JP2009104272A - 消耗品の管理方法 - Google Patents
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- 238000007726 management method Methods 0.000 title claims abstract description 15
- 238000003860 storage Methods 0.000 claims abstract description 16
- 230000005540 biological transmission Effects 0.000 claims abstract description 9
- 238000000034 method Methods 0.000 claims abstract description 7
- 238000011900 installation process Methods 0.000 claims abstract description 3
- 238000005520 cutting process Methods 0.000 claims description 105
- 238000003754 machining Methods 0.000 abstract description 2
- 230000004308 accommodation Effects 0.000 abstract 1
- 235000012431 wafers Nutrition 0.000 description 24
- XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N water Substances O XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 6
- 238000004891 communication Methods 0.000 description 5
- 238000003384 imaging method Methods 0.000 description 5
- 238000001514 detection method Methods 0.000 description 4
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 description 3
- 230000032258 transport Effects 0.000 description 3
- PXHVJJICTQNCMI-UHFFFAOYSA-N Nickel Chemical compound [Ni] PXHVJJICTQNCMI-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 description 2
- 239000006061 abrasive grain Substances 0.000 description 1
- 239000002390 adhesive tape Substances 0.000 description 1
- 229910003460 diamond Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000010432 diamond Substances 0.000 description 1
- 239000000463 material Substances 0.000 description 1
- 229910052759 nickel Inorganic materials 0.000 description 1
- 230000002093 peripheral effect Effects 0.000 description 1
- 239000011347 resin Substances 0.000 description 1
- 229920005989 resin Polymers 0.000 description 1
- 230000000717 retained effect Effects 0.000 description 1
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Abstract
【課題】 消耗品の在庫をユーザー側に持たせることで、メーカ側の保管場所の縮小化を図ることができるとともに、ユーザー側においては常に消耗品を入手可能な消耗品の管理方法を提供することである。
【解決手段】 加工装置に装着される消耗品の管理方法であって、消耗品を使用するユーザー側に自動販売機を設置する自動販売機設置工程と、該消耗品を生産するメーカによって該自動販売機に消耗品を収容する消耗品収容工程と、ユーザー側において該自動販売機から消耗品を購入した際、該自動販売機から購入情報をメーカ側に送信する購入情報送信工程と、該購入情報送信工程によって送信された購入情報に基づいて、メーカ側においてユーザーに対して請求書を発行する請求書発行工程と、該購入情報送信工程によって送信された購入情報に基づいて、メーカ側において該自動販売機に消耗品を補給する消耗品補給工程と、を具備したことを特徴とする。
【選択図】図８
【解決手段】 加工装置に装着される消耗品の管理方法であって、消耗品を使用するユーザー側に自動販売機を設置する自動販売機設置工程と、該消耗品を生産するメーカによって該自動販売機に消耗品を収容する消耗品収容工程と、ユーザー側において該自動販売機から消耗品を購入した際、該自動販売機から購入情報をメーカ側に送信する購入情報送信工程と、該購入情報送信工程によって送信された購入情報に基づいて、メーカ側においてユーザーに対して請求書を発行する請求書発行工程と、該購入情報送信工程によって送信された購入情報に基づいて、メーカ側において該自動販売機に消耗品を補給する消耗品補給工程と、を具備したことを特徴とする。
【選択図】図８
Description
本発明は、切削ブレード等の消耗品を管理する消耗品の管理方法に関する。
ＩＣ，ＬＳＩ等の複数のデバイスが分割予定ライン（ストリート）によって区画されて表面に形成された半導体ウエーハは、切削ブレードが装着された切削装置（ダイシング装置）によって、個々のデバイスに分割され、携帯電話、パソコン等の電気機器に利用される。
切削装置は、ウエーハ等の被加工物を保持するチャックテーブルと、該チャックテーブルに保持された被加工物を切削する切削ブレードを有する切削手段とから少なくとも構成されている。
切削装置に装着される切削ブレードは消耗品であり、ブレードセンサで切刃の欠け又は所定量の磨耗を検出した時には新たな切削ブレードに交換する必要がある。ユーザー側で新品の切削ブレードを大量に在庫として保有することは在庫管理として非効率なため、定期的に適量の切削ブレードを発注する必要がある。
一方、切削ブレード等の消耗品のメーカ側では、ユーザーからの注文に応じて速やかに納品しなければならないことから多くの在庫を抱える必要があり、比較的大きい保管場所を確保しなければならず不経済である。
他方、ユーザー側で在庫を最小限に抑えようとすると、納品の遅れが生産ラインの中断を招く恐れがある。また、ユーザーは純正品の消耗品ではなく、品質が保証されない他社製の消耗品を購入してトラブルを引き起こすという問題がある。
本発明はこのような点に鑑みてなされたものであり、その目的とするところは、消耗品の在庫をユーザー側に保管させることによりメーカ側での保管場所の縮小を図るとともに、ユーザー側においては在庫を持たずに常に消耗品を入手することが可能な消耗品の管理方法を提供することである。
本発明によると、加工装置に装着される消耗品の管理方法であって、消耗品を使用するユーザー側に自動販売機を設置する自動販売機設置工程と、該消耗品を生産するメーカによって該自動販売機に消耗品を収容する消耗品収容工程と、ユーザー側において該自動販売機から消耗品を購入した際、該自動販売機から購入情報をメーカ側に送信する購入情報送信工程と、該購入情報送信工程によって送信された購入情報に基づいて、メーカ側においてユーザーに対して請求書を発行する請求書発行工程と、該購入情報送信工程によって送信された購入情報に基づいて、メーカ側において該自動販売機に消耗品を補給する消耗品補給工程と、を具備したことを特徴とする消耗品の管理方法が提供される。
例えば、加工装置は、被加工物を保持するチャックテーブルと、チャックテーブルに保持された被加工物を切削する切削ブレードを有する切削手段とを備えた切削装置であり、消耗品は切削ブレードである。
本発明によると、消耗品の自動販売機をユーザー側に設置し、消耗品の在庫をユーザー側に保管させることでメーカ側の保管を減少させ、保管場所の縮小を図ることができ経済的である。また、ユーザー側においては、在庫を持たずに常に消耗品を入手することができるので生産ラインを中断させることなく効率良く消耗品を購入できる。
更に、常に純正品の消耗品がユーザー側に保管されているので、品質が保証されない他社製の消耗品を購入する必要がなくトラブルの発生を抑制できる。尚、消耗品には切削ブレードのように２２℃〜２５℃の範囲で温度管理が要求されるものがあり、自動販売機はこれらの消耗品に適した保管庫として機能する。
以下、本発明の実施形態を図面を参照して詳細に説明する。図１は半導体ウエーハをダイシングして個々のチップ（デバイス）に分割することのできる切削装置２の外観を示しており、切削装置に使用される切削ブレードの在庫管理に本発明が適用される。
切削装置２の前面側には、オペレータが加工条件等の装置に対する指示を入力するための操作手段４が設けられている。装置上部には、オペレータに対する案内画面や後述する撮像手段によって撮像された画像が表示されるＣＲＴ等の表示手段６が設けられている。
図２に示すように、ダイシング対象のウエーハＷの表面においては、第１のストリートＳ１と第２ストリートＳ２とが直交して形成されており、第１のストリートＳ１と第２のストリートＳ２とによって区画されて多数のデバイスＤがウエーハＷ上に形成されている。
ウエーハＷは粘着テープであるダイシングテープＴに貼着され、ダイシングテープＴの外周縁部は環状フレームＦに貼着されている。これにより、ウエーハＷはダイシングテープＴを介してフレームＦに支持された状態となり、図１に示したウエーハカセット８中にウエーハが複数枚（例えば２５枚）収容される。ウエーハカセット８は上下動可能なカセットエレベータ９上に載置される。
ウエーハカセット８の後方には、ウエーハカセット８から切削前のウエーハＷを搬出するとともに、切削後のウエーハをウエーハカセット８に搬入する搬出入手段１０が配設されている。ウエーハカセット８と搬出入手段１０との間には、搬出入対象のウエーハが一時的に載置される領域である仮置き領域１２が設けられており、仮置き領域１２には、ウエーハＷを一定の位置に位置合わせする位置合わせ手段１４が配設されている。
仮置き領域１２の近傍には、ウエーハＷと一体となったフレームＦを吸着して搬送する旋回アームを有する搬送手段１６が配設されており、仮置き領域１２に搬出されたウエーハＷは、搬送手段１６により吸着されてチャックテーブル１８上に搬送され、このチャックテーブル１８に吸引されるとともに、複数の固定手段１９によりフレームＦが固定されることでチャックテーブル１８上に保持される。
チャックテーブル１８は、回転可能且つＸ軸方向に往復動可能に構成されており、チャックテーブル１８のＸ軸方向の移動経路の上方には、ウエーハＷの切削すべきストリートを検出するアライメント手段２０が配設されている。
アライメント手段２０は、ウエーハＷの表面を撮像する撮像手段２２を備えており、撮像により取得した画像に基づき、パターンマッチング等の処理によって切削すべきストリートを検出することができる。撮像手段２２によって取得された画像は、表示手段６に表示される。
アライメント手段２０の左側には、チャックテーブル１８に保持されたウエーハＷに対して切削加工を施す切削手段２４が配設されている。切削手段２４はアライメント手段２０と一体的に構成されており、両者が連動してＹ軸方向及びＺ軸方向に移動する。
切削手段２４は、回転可能なスピンドル２６の先端に切削ブレード２８が装着されて構成され、Ｙ軸方向及びＺ軸方向に移動可能となっている。切削ブレード２８は撮像手段２２のＸ軸方向の延長線上に位置している。
図３を参照すると、ブレードマウント３６が固定されたスピンドル２６と、切削ブレード２８との装着関係を示す分解斜視図が示されている。スピンドルユニット３０のスピンドルハウジング３２中には、図示しないサーボモータにより回転駆動されるスピンドル２６が回転可能に収容されている。
ブレードマウント３６は、ボス部３８とボス部３８と一体的に形成された固定フランジ４０とから構成される。ボス部３８には雄ねじ４２が形成されている。更に、ブレードマウント３６は装着穴を有している。
ブレードマウント３６は、装着穴をスピンドル２６の先端小径部に挿入して、ナット４４をスピンドル２６の先端小径部に形成された雄ねじに螺合して締め付けることにより、図３に示すようにスピンドル２６の先端部に取り付けられる。
切削ブレード２８はハブブレードと呼ばれ、被把持部分となる円形ハブ４８を有する円形基台４６の外周にニッケル母材中にダイヤモンド砥粒が分散された切刃５０が電着されて構成されている。
切削ブレード２８の装着穴５２をブレードマウント３６のボス部３８に挿入し、固定ナット５４をボス部３８の雄ねじ４２に螺合して締め付けることにより、切削ブレード２８がスピンドル２６に取り付けられる。
図４を参照すると、切刃ブレード２８を装着した切削手段２４の拡大斜視図が示されている。６０は切削ブレード２８をカバーするブレードカバーであり、このブレードカバー６０には切削ブレード２８の側面に沿って伸長する図示しない切削水ノズルが取り付けられている。切削水が、パイプ７２を介して図示しない切削水ノズルに供給される。
６２は着脱カバーであり、ねじ６４によりブレードカバー６０に取り付けられる。着脱カバー６２は、ブレードカバー６０に取り付けられた際、切削ブレード２８の側面に沿って伸長する切削水ノズル７０を有している。切削水は、パイプ７４を介して切削水ノズル７０に供給される。
６６はブレード検出ブロックであり、ねじ６８によりブレードカバー６０に取り付けられる。ブレード検出ブロック６６には発光素子及び受光素子からなる図示しないブレードセンサが取り付けられており、このブレードセンサにより切削ブレード２８の切刃５０の状態を検出する。
ブレードセンサにより切刃５０の欠け又は所定量以上の磨耗を検出した場合には、切削ブレード２８を新たな切削ブレードに交換する。７６はブレードセンサの位置を調整するための調整ねじである。
図５は切削ブレード２８を収容ケース７８内に収容するところを示す分解斜視図である。収容ケース７８は樹脂のモールド成型体から形成されており、透明であるのが好ましい。
収容ケース７８は、本体ケース８０と、本体ケース８０にヒンジ部８４で開閉可能に取り付けられたカバー８２とから構成される。本体ケース８０には切削ブレード２８の装着穴５２が嵌合される円形凸部８６が形成されている。
カバー８２にはフック８８が一体的に形成されており、このフック８８を本体ケース８０に形成された係合突起９０に係合することにより、カバー８８が本体ケース８０に対して閉じた状態で保持される。
図６は収容ケース７８の平面図を示しており、収容ケース７８のカバー８２の所定箇所には切削ブレード２８の種類を特定する着脱シール９２が貼着されており、着脱シール９２には、例えば切削ブレード２８の種類を特定するためのバーコードが印刷されている。
切削装置２によりウエーハの切削を続行して、ブレードセンサにより切刃５０の欠け又は所定量以上の磨耗を検出した場合には、図７に示すように、着脱カバー６２をブレードカバー６０から取り外した後、切削ブレード２８を新たな切削ブレードに交換する。尚、図７では、ブレード検出ブロック６６もブレードカバー６０から取り外されているが、ブレード検出ブロック６６は必ずしも取り外す必要はない。
切削ブレード２８を交換するには、図７でまず固定ナット５４を緩めて矢印９４で示すように固定ナット５４を取り外し、次いで切削ブレード２８を矢印９６で示すように取り外す。
次いで、新たな切削ブレードをブレードマウント３６に取り付け、固定ナット５４をボス部３８の雄ねじ４０に螺合して締め付けることにより、新たな切削ブレード２８がスピンドル２６に取り付けられる。
次に、図８を参照して、本発明の消耗品の管理方法を切削装置２に装着する切削ブレードに適用した例について説明する。１００は切削ブレードの自動販売機であり、例えば切削装置２のユーザーの工場の所定場所に設置される。自動販売機１００は、切削ブレードの種類に応じて複数の押しボタン１０２ａ〜１０２ｅを有している。
自動販売機１００内には、例えば各種のブレードＡ〜Ｅがそれぞれ１００枚ずつ収容されており、ユーザーが切削ブレードＡを購入したい場合には、よく知られた自動販売機と同様に押しボタン１０２ａを押す。この場合、切削ブレードＡの購入金額を投入する必要はない。
押しボタン１０２ａが押されると、収容ケース７８内に収容された切削ブレードＡが商品取出口（切削ブレード取出口）１０４内に落下し、収容ケース７８内に収容された切削ブレードＡを購入することができる。
押しボタン１０２ａ〜１０２ｅを１回押す毎に購入可能な切削ブレードの枚数は自由に設定可能である。例えば、押しボタン１０２ａを１回押すと、切削ブレードＡを１枚、又は１０枚と自由に設定可能である。また、各押しボタン１０２ａ〜１０２ｅ毎に購入可能な切削ブレードＡ〜Ｅの個数（枚数）を異ならせることも可能である。
例えば、切削ブレードＡを１０個購入したとする。この情報は自動販売機１００のコントローラ１０６内の送信回路１０８から通信回線１１４を介してメーカ側のサーバ１１０に送信され、サーバ１１０の受信回路１１２により受信される。
サーバ１１０は受信した情報に応じて、プリンタ１１６を作動させて、例えば図９に示すような請求書１１８を発行する。メーカ側では、この請求書１１８をユーザー側の購買部等に例えば郵送により送付する。
メーカ側のサーバ１１０は各切削ブレードＡ〜Ｅの残量を常に把握しているため、ある切削ブレードＡ〜Ｅの自動販売機１００内の在庫が例えば５０枚になったら、その種類の切削ブレード５０枚をユーザー側に持参し、切削ブレードを補給する。
上述した実施形態では、自動販売機１００のコントローラ１０６とサーバ１１０との間の通信は一方向通信となっているが、双方向通信が可能となるように変更しても良い。これにより、必要に応じてサーバ１００は自動販売機１００内の切削ブレードＡ〜Ｅの在庫枚数を常に確認することができる。
本実施形態によると、切削ブレードの自動販売機１００をユーザー側に設置し、切削ブレードの在庫をユーザー側に保管させることでメーカ側の保管を減少させ保管場所の縮小化を図ることができる。ユーザー側においては、在庫を持たずに常に必要とする切削ブレードを入手することができるので、生産ラインを中断させることなく効率良く切削ブレードを購入できる。
更に、常に純正品の切削ブレードがユーザー側の自動販売機１００内に保管されているので、品質が保証されない他社製の切削ブレードを購入する必要がなく、トラブルの発生を抑制することができる。尚、切削ブレードは２２℃〜２５℃の範囲で温度管理が要求されるものであり、自動販売機１００は適した保管庫として機能する。
以上の説明では、本発明の消耗品の管理方法を切削ブレードに適用した例について説明したが、消耗品は切削ブレードに限られるものではなく、加工装置のユーザー側で必要とするその他の消耗品の管理方法にも本発明を適用可能である。
２ 切削装置
１８ チャックテーブル
２４ 切削手段
２６ スピンドル
２８ 切削ブレード
７８ 収容ケース
１００ 自動販売機
１０２ａ〜１０２ｅ 押しボタン
１０４ 商品取出口
１０６ コントローラ
１０８ 送信回路
１１０ サーバ
１１２ 受信回路
１１４ 通信回線
１１６ プリンタ
１８ チャックテーブル
２４ 切削手段
２６ スピンドル
２８ 切削ブレード
７８ 収容ケース
１００ 自動販売機
１０２ａ〜１０２ｅ 押しボタン
１０４ 商品取出口
１０６ コントローラ
１０８ 送信回路
１１０ サーバ
１１２ 受信回路
１１４ 通信回線
１１６ プリンタ
Claims (2)
- 加工装置に装着される消耗品の管理方法であって、
消耗品を使用するユーザー側に自動販売機を設置する自動販売機設置工程と、
該消耗品を生産するメーカによって該自動販売機に消耗品を収容する消耗品収容工程と、
ユーザー側において該自動販売機から消耗品を購入した際、該自動販売機から購入情報をメーカ側に送信する購入情報送信工程と、
該購入情報送信工程によって送信された購入情報に基づいて、メーカ側においてユーザーに対して請求書を発行する請求書発行工程と、
該購入情報送信工程によって送信された購入情報に基づいて、メーカ側において該自動販売機に消耗品を補給する消耗品補給工程と、
を具備したことを特徴とする消耗品の管理方法。 - 前記加工装置は、被加工物を保持するチャックテーブルと、該チャックテーブルに保持された被加工物を切削する切削ブレードを有する切削手段とを備えた切削装置であり、前記消耗品は切削ブレードであることを特徴とする請求項１記載の消耗品の管理方法。
Priority Applications (2)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2007273404A JP2009104272A (ja) | 2007-10-22 | 2007-10-22 | 消耗品の管理方法 |
| CN 200810171346 CN101419733A (zh) | 2007-10-22 | 2008-10-21 | 消耗品的管理方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
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| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JP2009104272A true JP2009104272A (ja) | 2009-05-14 |
Family
ID=40630511
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP2007273404A Pending JP2009104272A (ja) | 2007-10-22 | 2007-10-22 | 消耗品の管理方法 |
Country Status (2)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2009104272A (ja) |
| CN (1) | CN101419733A (ja) |
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| KR20180118524A (ko) | 2017-04-21 | 2018-10-31 | 가부시기가이샤 디스코 | 가공 공구의 관리 방법 |
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-
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-
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| Publication number | Publication date |
|---|---|
| CN101419733A (zh) | 2009-04-29 |
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| A621 | Written request for application examination |
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|
| A977 | Report on retrieval |
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|
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Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A02 Effective date: 20120703 |