JPH0648602A - 超音波薄板剥離装置 - Google Patents
超音波薄板剥離装置Info
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- JPH0648602A JPH0648602A JP4225374A JP22537492A JPH0648602A JP H0648602 A JPH0648602 A JP H0648602A JP 4225374 A JP4225374 A JP 4225374A JP 22537492 A JP22537492 A JP 22537492A JP H0648602 A JPH0648602 A JP H0648602A
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- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 3
- 239000000463 material Substances 0.000 description 3
- 238000005452 bending Methods 0.000 description 2
- 238000006073 displacement reaction Methods 0.000 description 2
- 239000002184 metal Substances 0.000 description 2
- 235000012431 wafers Nutrition 0.000 description 2
- XUIMIQQOPSSXEZ-UHFFFAOYSA-N Silicon Chemical compound [Si] XUIMIQQOPSSXEZ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 238000006243 chemical reaction Methods 0.000 description 1
- 230000007547 defect Effects 0.000 description 1
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- Sheets, Magazines, And Separation Thereof (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【目的】 本発明は、機械的振動によって積層した薄板
から１枚の薄板を剥離する薄板剥離装置に関するもの
で、精密に仕上げられた薄板に傷を付けたり、変形させ
たりしないようにして薄板を剥離する超音波薄板剥離装
置を提供することを目的とする。 【構成】 積層した薄板２の表面の薄板２’を超音波振
動子７に連結した真空吸着器３で固定し、駆動装置８に
より超音波振動子７に高周波電圧を印加する。超音波振
動子７で真空吸着器３を介して薄板２’に励起された超
音波振動によって、薄板２’を他の薄板２から剥離す
る。また、複数の振動子７を薄板２’に位相がずれた位
置で接触させ、それぞれの振動子に異なった位相の高周
波電圧を印加し、薄板２’に進行波を生じさせて他の薄
板２から剥離する。
から１枚の薄板を剥離する薄板剥離装置に関するもの
で、精密に仕上げられた薄板に傷を付けたり、変形させ
たりしないようにして薄板を剥離する超音波薄板剥離装
置を提供することを目的とする。 【構成】 積層した薄板２の表面の薄板２’を超音波振
動子７に連結した真空吸着器３で固定し、駆動装置８に
より超音波振動子７に高周波電圧を印加する。超音波振
動子７で真空吸着器３を介して薄板２’に励起された超
音波振動によって、薄板２’を他の薄板２から剥離す
る。また、複数の振動子７を薄板２’に位相がずれた位
置で接触させ、それぞれの振動子に異なった位相の高周
波電圧を印加し、薄板２’に進行波を生じさせて他の薄
板２から剥離する。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、圧電体などの電気−機
械変換素子の機械的振動によって積層された薄板に生じ
る振動波を利用して、積層された薄板から１枚の薄板を
離脱させる超音波薄板剥離装置に関する。
械変換素子の機械的振動によって積層された薄板に生じ
る振動波を利用して、積層された薄板から１枚の薄板を
離脱させる超音波薄板剥離装置に関する。
【０００２】
【従来の技術】従来、板金プレスなどへの金属薄板の供
給装置において、重ねられた薄板が固着して取れなくな
った場合、薄板に大きな衝撃を与えたり、薄板の両端に
加重を加えて薄板内に曲げモーメントを発生させたりし
て１枚１枚を剥がしていた。
給装置において、重ねられた薄板が固着して取れなくな
った場合、薄板に大きな衝撃を与えたり、薄板の両端に
加重を加えて薄板内に曲げモーメントを発生させたりし
て１枚１枚を剥がしていた。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】しかし、最近精密加工
の発展とともに表面がサブミクロンに研磨されたシリコ
ンウエハなどの薄板が取り扱われるようになると、それ
らが重ねられて固着した場合、そこから１枚の薄板を剥
がすのに上記のように衝撃を与えたり、曲げ変形をさせ
ることができなくなってきた。
の発展とともに表面がサブミクロンに研磨されたシリコ
ンウエハなどの薄板が取り扱われるようになると、それ
らが重ねられて固着した場合、そこから１枚の薄板を剥
がすのに上記のように衝撃を与えたり、曲げ変形をさせ
ることができなくなってきた。
【０００４】そこで本発明は、このような課題の解決に
着目したものであり、精密に仕上げられた薄板に傷付け
たり、変形させたりしないようにした超音波薄板剥離装
置を提供することを目的とする。
着目したものであり、精密に仕上げられた薄板に傷付け
たり、変形させたりしないようにした超音波薄板剥離装
置を提供することを目的とする。
【０００５】
【課題を解決するための手段】係る課題を解決するため
に、本発明は次の技術的手段を有している。
に、本発明は次の技術的手段を有している。
【０００６】すなわち、積層した薄板を保持する真空吸
着器などの保持器に、超音波拡大ホーンを有する超音波
振動子を連結する。そして、保持器には剥がれた薄板を
移動させるアームなどの移動器を設ける。
着器などの保持器に、超音波拡大ホーンを有する超音波
振動子を連結する。そして、保持器には剥がれた薄板を
移動させるアームなどの移動器を設ける。
【０００７】あるいは、積層した薄板の表面に接触する
ように、先端を緩衝材で覆った超音波拡大ホーンを有す
る超音波振動子を設置する。そして、保持器を薄板の同
一面内の別の個所に設置する。
ように、先端を緩衝材で覆った超音波拡大ホーンを有す
る超音波振動子を設置する。そして、保持器を薄板の同
一面内の別の個所に設置する。
【０００８】あるいは、２個以上の上記超音波振動子
を、それぞれ薄板内で発生する共振波の波長の位相がず
れた位置に設置する。そして、超音波振動子には位相が
異なった高周波電圧を印加する。
を、それぞれ薄板内で発生する共振波の波長の位相がず
れた位置に設置する。そして、超音波振動子には位相が
異なった高周波電圧を印加する。
【０００９】
【作用】まず、保持器に取り付けられた超音波振動子に
高周波電圧が印加されると、超音波拡大ホーンを経て積
層した薄板の表面の薄板に超音波の横波振動が生じる。
この横波振動は、積層した他の薄板との境界面でせん断
力が生じ、表面の１枚だけ剥がれて分離する。
高周波電圧が印加されると、超音波拡大ホーンを経て積
層した薄板の表面の薄板に超音波の横波振動が生じる。
この横波振動は、積層した他の薄板との境界面でせん断
力が生じ、表面の１枚だけ剥がれて分離する。
【００１０】また、積層した薄板の表面の薄板に超音波
振動子を直接押し当てて超音波の横波振動を生じさせる
と、上記と同じように積層した他の薄板との境界面でせ
ん断力が生じ、表面の１枚だけ剥がれて分離する。
振動子を直接押し当てて超音波の横波振動を生じさせる
と、上記と同じように積層した他の薄板との境界面でせ
ん断力が生じ、表面の１枚だけ剥がれて分離する。
【００１１】また、薄板内で共振する振動波の波長の位
相をずらして配置した複数の超音波振動子によって、超
音波振動子に接触した積層した薄板の表面の薄板内で振
動波が移動する進行波が生じる。この進行波によって上
記と同じように積層した他の薄板との境界面でせん断力
が作用するとともに、表面波型超音波モータのように薄
板がそれぞれ相対移動して、表面の１枚だけ他の積層し
た板から剥がれて分離する。
相をずらして配置した複数の超音波振動子によって、超
音波振動子に接触した積層した薄板の表面の薄板内で振
動波が移動する進行波が生じる。この進行波によって上
記と同じように積層した他の薄板との境界面でせん断力
が作用するとともに、表面波型超音波モータのように薄
板がそれぞれ相対移動して、表面の１枚だけ他の積層し
た板から剥がれて分離する。
【００１２】
【実施例】以下、本発明の超音波薄板剥離装置の実施例
を添付図面に従って説明する。
を添付図面に従って説明する。
【００１３】図１は一実施例の構成図で、図中１は積層
したシリコンウエハーなどの薄板２を収納した収納台で
ある。積層した薄板２の上部には先端に保持器である真
空吸着器３を有したアーム４が配備され、積層した薄板
２の表面の薄板２’を固定している。一方、アーム４の
一端には真空吸着器３に連結して振動源である電歪素子
５および振動拡大ホーン６から構成された超音波振動子
７が取り付けられている。そして、超音波振動子７の電
歪素子５には、高周波電圧を発生する駆動装置８が接続
されている。
したシリコンウエハーなどの薄板２を収納した収納台で
ある。積層した薄板２の上部には先端に保持器である真
空吸着器３を有したアーム４が配備され、積層した薄板
２の表面の薄板２’を固定している。一方、アーム４の
一端には真空吸着器３に連結して振動源である電歪素子
５および振動拡大ホーン６から構成された超音波振動子
７が取り付けられている。そして、超音波振動子７の電
歪素子５には、高周波電圧を発生する駆動装置８が接続
されている。
【００１４】上記のような構成からなる超音波薄板剥離
装置において、超音波振動子７の電歪素子５に駆動装置
８によって高周波の電圧を印加すると、電歪素子５には
微小な振幅の振動が生じる。その振動の振幅が拡大ホー
ン６によって拡大され、大きな振幅の振動を真空吸着器
３に伝える。そして、真空吸着器３を介して振動エネル
ギを受けとつた積層された薄板２の表面の薄板２’には
横波の超音波振動が生じる。この高速で変位の大きい超
音波振動の振幅によって、表面の薄板２’と積層した薄
板２との間にせん断力が発生する。このせん断力によっ
て、表面の薄板２’は他の積層した薄板２との吸着エネ
ルギに打ち勝って剥がれる。その後、剥がれた薄板２’
は真空吸着器３によって吸着され、アーム４によって持
ち上げられて移動される。
装置において、超音波振動子７の電歪素子５に駆動装置
８によって高周波の電圧を印加すると、電歪素子５には
微小な振幅の振動が生じる。その振動の振幅が拡大ホー
ン６によって拡大され、大きな振幅の振動を真空吸着器
３に伝える。そして、真空吸着器３を介して振動エネル
ギを受けとつた積層された薄板２の表面の薄板２’には
横波の超音波振動が生じる。この高速で変位の大きい超
音波振動の振幅によって、表面の薄板２’と積層した薄
板２との間にせん断力が発生する。このせん断力によっ
て、表面の薄板２’は他の積層した薄板２との吸着エネ
ルギに打ち勝って剥がれる。その後、剥がれた薄板２’
は真空吸着器３によって吸着され、アーム４によって持
ち上げられて移動される。
【００１５】次に本発明の他の実施例について説明す
る。図２はこの実施例の構成図で、図中７’は第１の実
施例と同じ超音波振動子である。この超音波振動子７’
の先端は、積層した薄板２の表面の薄板２’に緩衝材９
を介して接触するように押しつけられている。また、表
面の薄板２’を保持する真空吸着器３’を持ったアーム
４’が配備されている。
る。図２はこの実施例の構成図で、図中７’は第１の実
施例と同じ超音波振動子である。この超音波振動子７’
の先端は、積層した薄板２の表面の薄板２’に緩衝材９
を介して接触するように押しつけられている。また、表
面の薄板２’を保持する真空吸着器３’を持ったアーム
４’が配備されている。
【００１６】本実施例も第１の実施例と同じく、超音波
振動子７’により積層した薄板２の表面の薄板２’に超
音波振動を生じさせる。そして、表面の薄板２’は他の
積層した薄板２との間にせん断力が発生して剥がれる。
その後、剥がれた薄板２’はアーム４’の真空吸着器
３’によって吸着され、持ち上げられて移動される。
振動子７’により積層した薄板２の表面の薄板２’に超
音波振動を生じさせる。そして、表面の薄板２’は他の
積層した薄板２との間にせん断力が発生して剥がれる。
その後、剥がれた薄板２’はアーム４’の真空吸着器
３’によって吸着され、持ち上げられて移動される。
【００１７】さらに、本発明の他の実施例について説明
する。図３はこの実施例の構成図で、図中７ａ、７ｂは
第２の実施例と同じく、超音波振動子である。そして、
これらの２個の振動子７ａ、７ｂは、それぞれ位相が積
層した薄板２の表面の薄板２’内で生じる共振波の１／
４波長ずれた間隔を置いて配備されている。
する。図３はこの実施例の構成図で、図中７ａ、７ｂは
第２の実施例と同じく、超音波振動子である。そして、
これらの２個の振動子７ａ、７ｂは、それぞれ位相が積
層した薄板２の表面の薄板２’内で生じる共振波の１／
４波長ずれた間隔を置いて配備されている。
【００１８】本実施例も第２の実施例と同じく、２個の
振動子７ａ、７ｂを介して積層した薄板２の表面の薄板
２’に超音波振動を生じさせる。このとき、２個の超音
波振動子７ａ、７ｂが位相がずれた位置で、しかも駆動
装置８”からそれぞれ異なった位相の高周波電圧が印加
されて振動を励振される。そのため、薄板２’では振動
波が移行する進行波となる。そして、表面の薄板２’は
他の積層した薄板２の間にはせん断力が作用するととも
に、進行波によって表面の薄板２’は他の積層した薄板
２からずれようとして剥がれる。その後、剥がれた薄板
２’はアーム４”の真空吸着器３”によって吸着されて
移動させられる。
振動子７ａ、７ｂを介して積層した薄板２の表面の薄板
２’に超音波振動を生じさせる。このとき、２個の超音
波振動子７ａ、７ｂが位相がずれた位置で、しかも駆動
装置８”からそれぞれ異なった位相の高周波電圧が印加
されて振動を励振される。そのため、薄板２’では振動
波が移行する進行波となる。そして、表面の薄板２’は
他の積層した薄板２の間にはせん断力が作用するととも
に、進行波によって表面の薄板２’は他の積層した薄板
２からずれようとして剥がれる。その後、剥がれた薄板
２’はアーム４”の真空吸着器３”によって吸着されて
移動させられる。
【００１９】
【発明の効果】以上に説明したように、積層した薄板に
生じた超音波振動によって固着した薄板同士が簡単に剥
がれ、作業場に運ばれる。このとき、薄板に大きな衝撃
を与えたり曲げ歪みを生じさせたりしないので、作業の
後工程に支障をきたすような不良が生じない。
生じた超音波振動によって固着した薄板同士が簡単に剥
がれ、作業場に運ばれる。このとき、薄板に大きな衝撃
を与えたり曲げ歪みを生じさせたりしないので、作業の
後工程に支障をきたすような不良が生じない。
【００２０】また、薄板の保持器と薄板に振動を与える
振動源とを分離することにより、非常に短い期間だけ薄
板に超音波照射をすることができ、薄板に傷などを生じ
ることがほとんどなくなった。
振動源とを分離することにより、非常に短い期間だけ薄
板に超音波照射をすることができ、薄板に傷などを生じ
ることがほとんどなくなった。
【００２１】また、積層した薄板内に進行波を生じさせ
ることにより、薄板内で相対的なずれが生じ、さらに弱
い超音波振動の励振でも薄板の剥離が可能となった。
ることにより、薄板内で相対的なずれが生じ、さらに弱
い超音波振動の励振でも薄板の剥離が可能となった。
【００２２】さらに、積層した薄板が少ない場合には、
積層した薄板を乗せた収納台に超音波振動源をもってき
て、積層した薄板の裏側から超音波振動を与えても、上
記結果と同様の効果を得ることはいうまでもない。
積層した薄板を乗せた収納台に超音波振動源をもってき
て、積層した薄板の裏側から超音波振動を与えても、上
記結果と同様の効果を得ることはいうまでもない。
【図１】本発明の一実施例における超音波薄板剥離装置
の縦断面を示している。
の縦断面を示している。
【図２】本発明の他の実施例における超音波薄板剥離装
置の縦断面を示している。
置の縦断面を示している。
【図３】本発明の他の実施例における超音波薄板剥離装
置の縦断面を示している。
置の縦断面を示している。
１、１’、１” 収納台 ２、２’ 薄板 ３、３’、３” 真空吸着器 ４、４’、４” アーム ５ 電歪素子 ６ 拡大ホーン ７、７’、７ａ、７ｂ 超音波振動子 ８、８’、８” 駆動装置 ９ 緩衝材
Claims (3)
- 【請求項１】 真空吸着器などの薄板を保持する保持器
と、該保持器に設置または連結した超音波振動子と、該
保持器を移動させる移動器とから構成され、該保持器を
介して超音波振動子によって薄板を超音波振動させ、重
ね合わさった薄板から１枚の薄板を離脱させることを特
徴とする超音波薄板剥離装置。 - 【請求項２】 前記保持器と、該保持器を移動させる移
動器と、該保持器に保持された薄板に一定時間接触する
ように設置された超音波振動子とから構成され、該超音
波振動子によって薄板を超音波振動させ、重ね合わさっ
た薄板から１枚の薄板を離脱させることを特徴とする超
音波薄板剥離装置。 - 【請求項３】 前記超音波振動子が複数であって、該複
数の振動子が互いに薄板内で生じる共振波の波長の位相
がずれた位置関係で設置または連結され、それぞれの超
音波振動子に位相の異なった高周波電圧を印加し、薄板
内に進行波を生じさせ、重ね合わさった薄板から１枚の
薄板を離脱させることを特徴とする特許請求項１および
２記載の超音波薄板剥離装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP4225374A JPH0648602A (ja) | 1992-07-28 | 1992-07-28 | 超音波薄板剥離装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP4225374A JPH0648602A (ja) | 1992-07-28 | 1992-07-28 | 超音波薄板剥離装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0648602A true JPH0648602A (ja) | 1994-02-22 |
Family
ID=16828354
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP4225374A Pending JPH0648602A (ja) | 1992-07-28 | 1992-07-28 | 超音波薄板剥離装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0648602A (ja) |
Cited By (10)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
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| JP2007238206A (ja) * | 2006-03-06 | 2007-09-20 | Toshiba Corp | 分離取出装置 |
| JP2007314264A (ja) * | 2006-05-23 | 2007-12-06 | Toshiba Corp | 紙状媒体の分離取り出し装置 |
| JP2008222367A (ja) * | 2007-03-12 | 2008-09-25 | Toshiba Corp | 紙葉類分離装置，紙葉類分離取り出し装置，紙葉類処理装置，紙葉類分離方法，そして紙葉類分離取り出し方法 |
| JP2009083969A (ja) * | 2007-09-28 | 2009-04-23 | Akim Kk | ワーク搬送装置、ワーク搬送方法 |
| US7802785B2 (en) | 2008-02-29 | 2010-09-28 | Kabushiki Kaisha Toshiba | Apparatus for separating and extracting sheets utilizing a vibration and an air flow |
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| JP2014078559A (ja) * | 2012-10-09 | 2014-05-01 | Shin Etsu Chem Co Ltd | 半導体基板の分離移載方法及び半導体基板用分離移載装置 |
| CN104692156A (zh) * | 2014-12-31 | 2015-06-10 | 广州兴森快捷电路科技有限公司 | 上板机及上板方法 |
| WO2019028601A1 (zh) * | 2017-08-07 | 2019-02-14 | 大族激光科技产业集团股份有限公司 | 非接触搬运装置 |
-
1992
- 1992-07-28 JP JP4225374A patent/JPH0648602A/ja active Pending
Cited By (14)
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