JP2009080008A - センサ装置、及びこれを用いたセンサシステムと電子機器 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】部材10及び20を近接状態にしたとき、信号伝送用電極11の設置部位の電荷により信号伝送用電極21の設置部位に電荷が誘起され、信号伝送用電極21に短絡されている信号伝送用電極22の設置部位に電荷が誘起される。そして、信号伝送用電極22の設置部位に誘起される電荷に応じた電荷が検知用電極12の設置部位で誘起される。一方、検知用電極13の設置部位は、部材10及び20の近接に伴い、参照用電極と近接し、接地される。これにより、検知用電極12及び13の設置部位には、互いに異なった電荷が誘起されることとなる。そして、差動増幅器40で、これらの電荷の差を増幅して出力する。
【選択図】 図1
Description
以下、本発明に係る第1の実施形態を図面を参照して説明する。
以下、図22を参照して本発明に係る第2の実施形態を詳細に説明する。なお、本実施形態に係るセンサ装置は、基本的に第1の実施形態と同じ構成であるのでその説明を省略し、ここでは異なる部分について説明する。
以下、図23を参照して本発明に係る第3の実施形態を詳細に説明する。なお、本実施形態に係るセンサ装置は、基本的に第1の実施形態と同じ構成であるのでその説明を省略し、ここでは異なる部分について説明する。
11,11a,11b…第1の信号伝送用電極
12,12a,12b…第1の検知用電極
13,13a,13b…第2の検知用電極
14,14a,14b…第3の検知用電極
21,21a,21b…第2の信号伝送用電極
22,22a,22b…第3の信号伝送用電極
23,23a,23b…参照用電極
24,24a,24b…第4の信号伝送用電極
30,31,32…交流電源
40,40a,40b…差動増幅器
41,41a,41b…第2の差動増幅器
42…ビート検出部
421…LPF
422…コンパレータ
61,64,81…基板
62,71,82,92…回路部
63,72,74…ワイヤー
73,83…モールド樹脂
84,94…信号伝送用電極
85…パッド
91…半導体基板
93…絶縁膜
95…導電部
100,200…電極配置領域
Claims (17)
- 近接時にそれぞれの表面が互いに対向する絶縁性の第1の部材及び第2の部材の位置関係を検出するセンサ装置であって、
電気信号を発生する第1の信号源と、
前記第1の部材の表面の第1部位に設けられ、前記電気信号を受けて前記第1部位に電荷を保持させる第1の電極と、
前記第2の部材の表面の第2部位に設けられ、前記第1の電極が近接したとき前記第1部位の保持電荷に応じた電荷を前記第2部位に誘起させる第2の電極と、
前記第2の部材の表面の第3部位に設けられ、かつ前記第2の電極と接続され、前記第2部位に誘起された電荷に応じた電荷を前記第3部位に誘起させる第3の電極と、
前記第1の部材の表面の第4部位に設けられ、前記第3の電極が近接したとき前記第3部位に誘起された電荷に応じた電荷を前記第4部位に誘起させる第4の電極と、
前記第2の部材の表面の第5部位に設けられ、基準電位点に接続された参照用電極と、
前記第1の部材の表面の第6部位に設けられ、前記参照用電極が近接したとき前記第5部位に保持される電荷に応じた電荷を前記第6部位に誘起させる第5の電極と、
前記第4の電極と前記第5の電極との電位差を増幅して前記位置関係に応じた差信号を出力する差動増幅器と
を具備することを特徴とするセンサ装置。 - 請求項1記載のセンサ装置をそれぞれ含む複数の検出ユニットと、
前記検出ユニットの全てから前記差信号が出力される場合にセンサ出力信号を生成する生成部と
を備えることを特徴とするセンサシステム。 - 請求項1記載のセンサ装置をそれぞれ含む複数の検出ユニットと、
前記検出ユニットの少なくとも一つから出力される前記差信号に応答してセンサ出力信号を生成する生成部と
を備えることを特徴とするセンサシステム。 - 前記差動増幅器、前記第1の電極、前記第4の電極及び前記第5の電極は、同一平面上に設けられることを特徴とする請求項1に記載のセンサ装置。
- 前記第1の電極、前記第4の電極、及び前記第5の電極は、前記差動増幅器の少なくとも一部を覆うように設けられることを特徴とする請求項1に記載のセンサ装置。
- 前記第1の電極、前記第4の電極及び前記第5の電極を含む複数の第1の電極グループが前記第1の部材の一端から他端に向かって配置され、
前記第2の電極、前記第3の電極及び前記参照用電極を含む複数の第2の電極グループが前記第2の部材の一端から他端に向かって配置され、
前記第1の部材の一端と前記第2の部材の一端とが接続されることを特徴とする請求項1に記載のセンサ装置。 - 前記第5の電極は、前記第1の電極と前記第4の電極との周囲を取り囲むように設けられ、
前記参照用電極は、前記第2の電極と前記第3の電極との周囲を取り囲むように設けられることを特徴とする請求項1に記載のセンサ装置。 - 前記第1の信号源は、周波数f1の交流信号を出力する交流電源であり、
前記第4の電極に、周波数f2(ただし、周波数f1とf2との差はf1及びf2よりも十分に小さい)の交流信号を供給する第2の信号源をさらに備えることを特徴とする請求項1に記載のセンサ装置。 - 電気信号を発生する第1の信号源と、
第1部位に設けられ、前記電気信号を受けて前記第1部位に電荷を保持させる第1の電極と、第2部位に設けられ、電荷を保持する部位が近接したとき前記第2部位に当該電荷に応じた電荷を誘起させる第2の電極と、第3部位に設けられ、電荷を保持する部位が近接したとき前記第3部位に当該電荷に応じた電荷を誘起させる第3の電極とを備える第1の基板と、
第4部位に設けられ、前記第1の基板の近接に伴い、前記第1の電極が近接したとき前記第1部位の保持電荷に応じた電荷を前記第4部位に誘起させる第4の電極と、第5部位に設けられ、前記第4の電極と接続し、前記第4部位に誘起された電荷に応じた電荷を前記第5部位に誘起させ、この電荷に応じた電荷を前記第2部位に誘起させる第5の電極と、第6部位に設けられ、基準電位点に接続し、前記第3の電極が近接したとき前記第6部位に誘起された電荷に応じた電荷を前記第3部位に誘起させる参照用電極とを備える第2の基板と、
前記第2部位の保持電荷と前記第3部位の保持電荷との電位差を増幅して差信号を出力する差動増幅器と
を具備することを特徴とするセンサ装置。 - 請求項9記載のセンサ装置をそれぞれ含む複数の検出ユニットと、
前記検出ユニットの全てから前記差信号が出力される場合にセンサ出力信号を生成する生成部と
を備えることを特徴とするセンサシステム。 - 請求項9記載のセンサ装置をそれぞれ含む複数の検出ユニットと、
前記検出ユニットの少なくとも一つから出力される前記差信号に応答してセンサ出力信号を生成する生成部とを備えることを特徴とするセンサシステム。 - 前記差動増幅器は、前記第1の基板に設けられることを特徴とする請求項9に記載のセンサ装置。
- 前記差動増幅器、前記第1の電極、前記第2の電極及び前記第3の電極は、同一平面上に設けられることを特徴とする請求項9に記載のセンサ装置。
- 前記第1の電極、前記第2の電極、及び前記第3の電極は、前記差動増幅器の少なくとも一部を覆うように設けられることを特徴とする請求項9に記載のセンサ装置。
- 前記第3の電極は、前記第1の電極と前記第2の電極との周囲を取り囲むように設けられ、
前記参照用電極は、前記第4の電極と前記第5の電極との周囲を取り囲むように設けられることを特徴とする請求項9に記載のセンサ装置。 - 前記第1の信号源は、周波数f1の交流信号を出力する交流電源であり、
前記第2の電極に、周波数f2(ただし、周波数f1とf2との差はf1及びf2よりも十分に小さい)の交流信号を供給する第2の信号源をさらに備えることを特徴とする請求項9に記載のセンサ装置。 - 第1の部材と、第2の部材と、第1及び第2の部材の位置関係を検出するセンサ装置とを具備する電子機器であって、
前記センサ装置は、
電気信号を発生する第1の信号源と、
前記第1の部材の表面の第1部位に設けられ、前記電気信号を受けて前記第1部位に電荷を保持させる第1の電極と、
前記第2の部材の表面の第2部位に設けられ、前記第1の電極が近接したとき前記第1部位の保持電荷に応じた電荷を前記第2部位に誘起させる第2の電極と、
前記第2の部材の表面の第3部位に設けられ、かつ前記第2の電極と接続され、前記第2部位に誘起された電荷に応じた電荷を前記第3部位に誘起させる第3の電極と、
前記第1の部材の表面の第4部位に設けられ、前記第3の電極が近接したとき前記第3部位に誘起された電荷に応じた電荷を前記第4部位に誘起させる第4の電極と、
前記第2の部材の表面の第5部位に設けられ、基準電位点に接続された参照用電極と、
前記第1の部材の表面の第6部位に設けられ、前記参照用電極が近接したとき前記第5部位に保持される電荷に応じた電荷を前記第6部位に誘起させる第5の電極と、
前記第4の電極と前記第5の電極との電位差を増幅して前記位置関係に応じた差信号を出力する差動増幅器と
を具備することを特徴とする電子機器。
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