JP2009105151A - 半導体テスト装置 - Google Patents

Abstract

【課題】歩留まりを低下させることなく、不再現性不良による不良品の市場流出を防止でき、さらには不再現性不良の解析を可能にするテスト方法を提供すること。
【解決手段】ウエハ上のアドレス、カテゴリ値等を保存するウエハマップと、テストすべきウエハが不再現性不良の可能性がある製品を記憶した特定カテゴリ対象製品であるか否かの検索手段と、該当する場合、この製品毎に特定カテゴリ値が記憶された特定カテゴリマスタファイルを検索して、特定カテゴリ値を決定する手段と、テストすべきウエハの過去のテスト結果を記憶するウエハマップを検索して、特定カテゴリ値を有するチップアドレスを抽出して記憶する手段と、チップ毎にテストを行うテスト装置と、ウエハマップのチップアドレスに対応するチップのテスト結果記憶領域とを備え、この領域には、過去のテスト結果を記憶し、ウエハマップを別途記憶することを特徴とする半導体テスト装置。
【選択図】図２

Description

本発明は、半導体テスト装置に関し、特にウエハのテストを行う装置に関する。

通常、製造された半導体製品は、その全てが良品ではなく、中には不良品が含まれる。このため、市場に出荷する前にその製品が良品であるか、不良品であるかをテストしなければならない。この半導体装置のテストは、１枚のウエハに対して複数回行われる場合がある。

また、この半導体製品のテストは通常、複数のテスト工程からなる。このような一連のテスト工程において、例えば不安定な製造工程を経て製造されたウエハに対して一連のテストを行うと、テスト項目によっては、テストを行う毎に合格と判断されたり不合格と判断されたりする、いわゆる不再現性不良が生じるチップが存在する場合がある。

このように不再現性不良が生じると、本来は不良品であったにも関わらず、最終的なテストで良品と判断されてしまう場合が生じ、これによって市場に不良品が流出するという問題がある。

そこで今までは、不再現性不良が生じる可能性のあるテスト項目のテストが行われた直後に、不良と判断されたチップには手動でインク等を打点していた。こうすることで、再度同じテストが行われ、その結果良品と判断されても、インクが打点されたチップを不良品して扱うことが可能であるために、不再現性不良による不良品の市場への流出を防止することが可能になる。

しかし、手動でインクを打点するために、インクの打点ミスによる不良品の市場への流出および製品歩留まりの低下、さらには、テスト時間が長くなることによるスループットの低下も招いていた。

そこで、不良品の市場への流出が防止でき、さらにテスト時間を短くできる半導体装置のテスト方法が知られている。（特許文献１）
この半導体装置のテスト方法は、過去に不良品と判断されてしまったチップに対しては再テストが行われず、過去のテスト結果により良品と判断されたチップのみに再テストを行うという方法である。

こうすることで、一度不良品と判断されてしまった場合のチップに対しては再テストが行われずに常に不良品として扱われ続けるため、不再現性不良が生じたチップが市場に流出することを防ぐことが可能である。さらに、一度不良品と判断されたチップに対しては再テストが行われないため、テスト時間が短縮され、スループットの向上が実現できる。

しかし、このテスト方法では、不再現性不良以外の原因によって偶然不良と判断されてしまったチップも含めて、全て不良品として扱われることになる。このため、製品歩留まりが低下するという問題がある。

さらに、このテスト方法においては、テスト結果をその都度同一ファイルに上書きするものである。通常、製品歩留まりの向上のため、不良製品の原因の解析を欠かすことはできない。しかし、このテスト方法においては、テスト毎のテスト結果が残されないため、不再現性不良の原因解析を行うことができないという問題もある。
特開平７−３０２８１９号公報

本発明の課題は、製品歩留まりを低下させることなく、不再現性不良による不良品の市場流出を防止でき、さらには不再現性不良の解析を行うことを可能にする半導体テスト装置を提供することにある。

本発明の半導体テスト装置は、チップ毎にウエハ上の位置を示すアドレス、テストデータ、およびカテゴリ値からなる前記テスト装置によるテスト結果を保存するウエハマップと、テストすべきウエハが不再現性不良の発生が予想される製品を記憶した特定カテゴリ対象製品に該当するか否かについて検索する手段と、前記テストすべきウエハが特定カテゴリ対象製品に該当する場合、前記特定カテゴリ対象製品毎に前記不再現性不良が発生することが予想される特定カテゴリ値が記憶された特定カテゴリマスタファイルを検索して、特定カテゴリ値を決定する手段と、前記テストすべきウエハに対して行われた過去のテスト結果を記憶するウエハマップを検索して、この過去のテスト結果を記憶するウエハマップから、前記特定カテゴリ値を決定する手段により決定された特定カテゴリ値を有するチップアドレスを抽出して記憶する手段と、ウエハに含まれるチップ毎にテストを行うテスト装置と、前記ウエハマップの前記チップアドレスに対応するチップのテスト結果記憶領域とを備え、この領域には、前記過去のテスト結果を記憶するとともに、前記ウエハマップを別途記憶するようにしたことを特徴とするものである。

本発明によれば、製品歩留まりを低下させることなく、不再現性不良による不良品の市場流出を防止でき、さらには不再現性不良の解析を行うことを可能にする半導体テスト装置を提供できる。

以下、本発明の実施形態について図面を用いて説明する。図１は、本発明の実施形態である半導体テスト装置を示している。

この半導体テスト装置は、不再現性不良の発生が予想される製品を記憶した特定カテゴリ対象製品ファイル１１と、特定カテゴリ対象製品毎に不再現性不良が発生することが予想される特定カテゴリ値が記憶された特定カテゴリマスタファイル１２と、ウエハに含まれるチップ毎にテストを行うテスト装置１３と、チップ毎にウエハ上の位置を示すアドレス、テストデータ、およびカテゴリ値からなるテスト装置１３によるテスト結果を保存するウエハマップ１４と、テストすべきウエハが前記特定カテゴリ対象製品に該当するか否かについて特定カテゴリ対象製品ファイル１１を検索する手段１１１と、テストすべきウエハが特定カテゴリ対象製品に該当する場合、特定カテゴリマスタファイル１２を検索して、特定カテゴリ値を決定する手段１１２と、テストすべきウエハに対して行われた過去のテスト結果を記憶するウエハマップ１５を検索して、この過去のテスト結果を記憶するウエハマップ１５から、特定カテゴリ値を決定する手段１１２により決定された特定カテゴリ値を有するチップのアドレスを抽出して記憶するチップアドレスファイル１６とを備え、ウエハマップ１４のチップアドレスファイル１６に対応するチップのテスト結果記憶領域には、過去のテスト結果を記憶するとともに、ウエハマップ１４を別途記憶するようにしたことを特徴とする。

次に、上記に示すウエハテスト特定カテゴリ不良保持装置の動作について、図２を用いて説明する。図２は、ウエハテスト特定カテゴリ不良保持装置の動作を示すフローチャートを示している。

はじめに、本実施形態による半導体テスト装置にテストすべきウエハが入力されると、特定カテゴリ対象ファイル検索手段１１１によって特定カテゴリ対象製品ファイル１１を検索し、特定カテゴリ対象製品かどうかを判断する。（ステップ１）
ここで特定カテゴリとは、製造する製品毎に定められた一連のテスト項目の中で、不再現性不良の発生が予想されるテスト項目郡のことである。ここでは一例として、テスト項目は全部で１００項目あるものとし、その中で１０〜２０項目までのテスト項目を、特定カテゴリであるとする。また、特定カテゴリ対象製品ファイルとは、製造される製品をテストするテスト項目郡のなかに、不再現性不良の発生が予想されるテスト項目があるか否かが、製品毎に示されている。このファイル１１を検索することにより、テストすべきウエハが特定カテゴリ対象製品であるか否かが判断される。

テストすべきウエハが特定カテゴリ対象製品ではない場合は、通常のテスト工程によってテストされることとなる。

一方、特定カテゴリ対象製品であると判断された場合には、特定カテゴリ値決定手段１１２によって、特定カテゴリマスタファイル１２を検索し、テストすべきウエハの特定カテゴリ値が決定される。（ステップ２）
特定カテゴリマスタファイル１２には、特定カテゴリ対象製品毎に定められた特定カテゴリ値が記憶されており、このファイル１２を検索することによって、テストすべきウエハの特定カテゴリ値が決定する。先に示した例でいえば、テストすべきウエハの特定カテゴリ値は１０〜２０である。すなわち特定カテゴリ値とは、製品毎に定められた特定カテゴリを示す値である。

次に、テストすべきウエハについて、過去のテスト結果を示すウエハマップ１５がテスト装置１３に保存されているか否かを判断する。（ステップ３）
このウエハマップ１５には、テストすべきウエハに含まれる各チップがテストされた各テスト項目におけるテストデータおよび、カテゴリ値が記録されている。ここでカテゴリ値とは、一連のテスト項目によるテストの結果、どこまで合格できたのかを示す値である。例えば、先の例のようにテスト項目が１００項目あるとし、これらのテスト項目の中で７９番目のテスト項目まで合格し、８０番目のテストで不合格と判断されていれば、示されるカテゴリ値は８０である。

テストすべきウエハについて、過去のテスト結果を示すウエハマップ１５がテスト装置１３に保存されていない場合、このテストすべきウエハはテスト装置１３によってテストされる。

一方、過去のテスト結果を示すウエハマップ１５がテスト装置１３に保存されている場合、チップアドレスファイル作成手段１１３によって、このウエハマップ１５に保存されたカテゴリ値が、製品毎に定められた特定カテゴリ値に一致するチップの、ウエハ上での位置情報を示すアドレスを記憶したチップアドレスファイル１６を作成する。（ステップ４）
次に、テストすべきウエハはテスト装置１３によって、製品毎に定められた一連のテスト項目のテストが行われる。（ステップ５）
次に、テストすべきウエハに対する一連のテストを終了したら、そのテスト結果をウエハマップ１４として、テスト装置１３に保存する。（ステップ６）
最後に、テストすべきウエハが再テストであった場合には、不再現性不良保持手段１１４によって、ステップ４で作成したチップアドレスファイル１６に記憶されたアドレスでのカテゴリ値を、過去のテスト結果を示すウエハマップ１５に記録されたカテゴリ値に置き換える。（ステップ７）
すなわち、テストすべきウエハに対して、チップアドレスファイル１６に記憶されたアドレスでのカテゴリ値を、特定カテゴリ値に置き換えることになる。このステップにより、不再現性不良を生ずる可能性のあるテスト工程の結果が一度不合格と判定された場合には、再度テストした結果合格と判断されても、不合格として扱われるようになる。

以上のテスト工程によって、不再現性不良を保持したウエハマップ１７が得られる。

さらに、一回毎のテスト結果が全て保存されるため、これらのテスト結果を用いて、不再現性不良の解析を行うことも可能である。

本実施形態による半導体テスト装置を示す図である。 本実施形態による半導体テスト装置の動作を示すフローチャートを示す図である。

符号の説明

１１：特定カテゴリ対象ファイル、１２：特定カテゴリマスタファイル、１３：テスト装置、１４：ウエハマップ、１５：過去のテスト結果を示すウエハマップ、１６：チップアドレスファイル、１７：不再現性不良を保持したウエハマップ、１１１：特定カテゴリ対象製品ファイル検索手段、１１２：特定カテゴリ値決定手段、１１3：チップアドレスファイル作成手段、１１4：不再現性不良保持手段。

Claims (3)

1. チップ毎にウエハ上の位置を示すアドレス、テストデータ、およびカテゴリ値からなるテスト装置によるテスト結果を保存するウエハマップと、
   テストすべきウエハが不再現性不良の発生が予想される製品を記憶した特定カテゴリ対象製品に該当するか否かについて検索する手段と、
   前記テストすべきウエハが特定カテゴリ対象製品に該当する場合、前記特定カテゴリ対象製品毎に前記不再現性不良が発生することが予想される特定カテゴリ値が記憶された特定カテゴリマスタファイルを検索して、特定カテゴリ値を決定する手段と、
   前記テストすべきウエハに対して行われた過去のテスト結果を記憶するウエハマップを検索して、この過去のテスト結果を記憶するウエハマップから、前記特定カテゴリ値を決定する手段により決定された特定カテゴリ値を有するチップアドレスを抽出して記憶する手段と、
   ウエハに含まれるチップ毎にテストを行うテスト装置と、
   前記ウエハマップの前記チップアドレスに対応するチップのテスト結果記憶領域とを備え、
   この領域には、前記過去のテスト結果を記憶するとともに、前記ウエハマップを別途記憶するようにしたことを特徴とする半導体テスト装置。
2. 前記テストすべきウエハに対して行われた過去のテスト結果を記憶するウエハマップから、前記特定カテゴリ値を決定する手段により決定された特定カテゴリ値を有するチップアドレスを抽出して記憶するチップアドレスファイルを作成する手段を備えることを特徴とする請求項１に記載の半導体テスト装置。
3. 前記ウエハマップ上の前記チップアドレスに対応するチップのテスト結果記憶領域には、前記過去のテスト結果を記憶する不再現性不良保持手段を備えることを特徴とする請求項１または２に記載の半導体テスト装置。

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