JP2009109450A - 印刷はんだ検査方法、及び印刷はんだ検査装置 - Google Patents
印刷はんだ検査方法、及び印刷はんだ検査装置 Download PDFInfo
- Publication number
- JP2009109450A JP2009109450A JP2007284768A JP2007284768A JP2009109450A JP 2009109450 A JP2009109450 A JP 2009109450A JP 2007284768 A JP2007284768 A JP 2007284768A JP 2007284768 A JP2007284768 A JP 2007284768A JP 2009109450 A JP2009109450 A JP 2009109450A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- displacement
- light
- measurement
- solder
- resist
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
Links
Images
Landscapes
- Length Measuring Devices By Optical Means (AREA)
- Electric Connection Of Electric Components To Printed Circuits (AREA)
Abstract
【解決手段】第1のセンシング手段(OS1,D1,D2)がレジスト面を透過して基板の表面で反射する光を含む散乱光を受けて第1の変位を測定し、第2のセンシング手段(OS2,D3)が正反射した反射光を測定して第2の変位を測定し、それらの差とレジストの厚さとの関係を表す補正値を補正メモリ5に予め記憶する。そして、基板のレジスト面において第1及び第2のセンシング手段により第1の変位と第2の変位を求める。次にそれらの差を基に補正メモリを参照して補正値を求め、第2の変位から補正値を減算して、パッド面位置を求める。第1又は第2のセンシング手段により求めた変位から印刷はんだ箇所の表面の変位をパッド面からの変位として求める構成とした。
【選択図】 図1
Description
そして特許文献2では、レジスト1a面を仲介して、次のようにして求める。
はんだ高さ=(レジスト1a面からのはんだ高さ)+(パッド1c面からのレジスト1a面高さ)=パッド1c面からのはんだ高さ
したがって、この場合、レジスト1a面の高さが測定されて利用されているが、計算上、最終的にうち消すのでレジスト1a面の絶対高さの影響を抑えて測定可能である。
請求項5記載の発明は、正反射光、2つの散乱反射光の各受光感度を同じくして測定することができる。
図1を用いて、変位センサ2を用いた変位測定を行う変位測定部100の機能構成について説明する。
基礎測定部6は、測定点がレジスト1aであるときの、演算部3cから、正反射に基づく測定値である上記の出力L2と、散乱反射光による測定値である上記の出力L1R(以下、レジスト1a面における上記L1、L2をL1R、L2Rで示す。)とを受けて、それらの差δLを求めるそして、補正用メモリ5にアクセスして、図6(A)に示すようなデータからδLに該当する補正値Lsを求める。つまりレジスト1aの厚さ相当の値を求める。そして、この補正値Lsを測定部7へ送る。
測定部7は、レジスト1a面からはんだ1b面までの変位(高さ)L1H、L2H(以下、はんだ1b面における上記L1、L2をL1H、L2Hで示す。)を測定する。そのとき、第1の受光手段D1、第2の受光手段D2及び第3の受光手段D3それぞれから光量情報を受けており、演算部3cからは出力L1Hと出力L2Hの内、散乱反射変位測定系(OS1―D1,D2系統)による光量と正反射変位測定系(OS2―D3系統)による光量の大きさを比較し、光量の大きい方の変位測定系で測定した変位情報(出力L1H,出力L2Hのいずれか)を選択的に受領する。そして、測定部7は、受領した変位情報に基礎測定部6から受けた補正値Lsで補正して、パッド1c面からのはんだ1b面の高さ(変位)情報Lとして、L=L1H+Ls、もしくはL=L2H+Lsを図2の画像処理部8へ出力する。
上記の(1)基礎測定(2)測定は、同一位置(高さ)を基準として測定しているが、(2)の測定を(1)の基礎測定で求めた補正値Ls分だけ、下位の位置を基準として測定することにより、直接に高さ(変位)情報Lを得ることができる。
次に他の変位センサの実施形態について説明する。
第2の実施形態における変位センサ2aを図5に示す。図5(a)は変位センサ2aを上面から見た図で、図5(b)は側面から見た図で、いずれも各素子間の光路を示す図である。図5(c)は、図5(b)の矢視A及び矢視Bから見た光路でを示す図である。
3a,3b 加算器、 3c 演算部、 4 走査機構、 5 補正用メモリ、
6 基礎測定部、7 測定部、 8 画像処理部、 9 比較部、 10 判定部、
11 表示部、12 制御部、 100 変位測定部、200 検査部
D1 第1の受光手段、D2 第2の受光手段、D3 第3の受光手段、
K1,K2,K3 集光機能素子、
K1a,K2a,K3a 受光レンズ
K1b,K2b,K3b 結像レンズ
L1 演算部の出力(散乱反射による変位情報)
L2 演算部の出力(正反射による変位情報)
OSC1 第1の光源、 OSC2 第2の光源、
OS1a レーザ、 OSC1b ハーフミラー、
OSC1c,OSC1d,OSC1e、OSC1g ミラー
OSC2a,OSC2b ミラー
OSC1f,OSC2c fθレンズ
PM ポリゴンミラー
R 範囲
Claims (5)
- プリント板の表面の測定点に垂直に光を照射し、該測定点からの散乱光を受けて第1の変位を測定するための第1のセンシング手段(OS1,D1,D2)と、前記同じ測定点を前記垂直に対し所定角度斜めの角度で照射し該測定点で正反射した反射光を測定して第2の変位を測定するための第2のセンシング手段(OS2,D3)とを含む変位センサ(2)を準備する段階と、
前記変位センサで前記測定点を前記プリント板のレジスト面として前記第2の変位と第1の変位を測定し、それらの差と該レジストの厚さとの関係を表す関数値をメモリに記憶しておく初期段階と、
表面のパッド面にはんだが印刷された被測定プリント板を受けて、該被測定プリント板のレジスト面及び該パッド面上のはんだ面を前記測定点として前記変位センサにより前記第1の変位と前記第2の変位を求める測定段階と、
該測定段階で前記レジスト面で求められた該第1の変位と該第2の変位との差を基に前記メモリを参照して対応する関数値を求め、該第2の変位から前記関数値を減算して、前記パッド面の位置を求める基準位置算出段階と、
前記測定段階で測定された前記はんだ面における第1の変位又は第2の変位によりはんだ面の変位を該パッド面の位置からの変位として求める変位算出段階と、を備えたことを特徴とする印刷はんだ検査方法。 - 表面にはんだが印刷されたパッド面とレジスト面を有する被測定プリント板の該表面の測定点に垂直に光を照射し、該測定点からの散乱光を受ける第1のセンシング手段(OS1,D1,D2)と、前記同じ測定点を前記垂直に対し所定角度斜めの角度で照射し該測定点で正反射した反射光を受ける第2のセンシング手段(OS2,D3)とを含む変位センサ(2)と、前記第1のセンシング手段の出力から散乱光に基づく第1の変位、及び前記第2のセンシング手段の出力から正反射光に基づく第2の変位を算出するデータ処理部(3)と、該第1の変位又は該第2の変位により、該はんだ面の変位を求める測定部(7)とを備えた印刷はんだ検査装置であって、
予め、前記レジスト面における第2の変位と第1の変位との差と、前記レジストの厚さとの関係を表す関数値を記憶するメモリ(5)と、
検査時に、前記被測定プリント板のレジスト面を前記測定点として前記変位センサにより前記第1の変位と前記第2の変位を求める基礎測定部(6)と、
前記レジスト面で求められた該第1の変位と該第2の変位との差を基に前記メモリを参照して対応する関数値を求め、該第2の変位から前記関数値を減算して、前記パッド面の位置を求める基準位置算出部(6a)と、を備え
前記測定部は、前記レジスト面の位置からのはんだ面の変位を前記関数値で補正することにより、該はんだ面の変位を該パッド面の位置からの変位として求めることを特徴とする印刷はんだ検査装置。 - プリント板の表面の測定点に垂直に光を照射し、該測定点からの散乱光を受ける第1のセンシング手段(OS1,D1,D2)と、前記同じ測定点を前記垂直に対し所定角度斜めの角度で照射し該測定点で正反射した反射光を受ける第2のセンシング手段(OS2,D3)とを含む変位センサ(2)と、
前記第1のセンシング手段の出力から散乱光に基づく第1の変位、及び前記第2のセンシング手段の出力から正反射光に基づく第2の変位を算出するデータ処理部(3)と、
予め、第2の変位と第1の変位との差と前記レジストの厚さとの関係を表す関数値を記憶するメモリ(5)と、
表面のパッド面にはんだが印刷された被測定プリント板を受けて、該被測定プリント板のレジスト面を前記測定点として前記変位センサにより前記第1の変位と前記第2の変位を求める基礎測定部(6)と、
該レジスト面で求められた該第1の変位と該第2の変位との差を基に前記メモリを参照して対応する関数値を求め、該第2の変位から前記関数値を減算して、前記パッド面の位置を求める基準位置算出部(6a)と、
前記被測定プリント板の前記はんだ面を前記測定点として前記変位センサにより前記第1の変位又は前記第2の変位を求め、該はんだ面の変位を該パッド面の位置からの変位として求める測定部(7)と、を備えたことを特徴とする印刷はんだ検査装置。 - 前記第1のセンシング手段は、前記プリント板の測定点を垂直方向から照射する第1の光源(OS1)と、該第1の光源の第1の光軸に対して第1の角度θ1で形成される第1の散乱光路上に配置された第1の受光手段(D1)と、該第1の光軸に対して該第1の散乱光路と反対側に第2の角度θ2で形成される第2の散乱光路上に配置された第2の受光手段(D2)とを備え、前記第1の変位は、前記第1の受光手段の出力と前記第2の受光手段の出力との和を基に求められ、また、
前記第2のセンシング手段は、該第1の光軸に対して斜めの角度θ3で前記測定点を照射する第2の光源(OS2)と、該測定点にて該第2の光源の第2の光軸に対して第3の角度2θ3で形成される正反射光路上に配置された第3の受光手段(D3)とを備え、前記第2の変位は、該第3の受光手段の出力から求められることを特徴とする請求項2又は3の印刷はんだ検査装置。 - 前記変位センサにおいて、前記第1の受光手段、前記第2の受光手段及び前記第3の受光手段のそれぞれは、所定長さの受光面を有し、該所定長さ方向における受光位置に応じて光変位情報を検出する位置検出器であって、前記第1の光軸、前記第2の光源の光軸、前記第1の散乱光路、前記第2の散乱光路及び正反射光路を含む平面内で、前記所定長さ方向を該平面に沿うように配置され、
さらに前記第1の角度θ1、前記第2の角度θ2と前記第3の角度2θ3は同一になるよう構成され、かつ前記第1の受光手段が前記第1の散乱光路となす角度(α1)、第2の受光手段が前記第2の散乱光路となす角度(α2)及び第3の受光手段が前記正反射光路となす角度(α3)が同一になるように構成されることを特徴とする請求項4記載の印刷はんだ検査装置。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2007284768A JP4995041B2 (ja) | 2007-11-01 | 2007-11-01 | 印刷はんだ検査方法、及び印刷はんだ検査装置 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2007284768A JP4995041B2 (ja) | 2007-11-01 | 2007-11-01 | 印刷はんだ検査方法、及び印刷はんだ検査装置 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2009109450A true JP2009109450A (ja) | 2009-05-21 |
JP4995041B2 JP4995041B2 (ja) | 2012-08-08 |
Family
ID=40778069
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2007284768A Expired - Fee Related JP4995041B2 (ja) | 2007-11-01 | 2007-11-01 | 印刷はんだ検査方法、及び印刷はんだ検査装置 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP4995041B2 (ja) |
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
WO2020004544A1 (ja) * | 2018-06-29 | 2020-01-02 | 株式会社荏原製作所 | バンプ高さ測定装置、基板処理装置、バンプ高さ測定方法、記憶媒体 |
Citations (6)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH07198348A (ja) * | 1993-12-30 | 1995-08-01 | Sony Corp | 表面形状測定装置 |
JPH0914935A (ja) * | 1995-06-30 | 1997-01-17 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | 3次元物体の測定装置 |
JPH11241916A (ja) * | 1998-02-25 | 1999-09-07 | Juki Corp | 高さ測定方法、高さデータ処理方法及び高さ測定装置 |
JP2001153629A (ja) * | 1999-11-29 | 2001-06-08 | Anritsu Corp | 印刷半田測定装置 |
JP2007093369A (ja) * | 2005-09-28 | 2007-04-12 | Anritsu Corp | 変位測定装置及びそれを用いた形状検査装置 |
JP2008175604A (ja) * | 2007-01-17 | 2008-07-31 | Anritsu Corp | 光変位センサー及びそれを用いた変位測定装置 |
-
2007
- 2007-11-01 JP JP2007284768A patent/JP4995041B2/ja not_active Expired - Fee Related
Patent Citations (6)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH07198348A (ja) * | 1993-12-30 | 1995-08-01 | Sony Corp | 表面形状測定装置 |
JPH0914935A (ja) * | 1995-06-30 | 1997-01-17 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | 3次元物体の測定装置 |
JPH11241916A (ja) * | 1998-02-25 | 1999-09-07 | Juki Corp | 高さ測定方法、高さデータ処理方法及び高さ測定装置 |
JP2001153629A (ja) * | 1999-11-29 | 2001-06-08 | Anritsu Corp | 印刷半田測定装置 |
JP2007093369A (ja) * | 2005-09-28 | 2007-04-12 | Anritsu Corp | 変位測定装置及びそれを用いた形状検査装置 |
JP2008175604A (ja) * | 2007-01-17 | 2008-07-31 | Anritsu Corp | 光変位センサー及びそれを用いた変位測定装置 |
Cited By (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
WO2020004544A1 (ja) * | 2018-06-29 | 2020-01-02 | 株式会社荏原製作所 | バンプ高さ測定装置、基板処理装置、バンプ高さ測定方法、記憶媒体 |
JPWO2020004544A1 (ja) * | 2018-06-29 | 2021-08-12 | 株式会社荏原製作所 | バンプ高さ測定装置、基板処理装置、バンプ高さ測定方法、記憶媒体 |
JP7213876B2 (ja) | 2018-06-29 | 2023-01-27 | 株式会社荏原製作所 | バンプ高さ測定装置、基板処理装置、バンプ高さ測定方法、記憶媒体 |
US11604150B2 (en) | 2018-06-29 | 2023-03-14 | Ebara Corporation | Device for measuring bump height, apparatus for processing substrate, method of measuring bump height, and storage medium |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JP4995041B2 (ja) | 2012-08-08 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
US6111649A (en) | Thickness measuring apparatus using light from slit | |
JP4316643B2 (ja) | 形状測定装置,形状測定方法 | |
JPH11257917A (ja) | 反射型光式センサ | |
US20080285007A1 (en) | System and method for measurement of thickness of thin films | |
JP4864734B2 (ja) | 光変位センサー及びそれを用いた変位測定装置 | |
JP4275661B2 (ja) | 変位測定装置 | |
JP4995041B2 (ja) | 印刷はんだ検査方法、及び印刷はんだ検査装置 | |
JP2010197143A (ja) | ポリゴンミラー用モータのシャフトの軸倒れを測定する測定装置及び測定方法 | |
JP5129689B2 (ja) | 印刷はんだ検査装置、及び印刷はんだ検査方法 | |
JP4545580B2 (ja) | 面内方向変位計 | |
JP5033587B2 (ja) | 印刷はんだ検査装置、及び印刷はんだ検査方法 | |
JP5487920B2 (ja) | 光学式3次元形状計測装置及び光学式3次元形状計測方法 | |
JP2008032669A (ja) | 光走査式平面外観検査装置 | |
CN105807571A (zh) | 一种光刻机用调焦调平系统及其调焦调平方法 | |
JP3848586B2 (ja) | 表面検査装置 | |
JP7470521B2 (ja) | パラメータ取得装置とパラメータ取得方法 | |
JPH05267117A (ja) | マスクと基板間のギャップ検出・設定方法およびその装置 | |
JP4230758B2 (ja) | 非接触断面形状測定方法および装置 | |
JPH04289409A (ja) | 基板の検査方法 | |
JP3728941B2 (ja) | 光式センサ | |
JP3967607B2 (ja) | 高さ測定装置 | |
JP4858842B2 (ja) | 形状測定装置 | |
EP1909063B1 (en) | Vision-measuring-machine calibration scale | |
JPH0765967B2 (ja) | 実装基板外観検査装置 | |
JP2024000912A (ja) | 形状測定装置の校正方法 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20101021 |
|
A521 | Written amendment |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20111125 |
|
A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20120418 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20120501 |
|
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20120509 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20150518 Year of fee payment: 3 |
|
R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
LAPS | Cancellation because of no payment of annual fees |