JP2009069807A - 光導波路の製造方法及びパッケージ基板の製造方法 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】本発明の光導波路の製造方法は、伝導性キャリアの上面に、互いに対向する面にそれぞれ傾斜面が形成され、所定間隔離隔され配置される第1反射バンプ及び第2反射バンプを形成する段階と、第1反射バンプ及び第2反射バンプの表面を練磨する段階と、第1反射バンプと第2反射バンプとの間にコアを形成する段階と、キャリアの上面に上部クラッドを積層して第1反射バンプ、第2反射バンプ、及びコアをカバーする段階と、キャリアを除去する段階と、上部クラッドの下面に下部クラッドを積層する段階と、を含むことを特徴とする。
【選択図】図1
Description
12 第1反射バンプ
12a 傾斜面
14 第2反射バンプ
14a 傾斜面
20 キャリア
30 エッチングレジスト
40 コア
42 ポリマー樹脂層
51 上部クラッド
52 下部クラッド
61 電解槽
62 電解溶液
63 金属プレート
71 金属膜
72 パッド
73 ソルダレジスト
74a、74b 光素子
75 アンダーフィル
Claims (11)
- 伝導性キャリアの上面に、互いに対向する面にそれぞれ傾斜面が形成され、所定間隔離隔され配置される第1反射バンプ及び第2反射バンプを形成する段階と、
前記第1反射バンプ及び前記第2反射バンプの表面を練磨する段階と、
前記第1反射バンプと前記第2反射バンプとの間にコアを形成する段階と、
前記キャリアの上面に上部クラッドを積層して前記第1反射バンプ、前記第2反射バンプ、及び前記コアをカバーする段階と、
前記キャリアを除去する段階と、
前記上部クラッドの下面に下部クラッドを積層する段階と、
を含む光導波路の製造方法。 - 前記キャリアが、前記第1反射バンプ及び前記第2反射バンプとは異なる材質からなることを特徴とする請求項1に記載の光導波路の製造方法。
- 前記第1反射バンプ及び前記第2反射バンプを形成する段階が、
前記キャリアの上面に金属層を積層する段階と、
前記金属層の上面に、前記第1反射バンプ及び前記第2反射バンプに対応するエッチングレジストを形成する段階と、
前記金属層にエッチング液を提供して前記金属層を選択的にエッチングする段階と、
前記エッチングレジストを除去する段階と、
を含むことを特徴とする請求項1に記載の光導波路の製造方法。 - 前記コアを形成する段階が、
前記第1反射バンプと前記第2反射バンプとが形成された前記キャリアの上面にポリマー樹脂層を形成する段階と、
前記ポリマー樹脂層を選択的に除去する段階と、
を含むことを特徴とする請求項1に記載の光導波路の製造方法。 - 前記第1反射バンプと前記第2反射バンプとの表面を練磨する段階が、
前記第1反射バンプ及び前記第2反射バンプが形成された前記キャリアと、金属プレートとをそれぞれ電解溶液に浸漬させる段階と、
前記金属プレートと前記キャリアに電圧を印加する段階と、
を含むことを特徴とする請求項1に記載の光導波路の製造方法。 - 伝導性キャリアの上面に、互いに対向する面にそれぞれ傾斜面が形成され、所定間隔離隔され配置される第1反射バンプ及び第2反射バンプを形成する段階と、
前記第1反射バンプ及び前記第2反射バンプの表面を練磨する段階と、
前記第1反射バンプと前記第2反射バンプとの間にコアを形成する段階と、
前記キャリアの上面に上部クラッドを積層して前記第1反射バンプ、前記第2反射バンプ、及び前記コアをカバーする段階と、
前記キャリアを除去する段階と、
前記上部クラッドの下面に下部クラッドを積層する段階と、
前記上部クラッドの一面にパッド及び第1回路パターンを形成する段階と、
前記パッドに光素子を載置する段階と、
を含むパッケージ基板の製造方法。 - 前記キャリアが、前記第1反射バンプ及び前記第2反射バンプとは異なる材質からなることを特徴とする請求項6に記載のパッケージ基板の製造方法。
- 前記第1反射バンプ及び前記第2反射バンプを形成する段階が、
前記キャリアの上面に金属層を積層する段階と、
前記金属層の上面に、前記第1反射バンプ及び前記第2反射バンプに対応するエッチングレジストを形成する段階と、
前記金属層にエッチング液を提供し、前記金属層を選択的にエッチングする段階と、
前記エッチングレジストを除去する段階と、
を含むことを特徴とする請求項6に記載のパッケージ基板の製造方法。 - 前記コアを形成する段階が、
前記第1反射バンプと前記第2反射バンプとが形成された前記キャリアの上面にポリマー樹脂層を形成する段階と、
前記ポリマー樹脂層を選択的に除去する段階と、
を含むことを特徴とする請求項6に記載のパッケージ基板の製造方法。 - 前記第1反射バンプ及び前記第2反射バンプの表面を練磨する段階が、
前記第1反射バンプ及び前記第2反射バンプが形成された前記キャリアと、金属プレートとをそれぞれ電解溶液に浸漬させる段階と、
前記金属プレート及び前記キャリアに電圧を印加する段階と、
を含むことを特徴とする請求項6に記載のパッケージ基板の製造方法。 - 前記光素子と前記上部クラッドとの間の空間に、透明な材質を用いてアンダフィルを行う段階をさらに含む請求項6に記載のパッケージ基板の製造方法。
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