JP2009083969A - ワーク搬送装置、ワーク搬送方法 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】部品組立装置のカセット内に積層される板状ワーク100aを取り出して所定の搭載位置まで搬送するワーク搬送装置140が、吸着ノズル142と、ノズル移動機構146と、吸着ノズル142を振動させる超音波振動子150と、吸着ノズル142が板状ワーク100aを吸着保持して移動する際に超音波振動子を振動させる制御装置160と、を備えるようにした。
【選択図】図1
Description
142 吸着ノズル
146 移動機構
150 超音波振動子
Claims (9)
- 部品組立装置のカセット内に積層される板状ワークを取り出して、前記板状ワークを所定の搭載位置まで搬送するワーク搬送装置であって、
前記板状ワークを負圧によって保持する吸着ノズルと、
前記吸着ノズルを移動させるノズル移動機構と、
前記吸着ノズルを振動させる超音波振動子と、
前記吸着ノズルが前記カセット内の前記板状ワークを吸着保持して移動する際に前記超音波振動子を振動させ、保持中の前記板状ワークの下面に付着する前記板状ワークを落下させる制御装置と、
を備えることを特徴とするワーク搬送装置。 - 前記超音波振動子が、前記吸着ノズルを軸方向に振動させることを特徴とする請求項1記載のワーク搬送装置。
- 前記吸着ノズルの後端に前記超音波振動子が接続されていることを特徴とする請求項1又は2記載のワーク搬送装置。
- 前記吸着ノズルにおける振動付与位置の軸直角方向断面積に対して、ノズル先端の軸直角方向断面積が小さく設定されていることを特徴とする請求項1、2又は3記載のワーク搬送装置。
- 前記超音波振動子によって付与される振動の波長をλとした場合に、
前記吸着ノズルの振動付与位置からノズル先端までの距離が、λ/2×n(nは自然数)の近傍に設定されていることを特徴とする請求項1乃至4のいずれか記載のワーク搬送装置。 - 前記吸着ノズルにおける前記ノズル移動機構の保持位置が、前記吸着ノズルの振動ノード位置近傍に設定されていることを特徴とする請求項1乃至5のいずれか記載のワーク搬送装置。
- 前記超音波振動子によって付与される振動の波長をλとした場合に、
前記吸着ノズルの振動付与位置から、前記吸着ノズルにおける前記ノズル移動機構による保持位置までの距離が、λ/4×(2n−1)(nは自然数)の近傍に設定されていることを特徴とする請求項1乃至5のいずれか記載のワーク搬送装置。 - 前記制御装置は、更に、前記吸着ノズルが前記板状ワークを吸着保持していない状態において前記超音波振動子を振動させることを特徴とする請求項1乃至7のいずれか記載のワーク搬送装置。
- 部品組立装置のカセット内に積層される板状ワークを取り出して、前記板状ワークを所定の搭載位置まで搬送するワーク搬送方法であって、
吸着ノズルによって前記カセット内の前記板状ワークを保持するステップと、
前記吸着ノズルをノズル移動機構によって上昇させて前記板状ワークを前記カセットから取り出すステップと、
前記板状ワークを前記カセットから取り出す際に、超音波振動子によって前記吸着ノズルを軸方向に振動させ、保持中の前記板状ワークの下面に付着する前記板状ワークを落下させるステップと、
を有することを特徴とするワーク搬送方法。
Priority Applications (1)
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Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
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