JP2009125656A - 液滴吐出装置 - Google Patents
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Abstract
【課題】初期投入量が少量で済む液滴吐出装置を提供する。
【解決手段】圧縮空気供給装置51からの圧縮空気を、レギュレータ53に供給し、レギュレータ53で一定の圧力に調整して、スピードコントローラ54に供給する。そして、スピードコントローラ54からエジェクタ55に圧縮空気を供給し、エジェクタ55内の圧縮空気の流れによって、配管57に負圧を発生させる。配管57に負圧が発生するとエアオペレートバルブ58が開放されて、インクタンク45とエジェクタ55とが連通し、インクタンク45に負圧を発生させる。制御装置は、圧力センサ59aが検出した配管57(インクタンク45)の圧力の検出信号に基づいて、配管57(インクタンク45)が設定圧力(負圧)になるように、スピードコントローラ54を駆動制御して、圧縮空気の流量を調整する。
【選択図】図5
【解決手段】圧縮空気供給装置51からの圧縮空気を、レギュレータ53に供給し、レギュレータ53で一定の圧力に調整して、スピードコントローラ54に供給する。そして、スピードコントローラ54からエジェクタ55に圧縮空気を供給し、エジェクタ55内の圧縮空気の流れによって、配管57に負圧を発生させる。配管57に負圧が発生するとエアオペレートバルブ58が開放されて、インクタンク45とエジェクタ55とが連通し、インクタンク45に負圧を発生させる。制御装置は、圧力センサ59aが検出した配管57(インクタンク45)の圧力の検出信号に基づいて、配管57(インクタンク45)が設定圧力(負圧)になるように、スピードコントローラ54を駆動制御して、圧縮空気の流量を調整する。
【選択図】図5
Description
本発明は、液滴吐出装置に関する。
液晶パネルの製造方法として、従来の注入法に代わって、液滴吐出装置を使用して液晶材料の液滴を吐出させて貼り合わせ前のガラス基板上のシール材の枠内に充填することが知られている。
この種の液滴吐出装置には、ステージに載置したマザー基板と、マザー基板上にマトリクス状に区画形成された各セル内に液晶を液滴として吐出する液滴吐出ヘッドと、マザー基板(ステージ)と液滴吐出ヘッドを2次元的に相対移動させる機構を備えている。そして、液滴吐出ヘッドから吐出させた液晶の液滴を、各セルの四角枠状に形成されたシール部材内に、所定量だけ配置させる。このとき、各セルに配置される液晶の液滴の量は、全て同じである必要がある。そして、マザー基板と対向基板を貼り合わせた後、セル毎に切断して複数の液晶パネルが製造される。
ところで、液滴吐出ヘッドは、別設のタンクなどから液晶が供給されるとともに、供給された液晶をその内部に設けたインク室(キャビティ)に一時的に貯留する。そして、ステージと相対向するように設けたノズルプレートに多数形成されたノズル孔からインク室に貯留した液晶を液滴にして吐出する。
液滴吐出ヘッドは、液滴の吐出性能を確保するとともにノズル孔からの漏液を防止するために、インク室内を所定の圧力に保持している。インク室内の圧力を保持する方法として、特許文献1の方法では、インクジェットヘッドのノズル面よりもインクの液面高さが低いインクタンクを別設し、その水頭差を利用することによってインク室の圧力を保持している。また、特許文献2の方法では、液滴吐出ヘッドの上方にインクタンクを設けて、インクタンクと液滴吐出ヘッドとをバルブユニットを介して接続し、そのバルブユニットが圧力を調整することによって、インク室内の圧力を保持している。
特開2004−167294号公報
特開2006−142215号公報
しかしながら、特許文献1の方法では、液滴吐出ヘッドとインクタンクの位置関係から、インクタンクとステージとの物理的干渉を回避するために、インクタンクは、液滴吐出ヘッドから離間させて配置しなければならない。すなわち、インクタンクと液滴吐出ヘッドとを連結するためにある程度の長さを有する配管が必要となる。従って、液滴吐出ヘッドから液滴を吐出するためには、初期投入量として、配管内を液晶で満たす必要がある。また、特許文献2の方法では、圧力調整用のバルブユニットを作動させるためには、その内部に初期投入量として一定量の液晶を貯留させる必要がある。
つまり、特許文献1及び特許文献2の方法では、描画を開始するためには初期投入量として一定量の液晶が必然的に必要であった。しかも、上述した液晶パネルでは、ガラス基板に吐出される液晶は少量であり、場合によっては、液晶の消費量よりも初期投入量により多くの液晶を必要とすることがあった。
本発明は上記課題を解決するためになされたものであり、その目的は、初期投入量が少
量で済む液滴吐出装置を提供することにある。
量で済む液滴吐出装置を提供することにある。
本発明の液滴吐出装置は、機能液を液滴にして吐出する液滴吐出ヘッドと、前記機能液を貯留し、前記液滴吐出ヘッドに前記機能液を供給する貯留手段と、前記貯留手段と吸引用配管を介して接続され、前記吸引用配管の空気を吸引して同吸引用配管に負圧を発生させる負圧発生手段と、前記吸引用配管に設けられ、前記負圧発生手段が同吸引用配管内に負圧を発生させているとき、前記負圧発生手段と前記貯留手段とを連通させる弁装置と、を備えた。
本発明の液滴吐出装置によれば、負圧発生手段によって負圧が発生していないとき、すなわち、例えば、液滴吐出装置が稼働していないときなど、負圧発生手段と貯留手段とを非連通状態にすることができる。つまり、弁装置が貯留手段を密閉することによって、液滴吐出ヘッドからの機能液の漏液を防止することができる。
また、吸引用配管の空気を負圧発生手段によって吸引して負圧を発生させ、負圧発生手段と貯留手段とを連通させると、貯留手段内の空気が吸引され、同貯留手段内に負圧を発生させることができる。つまり、液滴吐出ヘッドからの機能液の漏液を防止することができる。
従って、例えば、貯留手段から液滴吐出ヘッドまでの流路の途中に設けられた、機能液の漏液を防止するためのバルブユニットなどを必要としないことから、液滴吐出ヘッドに近接した位置に貯留手段を設置するとともに、貯留手段と液滴吐出ヘッドとを配管を介して接続するだけでよい。つまり、貯留手段から液滴吐出ヘッドまでの流路を短くし、液滴吐出装置における機能液の初期投入量を低減することができる。その結果、少量の機能液であっても液滴吐出ヘッドから液滴を吐出させることができるので、機能液を効率的に利用することができる。
しかも、貯留手段から液滴吐出ヘッドまでの流路の途中に設けられた、機能液の漏液を防止するためのバルブユニットなどを必要としないことから、機能液が接する接液部材を低減し、機能液の劣化を抑制することができる。
この液滴吐出装置は、前記負圧発生手段は、エジェクタであってもよい。
この液滴吐出装置によれば、負圧発生手段をエジェクタにすることによって、例えば、エジェクタに供給される作動流体の流量を調整することによって、貯留手段内の圧力を調整し、貯留手段内の圧力を一定になるようにすることができる。
この液滴吐出装置によれば、負圧発生手段をエジェクタにすることによって、例えば、エジェクタに供給される作動流体の流量を調整することによって、貯留手段内の圧力を調整し、貯留手段内の圧力を一定になるようにすることができる。
この液滴吐出装置は、前記エジェクタに供給される作動流体の流量を調整する流量調整手段を設けてもよい。
この液滴吐出装置によれば、エジェクタに供給される作動流体の流量を調整することによって、貯留手段内の圧力を調整することができる。従って、例えば、貯留手段内の圧力を測定する圧力センサなどを設けて、圧力センサの測定結果に基づいて、作動流体の流量を調整することによって、貯留手段内の圧力を一定になるようにすることができる。
この液滴吐出装置によれば、エジェクタに供給される作動流体の流量を調整することによって、貯留手段内の圧力を調整することができる。従って、例えば、貯留手段内の圧力を測定する圧力センサなどを設けて、圧力センサの測定結果に基づいて、作動流体の流量を調整することによって、貯留手段内の圧力を一定になるようにすることができる。
この液滴吐出装置は、前記貯留手段内の圧力を測定する圧力測定手段を設け、前記圧力測定手段の測定結果に基づいて、前記流量調整手段を駆動制御する制御手段を設けてもよい。
この液滴吐出装置によれば、貯留手段の圧力を測定し、制御手段がその測定結果に基づいて、流量調整手段を制御することから、貯留手段内の圧力を一定になるようにすること
ができる。すなわち、液滴吐出ヘッドに供給される機能液の圧力を一定にすることができる。その結果、液滴吐出ヘッドから吐出される液滴の吐出量をより安定させることができる。
ができる。すなわち、液滴吐出ヘッドに供給される機能液の圧力を一定にすることができる。その結果、液滴吐出ヘッドから吐出される液滴の吐出量をより安定させることができる。
この液滴吐出装置は、前記貯留手段は、前記液滴吐出ヘッドの近傍直上に設けてもよい。
この液滴吐出装置によれば、貯留手段と液滴吐出ヘッドとの間の流路をより短くすることができる。従って、液滴吐出装置において、機能液の初期投入量をより低減することができる。
この液滴吐出装置によれば、貯留手段と液滴吐出ヘッドとの間の流路をより短くすることができる。従って、液滴吐出装置において、機能液の初期投入量をより低減することができる。
以下、本発明を具体化した一実施形態を図1〜図6に従って説明する。図1は、液晶装置としての液晶表示装置1を示す斜視図である。
図1において、液晶表示装置1は、素子基板2と対向基板3とを有し、これら素子基板2と対向基板3とが四角枠状のシール材4によって貼り合わされている。シール材4としては、紫外線硬化性樹脂や熱硬化性樹脂を用いることができ、ディスペンサ法やスクリーン印刷法などによって形成されている。
図1において、液晶表示装置1は、素子基板2と対向基板3とを有し、これら素子基板2と対向基板3とが四角枠状のシール材4によって貼り合わされている。シール材4としては、紫外線硬化性樹脂や熱硬化性樹脂を用いることができ、ディスペンサ法やスクリーン印刷法などによって形成されている。
素子基板2と対向基板3との間であって、シール材4に囲まれた領域には、液晶層5が封入されている。液晶層5は、液晶組成物からなる層であって所定の比抵抗値を有する。液晶層5は、素子基板2から入射する光の偏光状態を各液晶化合物の配向状態に応じて変調し、所望の画像を対向基板3の上面に表示させる。
液晶層5は、液晶組成物を液滴として吐出する吐出工程と、吐出した液晶組成物を素子基板2と対向基板3との間に封入する封入工程とによって形成される。すなわち、液晶層5の製造工程においては、まず、シール材4によって囲まれる対向基板3の領域に液晶組成物の液滴を吐出し、液晶組成物を有する対向基板3を減圧雰囲気の下に移動する。そして、減圧雰囲気の下で対向基板3を加熱して対向基板3と素子基板2を貼り合せ、貼り合わされた状態の素子基板2と対向基板3を大気圧の下に移動してシール材4を硬化させる。これにより、素子基板2と対向基板3との間に液晶組成物を封入し、液晶層5を形成させる。
図2は、液滴吐出装置20を示す全体斜視図である。
図2において、液滴吐出装置20は、直方体形状に形成された基台21を有している。基台21の上面には、その長手方向(Y方向)に沿って延びる一対の案内溝22が形成されている。案内溝22の上方には、案内溝22に沿ってY方向及び反Y方向に移動するステージ23が備えられている。
図2において、液滴吐出装置20は、直方体形状に形成された基台21を有している。基台21の上面には、その長手方向(Y方向)に沿って延びる一対の案内溝22が形成されている。案内溝22の上方には、案内溝22に沿ってY方向及び反Y方向に移動するステージ23が備えられている。
ステージ23の上面には、載置部24が形成されて、基板としてのガラス基板Wを載置する。載置部24は、載置された状態のガラス基板Wをステージ23に対して位置決め固定して、ガラス基板WをY方向及び反Y方向に搬送する。以下、説明の便宜上、ガラス基板Wの縦方向をY方向とし、ガラス基板Wの横方向をX方向とする。
基台21には、Y方向と直交する方向(X方向)に跨ぐ門型のガイド部材25が架設されている。
ガイド部材25には、そのX矢印方向略全長にわたって、X方向に延びる上下一対のガイドレール27が形成されている。上下一対のガイドレール27には、キャリッジ28が取り付けられている。キャリッジ28は、ガイドレール27に案内されてX方向及び反X方向に移動する。キャリッジ28には、液滴吐出ヘッド30を搭載した支持板29が取着されている。
ガイド部材25には、そのX矢印方向略全長にわたって、X方向に延びる上下一対のガイドレール27が形成されている。上下一対のガイドレール27には、キャリッジ28が取り付けられている。キャリッジ28は、ガイドレール27に案内されてX方向及び反X方向に移動する。キャリッジ28には、液滴吐出ヘッド30を搭載した支持板29が取着されている。
次に、支持板29に取着した液滴吐出ヘッド30について図3を参照して説明する。図3(a)は、液滴吐出ヘッドをステージ23側から見た外観斜視図である。この液滴吐出ヘッド30は、2つの接続針32を有する液体導入部31と、液体導入部31の側方に連なるヘッド基板33と、液体導入部31に連なるポンプ部34と、ポンプ部34に連なるノズルプレート35とを備えている。
液体導入部31の接続針32には、液晶材料Fが貯留された貯留手段としてのインクタンク45(図4参照)に接続された供給チューブ30T(図4参照)が接続されている。ヘッド基板33には、一対のヘッドコネクタ33Aが実装されており、当該ヘッドコネクタ33Aを介して、図示しないフレキシブルフラットケーブルが接続される。
一方、ポンプ部34とノズルプレート35とにより、方形のヘッド本体30Aが構成されている。
ノズルプレート35のノズル形成面35aには、液滴Fbを吐出する吐出ノズル36からなる2本のノズル列37が形成されている。2本のノズル列37は相互に平行に列設されており、各ノズル列37は、等ピッチで並設された180個(図示では模式的に表している)の吐出ノズル36で構成されている。すなわち、ヘッド本体30Aのノズル形成面35aには、その中心線を挟んで2本のノズル列37が対称に配設されている。
ノズルプレート35のノズル形成面35aには、液滴Fbを吐出する吐出ノズル36からなる2本のノズル列37が形成されている。2本のノズル列37は相互に平行に列設されており、各ノズル列37は、等ピッチで並設された180個(図示では模式的に表している)の吐出ノズル36で構成されている。すなわち、ヘッド本体30Aのノズル形成面35aには、その中心線を挟んで2本のノズル列37が対称に配設されている。
図3(b)は、液滴吐出ヘッド30のポンプ部34の内部を示し、各吐出ノズル36の上側にそれぞれキャビティ42、振動板43及び圧電素子PZを有している。各キャビティ42は、それぞれ供給チューブ30Tを介してインクタンク45に接続され(図4参照)、同インクタンク45からの液晶材料Fを収容し、その液晶材料Fを吐出ノズル36に供給する。振動板43は、各キャビティ42に対向する領域をZ方向に振動することによって、該キャビティ42の容積を拡大及び縮小させて、これに伴って吐出ノズル36のメニスカスを振動させる。各圧電素子PZは、図示しないフレキシブルフラットケーブルを介して、それぞれ所定の駆動波形信号を受けるとき、Z方向に収縮して伸張することによって、振動板43の各領域をZ方向に振動させる。各キャビティ42は、それぞれの振動板43がZ方向に振動するとき、収容する液晶材料Fの一部を所定量の液滴Fbにして吐出ノズル36から吐出させる。
ポンプ部34の基部側、すなわちヘッド本体30Aの基部側は、液体導入部31を受けるべく方形フランジ状にフランジ部38が形成されている。このフランジ部38は、抜け止めの役目を果たすとともに、ヘッド止めネジ(図示せず)で支持板29と連結固定される連結部の役目を果たす。フランジ部38には、液滴吐出ヘッド30を支持板29に固定する小ネジ用のネジ孔(雌ネジ)39が一対形成されている。つまり、液滴吐出ヘッド30は、支持板29の所定の位置に形成された貫通穴(図示せず)に、ヘッド本体30Aを貫挿させて、支持板29を貫挿してネジ孔39と螺合するヘッド止めネジ(図示せず)によって支持板29に固定される。
インクタンク45は、図1及び図4に示すように、キャリッジ28内であって、液滴吐出ヘッド30の近傍直上に設けられている。インクタンク45は、支持板29に設けられた固定アーム46によって着脱可能に固定されている。
インクタンク45のインクタンク本体45aは略円筒形状をしており、その上下両端の開口部には、供給チューブ30Tの先端が接続された封止部材45bと、空圧回路(図5に示すオペレータバルブ58)に接続された封止部材45cとがそれぞれ嵌合している。封止部材45bに接続された供給チューブ30Tは、その途中に分岐点が設けられ、液滴吐出ヘッド30に設けた2つの接続針32にそれぞれの先端が接続されている。また、イ
ンクタンク45には、貯留できる液晶材料Fの最大貯留量が設けられ、インクタンク45内が液晶材料Fで満たされないようになっている。
ンクタンク45には、貯留できる液晶材料Fの最大貯留量が設けられ、インクタンク45内が液晶材料Fで満たされないようになっている。
次に、インクタンク45の封止部材45cに接続された空圧回路について説明する。
空圧回路は、液滴吐出ヘッド30の吐出ノズル36からの液晶材料Fの漏液を防止するとともに、インクタンク45内の液晶材料Fを一定の供給圧でキャビティ42に導入させる装置である。
空圧回路は、液滴吐出ヘッド30の吐出ノズル36からの液晶材料Fの漏液を防止するとともに、インクタンク45内の液晶材料Fを一定の供給圧でキャビティ42に導入させる装置である。
空圧回路は、図5に示すように、圧縮空気供給装置51が設けられている。圧縮空気供給装置51は、液滴吐出装置20が稼働すると、配管52を介してレギュレータ53に作動流体としての圧縮空気を供給する。レギュレータ53は、圧縮空気供給装置51から供給された圧縮空気を所定の圧力にして、流量調整手段としてのスピードコントローラ54に供給する。スピードコントローラ54は、レギュレータ53によって所定の圧力に調整された圧縮空気の流量を調整し、負圧発生手段としてのエジェクタ55に供給する。
エジェクタ55は、スピードコントローラ54から供給された圧縮空気をマフラ56に排出するとともに、その際にエジェクタ55内に生じた圧縮空気の流れによって、インクタンク45に接続された吸引用配管としての配管57に負圧を発生させる。また、配管57には、弁装置としてのエアオペレートバルブ58が設けられている。
エアオペレートバルブ58は、レギュレータ53によって所定の圧力にされた圧縮空気を利用して作動するようになっている。エアオペレートバルブ58は、エジェクタ55によって配管57に負圧が発生したときに、エジェクタ55とインクタンク45とを連通状態にするようになっている。すなわち、エジェクタ55は、配管57に負圧を発生させることによってインクタンク45と連通状態となり、インクタンク45に負圧を発生させるようになっている。一方、エジェクタ55によって配管57に負圧が発生していないとき、すなわち、液滴吐出装置20が停止しているときなどには、エジェクタ55とインクタンク45とを非連通状態にして、インクタンク45を密閉するようになっている。
従って、エジェクタ55とインクタンク45とが連通状態のときには、エジェクタ55によってインクタンク45内に負圧が発生することによって、液滴吐出ヘッド30の吐出ノズル36から液晶材料Fの漏液を防止することができる。一方、非連通状態のときには、エアオペレートバルブ58がインクタンク45を密閉することによって、液滴吐出ヘッド30の吐出ノズル36から液晶材料Fの漏液を防止することができる。
マフラ56は、エジェクタ55からの圧縮空気を外部に排出する装置である。マフラ56は、図示しない消音機構と図示しない塵埃除去機構とが設けられ、エジェクタ55からの圧縮空気を静かに、且つ、塵埃を取り除いて排出する。
また、配管57において、エジェクタ55とエアオペレートバルブ58との間には、圧力測定手段としての圧力センサ59aが設けられている。圧力センサ59aは、配管57の圧力を検出するようになっている。すなわち、エアオペレートバルブ58が開放状態のとき、インクタンク45の圧力を検出できるようになっている。
さらに、圧縮空気供給装置51とレギュレータ53との間の配管52には、圧力センサ59bが設けられている。圧力センサ59bは、配管52の圧縮空気の圧力を検出するようになっている。
次に上記のように構成した液滴吐出装置20の電気的構成を図6に従って説明する。
図6において、制御装置60は、CPU60A、ROM60B、RAM60C等を有し
ている。制御装置60は、格納された各種データ及び各種制御プログラムに従って、ステージ23の搬送処理、キャリッジ28の搬送処理、液滴吐出ヘッド30の液滴吐出処理、スピードコントローラ54の流量調整処理などを実行する。
図6において、制御装置60は、CPU60A、ROM60B、RAM60C等を有し
ている。制御装置60は、格納された各種データ及び各種制御プログラムに従って、ステージ23の搬送処理、キャリッジ28の搬送処理、液滴吐出ヘッド30の液滴吐出処理、スピードコントローラ54の流量調整処理などを実行する。
制御装置60には、各種操作スイッチとディスプレイを有した入出力装置61が接続されている。入出力装置61は、液滴吐出装置20が実行する各種処理の処理状況を表示する。入出力装置61は、ガラス基板W上に液滴Fbでパターンを形成するためのビットマップデータBDを生成し、そのビットマップデータBDを制御装置60に入力する。
ビットマップデータBDは、各ビットの値(0あるいは1)に応じて各圧電素子PZのオンあるいはオフを規定したデータである。ビットマップデータBDは、液滴吐出ヘッド30(各吐出ノズル36)の直下を通過するガラス基板Wの各位置に、液滴Fbを吐出するか否かを規定したデータである。すなわち、ビットマップデータBDは、ガラス基板Wに予め定めた配置パターンを形成させるための目標形成位置に液滴Fbを吐出させるためのデータである。
制御装置60には、X軸モータ駆動回路62が接続されている。制御装置60は、駆動制御信号をX軸モータ駆動回路62に出力する。X軸モータ駆動回路62は、制御装置60からの駆動制御信号に応答して、キャリッジ28を移動させるためのX軸モータMXを正転又は逆転させる。
制御装置60には、Y軸モータ駆動回路63接続されている。制御装置60は、駆動制御信号をY軸モータ駆動回路63に出力する。Y軸モータ駆動回路63は、制御装置60からの駆動制御信号に応答して、ステージ23を移動させるためのY軸モータMYを正転又は逆転させる。
制御装置60には、ヘッド駆動回路64が接続されている。制御装置60は、所定の吐出周波数に同期させた吐出タイミング信号LTをヘッド駆動回路64に出力する。制御装置60は、各圧電素子PZを駆動するための駆動電圧COMを吐出周波数に同期させてヘッド駆動回路64に出力する。
制御装置60は、ビットマップデータBDを利用して所定の周波数に同期したパターン形成用制御信号SIを生成し、パターン形成用制御信号SIをヘッド駆動回路64にシリアル転送する。ヘッド駆動回路64は、制御装置60からのパターン形成用制御信号SIを各圧電素子PZに対応させて順次シリアル/パラレル変換する。ヘッド駆動回路64は、制御装置60からの吐出タイミング信号LTを受けるたびに、シリアル/パラレル変換したパターン形成用制御信号SIをラッチし、パターン形成用制御信号SIによって選択される圧電素子PZにそれぞれ駆動電圧COMを供給する。
制御装置60には、圧力センサ59aが電気的に接続されている。圧力センサ59aは、その時々の配管57(インクタンク45)における空気の圧力(以下、実圧力という)を検出し、その実圧力に基づいた検出信号を制御装置60に出力する。
制御手段としての制御装置60には、スピードコントローラ駆動回路65が接続されている。制御装置60は、圧力センサ59aからの検出信号に基づいて、配管57(インクタンク45)の実圧力を算出する。制御装置60は、配管57(インクタンク45)の実圧力と予め定めた設定圧力(本実施形態では、490Pa〜980Pa)とを比較し、その比較した結果に基づき、スピードコントローラ駆動回路65を介して、スピードコントローラ54を駆動制御する。
詳述すると、制御装置60は、配管57(インクタンク45)の実圧力と設定圧力とに基づいて、配管57(インクタンク45)の実圧力を設定圧力にするための、エジェクタ55に導入する圧縮空気の流量を求める。そして、エジェクタ55に導入される圧縮空気の流量が、その求めた流量になるようにスピードコントローラ54を駆動制御する。
従って、制御装置60は、スピードコントローラ54を駆動制御して、エジェクタ55に導入される圧縮空気の流量を調整し、常に、配管57(インクタンク45)の実圧力が、設定圧力(負圧)となるようにしている。すなわち、液滴吐出ヘッド30のキャビティ42に液晶材料Fを設定圧力で供給するようになっている。尚、本実施形態では、制御装置60は、配管57(インクタンク45)の実圧力が設定圧力になっているときに、液滴吐出ヘッド30の吐出動作を行うようになっている。
また、配管57(インクタンク45)の実圧力を設定圧力(負圧)にするための、エジェクタ55に導入させる圧縮空気の流量は、予めROM60Bにデータとして記憶されている。そして、制御装置60は、ROM60Bに記憶したデータからエジェクタ55に導入させる圧縮空気の流量を求めて、スピードコントローラ54を駆動制御するようになっている。
制御装置60には、圧力センサ59bが電気的に接続されている。圧力センサ59bは、その時々の配管52における圧縮空気の圧力を測定し、検出信号を制御装置60に出力する。制御装置60は、入力された検出信号から配管52の圧縮空気の圧力を求めるようになっている。制御装置60は、求めた配管52における圧縮空気の圧力と圧力センサ59aからの検出信号によって算出した配管57(インクタンク45)の実圧力とに基づいて、空圧回路の圧力異常を検知したとき、液滴吐出装置20を停止させて、図示しない警報ランプを点灯させる。
上記のように構成した液滴吐出装置20の作用について説明する。
今、液滴吐出装置20が停止している。このとき、エジェクタ55とインクタンク45とは、エアオペレートバルブ58によって非連通状態となっており、インクタンク45は密閉されている。
今、液滴吐出装置20が停止している。このとき、エジェクタ55とインクタンク45とは、エアオペレートバルブ58によって非連通状態となっており、インクタンク45は密閉されている。
液滴吐出装置20を稼働させると、圧縮空気供給装置51からレギュレータ53に圧縮空気が供給され、レギュレータ53によって一定の圧力に調整された圧縮空気がスピードコントローラ54に供給される。そして、スピードコントローラ54からエジェクタ55に圧縮空気が供給されると、エジェクタ55内の圧縮空気の流れによって、配管57に負圧が発生する。配管57に負圧が発生するとエアオペレートバルブ58が開放されて、インクタンク45とエジェクタ55とが連通し、インクタンク45に負圧が発生する。そして、制御装置60は、圧力センサ59aが検出した配管57(インクタンク45)の実圧力の検出信号に基づいて、配管57(インクタンク45)が設定圧力(負圧)になるように、スピードコントローラ54を駆動制御して、エジェクタ55に導入される圧縮空気の流量を調整する。制御装置60は、配管57(インクタンク45)が設定圧力になると、液滴吐出ヘッド30の吐出動作を開始する。
また、制御装置60は、圧力センサ59aと圧力センサ59bとからのそれぞれの検出信号に基づいて、空圧回路の圧力異常を検知したとき、液滴吐出装置20を停止させて、図示しない警報ランプを点灯させる。
上記実施形態によれば以下のような効果を得ることができる。
(1)上記実施形態によれば、インクタンク45とエジェクタ55とを配管57で接続するとともに、配管57にエジェクタ55によって配管57に負圧が発生しているときに
、インクタンク45とエジェクタ55とを連通させるエアオペレートバルブ58を設けた。
(1)上記実施形態によれば、インクタンク45とエジェクタ55とを配管57で接続するとともに、配管57にエジェクタ55によって配管57に負圧が発生しているときに
、インクタンク45とエジェクタ55とを連通させるエアオペレートバルブ58を設けた。
従って、エジェクタ55によって配管57に負圧が発生していないとき、すなわち、液滴吐出装置20が停止しているときなどには、エアオペレートバルブ58は、インクタンク45とエジェクタ55とを非連通状態にして、インクタンク45を密閉する。また、配管57に負圧が発生しているとき、エアオペレートバルブ58は、インクタンク45とエジェクタ55とを連通させ、インクタンク45に負圧を発生させる。つまり、液滴吐出ヘッド30の吐出ノズル36から液晶材料Fの漏液を防止することができる。その結果、インクタンク45と液滴吐出ヘッド30とは、供給チューブ30Tを用いて接続させるだけで済み、その間の流路を短くすることができるので、液滴吐出装置20における液晶材料Fの初期投入量を低減し、液晶材料Fをより効率的に利用することができる。しかも、液晶材料Fとの接液部材を低減することによって、液晶材料Fの劣化を抑制することができる。
(2)上記実施形態によれば、エジェクタ55に供給される圧縮空気の流量を調整するスピードコントローラ54を設けた。また、配管57に圧力センサ59aを設けて、圧力センサ59aの検出信号に基づいて、配管57(インクタンク45)の圧力が予め定めた設定圧力(負圧)になるように、スピードコントローラ54を駆動制御した。
従って、圧力センサ59aの検出信号に基づいて、スピードコントローラ54を駆動制御することから、配管57(インクタンク45)の圧力を設定圧力に保持することによって、液滴吐出ヘッド30のキャビティ42に一定圧力の液晶材料Fを供給することができる。その結果、液滴吐出ヘッド30の吐出ノズル36から吐出される液滴Fbの吐出量を安定させることができる。
(3)上記実施形態によれば、インクタンク45を液滴吐出ヘッド30の近傍直上に設けた。
従って、インクタンク45と液滴吐出ヘッド30とを接続する供給チューブ30Tをより短くすることができる。その結果、液滴吐出装置20の初期投入量を低減することができる。
従って、インクタンク45と液滴吐出ヘッド30とを接続する供給チューブ30Tをより短くすることができる。その結果、液滴吐出装置20の初期投入量を低減することができる。
尚、上記実施形態は以下のように変更してもよい。
・上記実施形態では、エジェクタ55を用いて配管57(インクタンク45)に負圧を発生させた。これに限らず、例えば、真空ポンプなどを使用してもよい。
・上記実施形態では、エジェクタ55を用いて配管57(インクタンク45)に負圧を発生させた。これに限らず、例えば、真空ポンプなどを使用してもよい。
・上記実施形態では、インクタンク45をキャリッジ28内に設けた。これに限らす、例えば、キャリッジ28の側面などに設けてもよい。このとき、インクタンク本体45aを透明なアクリル樹脂などを用いて形成し、インクタンク45内の液面高さを確認できるようにするとよい。
・上記実施形態では、液滴吐出ヘッド30とインクタンク45とを供給チューブ30Tを介して接続した。これに限らず、液滴吐出ヘッド30とインクタンク45とを直接接続してもよい。
・上記実施形態では、貯留手段としてのインクタンク45内の圧力を測定する圧力測定手段としての圧力センサ59aを配管57に設けた。これに限らず、インクタンク45に設けてもよい。
・上記実施形態では、レギュレータ53によって所定の圧力にされた圧縮空気を利用し
て作動するとともに、配管57に負圧が発生したときにエジェクタ55とインクタンク45とを連通させるエアオペレートバルブ58を設けた。これに限らず、例えば、電磁バルブを設けて、圧力センサ59aの検出信号に基づいて、制御装置60が電磁バルブを開閉させるようにしてもよい。
て作動するとともに、配管57に負圧が発生したときにエジェクタ55とインクタンク45とを連通させるエアオペレートバルブ58を設けた。これに限らず、例えば、電磁バルブを設けて、圧力センサ59aの検出信号に基づいて、制御装置60が電磁バルブを開閉させるようにしてもよい。
・上記実施形態では、キャリッジ28に液滴吐出ヘッド30を1つ搭載した液滴吐出装置20に具体化した。これに限らず、キャリッジの数、及び、キャリッジに搭載される液滴吐出ヘッドの数は適宜変更してもよい。
・上記実施形態では、液晶材料Fを液滴Fbにして吐出し、液晶表示装置1の液晶層5を形成するための液滴吐出装置20に具体化した。これに限らず、カラーフィルタを形成する液滴吐出装置、金属配線を形成する液滴吐出装置、絶縁層を形成する液滴吐出装置、有機EL表示装置の発光層や輸送層等を形成する液滴吐出装置等に応用してもよい。
・上記実施形態によれば、エジェクタ55に導入する圧縮空気の流量は、スピードコントローラ54を駆動制御して調整した。これに限らず、例えば、配管57の圧力を測定する圧力計を設けて、液滴吐出装置20を稼働させる前に、その圧力計の測定結果に基づきながら、作業者がスピードコントローラ54を調整するようにしてもよい。
BD…ビットマップデータ、COM…駆動電圧、LT…吐出タイミング信号、SI…パターン形成用制御信号、F…液晶材料、Fb…液滴、MX…X軸モータ、MY…Y軸モータ、PZ…圧電素子、1…液晶表示装置、2…素子基板、3…対向基板、4…シール材、5…液晶層、20…液滴吐出装置、21…基台、22…案内溝、23…ステージ、24…載置部、25…ガイド部材、27…ガイドレール、28…キャリッジ、29…支持体、30…液滴吐出ヘッド、30A…ヘッド本体、30T…供給チューブ、31…液体導入部、32…接続針、33…ヘッド基板、33A…ヘッドコネクタ、34…ポンプ部、35…ノズルプレート、37…ノズル列、38…フランジ部、39…ネジ孔、42…キャビティ、43…振動板、45…インクタンク、45a…インクタンク本体、45b…封止部材、45c…封止部材、51…圧縮空気供給装置、52…配管、53…レギュレータ、54…スピードコントローラ、55…エジェクタ、56…マフラ、57…配管、58…エアオペレートバルブ、59a…圧力センサ、59b…圧力センサ、60…制御装置、60A…CPU、60B…ROM、60C…RAM、61…入出力装置、62…X軸モータ駆動回路、63…Y軸モータ駆動回路、64…ヘッド駆動回路、65…スピードコントローラ駆動回路。
Claims (5)
- 機能液を液滴にして吐出する液滴吐出ヘッドと、
前記機能液を貯留し、前記液滴吐出ヘッドに前記機能液を供給する貯留手段と、
前記貯留手段と吸引用配管を介して接続され、前記吸引用配管の空気を吸引して同吸引用配管に負圧を発生させる負圧発生手段と、
前記吸引用配管に設けられ、前記負圧発生手段が同吸引用配管内に負圧を発生させているとき、前記負圧発生手段と前記貯留手段とを連通させる弁装置と、
を備えたことを特徴とする液滴吐出装置。 - 請求項1に記載の液滴吐出装置において、
前記負圧発生手段は、エジェクタであることを特徴とする液滴吐出装置。 - 請求項2に記載の液滴吐出装置において、
前記エジェクタに供給される作動流体の流量を調整する流量調整手段を設けたことを特徴とする液滴吐出装置。 - 請求項3に記載の液滴吐出装置において、
前記貯留手段内の圧力を測定する圧力測定手段を設け、
前記圧力測定手段の測定結果に基づいて、前記流量調整手段を駆動制御する制御手段を設けたことを特徴とする液滴吐出装置。 - 請求項1〜4のいずれかに記載の液滴吐出装置において、
前記貯留手段は、前記液滴吐出ヘッドの近傍直上に設けたことを特徴とする液滴吐出装置。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2007303088A JP2009125656A (ja) | 2007-11-22 | 2007-11-22 | 液滴吐出装置 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
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JP2007303088A JP2009125656A (ja) | 2007-11-22 | 2007-11-22 | 液滴吐出装置 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
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JP2009125656A true JP2009125656A (ja) | 2009-06-11 |
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ID=40817118
Family Applications (1)
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JP2007303088A Pending JP2009125656A (ja) | 2007-11-22 | 2007-11-22 | 液滴吐出装置 |
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Country | Link |
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JP (1) | JP2009125656A (ja) |
Cited By (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
WO2011052889A2 (ko) * | 2009-10-29 | 2011-05-05 | 포항공과대학교 산학협력단 | 액적 토출 장치 |
CN102836802A (zh) * | 2011-06-24 | 2012-12-26 | 株式会社日立工业设备技术 | 液晶材料涂敷装置及液晶材料涂敷方法 |
KR20200141646A (ko) * | 2019-06-11 | 2020-12-21 | 세메스 주식회사 | 약액 토출 장치 |
-
2007
- 2007-11-22 JP JP2007303088A patent/JP2009125656A/ja active Pending
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