JP2009080088A5 - - Google Patents
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- 239000000758 substrate Substances 0.000 claims 19
- 238000007689 inspection Methods 0.000 claims 11
- 238000005286 illumination Methods 0.000 claims 9
- 238000011179 visual inspection Methods 0.000 claims 7
- 238000001514 detection method Methods 0.000 claims 2
Claims (8)
- 検査基板を一定方向に沿って移動させる基板搬送手段と、
前記検査基板に対して照明光を出射する照明手段と、
該照明手段から出射され前記検査基板において反射した反射光、または、前記検査基 板を透過した透過光を受光する受光手段と、
前記照明手段および前記受光手段を一体的に移動させる移動手段と、
該移動手段の駆動を制御する制御手段とを有し、
該制御手段は、前記移動手段による前記照明手段および前記受光手段の移動を前記検 査基板の移動方向と同一方向に沿って移動させる基板外観検査装置。
- 前記検査基板の搬送速度を検出する速度検出手段をさらに有し、
前記制御手段は、前記速度検出手段によって検出された前記検査基板の搬送速度に基づいて前記移動手段を制御する請求項１に記載の基板外観検査装置。
- 前記制御手段は、前記検査基板に対する前記照明手段および前記受光手段の相対速度を、前記検査基板の搬送速度より低い定速度となるように制御する請求項１または請求項２に記載の基板外観検査装置。
- 前記照明手段および前記受光手段の移動速度は、前記検査基板の搬送速度よりも低速度に設定される請求項３に記載の基板外観検査装置。
- 前記照明手段および前記受光手段の移動速度は、前記検査基板の搬送速度よりも高速度に設定される請求項３に記載の基板外観検査装置。
- 前記照明手段および前記受光手段の移動速度は、前記検査基板の搬送速度と同一速度に設定される請求項３に記載の基板外観検査装置。
- 前記受光手段は、２次元撮像素子を有するカメラである請求項１に記載の基板外観検査装置。
- 前記照明手段がライン照明光源であり、前記受光手段がラインセンサである請求項１に記載の基板外観検査装置。
Priority Applications (4)
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