測定が可能となる）。本発明による効果をより効果的に得る観点からは、前記Ｒの具体的な範囲としては、２〜２０が好ましく、５〜１０がより好ましい。
以下において、凹凸シートＢと圧力測定用材料とを共に用いて圧力測定を行う場合の圧力測定下限に対する圧力測定用材料の圧力測定下限の比Ｒを、「圧力増幅率Ｒ」ということがある。

本実施態様における凹凸シートＢを用いた圧力測定方法にて測定できる圧力範囲は、ともに用いる圧力測定用材料の測定下限値以下の範囲であることが好ましい。本発明による効果をより効果的に奏する観点からは、０．００２〜０．０８ＭＰａの範囲が好ましく、０．００４〜０．０４ＭＰａの範囲がより好ましい。

本実施態様における凹凸シートＢは、硬質樹脂からなる厚さ０．０５ｍｍ以上の基底部上に、該基底部に平行な露出面を有する硬質樹脂からなる凸部を複数有し、総厚０．５ｍｍ以下に構成される。ここで、総厚とは、基底部の厚さと凸部の高さとの合計である。
前記総厚が０．５ｍｍより厚いと、圧力測定の際に凹凸シートＢがクッションの役割をしてしまい、正確な圧力分布の測定を行うことができない場合がある。本発明による効果をより効果的に奏する観点からは、前記総厚としては、０．０５ｍｍ〜０．４ｍｍが好ましく、０．０７ｍｍ〜０．３ｍｍがより好ましい。

前記基底部は、製造の容易性の観点や取り扱いの容易性の観点から、厚さ０．０５ｍｍ以上であることが必要である。
本発明による効果をより効果的に奏する観点からは、前記基底部の厚さは０．０５ｍｍ〜０．１５ｍｍが好ましく、０．０５ｍｍ〜０．１ｍｍがより好ましい。

前記凸部の形状については前記基底部に平行な露出面を有していれば特に限定はなく、例えば、円柱形、多角柱形（三角柱、四角柱等）等の形状とすることができる（例えば、図１２、１４、１５参照）。また、前記凸部の側面は基底部に垂直である場合に限られず、前記基底部に平行な露出面の面積と前記基底部に接する面の面積とが異なる形状であってもよい（例えば、図１３参照）。
図１２は、第１の実施形態に係る凹凸シートＢ１０を示す斜視図である。シート状の基底部１２上に円柱形状の凸部１４が設けられている。
図１３は、第２の実施形態に係る凹凸シートＢ２０を示す斜視図である。シート状の基底部１２上に、底面が基底部に接する円錐を該底面に平行な平面で切った形状（以下、「台形円柱形状」ともいう）である凸部１５が設けられている。
図１４は、第３の実施形態に係る凹凸シートＢ３０を示す斜視図である。シート状の基底部１２上に四角柱形状の凸部１６が設けられている。
図１５は、第４の実施形態に係る凹凸シートＢ４０を示す斜視図である。シート状の基底部１２上に三角柱形状の凸部１７が設けられている。

本実施態様における基底部は、硬質樹脂からなる。
本実施態様において「硬質樹脂」とは、ヤング率が５００ＭＰａ以上である樹脂をいう。
基底部に用いられる硬質樹脂としては、ポリエチレンテレフタレート（ＰＥＴ）、ポリエチレン、ポリスチレン、ポリプロピレン、ポリカーボネート、アクリル等が好ましく、ポリエチレンテレフタレート（ＰＥＴ）、ポリカーボネート、アクリルがより好ましく、ポリエチレンテレフタレート（ＰＥＴ）が特に好ましい。

本実施態様における凸部は、硬質樹脂からなる。
凸部に用いられる硬質樹脂としては、硬質熱可塑性樹脂、硬質ＵＶ硬化性樹脂が好ましく、硬質ＵＶ硬化性樹脂がより好ましい。
硬質熱可塑性樹脂としては、ポリカーボネート、硬質アクリルが好ましく、硬質アクリルがより好ましい。
硬質ＵＶ硬化性樹脂としては、アクリル系のＵＶ硬化性樹脂が好ましい。
なお、本発明において「ＵＶ」とは、紫外線（Ｕｌｔｒａ Ｖｉｏｌｅｔ）を意味する。

本実施態様における凸部は、本発明による効果をより効果的に奏する観点からは、圧力により変形しない程度の硬さであることが好ましい。
凸部のヤング率は５００ＭＰａ以上であることが好ましく、１０００ＭＰａ以上であることがより好ましい。
本実施態様における凸部の基底部に平行な露出面としては、本発明による効果をより効果的に奏する観点からは、０．０５ｍｍ^２〜２０ｍｍ^２が好ましく、０．１ｍｍ^２〜５ｍｍ^２がより好ましい。
本実施態様における凸部の間隔としては、本発明による効果をより効果的に奏する観点からは、１ｍｍ〜１０ｍｍが好ましく、２ｍｍ〜５ｍｍがより好ましい。
本実施態様における凸部の高さとしては、本発明による効果をより効果的に奏する観点からは、０．０５ｍｍ〜０．４５ｍｍが好ましく、０．１ｍｍ〜０．３ｍｍがより好ましい。
本実施態様における凸部の密度としては、本発明による効果をより効果的に奏する観点からは、１個／ｍｍ^２〜１００個／ｍｍ^２が好ましく、４個／ｍｍ^２〜２５個／ｍｍ^２がより好ましい。

＜凹凸シートＢの製造方法＞
本実施態様における凹凸シートＢの製造方法には特に限定はなく、フォトリソグラフィー方式を用いて製造する方法、熱プレス方式を用いて製造する方法、パターンロールとＵＶ硬化樹脂とを用いて製造する方法等、種々の方法を用いることができる。

中でも、凹凸シートＢの厚さを薄く、かつ、均一に形成できる点等からは、パターンロールとＵＶ硬化樹脂とを用いて製造する方法が好ましい。例えば、凹凸シートＢの凸部の反転パターン（凹部）が表面に形成されたパターンロールと、連続的に供給される基材との間に、ＵＶ硬化樹脂の前駆体であるモノマー溶液を供給し、供給されたモノマー溶液にＵＶ光を照射してＵＶ硬化樹脂からなる凸部を基材上に形成し、形成された凸部をパターンロールから剥離して凸部が形成された基材を得、さらに必要に応じ、該基材を巻き取る方法が好適である。

図１６は、上記好ましい製造方法に用いられる凹凸シートＢ製造装置６０を模式的に示した断面図である。
凹凸シートＢ製造装置６０は、基底部となる基材４２を連続的に搬送する搬送路の上流側から下流側に向かって、基材４２を連続的に供給する供給ローラー２２、供給された基材４２を連続的に搬送する搬送ローラー２４、搬送ローラー２６、搬送ローラー２８、及び基材４２を巻き取るための巻き取りローラー３２を有して構成される。さらに、基材４２の搬送路を介して搬送ローラー２４に対向する位置には塗布装置３４が備えられており、ＵＶ硬化樹脂の前駆体であるモノマー溶液３６を基材４２上に付与できるようになっている。搬送ローラー２６と搬送ローラー２８との間には、円柱状のパターンロール５０が備えられており、この間では基材４２は、該パターンロール５０の弧に沿って変形し、該パターンロールの回転に合わせて移動するようになっている。パターンロール５０の表面には、製造する凹凸シートＢの凸部の反転パターンである凹部４１（図５中では、便宜上一部の凹部にのみ符号４１を付す）が設けられている。また、基材４２の搬送路を介してパターンロール５０に対向する位置には、基材４２上に供給されたモノマー溶液３６を硬化するためのＵＶ光源３１が設けられている。

次に、凹凸シート製造装置６０を用いて凹凸シートＢを製造する方法について説明する。
まず、供給ローラー２２により基材４２を連続的に供給し、供給された基材４２上に塗布装置３４によりモノマー溶液３６を連続的に塗布する。
基材４２の幅（搬送方向Ｓに直交する方向についての長さ）は、２００ｍｍ〜２０００ｍｍが好ましい。基材４２の長さは、１００ｍ〜４０００ｍが好ましい。基材４２の厚さは、５０μｍ〜４５０μｍが好ましい。搬送速度は０．５ｍ／ｍｉｎ〜５０ｍ／ｍｉｎが好ましい。モノマー溶液３６の塗布幅は、１００ｍｍ〜１８００ｍｍが好ましく、モノマー溶液３６の塗布量は、２ｍｌ／ｍ^２〜２００ｍｌ／ｍ^２が好ましい。

モノマー溶液３６が塗布された基材４２は、搬送ローラー２６を通過後、回転方向Ｒに回転するパターンロール５０の弧に沿って変形し、該回転に合わせて搬送される。この際、モノマー溶液３６は、パターンロール５０表面の凹部４１と基材４２との間に充填される。
ここで、パターンロール５０の回転速度は、基材４２の搬送速度と等しくなっていることが好ましい。パターンロール５０の直径は、１００ｍｍ〜５００ｍｍが好ましく、パターンロール５０の幅は、３００ｍｍ〜２２００ｍｍが好ましい。

次に、パターンロール５０の回転に合わせて移動する基材４２及びモノマー溶液３６に対し、ＵＶ光源３１によりＵＶ光（紫外光）を照射し、モノマー溶液３６の硬化を行い、ＵＶ硬化樹脂からなる凸部４４を基材４２上に形成する。この際のＵＶ照射量は、１００ｍＪ／ｃｍ^２〜２０００ｍＪ／ｃｍ^２が好ましい。

次に、基材４２が搬送ローラー２８を通過する際に、形成された凸部４４を、パターンロール５０から剥離する。凸部４４が形成された基材４２は、巻き取りローラー３２によって巻き取る。
巻き取られた凸部４４付き基材４２は、用途に応じて適当な大きさに切断され、凹凸シートＢとして用いられる。
なお、図５では、凸部４４が円柱形状である場合を表しているが、上記凹凸シートの製造方法により製造できる凹凸シートＢの凸部の形状は、円柱形状である場合に限られない。例えば、パターンロール５０表面の凹部の形状を適宜変更することにより、凸部を、前述の台形円柱形状や三角柱形状、四角柱形状等、その他の形状に形成することができる。

以下、本発明を実施例により更に具体的に説明するが、本発明は以下の実施例に限定されるものではない。なお、特に断りのない限り、「部」は質量基準である。

［実施例１］
（電子供与性無色染料シート（１）の作製）
−電子供与性無色染料前駆体内包マイクロカプセル液（Ａ）の調製−
電子供与性無色染料として化合物（Ａ）１８質量部をイソプロピルビフェニル７０質量部に溶解し溶液Ａを得た。メチルエチルケトン１質量部に溶解したエチレンジアミンのブチレンオキシド付加物０．４質量部を、攪拌している溶液Ａに加えて、溶液Ｂを得た。メチルエチルケトン１質量部に溶解したトリレンジイソシアナートのトリメチロールプロパン付加物２質量部を、攪拌している溶液Ｂに加えて、溶液Ｃを得た。水１５０質量部にポリビニルアルコール６質量部を溶解した溶液中に溶液Ｃを加えて、乳化分散した。前記乳化液に水３００質量部を加え、攪拌しながら７０℃まで加温し、１時間攪拌後冷却し、電子供与性無色染料を内包したマイクロカプセルを含む塗布液を得た。得られたマイクロカプセルの体積標準でのメジアン径は２０μｍであった。

−電子供与性無色染料シート（１）の作製−
このマイクロカプセル塗布液を、厚さ７５μｍのポリエチレンテレフタレート（ＰＥＴ）シートの上に、乾燥後の質量が３．０ｇ／ｍ^２となるように塗布乾燥して、電子供与性無色染料シート（１）を得た。

（顕色剤シート（１）の作製）
−顕色剤含有塗布液の調製−
硫酸処理活性白土１００質量部に４０％水酸化ナトリウム水溶液５質量部、水３００質量部を加えてホモジナイザーで分散し、さらにカゼインのナトリウム塩の１０％水溶液５０質量部、スチレンーブタジエンラテックス３０質量部を添加して顕色剤（電子受容性化合物）含有塗布液を調製した。
−顕色剤シート（１）の作製−
厚さ７５μｍのポリエチレンテレフタレート（ＰＥＴ）シートの上に、顕色剤含有塗布液を固形分塗布量が１０ｇ／ｍ^２になるように塗布して、顕色剤シート（１）を得た。

（圧力測定用材料（１）の作製）
上記で得られた電子供与性無色染料シート（１）と顕色剤シート（１）とを、電子供与性無色染料シートの発色剤層の表面と顕色剤シートの顕色剤層の表面とが向き合うようにして重ね合わせて圧力測定用材料（１）を作製した。

（凹凸シート（１）の作製）
図１１に示す凹凸シートＡ製造装置６０を用い、図１０に示すような、硬質樹脂からなる基底部と軟質樹脂からなる凸部とを有する凹凸シート（１）を作製した。
まず、供給ローラー６２により基材８２を連続的に供給し、供給された基材８２上に塗布装置７４によりモノマー溶液７６を連続的に塗布した。ここで、基材８２としては、幅４５０ｍｍ、厚さ１００μｍのＰＥＴ（ポリエチレンテレフタレート、以下同じ）フィルムを用いた。供給速度及び搬送速度は、２ｍ／ｍｉｎとした。モノマー溶液７６としては、アクリル系モノマーと光重合開始剤とをメチルエチルケトンで希釈して６７質量％としたものを用いた（詳細な組成は以下のとおりである）。モノマー溶液７６の塗布量は、９０ｍｌ／ｍ^２とし、塗布幅は３００ｍｍとした。

〜モノマー溶液の組成〜
・アクリル系モノマー ・・・ ６６質量部
・光重合開始剤 ・・・ １質量部
・メチルエチルケトン ・・・ ３３質量部

次に、モノマー溶液７６が塗布された基材８２をパターンロール８０の弧に密着させ、モノマー溶液７６を、パターンロール８０表面の凹部８１と基材８２との間に充填しながらパターンロール８０を２ｍ／ｍｉｎの速度で回転させた。パターンロール８０としては、φ３５０ｍｍ、幅（回転軸方向の長さ）５００ｍｍのパターンロールを用いた。

次に、基材８２及びモノマー溶液７６に対し、ＵＶ光源７０によりＵＶ光（紫外光、波長３６５ｎｍ）を照射し、モノマー溶液７６の硬化を行い、アクリル系ＵＶ硬化樹脂からなる凸部８４を形成した。ＵＶ照射量は１０００ｍＪ／ｃｍ^２とした。

次に、基材８２が搬送ローラー６８を通過する際に、形成された凸部８４を、パターンロール８０から剥離した。更に、凸部８４が形成された基材８２（凹凸シート（１））を、巻き取りローラー７２によって巻き取った。

以上により、凹凸シート（１）を得た。
得られた凹凸シート（１）の基底部の厚みは０．１ｍｍであり、総厚は０．３ｍｍであった。また、凸部の形状は、頂角１５１．９３°、高さ０．２ｍｍの円錐形であった。凸部は、２ｍｍ間隔の格子状に配置されていた。凸部の硬化後のヤング率を、テンシロン（オリエンテック製 ＲＴＭ−５０）によって測定したところ、１ＭＰａであった。

（評価・測定）
図１に示した真空圧により２枚のガラス基板を貼り合せる装置のエア抜きエンボスシート１０７と、ガラス基板１０４全面との間に、上記で得られた圧力測定用材料を挟み込んだ後、チャンバー内の圧力が０．０２ＭＰａになるまで真空ポンプで吸引し、その後真空を解除し、圧力測定用材料を取り出し、重ね合わせた前記両シートを剥離して発色状態を調べた。
エアー抜きエンボスシートの跡はついたが、均一に発色し、バランスよく加圧されていることが、確認された。

［実施例２］
実施例１において、図１におけるＵＶ硬化樹脂を取り除き、２枚のガラス基板（１０４と１０６）間の位置に、実施例１と同様に作製した圧力測定用材料（１）を挟み、チャンバー内の圧力が０．０２ＭＰａとなるまで真空ポンプで吸引した。
実施例１と同様にして、圧力測定用材料の発色状況を調べた。
前記圧力測定用材料が均一に発色していることにより、圧力が均一に加わっていることが確認できたが、エア抜けによる発色ムラが一部に見られた。

［実施例３］
実施例２において、２枚のガラス基板（１０４と１０６）間の位置に、圧力測定用材料（１）と凹凸シート（１）を挟み、実施例２と同様にチャンバー内の圧力が０．０２ＭＰａとなるまで真空ポンプで吸引した。
実施例２と同様にして、圧力測定用材料の発色状況を調べた。
前記圧力測定用材料が、片側で濃く発色していることにより、圧力バランスが悪いことが分かった。ガラス基板の位置精度を見直した。
発色は実施例２よりは鮮明で、凹凸シート（１）の間隙より、エアが抜ける為、エア抜けムラも無かった。
ガラス板の位置精度を調整後、上記と同様の操作を行い、圧力測定用材料の発色状況を調べた。
圧力測定用材料が均一に発色しており、バランスよく加圧されていることでガラス板の位置精度調整が良好であることが確認できた。

［比較例１］
実施例１において、実施例１で得られた圧力測定用材料を用いる代わりに、特公昭５７−２４８５２号公報に記載の実施例１の方法にて作製した圧力測定用材料を用いた以外は同様に行って発色状態を調べた。
前記圧力測定用材料は、ほとんど発色しておらず、圧力分布を調べることができなかった。

［比較例２］
実施例１において、実施例１で得られた圧力測定用材料を用いる代わりに、ニッタ株式会社 タクタイルセンサー ＢＩＧ−ＭＡＴ１３００を用いた以外は同様に行って発色状態を調べた。尚、該真空システムはクローズド系なので、真空ポンプで吸引中は解析システムと接続することはできなかった。
該ＢＩＧ−ＭＡＴ１３００を取り出し、解析システムに接続したが、何ら情報を読み取ることができなかった。

本発明の一実施形態における低圧時の様子を概念的に示した断面図である。 本発明の一実施形態における凹凸シートを示した斜視図である。 （Ａ）は本発明の一実施形態における低圧時の様子を概念的に示した断面図であり、（Ｂ）は（Ａ）における圧力測定用材料の平面図である。 （Ａ）は本発明の一実施形態における中圧時の様子を概念的に示した断面図であり、（Ｂ）は（Ａ）における圧力測定用材料の平面図である。 （Ａ）は本発明の一実施形態における高圧時の様子を概念的に示した断面図であり、（Ｂ）は（Ａ）における圧力測定用材料の平面図である。 本発明の一実施形態における圧力測定用材料の例を示した平面図である。 本発明の一実施形態における圧力画像解析装置の構成を概念的に示した図である。 （Ａ）本発明の一実施形態における圧力測定結果を２次元的に示した図であり、（Ｂ）は（Ａ）のＡ−Ａ線に沿った圧力測定結果である。 本発明の一実施形態における凹凸シートを模式的に示した断面図である。 本発明の別の実施形態における凹凸シートを模式的に示した断面図である。 本発明の一実施形態における、凹凸シートの好ましい製造方法に用いられる凹凸シート製造装置を模式的に示した断面図である。 第１の実施形態に係る凹凸シートを示した斜視図である。 第２の実施形態に係る凹凸シートを示した斜視図である。 第３の実施形態に係る凹凸シートを示した斜視図である。 第４の実施形態に係る凹凸シートを示した斜視図である。 本発明の凹凸シートの製造方法に用いられる凹凸シート製造装置の例を模式的に示した断面図である。 （Ａ）は本発明の一実施形態における低圧時の様子を概念的に示した断面図であり、（Ｂ）は（Ａ）における圧力測定用材料の平面図である。 （Ａ）は本発明の一実施形態における中圧時の様子を概念的に示した断面図であり、（Ｂ）は（Ａ）における圧力測定用材料の平面図である。 （Ａ）は本発明の一実施形態における高圧時の様子を概念的に示した断面図であり、（Ｂ）は（Ａ）における圧力測定用材料の平面図である。 本発明の一実施形態における圧力測定用材料の例を示した平面図である。 本発明の一実施形態における圧力画像解析装置の構成を概念的に示した図である。 （Ａ）本発明の一実施形態における圧力測定結果を２次元的に示した図であり、（Ｂ）は、（Ａ）のＡ−Ａ線に沿った圧力測定結果である。

符号の説明

１０、２０、３０、４０、５２、５４、７０ 凹凸シートＡ又はＢ
１２ 基底部
１４、１５、１６、１７、４４、７４、８４ 凸部
２０、２２、６１、６２ 被測定物
２４、６４ 圧力測定用材料
２８、６８ 発色領域
３０ スキャナー
６０ 凹凸シートＡ又はＢ製造装置
１００ 真空圧着装置
１０２ 圧力測定用材料
１０４，１０６ 被測定物
１０７、１０８ エア抜きエンボスシート
１１０ 真空チャンバー
１１２ ＵＶ硬化樹脂
Ｖ 減圧口

Claims (6)

1. ０．１ＭＰａ以下の圧力範囲の測定が可能な圧力測定用材料を用いて、真空圧着における圧力分布を測定することを特徴とする圧力分布測定方法。
2. 前記圧力測定用材料がマイクロカプセルに内包された電子供与性無色染料前駆体と前記電子供与性無色染料前駆体を発色させる電子受容性化合物とを含み、前記マイクロカプセルはδ／Ｄ＝１．０×１０^−３〜２．０×１０^−２〔δ：マクロカプセルの数平均壁厚（μｍ）、Ｄ：マイクロカプセルの体積標準のメジアン径（μｍ）〕の関係を満たすことを特徴とする請求項１に記載の圧力分布測定方法。
3. 前記圧力測定用材料が、０．０５ＭＰａでの加圧前後における発色濃度差ΔＤが０．０２以上であることを特徴とする請求項１又は請求項２に記載の圧力分布測定方法。
4. 前記圧力測定用材料が、前記マイクロカプセルの体積標準のメジアン径がＡμｍであるときに、直径（Ａ＋５）μｍ以上のマイクロカプセルが２ｃｍ×２ｃｍ当たり５０００〜３００００個存在することを特徴とする請求項２又は請求項３に記載の圧力分布測定方法。
5. 前記マイクロカプセルの体積標準のメジアン径Ａ（μｍ）が１０〜４０μｍであることを特徴とする請求項４に記載の圧力分布測定方法。
6. 下記条件（Ａ）又は（Ｂ）を満たす凹凸シートを更に用い、前記凹凸シートの凸部が前記圧力測定用材料に接触するように配置して測定することを特徴とする請求項１〜請求項５のいずれか１項に記載の圧力分布測定方法。
   ＜条件：（Ａ）＞
   厚さ０．０５ｍｍ以上の基底部上に軟質樹脂からなる円錐状の凸部を有し、総厚０．５ｍｍ以下であり、加圧により形成した発色領域をスキャナーで読み取り、圧力を求める場合に、前記スキャナーの読み取り解像度をＩ、前記スキャナーによる読み取り階調数をＮ、前記凸部の高さをＨ、前記凸部の頂角をθ、前記加圧を前記圧力測定用材料の測定下限の圧力で行った際の前記発色領域の直径をＤ_ｍａｘとしたとき、
   ｔａｎ（θ／２）＝Ｉ×（Ｎ＋１）／（２×Ｈ）かつＤ_ｍａｘ≧Ｉ×（Ｎ＋１）の関係を満たす。
   ＜条件：（Ｂ）＞
   硬質樹脂からなる厚さ０．０５ｍｍ以上の基底部上に、該基底部に平行な露出面を有する硬質樹脂からなる凸部を複数有し、総厚０．５ｍｍ以下であり、前記露出面の面積をＳ、前記複数の凸部間の間隔をＬ、圧力測定用材料と共に用いて圧力測定を行う場合の圧力測定下限に対する前記圧力測定用材料の圧力測定下限の比をＲとしたとき、
   Ｓ＝（Ｌ×Ｌ）／Ｒの関係を満たす。

Images