JP2009069038A - 絶対位置の計測装置 - Google Patents
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Abstract
簡易な構成で信頼性の高い絶対位置の計測装置を提供する。
【解決手段】
絶対位置の計測装置は、被測定物の位置に応じて位相が変化する複数の第一の信号を出力する第一の出力手段と、被測定物の位置に応じて位相が変化し、第一の信号より干渉性の低い複数の第二の信号を出力する第二の出力手段と、第一の信号の位相を算出する位相演算器と、第二の信号の振幅値を算出する振幅演算器と、第一の信号の周期毎に、振幅演算器により算出された第二の信号の振幅値の平均値を算出する平均値演算手段と、平均値演算手段により算出された平均値を用いて二次回帰演算を行う回帰演算手段と、二次回帰演算により求められた第二の信号のピーク位置から被測定物の原点位置を求めるピーク位置演算手段と、ピーク位置演算手段で求めた原点位置から被測定物の絶対位置を算出する絶対位置算出手段とを有する。
【選択図】 図1
Description
(エンコーダ200の構成)
本発明の計測装置の一例として用いられるエンコーダについて、図3を参照しながら説明する。図3は、エンコーダの構成の概略図である。
(レーザ干渉計300の構成)
次に、本発明の計測装置の一例として用いられるレーザ干渉計の構成について、図4を参照しながら説明する。図4(A)はレーザ干渉計の側面図、図4(B)はレーザ干渉計の正面図である。
原点は、第二の干渉信号の信号強度が最大となる点として検出される。この信号強度は、第二の光源を用いて得られる干渉信号の二乗和もしくは二乗和平方根として得ることができる。しかしながら、干渉性の低い光源を用いる第二の信号は、信号に含まれる歪成分を充分に除去することが難しい。
(位置計測部400の構成)
次に、絶対位置の計測装置における位置計測部400について、詳細に説明する。図1は、位置計測部のブロック図である。
2−1、2−2 予想器
3 位相演算器
4 内部レジスタ
5 回帰演算器
6 バイアスレジスタ
15−1 第一の出力手段
15−2 第二の出力手段
30 振幅演算器
40 デジタルシグナルプロセッサ
200 エンコーダ
300 レーザ干渉計
400 位置計測部
Claims (1)
- 被測定物の位置に応じて位相が変化する複数の第一の信号を出力する第一の出力手段と、
前記被測定物の位置に応じて位相が変化し、前記第一の信号より干渉性の低い複数の第二の信号を出力する第二の出力手段と、
前記第一の信号の位相を算出する位相演算器と、
前記第二の信号の振幅値を算出する振幅演算器と、
前記第一の信号の周期毎に、前記振幅演算器により算出された前記第二の信号の振幅値の平均値を算出する平均値演算手段と、
前記平均値演算手段により算出された前記平均値を用いて二次回帰演算を行う回帰演算手段と、
前記二次回帰演算により求められた前記第二の信号のピーク位置から前記被測定物の原点位置を求めるピーク位置演算手段と、
前記ピーク位置演算手段で求めた前記原点位置から前記被測定物の絶対位置を算出する絶対位置算出手段と、を有することを特徴とする絶対位置の計測装置。
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JP2007238773A JP5188127B2 (ja) | 2007-09-14 | 2007-09-14 | 絶対位置の計測装置および計測方法 |
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2007
- 2007-09-14 JP JP2007238773A patent/JP5188127B2/ja not_active Expired - Fee Related
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