JP2009103951A - 電気光学装置の製造方法 - Google Patents

Abstract

【課題】構造体から複数の液晶パネルの少なくとも一部を分断する際、一方の電気光学パネルの段差部と他方の電気光学パネルの段差部とが接触することを防止することにより、信頼性の向上を図ることができる電気光学装置の製造方法を提供する。
【解決手段】分断された第１の分断位置１００Ｘが、ステージ端面９１ｔから飛び出すよう構造体４００をステージ９１に載置した後、固定する固定工程と、ステージ端面９１ｔから飛び出した構造体４００の飛び出し領域に対して、基板１００の向きに回転力を付与することにより、第２の分断位置２００Ｘを分断する第２の分断工程とを具備し、回転力の回転中心９２Ｃは、基板１００から基板２００と反対側に離間する領域であって、第１の分断位置１００Ｘの上端部８０からの距離Ｒ１が、第２の分断位置２００Ｘの下端部８１からの距離Ｒ２よりも短くなるよう位置していることを特徴とする。
【選択図】図９

Description

本発明は、少なくとも２枚の基板が貼り合わされて形成された構造体から、電気光学パネルの少なくとも一部を分断する電気光学装置の製造方法に関する。

周知のように、電気光学装置、例えば光透過型の液晶装置は、ガラス基板、石英基板等からなる２枚の基板間に液晶が介在されて構成された電気光学パネルである液晶パネルが実装ケース等に収容されて構成されている。

また、液晶装置は、液晶パネルの一方の基板に、例えば薄膜トランジスタ(Thin Film Transistor、以下、ＴＦＴと称す)等のスイッチング素子及び画素電極をマトリクス状に配置し、他方の基板に対向電極を配置して、両基板間に介在された液晶層による光学応答を画像信号に応じて変化させることで、画像表示を可能としている。

また、ＴＦＴを配置したＴＦＴ基板と、このＴＦＴ基板に相対して配置される対向基板とは、別々に製造される。ＴＦＴ基板及び対向基板は、例えば石英基板上に、所定のパターンを有する半導体薄膜、絶縁性薄膜又は導電性薄膜を積層することによって構成される。半導体薄膜、絶縁性薄膜又は導電性薄膜は、層毎に各種膜の成膜工程とフォトリソグラフィ工程を繰り返すことによって形成されるのである。

このようにして形成されたＴＦＴ基板及び対向基板は、例えば液晶封入方式により、ＴＦＴ基板と対向基板との間に液晶が介在される場合には、一部に切り欠きを有するよう略周状に塗布されたシール材を介して、パネル組立工程において高精度（例えばアライメント誤差１μ以内）に貼り合わされる。

次いでアライメントが施されてそれぞれ圧着硬化された後、シール材の一部に設けられた切り欠きを介して液晶が封入され、切り欠きが、熱等により硬化された封止材により封止される。

その後、ＴＦＴ基板及び対向基板の外面となる露出面に、防塵ガラス（以下、カバーガラスと称す）が、接着剤を介してそれぞれ貼着されることにより、液晶パネルは製造される。

その後、ＴＦＴ基板の対向基板への対向面における露出部に設けられた外部接続端子に、プロジェクタ等の電子機器の外部回路と電気的に接続する、特定の長さを有する柔軟な図示しない薄板状基板であるフレキシブル配線基板（Flexible Printed Circuits、以下ＦＰＣと称す）の一端が、圧着等により電気的に接続され、最後に、液晶パネルが実装ケース等に収容されることにより、液晶装置が形成される。

ここで、液晶パネルの製造方法としては、ＴＦＴ基板が複数構成された第１の基板である第１の大板基板に、上述したシール材を介してＴＦＴ基板毎に対向基板が貼着されるよう対向基板が複数構成された第２の基板である第２の大板基板を貼り合わせて構造体を形成し、ＴＦＴ基板と対向基板との間に液晶をそれぞれ介在させた後、構造体から、対向基板が貼着されたＴＦＴ基板を、ダイシング処理、スクライブブレイク処理、レーザ加工処理等の各種分断処理によりチップ状に複数分断することにより、液晶パネルを複数形成することができる大板貼り合わせ方式が周知である。

尚、大板貼り合わせ方式においては、分断後、ＴＦＴ基板及び対向基板に、チップ状のカバーガラスを貼着しても構わないし、分断前に、第１の大板基板及び第２の大板基板に、大板カバーガラス基板をそれぞれ貼着して構造体を形成した後、カバーガラスもＴＦＴ及び対向基板とともに、構造体からチップ状に分断しても構わない。

ところが、この大板貼り合わせ方式においては、構造体から単に対向基板が貼着されたＴＦＴ基板を、各基板の外周に沿って分断しただけでは、ＴＦＴ基板の対向基板への対向面に形成された上述した外部接続端子は、対向基板によって覆われたままで分断されてしまうといった問題があった。これは、分断前にカバーガラスが貼着されている場合であっても同様である。

このような問題に鑑み、特許文献１には、構造体から複数の液晶パネルを分断する際、対向基板が複数構成された第２の大板基板に対し、各対向基板の外周のみならず、ＴＦＴ基板の対向面に形成された外部接続端子が露出するよう、所定の位置に分断処理を行って外部接続端子上の対向基板の小片を除去し、液晶パネルにおける外部接続端子が設けられた第１の端面側に、第１の段差部を形成する手法が開示されている。

尚、構造体においては、一対のＴＦＴ基板と対向基板とは、液晶パネルの表示領域のみ、上述したシール材で貼り合わせていることから、外部接続端子上はシール材が塗布されていない。このため、分断後は、対向基板の外部接続端子上の小片を、容易に除去することができる。

このような手法によれば、分断に伴い、ＴＦＴ基板上から、外部接続端子を覆う対向基板の小片を除去することができることから、構造体から複数の液晶パネルを分断する際、各液晶パネルのＴＦＴ基板上の外部接続端子を効率良く露出させることができる。
特開２００５−２６６６８４号公報

ところで、液晶パネルにおける上述した第１の端面に対向する第２の端面においては、構造体から液晶パネルを分断する際、分断処理は、ＴＦＴ基板及び対向基板の外周に沿って行われることから、ＴＦＴ基板及び対向基板とも同一面となっているのが一般的である。

ところが、近年、第２の端面において、対向基板の端面に対し、ＴＦＴ基板の端面よりも外周方向に突出する突出部を形成し、該突出部によって液晶パネルにおける第２の端面に第２の段差部を形成することにより、従来よりも液晶パネルと実装ケースとの接触面積を増やして、液晶パネルから実装ケースへの放熱性を向上させる技術が周知である。

この場合、構造体から複数の液晶パネルを分断する際は、ＴＦＴ基板に対しては、第１の端面において、従来とおり分断処理を行うが、対向基板に対しては、ＴＦＴ基板の第１の端面に平面視した状態で重なる位置には分断処理を行う必要がなく、外部接続端子を露出させるため、第１の端面から第２の端面に向かって所定の距離離れた所定位置のみに分断処理を行えば良くなることから、製造工程数を削減することができる。

これは、第１の端面と第２の端面とを結ぶ方向において隣り合う液晶パネルにおいては、分断後、一方の液晶パネルのＴＦＴ基板の外部接続端子上に位置していた従来は小片として除去していた対向基板の部位は、他方の液晶パネルにおける第２の端面における突出部を構成することになるためである。即ち、分断後の一方の基板における第１の段差部と他方の基板における第２の段差部とは係合する形状を有するためである。

しかしながら、第１の大板基板に対する分断処理後、第２の大板基板の上述した所定位置に対して、スクライブブレイク処理やダイシング処理、レーザ加工処理等で分断処理を行うと、分断の際、一方の液晶パネルの第１の段差部に対し、他方の液晶パネルの第２の段差部が接触してしまい、具体的には、一方の液晶パネルに形成された外部接続端子に対して、他方の液晶パネルの上述した延出部位が接触してしまい、外部接続端子に傷等が付着してしまう他、各段差部に割れ等や傷の付着が発生してしまう場合があり、製造後の液晶パネルの信頼性が低下してしまうといった問題があった。

尚、以上の問題は、構造体からＴＦＴ基板及び対向基板をカバーガラスとともに分断する場合であっても同様である。

本発明は上記問題点に着目してなされたものであり、分断された各液晶パネルの端面に段差部が形成されるよう構造体から複数の液晶パネルの少なくとも一部を分断する際、一方の電気光学パネルの段差部と他方の電気光学パネルの段差部とが接触することを防止するとともに、各段差部に、割れや傷の付着が発生してしまうことを防止して、精度良く各電気光学パネルの段差部を形成することにより、信頼性の向上を図ることができる電気光学装置の製造方法を提供することを目的とする。

上記目的を達成するために本発明に係る電気光学装置の製造方法は、少なくとも２枚の基板が貼り合わされて形成された構造体から電気光学パネルの少なくとも一部を分断する電気光学装置の製造方法であって、前記基板の内、第１の基板と第２の基板は、各基板の分断位置を平面視した状態で互いにずらすことにより、分断後の端面に段差部が形成されており、前記第１の基板の第１の分断位置を分断する第１の分断工程と、前記第２の基板の第２の分断位置に対して分断起点を形成する分断起点形成工程と、分断された前記第１の分断位置が、ステージ端面から飛び出すよう前記第１の基板の外表面を前記ステージに載置した後、前記構造体を、前記ステージに対して固定する固定工程と、前記ステージ端面から飛び出した前記構造体の飛び出し領域に対して、前記第１基板の向きに回転力を付与することにより、前記第１の分断位置よりも前記ステージ端面側にずれて位置する前記第２の分断位置を、前記分断起点を起点として分断する第２の分断工程と、を具備し、前記回転力の回転中心は、前記第１の基板から前記第２の基板と反対側に離間する領域であって、前記第１の分断位置の前記第２の基板に接する端部からの距離が、前記第２の分断位置の前記第１の基板に接する端部からの距離よりも短くなるよう位置していることを特徴とする。

本発明によれば、分断された各電気光学パネルの端面に段差部が形成されるよう構造体から複数の電気光学パネルの少なくとも一部を、回転力を用いて分断した際、一方の電気光学パネルの段差部と他方の電気光学パネルの段差部とが接触することがないことから、分断に伴って、一方の電気光学パネルの段差部を構成する第１の基板の第２の基板への対向面と、他方の電気光学パネルの段差部を構成する第２の基板の第１の基板への対向面とに割れが発生してしまうことや、傷が付着してしまうことを防止することができる。よって、精度良く各電気光学パネルの段差部を形成することができることから、信頼性の向上を図ることができる電気光学装置の製造方法を提供することができる。

また、前記ステージとは異なる回転ステージに、前記第１の基板の前記飛び出し領域の少なくとも一部が載置されて固定されており、前記第２の分断工程は、前記回転ステージを用いて、前記構造体の前記飛び出し領域に、前記回転力を付与して行うことを特徴とする。

本発明によれば、分断された各電気光学パネルの端面に段差部が形成されるよう構造体から複数の電気光学パネルの少なくとも一部を、回転ステージの回転力を用いて分断した際、一方の電気光学パネルの段差部と他方の電気光学パネルの段差部とが接触することがないことから、分断に伴って、一方の電気光学パネルの段差部を構成する第１の基板の第２の基板への対向面と、他方の電気光学パネルの段差部を構成する第２の基板の第１の基板への対向面とに割れが発生してしまうことや、傷が付着してしまうことを防止することができる。よって、精度良く各電気光学パネルの段差部を形成することができることから、信頼性の向上を図ることができる電気光学装置の製造方法を提供することができる。

さらに、前記段差部を構成する前記第１の基板の前記第２の基板に対向する面に、分断後の前記電気光学パネルを外部回路に薄板状基板を介して接続する外部接続端子が設けられていることを特徴とする。

本発明によれば、分断された各電気光学パネルの端面に段差部が形成されるよう構造体から複数の電気光学パネルの少なくとも一部を、回転力を用いて分断した際、一方の電気光学パネルの段差部と他方の電気光学パネルの段差部とが接触することがないことから、分断に伴って、第１の基板の第２の基板への対向面に形成された外部接続端子に傷が付着してしまうことを防止することができる。よって、精度良く各電気光学パネルの段差部を形成することができることから、信頼性の向上を図ることができる電気光学装置の製造方法を提供することができる。

また、前記構造体は、前記第１の基板の前記外表面に第３の基板が貼着され、前記第２の基板の外表面に第４の基板が貼着されることにより、少なくとも４枚の基板が貼り合わされて構成されており、前記第３の基板における前記第１の分断位置に平面視した状態で重なるまたは近接する第３の分断位置を分断する、若しくは前記第３の分断位置に分断起点を形成する工程と、前記第４の基板における前記第２の分断位置に平面視した状態で重なるまたは近接する第４の分断位置を分断する、若しくは前記第４の分断位置に分断起点を形成する工程と、分断された前記第１の分断位置が、前記ステージ端面から飛び出すよう前記第３の基板の外表面を前記ステージに載置した後、前記構造体を、前記ステージに対して固定する固定工程と、を具備し、前記第３の分断位置と前記第４の分断位置との少なくとも一方に前記分断起点が形成されている場合、前記第２の分断工程において前記回転力を付与することにより、前記分断起点を起点として、前記第２の分断位置とともに、前記第３の分断位置と前記第４の分断位置との少なくとも一方を分断することを特徴とする。

本発明によれば、分断された各電気光学パネルの端面に段差部が形成されるよう少なくとも４枚の基板から構成された構造体から複数の電気光学パネルの少なくとも一部を、回転力を用いて分断した際、一方の電気光学パネルの段差部と他方の電気光学パネルの段差部とが接触することがないことから、分断に伴って、一方の電気光学パネルの段差部を構成する第１の基板の第２の基板への対向面と、他方の電気光学パネルの段差部を構成する第２の基板の第１の基板への対向面とに割れが発生してしまうことや、傷が付着してしまうことを防止することができる。よって、精度良く各電気光学パネルの段差部を形成することができることから、信頼性の向上を図ることができる電気光学装置の製造方法を提供することができる。

さらに、前記第２の分断工程は、前記飛び出し領域の前記回転ステージの載置面と反対側の露出面を押圧部材を用いて前記回転ステージに対し押圧した状態で行われ、前記押圧部材は、前記飛び出し領域において、前記構造体が前記ステージから飛び出す方向と平面視した状態で直交する方向における前記構造体の幅よりも幅狭に形成されているとともに、前記直交する方向における前記構造体の各端部から等距離となる前記露出面の前記各領域を押圧することを特徴とする。

本発明によれば、分断された各電気光学パネルの端面に段差部が形成されるよう構造体から複数の電気光学パネルの少なくとも一部を、回転力を用いて分断する際、構造体がステージから飛び出す方向と平面視した状態で直交する方向における構造体の幅よりも幅狭に形成され押圧部材が、前記直交する方向における構造体の各端部から等距離となる構造体の飛び出し領域を押圧することにより、精度良く各電気光学パネルの段差部を形成することができることから、信頼性の向上を図ることができる電気光学装置の製造方法を提供することができる。

以下、図面を参照にして本発明の実施の形態を説明する。尚、以下に示す実施の形態において電気光学装置は、光透過型の液晶装置を例に挙げて説明する。よって、電気光学装置が具備する電気光学パネルは、液晶パネルを例に挙げて説明する。

また、液晶パネルにおいて対向配置される一対の基板の内、一方の基板は、素子基板（以下、ＴＦＴ基板と称す）を、また他方の基板は、ＴＦＴ基板に対向する対向基板を例に挙げて説明する。

（第１実施の形態）
先ず、本実施の形態の製造方法により製造される液晶装置における液晶パネルの全体の構成について説明する。図１は、本実施の形態の製造方法により製造される液晶装置における液晶パネルの平面図、図２は、図１中のII-II線に沿って切断した液晶パネルの断面図である。

図１、図２に示すように、液晶パネル１は、例えば、石英基板やガラス基板等を用いたＴＦＴ基板１０と、該ＴＦＴ基板１０に対向配置される、例えばガラス基板や石英基板等を用いた対向基板２０との間の内部空間に、液晶５０が介在されて構成される。対向配置されたＴＦＴ基板１０と対向基板２０とは、シール材５２によって貼り合わされている。

ＴＦＴ基板１０の液晶５０と接する領域に、液晶パネル１の表示領域４０を構成するＴＦＴ基板１０の表示領域１０ｈが構成されている。また、ＴＦＴ基板１０の対向基板２０に対向する対向面となる表面１０ｆ側における表示領域１０ｈに、画素を構成するとともに、後述する対向電極２１とともに液晶５０に駆動電圧を印加する画素電極９がマトリクス状に配置されている。

また、対向基板２０のＴＦＴ基板１０への対向面となる表面２０ｆ側における液晶５０と接する領域に、液晶５０に画素電極９とともに駆動電圧を印加する対向電極２１が設けられており、対向電極２１の表示領域１０ｈに対向する領域に、液晶パネル１の表示領域４０を構成する対向基板２０の表示領域２０ｈが構成されている。

ＴＦＴ基板１０の画素電極９上に、ラビング処理が施された配向膜１６が設けられており、また、対向基板２０上の全面に渡って形成された対向電極２１上にも、ラビング処理が施された配向膜２６が設けられている。各配向膜１６、２６は、例えば、ポリイミド膜等の透明な有機膜からなる。

また、ＴＦＴ基板１０の表示領域１０ｈにおいては、複数本の図示しない走査線と複数本の図示しないデータ線とが交差するように配線され、走査線とデータ線とで区画された領域に画素電極９がマトリクス状に配置される。そして、走査線とデータ線との各交差部分に対応して図示しない薄膜トランジスタ（ＴＦＴ）が設けられ、このＴＦＴ毎に画素電極９が電気的に接続されている。

ＴＦＴは走査線のＯＮ信号によってオンとなり、これにより、データ線に供給された画像信号が画素電極９に供給される。この画素電極９と対向基板２０に設けられた対向電極２１との間の電圧が液晶５０に印加される。

対向基板２０に、液晶パネル１の表示領域４０を規定する額縁としての遮光膜５３が設けられている。

液晶５０がＴＦＴ基板１０と対向基板２０との間の空間に、既知の液晶注入方式で注入される場合、シール材５２は、シール材５２の１辺の一部において欠落して塗布されている。

シール材５２の欠落した箇所は、該欠落した箇所から貼り合わされたＴＦＴ基板１０及び対向基板２０との間の空間において、シール材５２により囲まれた領域に液晶５０を注入するための切り欠きである液晶注入口１０８を構成している。液晶注入口１０８は、液晶注入後、封止材１０９によって封止される。

ＴＦＴ基板１０の表面１０ｆにおいて、シール材５２の外側の、液晶パネル１の第１の端面１ｔ１における第１の段差部１６１を構成する露出面１０ｒに、ＴＦＴ基板１０の図示しないデータ線に画像信号を所定のタイミングで供給して該データ線を駆動するドライバであるデータ線駆動回路１０１と外部回路との接続のための外部接続端子１０２とが、液晶パネル１の第１の端面１ｔ１に沿って設けられている。尚、外部接続端子１０２は、対向基板２０に設けられていても構わない。

外部接続端子１０２に、液晶パネル１を、図示しないプロジェクタ等の電子機器と電気的に接続する、特定の長さを有する柔軟な図示しないＦＰＣの一端が、例えば圧着により接続されている。ＦＰＣの他端がプロジェクタ等の電子機器に接続されることにより、液晶パネル１と電子機器とは電気的に接続される。

ＴＦＴ基板１０の表面１０ｆにおいて、外部接続端子１０２が設けられた液晶パネル１の第１の端面１ｔ１に隣接する各端面に沿って、ＴＦＴ基板１０の図示しない走査線及びゲート電極に、走査信号を所定のタイミングで供給することにより、ゲート電極を駆動するドライバである走査線駆動回路１０３、１０４が設けられている。走査線駆動回路１０３、１０４は、シール材５２の内側の遮光膜５３に対向する位置において、ＴＦＴ基板１０の表面１０ｆ上に形成されている。

また、ＴＦＴ基板１０の表面１０ｆ上に、データ線駆動回路１０１、走査線駆動回路１０３、１０４、外部接続端子１０２及び上下導通端子１０７を接続する配線１０５が、遮光膜５３の３辺に対向して設けられている。

上下導通端子１０７は、シール材５２のコーナー部の４箇所のＴＦＴ基板１０上に形成されている。そして、ＴＦＴ基板１０と対向基板２０相互間に、下端が上下導通端子１０７に接触し上端が対向電極２１に接触する上下導通材１０６が設けられており、該上下導通材１０６によって、ＴＦＴ基板１０と対向基板２０との間で電気的な導通がとられている。

また、液晶パネル１の第１の端面１ｔ１に対向する第２の端面１ｔ２において、対向基板２０には、ＴＦＴ基板１０の第２の端面１ｔ２よりも、第１の端面１ｔ１と第２の端面１ｔ２とを結ぶ方向において外周方向に突出する突出部２０ｔが形成されており、該突出部２０ｔにより、液晶パネル１の第２の端面１ｔ２に、第２の段差部１６２が形成されている。尚、以下、対向基板２０の表面２０ｆにおいて、第２の段差部１６２を構成する面を、露出面２０ｒと称す。

ここで、液晶パネル１の第２の端面１ｔ２に、突出部２０ｔが形成されているのは、液晶パネル１を実装ケースに収容した際、対向基板２０と実装ケースとの接触面積が増えるため、液晶パネル１から実装ケースへの放熱性を向上させることができるためである。

次に、このように構成された液晶パネルの製造方法の一部を、図３〜図１０を用いて示す。図３は、各種薄膜が形成された後のＴＦＴ基板が複数構成された第１の大板基板を示す平面図、図４は、各種薄膜が形成された後の対向基板が複数構成された第２の大板基板を示す平面図、図５は、図２の第１の大板基板と図３の第２の大板基板とを貼り合わせて形成した構造体を示す斜視図である。

また、図６は、図５中のVI-VI線に沿う構造体の部分断面図、図７は、図６の構造体に対して、第１の大板基板の第１の分断位置を分断するとともに、第２の大板基板の第２の分断位置に対して分断起点を形成した状態を示す部分断面図である。

さらに、図８は、図７の構造体を、分断装置に載置、固定した状態を示す部分断面図、図９は、図８の分断装置における回転ステージを回転させて、第２の大板基板の第２の分断位置を分断する様子を示す部分断面図、図１０は、図９の構造体から第２の分断位置を分断して形成したＸ方向に延在する柵状部材を示す斜視図である。

尚、以下、液晶パネルの製造方法は、ＴＦＴ基板が複数構成された第１の大板基板に対し、対向基板が複数構成された第２の大板基板を貼着して構造体を形成した後、構造体から、分断位置に沿って複数の液晶パネルを分断する工程を示す。その他の液晶パネルの製造方法は、周知であるため、その説明は省略する。

先ず、図３に示すように、周知の工程を経て、表面１０ｆに所定のパターンを有する上述した各種薄膜が積層されて形成されたＴＦＴ基板１０が複数構成された第１の基板である第１の大板基板１００に対し、図４に示すように、表面２０ｆに所定のパターンを有する上述した各種薄膜が積層されて形成された対向基板２０が複数構成された第２の基板である第２の大板基板２００を、少なくとも各ＴＦＴ基板１０の露出面１０ｒを除く表面１０ｆに形成されたシール材５２を介して貼り合わせ、図５、図６に示すような構造体４００を形成する。尚、第１の大板基板１００に対する第２の大板基板２００の貼り合わせ後、図１、図２に示すように、各ＴＦＴ基板１０に対して、各対向基板２０は対向して位置する。

次いで、構造体４００における、図３中のＸ方向に延在する第１の大板基板１００の複数の第１の分断位置１００Ｘに対して、図７に示すように、ダイシング処理、スクライブブレイク処理、レーザ加工処理等により、分断線７０を形成して、各第１の分断位置１００Ｘを分断する第１の分断工程を行う。

尚、この際、図３中のＹ方向に延在する第１の大板基板１００の複数の分断位置１００Ｙに対しては、例えばスクライブ処理等により、スクライブライン等の分断起点を形成しておく。

次いで、構造体４００における、図４中のＸ方向に延在する第２の大板基板２００の複数の第２の分断位置２００Ｘに対して、図７に示すように、例えばスクライブ処理を行うことにより、スクライブライン等の分断起点７１をそれぞれ形成する分断起点形成工程を行う。

尚、複数の第２の分断位置２００Ｘは、構造体４００において、複数の第１の分断位置１００Ｘよりも、平面視した状態で、図３〜図５中、Ｙ方向における少なくとも外部接続端子１０２の幅分、平行にずれて位置している。また、分断起点７１を形成する処理は、スクライブ処理に限らず、レーザ加工処理等であっても構わない。

さらに、この際、図４中のＹ方向に延在する第２の大板基板２００の複数の分断位置２００Ｙに対しても、例えばスクライブ処理等により、スクライブライン等の分断起点を形成しておく。

次いで、図７に示した構造体４００を、図８に示すように、分断装置９０のステージ９１に載置、固定する固定工程を行う。具体的には、例えば図５に示す構造体４００の内、図５中Ｙ方向において最も手前側に位置する第１の分断位置１００Ｘ１が、ステージ９１の端部９１ｔから飛び出すように、第１の大板基板１００の外表面１００ｇを、ステージ９１に載置する。尚、この際、構造体４００におけるステージ９１の端部９１ｔから飛び出した領域１９９の少なくとも一部は、回転ステージ９２に載置される。

その後、図８に示すように、押圧部材であるクランプ部材９３が、構造体４００を、該構造体４００の上方から、ステージ９１、回転ステージ９２に対して押圧することにより、ステージ９１、回転ステージ９２に対して構造体４００を固定する。

次いで、飛び出し領域１９９に位置する構造体４００に対して、第１の大板基板１００の向きに回転力、即ち、図９中下方に回転力を、回転ステージ９２により付与することにより、飛び出し領域１９９に位置する第１の分断位置１００Ｘ１に近接する第２の分断位置２００Ｘ１を、分断起点７１を起点として分断する第２の分断工程を行う。

具体的には、図９に示すように、第１の大板基板１００から第２の大板基板２００と反対側に離間する領域である第１の大板基板１００よりも下方の領域であって、飛び出し領域１９９に位置する第１の分断位置１００Ｘ１の第２の大板基板２００に接する端部である上端部８０からの距離Ｒ１が、分断対象となる第２の分断位置２００Ｘ１の第１の大板基板１００に接する端部である下端部８１からの距離Ｒ２よりも短くなる（Ｒ１＜Ｒ２）位置に回転ステージ９２の回転中心９２Ｃを設定し、該回転中心９２Ｃを、回転の中心として、回転ステージ９２を時計回りに回転させることにより、第２の分断位置２００Ｘ１を分断する。

この際、Ｒ１＜Ｒ２となる位置に回転ステージ９２の回転中心９２Ｃが設定されていることから、回転ステージ９２の回転に伴って、上端部８０は回転軌跡Ｐに沿って移動するとともに、下端部８１は回転軌跡Ｑに沿って移動する。

即ち、分断の際、ステージ９１側に位置する、後に液晶パネル１ｖ２を構成する端面１ｔ１の第１の段差部１６１と、後に液晶パネル１ｖ１を構成する端面１ｔ２の第２の段差部１６２とが接触することがない。より具体的には、液晶パネル１ｖ２のＴＦＴ基板１０の表面１０ｆにおける第１の段差部１６１を構成する露出面１０ｒと、液晶パネル１ｖ１の対向基板２０の表面２０ｆにおける第２の段差部１６２を構成する露出面２０ｒとが接触することがない。

尚、第２の分断位置２００Ｘ１を分断すると、図１０に示すように、複数の液晶パネル１ｖ１がＸ方向に隣接する柵状部材４１０が、構造体４００から分断される。また、各液晶パネル１ｖ２の第１の段差部１６１を構成するＴＦＴ基板１０の露出面１０ｒに形成された外部接続端子１０２が露出されるとともに、各液晶パネル１ｖ１の対向基板２０に、第２の段差部１６２を構成する突出部２０ｔが形成される。

その後、液晶パネル１ｖ１の図５中Ｙ方向に隣り合う、液晶パネル１ｖ２を具備する柵状部材４１０を構造体４００から分断するため、第１の分断位置１００Ｘ２が、ステージ９１の端部９１ｔから飛び出すように、第１の大板基板１００の外表面１００ｇを、ステージ９１に載置、固定し、同様に、飛び出し領域１９９に位置する構造体４００に対して、図９中下方に回転力を、回転ステージ９２によって同様に付与することにより、第１の分断位置１００Ｘ２に近接する第２の分断位置２００Ｘ２を、分断起点７１を起点として分断する。その結果、図１０に示すように、複数の液晶パネル１ｖ２がＸ方向に隣接する柵状部材４１０が、構造体４００から分断される。

また、各液晶パネル１ｖ３の第１の段差部１６１を構成するＴＦＴ基板１０の露出面１０ｒに形成された外部接続端子１０２が露出されるとともに、各液晶パネル１ｖ２の対向基板２０に、第２の段差部１６２を構成する突出部２０ｔが形成される。

さらに、液晶パネル１ｖ２の図５中Ｙ方向に隣り合う、液晶パネル１ｖ３を具備する柵状部材４１０を構造体４００から分断するため、第１の分断位置１００Ｘ３が、ステージ９１の端部９１ｔから飛び出すように、第１の大板基板１００の外表面１００ｇを、ステージ９１に載置、固定し、同様に、飛び出し領域１９９に位置する構造体４００に対して、図９中下方に回転力を、回転ステージ９２により同様に付与することにより、第１の分断位置１００Ｘ３に近接する第２の分断位置２００Ｘ３を、分断起点７１を起点として分断する。その結果、図１０に示すように、複数の液晶パネル１ｖ３がＸ方向に隣接する柵状部材４１０が、構造体４００から分断される。

また、各液晶パネル１ｖ４の第１の段差部１６１を構成するＴＦＴ基板１０の露出面１０ｒに形成された外部接続端子１０２が露出されるとともに、各液晶パネル１ｖ３の対向基板２０に、第２の段差部１６２を構成する突出部２０ｔが形成される。

尚、以下、構造体４００から全ての柵状部材４１０を分断するまで、同様の工程を繰り返す。最後に、本実施の形態に示した分断装置９０を用いて、または、他のブレイク処理により、柵状部材４１０から、分断位置１００Ｙ、２００Ｙに形成された分断起点を起点として、柵状部材４１０の本数分だけ分断処理を行い、複数の液晶パネル１を形成する。

このように、本実施の形態においては、構造体４００から柵状部材４１０を分断するに際し、第１の分断位置１００Ｘ１が、ステージ９１の端部９１ｔから飛び出すよう、第１の大板基板１００の外表面１００ｇをステージ９１に載置、固定した後、構造体４００の飛び出し領域１９９を回転ステージ９２に載置固定し、第１の大板基板１００よりも下方の領域であって、飛び出し領域１９９に位置する第１の分断位置１００Ｘ１の上端部８０からの距離Ｒ１が、分断対象となる第２の分断位置２００Ｘ１の下端部８１からの距離Ｒ２よりも短くなる（Ｒ１＜Ｒ２）位置に設定した回転中心９２Ｃを、回転の中心として、回転ステージ９２を時計回りに回転させることにより、第２の分断位置２００Ｘ１を分断して、構造体４００から柵状部材４１０を分断すると示した。

このことによれば、分断の際、柵状部材４１０中の液晶パネル１ｖ２の段差部１６１と、Ｙ方向に隣り合う柵状部材４１０中の液晶パネル１ｖ１の段差部１６２とが接触することがないことから、分断に伴って、液晶パネル１ｖ２の段差部１６１を構成する露出面１０ｒと、液晶パネル１ｖ１の段差部１６２を構成する露出面２０ｒとに割れが発生してしまうことや、傷が付着してしまうことを防止することができるとともに、液晶パネル１ｖ２の露出面１０ｒに形成された外部接続端子１０２に傷が付着してしまうことを防止することができる。

よって、精度良く各液晶パネルの段差部１６１、１６２を形成することができることから、信頼性の向上を図ることができる液晶装置の製造方法を提供することができる。

尚、以下、変形例を、図１１を用いて示す。図１１は、図５の構造体から、Ｙ方向に延在する分断位置のみを分断して形成したＹ方向に延在する柵状部材を示す斜視図である。

本実施の形態においては、第１の分断工程においては、Ｘ方向に延在する第１の大板基板１００の複数の第１の分断位置１００Ｘを分断する際、Ｙ方向に延在する複数の分断位置１００Ｙには、分断起点を形成すると示した。

また、分断起点形成工程においては、Ｘ方向に延在する第２の大板基板２００の複数の第２の分断位置２００Ｘに分断起点７１を形成する際、Ｙ方向に延在する複数の分断位置２００Ｙにも、分断起点を形成すると示した。

即ち、第１の分断位置１００Ｘ及び第２の分断位置２００Ｘを分断することにより、構造体４００から、複数の柵状部材４１０を分断すると示した。

これに限らず、先ず、構造体４００の第１の大板基板１００のＸ方向に延在する複数の第１の分断位置１００Ｘを分断するとともに、第２の大板基板２００のＸ方向に延在する複数の第２の分断位置２００Ｘに分断起点７１を形成する。

次いで、第１の大板基板１００のＹ方向に延在する複数の分断位置１００Ｙ、及び第２の大板基板２００のＹ方向に延在する複数の分断位置２００Ｙを分断して、図１１に示すように、Ｙ方向に延在する複数の液晶パネル１を具備する構造体である柵状部材４２０を形成する。

最後に、柵状部材４２０の各第２の分断位置２００Ｘを、上述した分断装置９０を用いて、上述した手法により分断し、液晶パネル１を複数形成しても、本実施の形態と同様の効果を得ることができる。

即ち、予め構造体４００から、柵状部材４２０を分断してから、柵状部材４２０から複数の液晶パネル１を分断する際に、本実施の形態を適用しても構わない。

図１６は、図１１の柵状部材を、ステージ及び回転ステージに載置した状態を示す部分平面図、図１７は、図１６の柵状部材から、Ｙ方向端部の液晶パネルを分断した状態を示す部分断面図、図１８は、変形例のクランプ部材を用いて、図１１の柵状部材の飛び出し領域を固定した状態を示す部分平面図、図１９は、図１８とは別の変形例のクランプ部材を用いて、図１１の柵状部材の飛び出し領域を固定した状態を示す部分平面図である。

ここで、図１１に示すような柵状部材４２０から、該柵状部材４２０のステージ９１及び回転ステージ９２に載置した際、柵状部材４２０が飛び出す方向であるＹ方向の端部に形成された液晶パネル１を分断する場合、図１６に示すように、Ｙ方向と平面視した状態で直交するＸ方向に沿って、ステージ９１上及び回転ステージ９２上の第２の大板基板２００の露出面の領域に対し、柵状部材４２０よりも幅広な線状のクランプ部材９３で押圧すると、回転ステージ９２を回転させて、第２の分断位置２００Ｘを分断した後、分断端部に、図１７に示すように、ソゲ３００が形成されてしまう場合があるといった問題があった。

これは、柵状部材４２０のＹ方向の端部の形状が、図１１、図１６に示すように、柵状部材４２０のＹ方向の端部以外の形状に対し非対称なため、飛び出し領域１９９に対するクランプ部材９３の押さえ方によっては、回転ステージ９２を回転させて第２の分断位置２００Ｘを分断する際の応力バランスが崩れてしまうためである。

このような問題を解決するための飛び出し領域１９９を押圧するクランプ部材９３を、図１８に示すように、柵状部材４２０の飛び出し領域１９９において、端部４２０Ｘ１、４２０Ｘ２からＸ方向に等間隔（a＝ｂ）となる領域を押圧するよう、柵状部材４２０のＸ方向の幅よりも幅狭にＸ方向に沿って線状に形成してもよい。このことによれば、クランプ部材９３を用いて固定後、回転ステージ９２を回転させて第２の分断位置２００Ｘを分断する際の応力バランスの崩れを防止することができる。

さらに、図１９に示すように、柵状部材４２０の飛び出し領域１９９において、端部４２０Ｘ１、４２０Ｘ２からＸ方向に等間隔（a’＝ｂ’）となる柵状部材４２０のＸ方向の中央を押圧するよう、柵状部材４２０への押圧部が、柵状部材４２０のＸ方向の幅よりも幅狭な球面状となるようにクランプ部材９３を形成してもよい。このことによれば、クランプ部材９３を用いて固定後、回転ステージ９２を回転させて第２の分断位置２００Ｘを分断する際の応力バランスの崩れを防止することができるとともに、クランプ部材９３の押圧部は球状に形成されていることから、クランプ部材９３の固定に伴い、第２の大板基板２００にクランプ部材９３から傷等が付与されてしまうことを防止することができる。

尚、飛び出し領域１９９を押圧するクランプ部材９３に限らず、ステージ９１上の柵状部材４２０の領域を押圧するクランプ部材９３を、図１８、図１９に示す形状に形成しても構わない。

さらに、柵状部材４２０のＹ方向の端部以外の液晶パネル１を分断する際にも、図１８、図１９に示したクランプ部材９３を用いても構わない。また、柵状部材４２０に限らず、図１０に示した柵状部材４１０、図５に示した構造体４００からそれぞれ分断する際に、図１８、図１９に示したクランプ部材９３を用いても構わない。

ところで、本実施の形態においては、構造体４００をステージ９１に載置する際、第１の大板基板１００の外表面１００ｇが接するように載置すると示したが、これに限らず、第２の大板基板２００の外表面が接するように載置しても構わない。

この場合、第２の大板基板２００の第２の分断位置２００Ｘを、予め分断しておくとともに第１の大板基板１００の第１の分断位置１００Ｘに分断起点７１を形成し、第２の分断位置２００Ｘが、ステージ９１の端面から飛び出すよう構造体４００を載置した後、構造体４００の飛び出し領域１９９に対して、回転ステージ９２から回転力を付与して、第１の分断位置１００Ｘを分断する。

（第２実施の形態）
図１２は、カバーガラスが貼着され、第１の分断位置が分断され、第２〜第４の分断位置に分断起点が形成された本実施の形態における構造体を、分断装置に載置、固定した状態を示す部分断面図、図１３は、図１２の分断装置における回転ステージを回転させて、第２の大板基板の第２の分断位置を分断する様子を示す部分断面図、図１４は、図１３の構造体から、第２〜第４の分断位置を分断して形成したＸ方向に延在する柵状部材を示す斜視図である。

この第２実施の形態の液晶装置の製造方法は、上述した図１〜図１１に示した第１実施の形態の液晶装置の製造方法と比して、４枚の大板基板から構成された構造体から、液晶パネルの少なくとも一部を分断する点が異なる。よって、この相違点のみを説明し、第１実施の形態と同様の構成には同じ符号を付し、その説明は省略する。

尚、以下に示す本実施の形態の液晶パネルの製造方法は、ＴＦＴ基板が複数構成された第１の大板基板に対し、対向基板が複数構成された第２の大板基板を貼着した後、第１の大板基板に分断後既知のカバーガラスを構成する第３の基板を貼着し、第２の大板基板に分断後既知のカバーガラスを構成する第４の基板を貼着して構造体を形成した後、構造体から、分断位置に沿って複数の液晶パネルを分断する工程を示す。よって、その他の液晶パネルの製造方法は、周知であるため、その説明は省略する。

先ず、第１の大板基板１００に対し第２の大板基板２００を、上述したようにシール材５２を介して貼り合わせる。

次いで、第１の分断位置１００Ｘに対して、上述した分断線７０を形成して、各第１の分断位置１００Ｘを分断する第１の分断工程を行う。尚、この際、第１の大板基板１００の複数の分断位置１００Ｙに対しては、例えばスクライブ処理等により、スクライブライン等の分断起点を形成しておく。

次いで、第２の分断位置２００Ｘに対して、例えばスクライブ処理を行うことにより、スクライブライン等の分断起点７１をそれぞれ形成する分断起点形成工程を行う。尚、分断起点７１を形成する処理は、スクライブ処理に限らず、レーザ加工処理であっても構わない。さらに、この際、第２の大板基板２００の複数の分断位置２００Ｙに対しても、例えばスクライブ処理等により、スクライブライン等の分断起点を形成しておく。

その後、第１の大板基板１００の外表面１００ｇに、第３の基板である大板カバーガラス基板５００を貼着し、第２の大板基板２００の外表面２００ｇに、第４の基板である大板カバーガラス基板６００を貼着して、図１２に示すような構造体８００を形成する。

次いで、大板カバーガラス基板５００の第１の大板基板１００の複数の第１の分断位置１００Ｘに平面視した状態で重なる複数の第３の分断位置５００Ｘに対して、例えばスクライブ処理を行うことにより、スクライブライン等の分断起点７１をそれぞれ形成する工程を行う。さらに、この際、第１の大板基板１００の複数の分断位置１００Ｙに対して、平面視した状態で重なるＹ方向に延在する複数の分断位置５００Ｙ（図示されず）に対しても、例えばスクライブ処理等により、スクライブライン等の分断起点を形成しておく。

次いで、大板カバーガラス基板６００の第２の大板基板２００の複数の第２の分断位置２００Ｘに平面視した状態で重なる複数の第４の分断位置６００Ｘに対して、例えばスクライブ処理を行うことにより、スクライブライン等の分断起点７１をそれぞれ形成する工程を行う。さらに、この際、第２の大板基板２００の複数の分断位置２００Ｙに対して、平面視した状態で重なるＹ方向に延在する複数の分断位置６００Ｙ（図示されず）に対しても、例えばスクライブ処理等により、スクライブライン等の分断起点を形成しておく。

次いで、構造体８００を、図１２に示すように、分断装置９０のステージ９１に載置、固定する固定工程を行う。

具体的には、例えば構造体８００の内、Ｙ方向において最も端部側に位置する第１の分断位置１００Ｘ１が、ステージ９１の端部９１ｔから飛び出すように、第３の大板カバーガラス基板５００の外表面５００ｇを、ステージ９１に載置する。尚、この際、構造体８００におけるステージ９１の端部９１ｔから飛び出した領域１９９の少なくとも一部は、回転ステージ９２に載置される。

その後、図１２に示すように、クランプ部材９３が、構造体８００を、該構造体８００の上方から、ステージ９１、回転ステージ９２に対して押圧することにより、ステージ９１、回転ステージ９２に対して構造体８００を固定する。尚、この際、クランプ部材９３は、図１８、図１９に示す形状であっても構わない。

次いで、飛び出し領域１９９に位置する構造体８００に対して、図１３中下方に回転力を、回転ステージ９２により付与することにより、第1の分断位置１００Ｘ１に近接する第２の分断位置２００Ｘ１、第３の分断位置５００Ｘ１、第４の分断位置６００Ｘ１を、分断起点７１を起点として分断する第２の分断工程を行う。

具体的には、図１３に示すように、第１の大板基板１００よりも下方の領域であって、飛び出し領域１９９に位置する第１の分断位置１００Ｘ１の上端部８０からの距離Ｒ３が、分断対象となる第２の分断位置２００Ｘ１の下端部８１からの距離Ｒ４よりも短くなる（Ｒ３＜Ｒ４）位置に回転ステージ９２の回転中心９２Ｃ’を設定し、該回転中心９２Ｃ’を、回転の中心として、回転ステージ９２を時計回りに回転させることにより、第1の分断位置１００Ｘ１に近接する第２の分断位置２００Ｘ１、第３の分断位置５００Ｘ１、第４の分断位置６００Ｘ１を分断する。

この際、Ｒ３＜Ｒ４となる位置に回転ステージ９２の回転中心９２Ｃ’が設定されていることから、回転ステージ９２の回転に伴って、上端部８０は回転軌跡Ｐに沿って移動するとともに、下端部８１は回転軌跡Ｑに沿って移動する。

即ち、分断の際、ステージ９１側に位置する、後に液晶パネル１ｖ２’を構成する端面１ｔ１の第１の段差部２６１と、後に液晶パネル１ｖ１’を構成する端面１ｔ２の第２の段差部２６２とが接触することがない。より具体的には、液晶パネル１ｖ２’のＴＦＴ基板１０の表面１０ｆにおける第１の段差部２６１を構成する露出面１０ｒと、液晶パネル１ｖ１’の対向基板２０の表面２０ｆにおける第２の段差部２６２を構成する露出面２０ｒとが接触することがない。

尚、第２の分断位置２００Ｘ１、第３の分断位置５００Ｘ１、第４の分断位置６００Ｘ１を分断すると、図１４に示すように、複数の液晶パネル１ｖ１’がＸ方向に隣接する柵状部材８１０が、構造体８００から分断される。

また、各液晶パネル１ｖ２’の第１の段差部１６１を構成するＴＦＴ基板１０の露出面１０ｒに形成された外部接続端子１０２が露出されるとともに、各液晶パネル１ｖ１’の対向基板２０に、第２の段差部１６２を構成する突出部２０ｔが形成される。

その後、液晶パネル１ｖ１’の図１２中Ｙ方向に隣り合う、液晶パネル１ｖ２’を具備する柵状部材８１０を構造体８００から分断するため、第１の分断位置１００Ｘ２が、ステージ９１の端部９１ｔから飛び出すように、大板カバーガラス基板５００の外表面５００ｇを、ステージ９１に載置、固定し、同様に、飛び出し領域１９９に位置する構造体８００に対して、図１３中下方に回転力を、回転ステージ９２により同様に付与することにより、第1の分断位置１００Ｘ２に近接する第２の分断位置２００Ｘ２、第３の分断位置５００Ｘ２、第４の分断位置６００Ｘ２を、分断起点７１を起点として分断する。その結果、図１４に示すように、複数の液晶パネル１ｖ２’がＸ方向に隣接する柵状部材８１０が、構造体８００から分断される。

また、各液晶パネル１ｖ３’の第１の段差部１６１を構成するＴＦＴ基板１０の露出面１０ｒに形成された外部接続端子１０２が露出されるとともに、各液晶パネル１ｖ２’の対向基板２０に、第２の段差部１６２を構成する突出部２０ｔが形成される。

次いで、液晶パネル１ｖ２’の図１２中Ｙ方向に隣り合う、液晶パネル１ｖ３’を具備する柵状部材８１０を構造体８００から分断するため、第１の分断位置１００Ｘ３が、ステージ９１の端部９１ｔから飛び出すように、大板カバーガラス基板５００の外表面５００ｇを、ステージ９１に載置、固定し、同様に、飛び出し領域１９９に位置する構造体８００に対して、図１２中下方に回転力を、回転ステージ９２により同様に付与することにより、第1の分断位置１００Ｘ３に近接する第２の分断位置２００Ｘ３、第３の分断位置５００Ｘ３、第４の分断位置６００Ｘ３を、分断起点７１を起点として分断する。その結果、図１４に示すように、複数の液晶パネル１ｖ３’がＸ方向に隣接する柵状部材８１０が、構造体８００から分断される。

また、各液晶パネル１ｖ４’の第１の段差部１６１を構成するＴＦＴ基板１０の露出面１０ｒに形成された外部接続端子１０２が露出されるとともに、各液晶パネル１ｖ３’の対向基板２０に、第２の段差部１６２を構成する突出部２０ｔが形成される。

尚、以下、構造体８００から全ての柵状部材８１０を分断するまで、同様の工程を繰り返す。最後に、本実施の形態に示した分断装置９０を用いて、または、他のブレイク処理により、柵状部材８１０から、分断位置１００Ｙ、２００Ｙ、及び図示しない分断位置５００Ｙ、６００Ｙに形成された分断起点を起点として、柵状部材８１０の本数分だけ分断処理を行い、複数の液晶パネル１’を形成する。

このように、本実施の形態においては、構造体８００から柵状部材８１０を分断するに際し、第１の分断位置１００Ｘ１が、ステージ９１の端部９１ｔから飛び出すよう、大板カバーガラス基板５００の外表面５００ｇをステージ９１に載置、固定した後、構造体８００の飛び出し領域１９９を回転ステージ９２に載置固定し、第１の大板基板１００よりも下方の領域であって、飛び出し領域１９９に位置する第１の分断位置１００Ｘ１の上端部８０からの距離Ｒ３が、分断対象となる第２の分断位置２００Ｘ１の下端部８１からの距離Ｒ４よりも短くなる（Ｒ３＜Ｒ４）位置に設定した回転中心９２Ｃ’を、回転の中心として、回転ステージ９２を時計回りに回転させることにより、第1の分断位置１００Ｘ１に近接する第２の分断位置２００Ｘ１、第３の分断位置５００Ｘ１、第４の分断位置６００Ｘ１を分断して、構造体８００から柵状部材８１０を分断すると示した。

このことによれば、分断の際、柵状部材８１０中の液晶パネル１ｖ２’の段差部２６１と、Ｙ方向に隣り合う柵状部材８１０中の液晶パネル１ｖ１’の段差部２６２とが接触することがないことから、分断に伴って、液晶パネル１ｖ２’の段差部２６１を構成する露出面１０ｒと、液晶パネル１ｖ１’の段差部２６２を構成する露出面２０ｒとに割れが発生してしまうことや、傷が付着してしまうことを防止することができるとともに、液晶パネル１ｖ２’の露出面１０ｒに形成された外部接続端子１０２に傷が付着してしまうことを、構造体８００が４枚の基板から構成されていても防止することができる。

よって、精度良く各液晶パネルの段差部２６１、２６２を形成することができることから、信頼性の向上を図ることができる液晶装置の製造方法を提供することができる。

尚、以下、変形例を、図１５を用いて示す。図１５は、図１２の構造体から、Ｙ方向に延在する分断位置のみを分断して形成したＹ方向に延在する柵状部材を示す斜視図である。

本実施の形態においては、第１の分断工程においては、Ｘ方向に延在する第１の大板基板１００の複数の第１の分断位置１００Ｘを分断する際、Ｙ方向に延在する複数の分断位置１００Ｙには、分断起点を形成すると示した。

また、分断起点形成工程においては、Ｘ方向に延在する第２の大板基板２００の複数の第２の分断位置２００Ｘに分断起点７１を形成する際、Ｙ方向に延在する複数の分断位置２００Ｙにも、分断起点を形成すると示した。さらに、大板カバーガラス基板５００の第３の分断位置５００Ｘに分断起点７１を形成する際、Ｙ方向に延在する複数の分断位置５００Ｙにも、分断起点を形成すると示し、大板カバーガラス基板６００の第４の分断位置６００Ｘに分断起点７１を形成する際、Ｙ方向に延在する複数の分断位置６００Ｙにも、分断起点を形成すると示した。

即ち、第１の分断位置１００Ｘ、第２の分断位置２００Ｘ、第３の分断位置５００Ｘ、第４の分断位置６００Ｘを分断することにより、構造体８００から、複数の柵状部材８１０を分断すると示した。

これに限らず、先ず、第1の大板基板１００の第1の分断位置１００Ｘを分断し、第２の大板基板２００の第２の分断位置２００Ｘ、大板カバーガラス基板５００の第３の分断位置５００Ｘ、大板カバーガラス基板６００の第４の分断位置６００Ｘに分断起点７１を形成する。

次いで、構造体８００の第１の大板基板１００のＹ方向に延在する複数の分断位置１００Ｙ、第２の大板基板２００のＹ方向に延在する複数の分断位置２００Ｙ、大板カバーガラス基板５００のＹ方向に延在する複数の分断位置５００Ｙ、大板カバーガラス基板６００のＹ方向に延在する複数の分断位置６００Ｙを分断して、図１５に示すように、Ｙ方向に延在する複数の液晶パネル１’を具備する構造体である柵状部材８２０を形成する。

最後に、柵状部材８２０の各第２の分断位置２００Ｘ、第３の分断位置５００Ｘ、第４の分断位置６００Ｘを、上述した分断装置９０を用いて、上述した手法により分断し、液晶パネル１’を複数形成しても、本実施の形態と同様の効果を得ることができる。

即ち、予め構造体８００から、柵状部材８２０を分断してから、柵状部材８２０から複数の液晶パネル１’を分断する際に、本実施の形態を適用しても構わない。

また、本実施の形態においては、構造体４００をステージ９１に載置する際、大板カバーガラス基板５００の外表面５００ｇが接するように載置すると示したが、これに限らず、大板カバーガラス基板６００の外表面が接するように載置しても構わない。

この場合、第２の大板基板２００の第２の分断位置２００Ｘを、予め分断しておくとともに第１の大板基板１００の第１の分断位置１００Ｘ、大板カバーガラス基板５００の第３の分断位置５００Ｘ、大板カバーガラス基板６００の第４の分断位置６００Ｘに分断起点を形成し、第２の分断位置２００Ｘが、ステージ９１の端面から飛び出すよう構造体８００を載置した後、構造体８００の飛び出し領域１９９に対して、回転ステージ９２から回転力を付与して、第１の分断位置１００Ｘを分断する。

尚、また、以下別の変形例を示す。本実施の形態においては、分断起点形成工程において、第３の分断位置５００Ｘ、第４の分断位置６００Ｘに、分断起点７１を形成すると示したが、これに限らず、第３の分断位置５００Ｘと第４の分断位置６００Ｘとの一方のみに、分断起点７１を形成し、もう一方には、分断線７０を形成して、該分断線７０を形成した分断位置を分断しても構わない。さらには、第３の分断位置５００Ｘと第４の分断位置６００Ｘとの両方に分断線７０を形成して、該分断線７０を形成した各分断位置を分断しても構わない。

また、本実施の形態においては、第３の分断位置５００Ｘは、第１の分断位置１００Ｘに平面視した状態で重なり、第４の分断位置６００Ｘは、第２の分断位置２００Ｘに平面視した状態で重なると示したが、これに限らず、平面視した状態で、それぞれずれていても構わない、即ち、第３の分断位置５００Ｘは、第１の分断位置１００Ｘに近接して位置し、第４の分断位置６００Ｘは、第２の分断位置２００Ｘに近接して位置していても構わないということは勿論である。

また、液晶パネルは、上述の図示例にのみ限定されるものではなく、本発明の要旨を逸脱しない範囲内において種々変更を加え得ることは勿論である。例えば、上述した液晶パネルは、ＴＦＴ（薄膜トランジスタ）等のアクティブ素子（能動素子）を用いたアクティブマトリクス方式の液晶表示モジュールを例に挙げて説明したが、これに限らず、ＴＦＤ（薄膜ダイオード）等のアクティブ素子（能動素子）を用いたアクティブマトリクス方式の液晶表示モジュールであっても構わない。

さらに、本実施の形態においては、電気光学装置は、液晶装置を例に挙げて説明したが、本発明はこれに限定されず、エレクトロルミネッセンス装置、特に、有機エレクトロルミネッセンス装置、無機エレクトロルミネッセンス装置等や、プラズマディスプレイ装置、ＦＥＤ（Ｆｉｅｌｄ Ｅｍｉｓｓｉｏｎ Ｄｉｓｐｌａｙ）装置、ＳＥＤ(Ｓｕｒｆａｃｅ−Ｃｏｎｄｕｃｔｉｏｎ Ｅｌｅｃｔｒｏｎ−Ｅｍｉｔｔｅｒ Ｄｉｓｐｌａｙ)装置、ＬＥＤ（発光ダイオード）表示装置、電気泳動表示装置、薄型のブラウン管または液晶シャッター等を用いた装置などの各種の電気光学装置に適用できる。

また、電気光学装置は、半導体基板に素子を形成する表示用デバイス、例えばＬＣＯＳ（Liquid Crystal On Silicon）等であっても構わない。ＬＣＯＳでは、素子基板として単結晶シリコン基板を用い、画素や周辺回路に用いるスイッチング素子としてトランジスタを単結晶シリコン基板に形成する。また、画素には、反射型の画素電極を用い、画素電極の下層に画素の各素子を形成する。

また、電気光学装置は、片側の基板の同一層に、一対の電極が形成される表示用デバイス、例えばＩＰＳ（In-Plane Switching）や、片側の基板において、絶縁膜を介して一対の電極が形成される表示用デバイスＦＦＳ（Fringe Field Switching）等であっても構わない。

本実施の形態の製造方法により製造される液晶装置における液晶パネルの平面図。 図１中のII-II線に沿って切断した液晶パネルの断面図。 各種薄膜が形成された後のＴＦＴ基板が複数構成された第１の大板基板を示す平面図。 各種薄膜が形成された後の対向基板が複数構成された第２の大板基板を示す平面図。 図２の第１の大板基板と図３の第２の大板基板とを貼り合わせて形成した構造体を示す斜視図。 図５中のVI-VI線に沿う構造体の部分断面図。 図６の構造体に対して、第１の大板基板の第１の分断位置を分断するとともに、第２の大板基板の第２の分断位置に対して分断起点を形成した状態を示す部分断面図。 図７の構造体を、分断装置に載置、固定した状態を示す部分断面図。 図８の分断装置における回転ステージを回転させて、第２の大板基板の第２の分断位置を分断する様子を示す部分断面図。 図９の構造体から第２の分断位置を分断して形成したＸ方向に延在する柵状部材を示す斜視図。 図５の構造体から、Ｙ方向に延在する分断位置のみを分断して形成したＹ方向に延在する柵状部材を示す斜視図。 カバーガラスが貼着され、第１の分断位置が分断され、第２〜第４の分断位置に分断起点が形成された第２実施の形態における構造体を、分断装置に載置、固定した状態を示す部分断面図。 図１２の分断装置における回転ステージを回転させて、第２の大板基板の第２の分断位置を分断する様子を示す部分断面図。 図１３の構造体から、第２〜第４の分断位置を分断して形成したＸ方向に延在する柵状部材を示す斜視図。 図１２の構造体から、Ｙ方向に延在する分断位置のみを分断して形成したＹ方向に延在する柵状部材を示す斜視図。 図１１の柵状部材を、ステージ及び回転ステージに載置した状態を示す部分平面図。 図１６の柵状部材から、Ｙ方向端部の液晶パネルを分断した状態を示す部分断面図。 変形例のクランプ部材を用いて、図１１の柵状部材の飛び出し領域を固定した状態を示す部分平面図。 図１８とは別の変形例のクランプ部材を用いて、図１１の柵状部材の飛び出し領域を固定した状態を示す部分平面図。

符号の説明

１…液晶パネル、１’…液晶パネル、１ｔ１…第１の端面、１ｔ２…第２の端面、１０ｒ…露出面（対向面）、７１…分断起点、８０…第１の分断位置の上端部、８１…第２の分断位置の下端部、９１…ステージ、９１ｔ…ステージ端面、９２…回転ステージ、９３…クランプ部材（押圧部材）、１００…第1の大板基板（第1の基板）、１００ｇ…外表面、１００Ｘ…第１の分断位置、１０２…外部接続端子、１６１…段差部、１６２…段差部、１９９…飛び出し領域、２００…第２の大板基板（第２の基板）、２００Ｘ…第２の分断位置、２６１…段差部、２６２…段差部、４００…構造体、４２０…柵状部材（構造体）、５００…大板カバーガラス基板（第３の基板）、５００ｇ…第３の基板の外表面、５００Ｘ…第３の分断位置、６００…大板カバーガラス基板（第４の基板）、６００Ｘ…第４の分断位置、８００…構造体、８２０…柵状部材（構造体）。

Claims (5)

1. 少なくとも２枚の基板が貼り合わされて形成された構造体から電気光学パネルの少なくとも一部を分断する電気光学装置の製造方法であって、
   前記基板の内、第１の基板と第２の基板は、各基板の分断位置を平面視した状態で互いにずらすことにより、分断後の端面に段差部が形成されており、
   前記第１の基板の第１の分断位置を分断する第１の分断工程と、
   前記第２の基板の第２の分断位置に対して分断起点を形成する分断起点形成工程と、
   分断された前記第１の分断位置が、ステージ端面から飛び出すよう前記第１の基板の外表面を前記ステージに載置した後、前記構造体を、前記ステージに対して固定する固定工程と、
   前記ステージ端面から飛び出した前記構造体の飛び出し領域に対して、前記第１基板の向きに回転力を付与することにより、前記第１の分断位置よりも前記ステージ端面側にずれて位置する前記第２の分断位置を、前記分断起点を起点として分断する第２の分断工程と、
   を具備し、
   前記回転力の回転中心は、前記第１の基板から前記第２の基板と反対側に離間する領域であって、前記第１の分断位置の前記第２の基板に接する端部からの距離が、前記第２の分断位置の前記第１の基板に接する端部からの距離よりも短くなるよう位置していることを特徴とする電気光学装置の製造方法。
2. 前記ステージとは異なる回転ステージに、前記第１の基板の前記飛び出し領域の少なくとも一部が載置されて固定されており、
   前記第２の分断工程は、前記回転ステージを用いて、前記構造体の前記飛び出し領域に、前記回転力を付与して行うことを特徴とする請求項１に記載の電気光学装置の製造方法。
3. 前記段差部を構成する前記第１の基板の前記第２の基板に対向する面に、分断後の前記電気光学パネルを外部回路に薄板状基板を介して接続する外部接続端子が設けられていることを特徴とする請求項１または２に記載の電気光学装置の製造方法。
4. 前記構造体は、前記第１の基板の前記外表面に第３の基板が貼着され、前記第２の基板の外表面に第４の基板が貼着されることにより、少なくとも４枚の基板が貼り合わされて構成されており、
   前記第３の基板における前記第１の分断位置に平面視した状態で重なるまたは近接する第３の分断位置を分断する、若しくは前記第３の分断位置に分断起点を形成する工程と、
   前記第４の基板における前記第２の分断位置に平面視した状態で重なるまたは近接する第４の分断位置を分断する、若しくは前記第４の分断位置に分断起点を形成する工程と、
   分断された前記第１の分断位置が、前記ステージ端面から飛び出すよう前記第３の基板の外表面を前記ステージに載置した後、前記構造体を、前記ステージに対して固定する固定工程と、
   を具備し、
   前記第３の分断位置と前記第４の分断位置との少なくとも一方に前記分断起点が形成されている場合、前記第２の分断工程において前記回転力を付与することにより、前記分断起点を起点として、前記第２の分断位置とともに、前記第３の分断位置と前記第４の分断位置との少なくとも一方を分断することを特徴とする請求項１〜３のいずれか１項に記載の電気光学装置の製造方法。
5. 前記第２の分断工程は、前記飛び出し領域の前記回転ステージの載置面と反対側の露出面を押圧部材を用いて前記回転ステージに対し押圧した状態で行われ、
   前記押圧部材は、前記飛び出し領域において、前記構造体が前記ステージから飛び出す方向と平面視した状態で直交する方向における前記構造体の幅よりも幅狭に形成されているとともに、前記直交する方向における前記構造体の各端部から等距離となる前記露出面の前記各領域を押圧することを特徴とする請求項２〜４のいずれか１項に記載の電気光学装置の製造方法。

Images