JP2009107162A - 液体噴射ヘッド - Google Patents
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Abstract
【解決手段】振動板20におけるインク流路側の面となる樹脂フィルム30に薄膜からなる保護層38を形成したので、振動板の機能の低下、即ち、変動部31における圧力損失を抑えつつ、振動板の樹脂フィルムを侵す可能性のある液体の噴射に対応することが可能となる。特に、保護層の厚さを弾性層の厚さに対して0.06%〜0.65%の範囲に設定することにより、振動板の機能の低下の抑制と樹脂フィルムに対する保護機能を両立させることが可能となる。
【選択図】図5
Description
前記樹脂フィルムの前記圧力室側の面に薄膜からなる保護層を形成したことを特徴とする。
なお、「薄膜」とは、蒸着やスパッタリング等の手法により形成される数nm〜数μm程度の厚さの原子層を意味する。
なお、「弾性層」とは、振動板のうち支持板を除く部分を意味し、樹脂フィルムの他、振動板と樹脂フィルムを接着剤によって接合する構成においては接着剤も含まれる。
例示した記録ヘッド1は、導入針ホルダ2(以下、「ホルダ2」という)、回路基板3、ケース4、流路ユニット5、及び、アクチュエータユニット6を主な構成要素としている。なお、以下においては、便宜上、記録ヘッド1を構成する各部材の積層方向を上下方向として説明する。
上述したように、支持板29は、例えばステンレス鋼等のように、樹脂フィルム30よりも剛性が十分に高い金属製の板材などで作成されている。この支持板29のヤング率は、樹脂フィルム30のヤング率の数十倍〜数百倍程度であることが望ましい。一方、樹脂フィルム30は、PPS(ポリフェニレンサルファイド)等の可撓性を有する素材で作成されており、変動部31の島部33の変位を可能とすると共に、コンプライアンス部32においてインクの圧力変動を吸収するように機能するために設けられる。本実施形態における樹脂フィルム30は、数μmの厚さに設定されている。例えば、振動板20全体の厚さT1が3〜10μmであり、そのうち樹脂フィルム30の厚さT2は2〜7μm程度(但し、T2<T1)である。
Claims (8)
- 樹脂フィルムと支持板を積層して構成され、圧力発生手段の作動により圧力室の容積を変動させるための変動部を有する振動板を備えた液体噴射ヘッドであって、
前記樹脂フィルムの前記圧力室側の面に薄膜からなる保護層を形成したことを特徴とする液体噴射ヘッド。 - 前記保護層の厚さが、前記樹脂フィルムを含む弾性層の厚さに対し、0.06%〜0.65%の範囲に設定されたことを特徴とする請求項1に記載の液体噴射ヘッド。
- 前記振動板は、前記液体流路を形成する流路形成基板と接着によって接合されたことを特徴とする請求項1又は請求項2に記載の液体噴射ヘッド。
- 前記保護層が、金属被膜であることを特徴とする請求項1から請求項3の何れか一項に記載の液体噴射ヘッド。
- 前記金属被膜が、金で構成されたことを特徴とする請求項4に記載の液体噴射ヘッド。
- 前記金属被膜が、チタンで構成されたことを特徴とする請求項4に記載の液体噴射ヘッド。
- 前記金属被膜が、クロムで構成されたことを特徴とする請求項4に記載の液体噴射ヘッド。
- 前記保護層が、二酸化珪素で構成されたことを特徴とする請求項1から請求項3の何れか一項に記載の液体噴射ヘッド。
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