JP2009105196A - 接合対象物のアライメント方法、これを用いた部品接合方法および部品接合装置 - Google Patents
接合対象物のアライメント方法、これを用いた部品接合方法および部品接合装置 Download PDFInfo
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Abstract
【解決手段】接合ワークAをアライメントマスクMに押圧した状態で、第1画像認識カメラ11により、アライメントマスクMの基準マークMa, Maおよび接合ワークAの接合位置決め基準Aa,Aaを同時に位置認識する第1認識工程と、第2画像認識カメラ12により、基準マークMa, Maを位置認識する第2認識工程と、アライメントマスクMに代えて被接合ワークBを導入し、第2画像認識カメラ12により、被接合位置決め基準Ba,Baを位置認識する第3認識工程と、これら認識結果に基づいて、接合ワークAと被接合ワークBとの位置ずれ量を取得するずれ量取得工程と、位置補正工程と、を備えたものである。
【選択図】図3
Description
Claims (8)
- 第1画像認識手段および第2画像認識手段と、透光性のアライメントマスクとを用い、
重ね合せ且つ押圧した状態で接合される接合部品と被接合部品とを、前記アライメントマスクの上面に形成した基準マーク、前記接合部品の下面に形成した接合位置決め基準および前記被接合部品の上面に形成した被接合位置決め基準に基づいて、アライメントする接合対象物のアライメント方法であって、
前記接合部品を、上側から前記アライメントマスクに重ね合せ且つ押圧した状態で、前記第1画像認識手段により、下面側から前記アライメントマスクの前記基準マークおよび前記接合部品の前記接合位置決め基準を同時に位置認識する第1認識工程と、
前記接合部品を上昇させ後、前記第2画像認識手段により、上面側から前記アライメントマスクの前記基準マークを位置認識する第2認識工程と、
前記アライメントマスクの位置に、前記アライメントマスクに代えて前記被接合部品を導入し、前記第2画像認識手段により、上面側から前記被接合部品の前記被接合位置決め基準を位置認識する第3認識工程と、
前記第1認識工程の認識結果、前記第2認識工程の認識結果および前記第3認識工程の認識結果に基づいて、前記接合位置決め基準と前記被接合位置決め基準との相互の位置ずれ量を取得するずれ量取得工程と、
取得した前記位置ずれ量に基づいて、前記接合部品と前記被接合部品とを相対的に位置補正する位置補正工程と、を備えたことを特徴とする接合対象物のアライメント方法。 - 前記第1認識工程、前記第2認識工程および前記第3認識工程が、前記接合部品を前記被接合部品に接合する接合位置で実施されることを特徴とする請求項1に記載の接合対象物のアライメント方法。
- 前記接合部品と前記被接合部品とは、いずれも不透明であることを特徴とする請求項1または2に記載の接合対象物のアライメント方法。
- 前記基準マーク、前記接合位置決め基準および前記被接合位置決め基準は、いずも相互に離間して配設した一対のものでそれぞれ構成され、
前記第1画像認識手段および前記第2画像認識手段は、いずれも相互に離間して配設した一対のものでそれぞれ構成されていることを特徴とする請求項1ないし3のいずれかに記載の接合対象物のアライメント方法。 - 請求項1ないし4のいずれかに記載の接合対象物のアライメント方法と、
前記位置補正工程の後、前記接合部品を前記被接合部品に対し重ね合せ且つ押圧した状態で接合する接合工程と、を備えたことを特徴とする部品接合方法。 - 透光性のアライメントマスクを介して接合部品と被接合部品とを、前記アライメントマスクの上面に形成した基準マーク、前記接合部品の下面に形成した接合位置決め基準および前記被接合部品の上面に形成した被接合位置決め基準に基づいて、アライメントした後、前記接合部品を前記被接合部品に重ね合せ押圧した状態で接合する部品接合装置であって、
接合姿勢の前記接合部品を保持する保持ヘッドと、
前記保持ヘッドを介して、前記接合部品を接合位置と上昇待機位置との間で昇降させると共に前記接合位置において前記接合部品を前記被接合部品に押圧する昇降機構と、
接合姿勢の前記被接合部品と前記アライメントマスクとがそれぞれセットされると共に、セットした前記被接合部品および前記アライメントマスクをそれぞれ接合位置と移動待機位置との間で水平方向に交互に移動させる移動テーブルと、
前記接合位置に移動した前記アライメントマスクの前記基準マーク、および前記接合位置に移動した前記接合部品の前記接合位置決め基準を、前記アライメントマスクの下面側からそれぞれ画像認識する第1画像認識手段と、
前記接合位置に移動した前記アライメントマスクの前記基準マーク、および前記接合位置に移動した前記被接合部品の前記被接合位置決め基準を、それぞれ画像認識すると共に、前記接合位置の直上位置と退避位置との間で水平方向に移動自在に構成された第2画像認識手段と、
水平面内において、前記接合部品に対し前記被接合部品を相対的に移動させて、位置補正を行う補正手段と、
前記昇降機構、前記移動テーブル、前記第1画像認識手段、前記第2画像認識手段および前記補正手段を制御する制御手段と、を備え、
前記制御手段は、前記接合位置に移動させた前記接合部品を、前記接合位置に移動させた前記アライメントマスクに重ね合せ押圧した状態で、前記第1画像認識手段により、前記基準マークと前記接合位置決め基準とを同時に位置認識する第1認識動作と、
前記接合部品を前記上昇待機位置に移動させた後、前記直上位置に移動した前記第2画像認識手段により、前記基準マークを位置認識する第2認識動作と、
前記アライメントマスクを移動待機位置に移動させると同時に前記被接合部品を前記接合位置に移動させ、前記第2画像認識手段により、前記被接合位置決め基準を位置認識する第3認識動作と、を実施し、
前記第1認識動作の認識結果、前記第2認識動作の認識結果および前記第3認識動作の認識結果に基づいて、前記接合位置決め基準と前記被接合位置決め基準との相互の位置ずれ量を取得し、取得した前記位置ずれ量に基づいて、前記接合部品と前記被接合部品とを位置補正することを特徴とする部品接合装置。 - 前記保持ヘッドには、ヒータおよび紫外線ランプのいずれかが組み込まれており、
前記制御手段は、前記接合部品と前記被接合部品とを位置補正した後、前記接合部品を前記被接合部品に重ね合せ押圧した状態で、ヒータおよび紫外線ランプのいずれかを駆動し、前記接合部品を前記被接合部品に接合することを特徴とする請求項6に記載の部品接合装置。 - 前記補正手段は、前記被接合部品を、X軸方向に移動させるX軸テーブル、Y軸方向に移動させるY軸テーブルおよびθ方向にθテーブルから成り、
前記移動テーブルが、前記X軸テーブルおよび前記Y軸テーブルの一方を兼ねていることを特徴とする請求項6または7に記載の部品接合装置。
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