JP2009125872A - 研磨治具 - Google Patents
研磨治具 Download PDFInfo
- Publication number
- JP2009125872A JP2009125872A JP2007304530A JP2007304530A JP2009125872A JP 2009125872 A JP2009125872 A JP 2009125872A JP 2007304530 A JP2007304530 A JP 2007304530A JP 2007304530 A JP2007304530 A JP 2007304530A JP 2009125872 A JP2009125872 A JP 2009125872A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- leaf spring
- polishing
- spring
- polishing object
- welding
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
Links
Images
Landscapes
- Jigs For Machine Tools (AREA)
- Constituent Portions Of Griding Lathes, Driving, Sensing And Control (AREA)
Abstract
【解決手段】研磨対象保持部品1と板バネ2との間に介在して、前記研磨対象保持部品と前記板バネとを接合する中間部品4を備え、前記研磨対象保持部品と前記中間部品とが溶接により接合され、前記中間部品と前記板バネとが溶接により接合され、前記研磨対象保持部品と前記板バネとは接合されず、前記板バネと前記中間部品とは同じ材質で形成され、前記板バネと前記研磨対象保持部品とは異なる材質で形成されている。 これにより、板バネと研磨対象保持部品とが、異なる材質であっても良好に接合することが可能となる。
【選択図】図1
Description
特許文献1に記載された研磨治具は、被研磨部品(部材)が貼付される微小部品保持片(研磨対象保持部品)と、リーフスプリング(板バネ)と、前記微小具品保持片研磨対象保持部品)を前記リーフスプリング(板バネ)を介して支える研磨治具本体(ベース)とから構成されている。上記リーフスプリング(板バネ)は、その中間部で2回折り曲げ、折り返して、中央部付近を折り重ねた形に成形されている。
また、通常板バネと、研磨対象保持部品とは、要求される物性が異なるので、異なる材料で形成される。このため、溶接も異種材料同士の溶接となり、なおさら溶接が困難なものとなっていた。
即ち、本発明の研磨治具は、研磨対象の部材が底面に貼付される研磨対象保持部品と、前記研磨対象保持部品を略垂直に釣支する板バネと、前記板バネと接合され前記板バネを支えるベースとで構成された研磨治具であって、前記研磨対象保持部品と前記板バネとの間に介在して、前記研磨対象保持部品と前記板バネとを接合する中間部品を備え、前記研磨対象保持部品と前記中間部品とが溶接により接合され、前記中間部品と前記板バネとが溶接により接合され、前記研磨対象保持部品と前記板バネとは接合されず、前記板バネと前記中間部品とは同じ材質で形成され、前記板バネと前記研磨対象保持部品とは異なる材質で形成されていることを主要な特徴としている。
本発明の一実施形態に係る研磨治具の構成について図を用いて説明する。図1(A)は、本発明の一実施形態に係る研磨治具の概略斜視図である。
板バネ2の片端には、研磨対象保持部品1が接合され、反対端にはベース3が接合されている。
研磨対象保持部品1の同一側面の上部と下部とにそれぞれ板バネ2の一端が接合されている。
している。これにより、複数の研磨対象保持部品1は、それぞれ独立して上下方向の動きが可能となっている。
続いて、研磨対象保持部品1と、板バネ2との接合部分の構成について更に詳細に説明する。図1(B)は、図1(A)において矢印Bの方向から見た垂直断面図である。
図1(B)に示すように、研磨対象保持部品1と、板バネ2とは、中間部品4を介して接合されている。即ち、板バネ2と、中間部品4とが溶接部5によって接合され、板バネ2と接合された中間部品4は、研磨対象保持部品1に形成された凹部に挿入され、中間部品4と研磨対象保持部品1とが溶接部6によって接合されている。板バネ2と、研磨対象保持部品1とは、直接には接合されていない。
本発明の一実施形態に係る研磨治具の使用例について図を用いて説明する。図2は、本発明の一実施形態に係る研磨治具の使用状態の概略斜視図である。
図2に示すように、基板から切り出した1個の細長い板状の部材21が、並列した複数の研磨対象保持部品1の底面に貼付されている。
2 板バネ
3 ベース
4 中間部品
5 溶接部
6 溶接部
7 溶接不可部
20 研磨盤
21 部材
22 押圧手段
Claims (3)
- 研磨対象の部材が底面に貼付される研磨対象保持部品と、前記研磨対象保持部品を略垂直に釣支する板バネと、前記板バネと接合され前記板バネを支えるベースとで構成された研磨治具であって、
前記研磨対象保持部品と前記板バネとの間に介在して、前記研磨対象保持部品と前記板バネとを接合する中間部品を備え、
前記研磨対象保持部品と前記中間部品とが溶接により接合され、
前記中間部品と前記板バネとが溶接により接合され、
前記研磨対象保持部品と前記板バネとは接合されず、
前記板バネと前記中間部品とは同じ材質で形成され、前記板バネと前記研磨対象保持部品とは異なる材質で形成されていること、
を特徴とする研磨治具 - 前記中間部品は、互いに平行な面の組を少なくとも3組備えた形状であり、
前記研磨対象保持部品には凹部が形成され、
前記中間部品を構成する少なくとも一つの面が、前記凹部の底面に接触した状態で、前記中間部品と前記研磨対象保持部品とが溶接により接合され、
前記中間部品の面のうち、前記底面と接触している面に垂直な面と、前記板バネを構成する面とが接触し、
前記中間部品と前記板バネとの溶接接合部分は、前記中間部品の面のうち前記底面と接触している面に対向する面と、前記板バネを構成する面との境界部分以外の部分の少なくとも一部であること、
を特徴とする請求項1に記載の研磨治具。 - 前記研磨対象保持部品は、SUS440Cで形成され、
前記板バネは、SUS304-CSPで、前記中間部品は、SUS304−CPで形成されていること、
を特徴とする請求項1または2のいずれかに記載の研磨治具。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2007304530A JP5048466B2 (ja) | 2007-11-26 | 2007-11-26 | 研磨治具 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2007304530A JP5048466B2 (ja) | 2007-11-26 | 2007-11-26 | 研磨治具 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2009125872A true JP2009125872A (ja) | 2009-06-11 |
JP5048466B2 JP5048466B2 (ja) | 2012-10-17 |
Family
ID=40817296
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2007304530A Expired - Fee Related JP5048466B2 (ja) | 2007-11-26 | 2007-11-26 | 研磨治具 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP5048466B2 (ja) |
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2015125790A (ja) * | 2013-12-27 | 2015-07-06 | 株式会社日立情報通信エンジニアリング | 微小部品保持治具 |
Citations (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2001030157A (ja) * | 1999-07-21 | 2001-02-06 | Hitachi Metals Ltd | 磁気ヘッドの加工方法及び加工装置並びに加工治具 |
JP2007160429A (ja) * | 2005-12-12 | 2007-06-28 | Hitachi Computer Peripherals Co Ltd | 微小部品の研磨治具 |
-
2007
- 2007-11-26 JP JP2007304530A patent/JP5048466B2/ja not_active Expired - Fee Related
Patent Citations (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2001030157A (ja) * | 1999-07-21 | 2001-02-06 | Hitachi Metals Ltd | 磁気ヘッドの加工方法及び加工装置並びに加工治具 |
JP2007160429A (ja) * | 2005-12-12 | 2007-06-28 | Hitachi Computer Peripherals Co Ltd | 微小部品の研磨治具 |
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2015125790A (ja) * | 2013-12-27 | 2015-07-06 | 株式会社日立情報通信エンジニアリング | 微小部品保持治具 |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JP5048466B2 (ja) | 2012-10-17 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
JP5853081B2 (ja) | ワークピースから多数のウェハを同時に切り出すための方法 | |
EP2446974B1 (en) | Ultrasonic bonding tool, method for manufacturing ultrasonic bonding tool, ultrasonic bonding method, and ultrasonic bonding apparatus | |
JP5576499B2 (ja) | 切削工具 | |
WO2007122679A1 (ja) | 板状刃物および固定治具 | |
JP2007136463A (ja) | プレスブレーキ用金型およびその製造方法 | |
US20070228879A1 (en) | Cutting device, processing apparatus, molding die, optical element and cutting method | |
JP4292277B2 (ja) | 超音波接合装置 | |
JP5048466B2 (ja) | 研磨治具 | |
JP2008149456A (ja) | 切削用振動体、振動切削ユニット、加工装置、成形金型、及び光学素子 | |
JP4257385B2 (ja) | 切断装置のワーククランプ構造 | |
JP2004330228A (ja) | 超音波接合装置 | |
US6357650B1 (en) | Method of wire-bonding between pad on semiconductor chip and pad on circuit board on which the semiconductor chip is mounted | |
JP2002283225A (ja) | 凹球面の加工装置および加工方法 | |
JP2008119822A (ja) | 工具スピンドル用のサポート | |
JP4353997B2 (ja) | ワークの切断装置 | |
JP7195829B2 (ja) | 液体吐出ヘッド及び液体吐出装置の製造方法 | |
JP4147258B2 (ja) | ワークの切断方法及び切断装置 | |
JP2020168685A (ja) | センターレス研削盤のワークレストおよびその製造方法 | |
JP6454454B2 (ja) | クランプ治具及びワーク研磨方法 | |
CN219403886U (zh) | 金属靶磨加工夹具 | |
JP2007003846A (ja) | レンズ付き光ファイバ | |
KR200496261Y1 (ko) | 다중 그룹 연마 기구를 구비하는 그라인딩 머신 | |
JP2002086325A (ja) | 精密バイス | |
JP3914097B2 (ja) | ボンディングツール、および電子部品の接合装置 | |
JP4500994B2 (ja) | 切削工具及び切削装置 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
RD02 | Notification of acceptance of power of attorney |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A7422 Effective date: 20091211 |
|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20101021 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20120712 |
|
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20120719 |
|
FPAY | Renewal fee payment (prs date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20150727 Year of fee payment: 3 |
|
R150 | Certificate of patent (=grant) or registration of utility model |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |
|
S111 | Request for change of ownership or part of ownership |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R313111 |
|
R350 | Written notification of registration of transfer |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R350 |
|
LAPS | Cancellation because of no payment of annual fees |