JP2003287403A - ヘテロダイン干渉計を用いた形状測定装置、ヘテロダイン干渉計を用いた形状測定装置の光路長調整方法、及びヘテロダイン干渉計を用いた形状測定方法 - Google Patents
ヘテロダイン干渉計を用いた形状測定装置、ヘテロダイン干渉計を用いた形状測定装置の光路長調整方法、及びヘテロダイン干渉計を用いた形状測定方法Info
- Publication number
- JP2003287403A JP2003287403A JP2002088807A JP2002088807A JP2003287403A JP 2003287403 A JP2003287403 A JP 2003287403A JP 2002088807 A JP2002088807 A JP 2002088807A JP 2002088807 A JP2002088807 A JP 2002088807A JP 2003287403 A JP2003287403 A JP 2003287403A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- phase
- optical path
- light
- path length
- displacement
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Withdrawn
Links
Abstract
(57)【要約】 （修正有）
【課題】僅かに波長のずれた複数のレーザ光を光源とす
るヘテロダイン干渉計において、デッドパスの量を測定
し、デッドパスを低減できるようにする。 【解決手段】異なる２つの周波数のレーザ光を発するレ
ーザ光源１と、レーザ光源から発せられたレーザ光を参
照光と測定光とに分離し、参照ミラーにより反射された
参照光と被測定物により反射された測定光とを干渉さ
せ、干渉光の各周波数における位相を検出する位相検出
部７，８と、位相検出部の検出値から、等価波長の変位
を算出する変位算出部９と、算出された変位と、位相検
出部の検出値から逆算される各周波数における干渉光の
位相差が０となる位相の値に対応する等価波長の変位と
から、参照光と測定光の光路長差を算出する光路長差算
出部９と、算出された光路長差に応じて、参照光の光路
長と測定光の光路長の少なくとも一方の光路長を調整す
る光路長調整機構４とを具備する。
るヘテロダイン干渉計において、デッドパスの量を測定
し、デッドパスを低減できるようにする。 【解決手段】異なる２つの周波数のレーザ光を発するレ
ーザ光源１と、レーザ光源から発せられたレーザ光を参
照光と測定光とに分離し、参照ミラーにより反射された
参照光と被測定物により反射された測定光とを干渉さ
せ、干渉光の各周波数における位相を検出する位相検出
部７，８と、位相検出部の検出値から、等価波長の変位
を算出する変位算出部９と、算出された変位と、位相検
出部の検出値から逆算される各周波数における干渉光の
位相差が０となる位相の値に対応する等価波長の変位と
から、参照光と測定光の光路長差を算出する光路長差算
出部９と、算出された光路長差に応じて、参照光の光路
長と測定光の光路長の少なくとも一方の光路長を調整す
る光路長調整機構４とを具備する。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、２波長ヘテロダイ
ン干渉計を用いた形状測定技術に関するものである。
ン干渉計を用いた形状測定技術に関するものである。
【０００２】
【従来の技術】従来、非球面レンズ等の形状測定方法と
しては、接触式形状測定装置により測定することが一般
的であるが、接触式の測定方法によると、被測定物にキ
ズがつくという問題があった。
しては、接触式形状測定装置により測定することが一般
的であるが、接触式の測定方法によると、被測定物にキ
ズがつくという問題があった。
【０００３】そのため、被測定物の表面の損傷が問題と
なるような測定の場合には非接触プローブを用いた測定
が用いられるようになってきている。この方法は、光学
式変位計を常に被測定物表面にフォーカス追従制御させ
ながら被測定面を走査し、光学式変位計の移動量から面
形状を測定するものである。
なるような測定の場合には非接触プローブを用いた測定
が用いられるようになってきている。この方法は、光学
式変位計を常に被測定物表面にフォーカス追従制御させ
ながら被測定面を走査し、光学式変位計の移動量から面
形状を測定するものである。
【０００４】光学式変位計として、代表的なものがヘテ
ロダイン干渉計と呼ばれる変位計である。この基本的な
構成を図５に示す。
ロダイン干渉計と呼ばれる変位計である。この基本的な
構成を図５に示す。
【０００５】レーザ光源１から出る光は直交２周波とな
っているものとする。レーザ光源１から出た光は、ま
ず、ビームスプリッタ１７により一部分割される。分割
されたレーザ光は、偏光子１８を通ってフォトディテク
タ１０で、光信号から電気信号へ変換される。フォトデ
ィテクタ１０で得られた信号は位相計７の基準信号とし
て用いられる。ビームスプリッタ１７を直進するレーザ
光は、偏光ビームスプリッタ２により、測定光路へ向か
う光２５と参照光路へ向かう光２４に分けられ、それぞ
れ、測定物２１、参照ミラー３により反射されて、再び
偏光ビームスプリッタ２に戻る。その後、レーザ光は光
路を同じにして直線偏光子１９を通ってフォトディテク
タ１１で光信号から電気信号へ変換されて位相計７に入
る。位相計７は、フォトディテクタ１０で得られた信号
とフォトディテクタ１１で得られた信号の位相差を出力
し、変位算出部９で変位を算出する。位相計から得られ
る位相Φが０〜３６０度であるとすると、変位ｄは ｄ＝λ／２×Φ／３６０（ただし、λは使用しているレ
ーザの波長） と計算される。たいていの場合、λとしては、６００
[ｎｍ]程度のレーザ光が使用される。
っているものとする。レーザ光源１から出た光は、ま
ず、ビームスプリッタ１７により一部分割される。分割
されたレーザ光は、偏光子１８を通ってフォトディテク
タ１０で、光信号から電気信号へ変換される。フォトデ
ィテクタ１０で得られた信号は位相計７の基準信号とし
て用いられる。ビームスプリッタ１７を直進するレーザ
光は、偏光ビームスプリッタ２により、測定光路へ向か
う光２５と参照光路へ向かう光２４に分けられ、それぞ
れ、測定物２１、参照ミラー３により反射されて、再び
偏光ビームスプリッタ２に戻る。その後、レーザ光は光
路を同じにして直線偏光子１９を通ってフォトディテク
タ１１で光信号から電気信号へ変換されて位相計７に入
る。位相計７は、フォトディテクタ１０で得られた信号
とフォトディテクタ１１で得られた信号の位相差を出力
し、変位算出部９で変位を算出する。位相計から得られ
る位相Φが０〜３６０度であるとすると、変位ｄは ｄ＝λ／２×Φ／３６０（ただし、λは使用しているレ
ーザの波長） と計算される。たいていの場合、λとしては、６００
[ｎｍ]程度のレーザ光が使用される。
【０００６】よって、ヘテロダイン干渉計の測定範囲は
高々３００［ｎｍ］程度であり、測定面に段差などが存
在すると、段差の前と後において測定データにオフセッ
トがのってしまい測定不能となっていた。
高々３００［ｎｍ］程度であり、測定面に段差などが存
在すると、段差の前と後において測定データにオフセッ
トがのってしまい測定不能となっていた。
【０００７】このようなことを防ぐためには、ヘテロダ
イン干渉計の測定範囲を拡大してやればよい。ヘテロダ
イン干渉計の測定範囲を広げるためには、複数のわずか
に周波数のずれたレーザ光を光源とすると有効であるこ
とが知られている(特開平１１-２０１７２７号公報)。
イン干渉計の測定範囲を拡大してやればよい。ヘテロダ
イン干渉計の測定範囲を広げるためには、複数のわずか
に周波数のずれたレーザ光を光源とすると有効であるこ
とが知られている(特開平１１-２０１７２７号公報)。
【０００８】そこで、被測定物に段差やゴミが存在する
ような被測定物を精度よく測定するためには、わずかに
ずれた複数の周波数のレーザ光を光源としたヘテロダイ
ン干渉計を光学式変位計として備えた形状計測装置が用
いられる。
ような被測定物を精度よく測定するためには、わずかに
ずれた複数の周波数のレーザ光を光源としたヘテロダイ
ン干渉計を光学式変位計として備えた形状計測装置が用
いられる。
【０００９】
【発明が解決しようとする課題】一方、図５のような光
学系において、参照光路２２と測定光路２３の間に光学
的な光路長差（デッドパス）が存在すると、使用してい
るレーザ光源などの波長が、測定環境等の要因のために
変動した場合に、光学式変位計の線形性を悪化させるこ
とが知られている。
学系において、参照光路２２と測定光路２３の間に光学
的な光路長差（デッドパス）が存在すると、使用してい
るレーザ光源などの波長が、測定環境等の要因のために
変動した場合に、光学式変位計の線形性を悪化させるこ
とが知られている。
【００１０】デッドパスをなくす方法として、光学系を
組む際にあらかじめデッドパスが構造的に無い設計する
等の方法がとられている。しかし、構造的にデッドパス
が無いようにする方法では、組立誤差や部品の製作誤差
などにより、０．１ｍｍ程度のデッドパスが残ってしま
うという問題があった。
組む際にあらかじめデッドパスが構造的に無い設計する
等の方法がとられている。しかし、構造的にデッドパス
が無いようにする方法では、組立誤差や部品の製作誤差
などにより、０．１ｍｍ程度のデッドパスが残ってしま
うという問題があった。
【００１１】また、複数のわずかに周波数のずれたレー
ザ光を光源を使った２波長ヘテロダイン干渉計を用いて
デッドパス量を測定することも可能であるが、λが６０
０[ｎｍ]程度のレーザ光を使った２波長のヘテロダイン
干渉計では、１０［μｍ］程度までの測定しかできず、
デッドパスがそれ以上あると、調整できないという問題
点があった。
ザ光を光源を使った２波長ヘテロダイン干渉計を用いて
デッドパス量を測定することも可能であるが、λが６０
０[ｎｍ]程度のレーザ光を使った２波長のヘテロダイン
干渉計では、１０［μｍ］程度までの測定しかできず、
デッドパスがそれ以上あると、調整できないという問題
点があった。
【００１２】従って、本発明は上述した課題に鑑みてな
されたものであり、その目的は、測定範囲を拡大するた
めに僅かに波長のずれた複数のレーザ光を光源とするヘ
テロダイン干渉計において、デッドパスの量を測定し、
デッドパスを低減できるようにすることである。
されたものであり、その目的は、測定範囲を拡大するた
めに僅かに波長のずれた複数のレーザ光を光源とするヘ
テロダイン干渉計において、デッドパスの量を測定し、
デッドパスを低減できるようにすることである。
【００１３】また、同様の方法により、１０［μｍ］以
上の段差等の形状を有する被測定物を測定できるように
することを目的としている。
上の段差等の形状を有する被測定物を測定できるように
することを目的としている。
【００１４】
【課題を解決するための手段】上述した課題を解決し、
目的を達成するために、本発明に係わるヘテロダイン干
渉計を用いた形状測定装置は、異なる２つの周波数のレ
ーザにより、被測定物の形状を測定するヘテロダイン干
渉計を用いた形状測定装置において、異なる２つの周波
数のレーザ光を発するレーザ光源と、該レーザ光源から
発せられたレーザ光を参照光と測定光とに分離し、参照
ミラーにより反射された参照光と被測定物により反射さ
れた測定光とを干渉させ、干渉光を生成する干渉手段
と、前記参照光と前記測定光の光路長差がない基準信号
を検出する基準信号検出手段と、前記基準信号に対す
る、前記干渉光の各周波数における位相を検出する位相
検出手段と、該位相検出手段の検出値から、等価波長の
変位を算出する変位算出手段と、該変位算出手段から算
出された変位と、前記位相検出手段の検出値から逆算さ
れる各周波数における干渉光の位相差が０となる位相の
値に対応する等価波長の変位とから、前記参照光と前記
測定光の光路長差を算出する光路長差算出手段と、該光
路長差算出手段により算出された光路長差に応じて、前
記参照光の光路長と前記測定光の光路長の少なくとも一
方の光路長を調整する光路長調整手段と、を具備するこ
とを特徴としている。
目的を達成するために、本発明に係わるヘテロダイン干
渉計を用いた形状測定装置は、異なる２つの周波数のレ
ーザにより、被測定物の形状を測定するヘテロダイン干
渉計を用いた形状測定装置において、異なる２つの周波
数のレーザ光を発するレーザ光源と、該レーザ光源から
発せられたレーザ光を参照光と測定光とに分離し、参照
ミラーにより反射された参照光と被測定物により反射さ
れた測定光とを干渉させ、干渉光を生成する干渉手段
と、前記参照光と前記測定光の光路長差がない基準信号
を検出する基準信号検出手段と、前記基準信号に対す
る、前記干渉光の各周波数における位相を検出する位相
検出手段と、該位相検出手段の検出値から、等価波長の
変位を算出する変位算出手段と、該変位算出手段から算
出された変位と、前記位相検出手段の検出値から逆算さ
れる各周波数における干渉光の位相差が０となる位相の
値に対応する等価波長の変位とから、前記参照光と前記
測定光の光路長差を算出する光路長差算出手段と、該光
路長差算出手段により算出された光路長差に応じて、前
記参照光の光路長と前記測定光の光路長の少なくとも一
方の光路長を調整する光路長調整手段と、を具備するこ
とを特徴としている。
【００１５】また、この発明に係わるヘテロダイン干渉
計を用いた形状測定装置において、前記光路長差算出手
段おける各周波数の位相差が０となる位相の値は、前記
位相検出手段の検出値と、前記レーザ光の各周波数の値
から逆算されることを特徴としている。
計を用いた形状測定装置において、前記光路長差算出手
段おける各周波数の位相差が０となる位相の値は、前記
位相検出手段の検出値と、前記レーザ光の各周波数の値
から逆算されることを特徴としている。
【００１６】また、この発明に係わるヘテロダイン干渉
計を用いた形状測定装置において、前記各周波数におけ
る干渉光の位相差が０となる複数の位相の値と、該位相
における等価波長の変位とを、あらかじめ記憶する記憶
手段を更に具備することを特徴としている。
計を用いた形状測定装置において、前記各周波数におけ
る干渉光の位相差が０となる複数の位相の値と、該位相
における等価波長の変位とを、あらかじめ記憶する記憶
手段を更に具備することを特徴としている。
【００１７】また、本発明に係わるヘテロダイン干渉計
を用いた形状測定装置の光路長調整方法は、異なる２つ
の周波数のレーザ光を発するレーザ光源と、該レーザ光
源から発せられたレーザ光を参照光と測定光とに分離
し、参照ミラーにより反射された参照光と被測定物によ
り反射された測定光とを干渉させ、干渉光を生成する干
渉手段と、前記参照光と前記測定光の光路長差がない基
準信号を検出する基準信号検出手段と、前記基準信号に
対する、前記干渉光の各周波数における位相を検出する
位相検出手段と、該位相検出手段の検出値から、等価波
長の変位を算出する変位算出手段とを備えるヘテロダイ
ン干渉形を用いた形状測定装置の光路長調整方法であっ
て、前記変位算出手段から算出された変位と、前記位相
検出手段の検出値から逆算される各周波数における干渉
光の位相差が０となる位相の値に対応する等価波長の変
位とから、前記参照光と前記測定光の光路長差を算出
し、算出された光路長差に応じて、前記参照光の光路長
と前記測定光の光路長の少なくとも一方の光路長を調整
することを特徴としている。
を用いた形状測定装置の光路長調整方法は、異なる２つ
の周波数のレーザ光を発するレーザ光源と、該レーザ光
源から発せられたレーザ光を参照光と測定光とに分離
し、参照ミラーにより反射された参照光と被測定物によ
り反射された測定光とを干渉させ、干渉光を生成する干
渉手段と、前記参照光と前記測定光の光路長差がない基
準信号を検出する基準信号検出手段と、前記基準信号に
対する、前記干渉光の各周波数における位相を検出する
位相検出手段と、該位相検出手段の検出値から、等価波
長の変位を算出する変位算出手段とを備えるヘテロダイ
ン干渉形を用いた形状測定装置の光路長調整方法であっ
て、前記変位算出手段から算出された変位と、前記位相
検出手段の検出値から逆算される各周波数における干渉
光の位相差が０となる位相の値に対応する等価波長の変
位とから、前記参照光と前記測定光の光路長差を算出
し、算出された光路長差に応じて、前記参照光の光路長
と前記測定光の光路長の少なくとも一方の光路長を調整
することを特徴としている。
【００１８】また、この発明に係わるヘテロダイン干渉
計を用いた形状測定装置の光路長調整方法において、前
記各周波数の位相差が０となる位相の値は、前記位相検
出手段の検出値と、前記レーザ光の各周波数の値から逆
算されることを特徴としている。
計を用いた形状測定装置の光路長調整方法において、前
記各周波数の位相差が０となる位相の値は、前記位相検
出手段の検出値と、前記レーザ光の各周波数の値から逆
算されることを特徴としている。
【００１９】また、この発明に係わるヘテロダイン干渉
計を用いた形状測定装置の光路長調整方法において、前
記各周波数における干渉光の位相差が０となる複数の位
相の値と、該位相における等価波長の変位とを、あらか
じめ記憶しておくことを特徴としている。
計を用いた形状測定装置の光路長調整方法において、前
記各周波数における干渉光の位相差が０となる複数の位
相の値と、該位相における等価波長の変位とを、あらか
じめ記憶しておくことを特徴としている。
【００２０】また、本発明に係わるヘテロダイン干渉形
を用いた形状測定方法は、異なる２つの周波数のレーザ
光を発するレーザ光源と、該レーザ光源から発せられた
レーザ光を参照光と測定光とに分離し、参照ミラーによ
り反射された参照光と被測定物により反射された測定光
とを干渉させ、干渉光を生成する干渉手段と、前記参照
光と前記測定光の光路長差がない基準信号を検出する基
準信号検出手段と、前記基準信号に対する、前記干渉光
の各周波数における位相を検出する位相検出手段と、該
位相検出手段の検出値から、等価波長の変位を算出する
変位算出手段とを備えるヘテロダイン干渉形を用いた形
状測定方法であって、前記被測定物に前記レーザ光を走
査させることにより、前記変位算出手段で算出した変位
と、前記位相検出手段の検出値から逆算される各周波に
おける干渉光の位相差が０となる位相の値に対応する等
価波長の変位とに基づいて、前記被測定物の形状を測定
することを特徴としている。
を用いた形状測定方法は、異なる２つの周波数のレーザ
光を発するレーザ光源と、該レーザ光源から発せられた
レーザ光を参照光と測定光とに分離し、参照ミラーによ
り反射された参照光と被測定物により反射された測定光
とを干渉させ、干渉光を生成する干渉手段と、前記参照
光と前記測定光の光路長差がない基準信号を検出する基
準信号検出手段と、前記基準信号に対する、前記干渉光
の各周波数における位相を検出する位相検出手段と、該
位相検出手段の検出値から、等価波長の変位を算出する
変位算出手段とを備えるヘテロダイン干渉形を用いた形
状測定方法であって、前記被測定物に前記レーザ光を走
査させることにより、前記変位算出手段で算出した変位
と、前記位相検出手段の検出値から逆算される各周波に
おける干渉光の位相差が０となる位相の値に対応する等
価波長の変位とに基づいて、前記被測定物の形状を測定
することを特徴としている。
【００２１】また、この発明に係わるヘテロダイン干渉
形を用いた形状測定方法において、前記各周波数の位相
差が０となる位相の値は、前記位相検出手段の検出値
と、前記レーザ光の各周波数の値から逆算されることを
特徴としている。
形を用いた形状測定方法において、前記各周波数の位相
差が０となる位相の値は、前記位相検出手段の検出値
と、前記レーザ光の各周波数の値から逆算されることを
特徴としている。
【００２２】また、この発明に係わるヘテロダイン干渉
形を用いた形状測定方法において、前記各周波数におけ
る干渉光の位相差が０となる複数の位相の値と、該位相
における等価波長の変位とを、あらかじめ記憶しておく
ことを特徴としている。
形を用いた形状測定方法において、前記各周波数におけ
る干渉光の位相差が０となる複数の位相の値と、該位相
における等価波長の変位とを、あらかじめ記憶しておく
ことを特徴としている。
【００２３】
【発明の実施の形態】以下、本発明の好適な一実施形態
について、添付図面を参照して詳細に説明する。
について、添付図面を参照して詳細に説明する。
【００２４】図１は、本発明の一実施形態の形状測定装
置の概略構成を示す図である。
置の概略構成を示す図である。
【００２５】図１において、１はレーザ光源ａおよびレ
ーザ光源ｂ、２は偏光ビームスプリッタ（干渉手段）、
３は参照ミラー、４は参照光路伸縮機構、５は測定物、
６は測定光路伸縮機構、７,８はレーザ光源ａ，ｂに対
する位相計(干渉状態検出手段)、９は記憶部およびデッ
ドパス算出部および変位算出部を備える制御部、１０,
１１,１２はフォトディテクタ、１３はビームスプリッ
タ、１４は反射ミラー、１５,１６は波長選択フィル
タ、１７はビームスプリッタ、１８、１９、２０は偏光
子、２２、２３はλ／４波長板である。本実施形態で
は、干渉検出手段として位相計を用いている。
ーザ光源ｂ、２は偏光ビームスプリッタ（干渉手段）、
３は参照ミラー、４は参照光路伸縮機構、５は測定物、
６は測定光路伸縮機構、７,８はレーザ光源ａ，ｂに対
する位相計(干渉状態検出手段)、９は記憶部およびデッ
ドパス算出部および変位算出部を備える制御部、１０,
１１,１２はフォトディテクタ、１３はビームスプリッ
タ、１４は反射ミラー、１５,１６は波長選択フィル
タ、１７はビームスプリッタ、１８、１９、２０は偏光
子、２２、２３はλ／４波長板である。本実施形態で
は、干渉検出手段として位相計を用いている。
【００２６】レーザ光源ａおよびｂから出力されるレー
ザ光は直交２周波レーザに既になっているものとする。
レーザ光源ａ，ｂから出力されたレーザ光は、ビームス
プリッタ１７により一部の光を分割し、これを、偏光子
１８を通してフォトディテクタ１０で受光する。フォト
ディテクタ１０で受けた干渉情報は位相計７,８の基準
信号として用いられる。ビームスプリッタ１７を直進し
たレーザ光は、偏光ビームスプリッタ２により、参照光
路２４へ向かうＳ波（水平方向の直線偏光）と測定光路
２５へ向かうＰ波（垂直方向の直線偏光）に分離され
る。参照光路へ向かうレーザ光をＰ波、測定光路へ向か
うレーザ光をＳ波としても問題ない。
ザ光は直交２周波レーザに既になっているものとする。
レーザ光源ａ，ｂから出力されたレーザ光は、ビームス
プリッタ１７により一部の光を分割し、これを、偏光子
１８を通してフォトディテクタ１０で受光する。フォト
ディテクタ１０で受けた干渉情報は位相計７,８の基準
信号として用いられる。ビームスプリッタ１７を直進し
たレーザ光は、偏光ビームスプリッタ２により、参照光
路２４へ向かうＳ波（水平方向の直線偏光）と測定光路
２５へ向かうＰ波（垂直方向の直線偏光）に分離され
る。参照光路へ向かうレーザ光をＰ波、測定光路へ向か
うレーザ光をＳ波としても問題ない。
【００２７】参照光路２４へ向かったレーザ光は、λ／
４波長板２２を通って、参照ミラー３に到達して反射さ
れ、再びλ／４波長板２２を通って偏光ビームスプリッ
タ２へ戻ってくる。測定光路２５へ向かったレーザ光
は、λ／４波長板２３を通って測定物５に到達して反射
され、再びλ／４波長板２３を通って偏光ビームスプリ
ッタ２へ戻り、Ｓ波とＰ波は再び同一光路をとるように
なる。
４波長板２２を通って、参照ミラー３に到達して反射さ
れ、再びλ／４波長板２２を通って偏光ビームスプリッ
タ２へ戻ってくる。測定光路２５へ向かったレーザ光
は、λ／４波長板２３を通って測定物５に到達して反射
され、再びλ／４波長板２３を通って偏光ビームスプリ
ッタ２へ戻り、Ｓ波とＰ波は再び同一光路をとるように
なる。
【００２８】同一光路となったレーザ光は、ビームスプ
リッタ１３により、２つに分割され、それぞれ、波長選
択フィルタ１５,１６、偏光子１９、２０を通り、フォ
トディテクタ１１、１２へ入射し、光信号から電気信号
へ変換される。
リッタ１３により、２つに分割され、それぞれ、波長選
択フィルタ１５,１６、偏光子１９、２０を通り、フォ
トディテクタ１１、１２へ入射し、光信号から電気信号
へ変換される。
【００２９】位相計７,８は、フォトディテクタ１０で
得られた信号とフォトディテクタ１１,１２で得られた
信号の位相差を出力し、それをもとに制御部９内の変位
算出部により変位を算出する。
得られた信号とフォトディテクタ１１,１２で得られた
信号の位相差を出力し、それをもとに制御部９内の変位
算出部により変位を算出する。
【００３０】ここで、特徴的なのは、フォトディテクタ
１０で得られる干渉情報は、フォトディテクタ１０以前
の光路において光路長差が存在しないので、フォトディ
テクタ１０から得られる干渉情報はデッドパスが０の時
の位相と同じであるということである。
１０で得られる干渉情報は、フォトディテクタ１０以前
の光路において光路長差が存在しないので、フォトディ
テクタ１０から得られる干渉情報はデッドパスが０の時
の位相と同じであるということである。
【００３１】次に、伸縮機構について詳しく説明する。
【００３２】参照光路伸縮機構４、測定光路伸縮機構５
の伸縮は、それぞれ偏光ビームスプリッタ２より出射さ
れるレーザ光に対して平行な方向へ行われ、偏光ビーム
スプリッタ２と参照ミラー３あるいは、測定物５との距
離を増減する。
の伸縮は、それぞれ偏光ビームスプリッタ２より出射さ
れるレーザ光に対して平行な方向へ行われ、偏光ビーム
スプリッタ２と参照ミラー３あるいは、測定物５との距
離を増減する。
【００３３】伸縮機構の構成としては、ボールねじとリ
ニアガイドを組み合わせた機構、ボールねじとＶ溝ガイ
ドを組み合わせた機構、エアーベアリングとリニアモー
タを組み合わせた機構など様々な構成が考えられる。
ニアガイドを組み合わせた機構、ボールねじとＶ溝ガイ
ドを組み合わせた機構、エアーベアリングとリニアモー
タを組み合わせた機構など様々な構成が考えられる。
【００３４】本実施形態では、伸縮機構は参照ミラー３
側のみに配置されているものとする。
側のみに配置されているものとする。
【００３５】図２はその伸縮機構の概略構成を示す図で
ある。図中、３は参照ミラー、３２は参照ミラー治具、
３３は移動ステージ、３４はリニアガイド、３５はリニ
アガイド台、３６は底板、３７は電動モータ、３８はボ
ールねじ、３９はリニアセンサである。図示しない制御
手段により、移動ステージ３３を指定された変位量だけ
移動させることが可能になっている。
ある。図中、３は参照ミラー、３２は参照ミラー治具、
３３は移動ステージ、３４はリニアガイド、３５はリニ
アガイド台、３６は底板、３７は電動モータ、３８はボ
ールねじ、３９はリニアセンサである。図示しない制御
手段により、移動ステージ３３を指定された変位量だけ
移動させることが可能になっている。
【００３６】図３、図４を用いて、デッドパスの算出方
法について説明する。
法について説明する。
【００３７】図３は、ヘテロダイン干渉計の測定範囲拡
大の原理を示している。
大の原理を示している。
【００３８】図３に示すように、ヘテロダイン干渉計で
は、変位ＤＲが増加するに従って、位相計７、８で得ら
れる出力位相Φｉ(ｉ=１もしくは２)は０度から徐々に
増加していき、ＤＲがλ（ｉ/２）になると３６０度を
出力する。３６０度になったら、再び、０度へ戻り、あ
とは０度〜３６０度という値を繰り返して出力する。
は、変位ＤＲが増加するに従って、位相計７、８で得ら
れる出力位相Φｉ(ｉ=１もしくは２)は０度から徐々に
増加していき、ＤＲがλ（ｉ/２）になると３６０度を
出力する。３６０度になったら、再び、０度へ戻り、あ
とは０度〜３６０度という値を繰り返して出力する。
【００３９】いま、位相計７および８を用いて、２つの
レーザの干渉状態情報である位相φ１および位相φ２を
検出する。位相φ１、φ２から、等価位相φEQを、 φEQ＝φ１−φ２ により算出する。ここで、φEQの値が負となったら、φ
EQに３６０[ｄｅｇ]を加える。φEQ から変位ＤEQを、 ＤEQ＝（λEQ／２）・（φEQ／３６０） により求める。
レーザの干渉状態情報である位相φ１および位相φ２を
検出する。位相φ１、φ２から、等価位相φEQを、 φEQ＝φ１−φ２ により算出する。ここで、φEQの値が負となったら、φ
EQに３６０[ｄｅｇ]を加える。φEQ から変位ＤEQを、 ＤEQ＝（λEQ／２）・（φEQ／３６０） により求める。
【００４０】λEQは等価波長で、λEQ＝λ1λ2／|λ1−
λ2|である。ただし、λ1，λ2は使用しているレーザ光
の波長である。
λ2|である。ただし、λ1，λ2は使用しているレーザ光
の波長である。
【００４１】このような、変位算出方式により、図３に
示すように、０からλEQ／２まで変位を測定することが
でき、１つのレーザ光源を用いた測定範囲（０〜λ／
２）の数十倍の測定範囲が得られる。
示すように、０からλEQ／２まで変位を測定することが
でき、１つのレーザ光源を用いた測定範囲（０〜λ／
２）の数十倍の測定範囲が得られる。
【００４２】ここで、変位ＤＲの座標系は、デッドパス
が０のときを原点とし、偏光ビームスプリッタ２と測定
物５が離れる方向を正としている座標系である。デッド
パスが０の時の信号を位相計の基準信号に用いているの
で、ＤＲが０、すなわち、デッドパスが０の時φ１＝φ
２＝０となっている。
が０のときを原点とし、偏光ビームスプリッタ２と測定
物５が離れる方向を正としている座標系である。デッド
パスが０の時の信号を位相計の基準信号に用いているの
で、ＤＲが０、すなわち、デッドパスが０の時φ１＝φ
２＝０となっている。
【００４３】次に、変位ＤＲが０からもっと大きな値ま
で変化した時を考えてみる。
で変化した時を考えてみる。
【００４４】図４は、変位 が０から４λEQ まで変化す
る時の、ＤＲと算出変位ＤEQの関係を示した図である。
る時の、ＤＲと算出変位ＤEQの関係を示した図である。
【００４５】変位ＤＲがλEQ／２移動する毎に、０から
λEQ／２という変位ＤEQを算出する。図４において、Ａ
点〜Ｇ点の位相φ１，φ２は、λ1＝６３２[ｎｍ]、λ2
＝６５１[ｎｍ]とすると、φ１およびφ２は、 φ１
＝Ｆ１×３６０[Ｄｅｇ] φ２＝Ｆ２×３６０[Ｄｅｇ] となる。ただし、Ｆ１，Ｆ２はＤＲ／（λ1/２）、ＤＲ
／（λ2/２）の少数部分である。
λEQ／２という変位ＤEQを算出する。図４において、Ａ
点〜Ｇ点の位相φ１，φ２は、λ1＝６３２[ｎｍ]、λ2
＝６５１[ｎｍ]とすると、φ１およびφ２は、 φ１
＝Ｆ１×３６０[Ｄｅｇ] φ２＝Ｆ２×３６０[Ｄｅｇ] となる。ただし、Ｆ１，Ｆ２はＤＲ／（λ1/２）、ＤＲ
／（λ2/２）の少数部分である。
【００４６】上の式を元に計算した結果を表にすると図
６のようになる。
６のようになる。
【００４７】図６の通り、ＤＲが０となる点において
は、φ１、φ２は同じ値となる。これは、ＤＲは（λEQ
／２）・（φ１−φ２）／３６０から算出されるので当
然の結果である。
は、φ１、φ２は同じ値となる。これは、ＤＲは（λEQ
／２）・（φ１−φ２）／３６０から算出されるので当
然の結果である。
【００４８】また、図６から、算出変位 が０を取る点
はいくつもあるが、デッドパスが０となる点（ＤＲ＝０
の地点）では、唯一φ１，φ２とも位相が０となる。他
のＡ点からＨ点のいずれの点も、０にならず、かつ、そ
れぞれの地点で位相の値が異なっている。
はいくつもあるが、デッドパスが０となる点（ＤＲ＝０
の地点）では、唯一φ１，φ２とも位相が０となる。他
のＡ点からＨ点のいずれの点も、０にならず、かつ、そ
れぞれの地点で位相の値が異なっている。
【００４９】以上の関係があることを考慮すると、光学
系のデッドパスの量を知ることが可能となる。例えば、
図６で用いたように、レーザ光としてλ1＝６３２[ｎ
ｍ]、λ2＝６５１[ｎｍ]を使用するとして、φ１＝１１
８.４８[Ｄｅｇ]、φ２＝２７５.９４[Ｄｅｇ]という位
相が得られたとする。
系のデッドパスの量を知ることが可能となる。例えば、
図６で用いたように、レーザ光としてλ1＝６３２[ｎ
ｍ]、λ2＝６５１[ｎｍ]を使用するとして、φ１＝１１
８.４８[Ｄｅｇ]、φ２＝２７５.９４[Ｄｅｇ]という位
相が得られたとする。
【００５０】これから、ＤEQを求めると、
ＤEQ＝（λEQ／２）・（φ１−φ２）／３６０＝６.０
９１［μｍ］ となる。さらに、これからＤEQが０となるときのφ
１'、φ２'を求めると、 φ１'＝φ１−Ｆ１×３６０＝１８.９４［Ｄｅｇ］ φ２'＝φ２−Ｆ２×３６０＝１８.９４［Ｄｅｇ］ となる。ただし、Ｆ１、Ｆ２は、ＤEQ／（λ1／２)、Ｄ
EQ／（λ2／２)の少数部分であり、φ１'，φ２' が負
になったら３６０°加える。
９１［μｍ］ となる。さらに、これからＤEQが０となるときのφ
１'、φ２'を求めると、 φ１'＝φ１−Ｆ１×３６０＝１８.９４［Ｄｅｇ］ φ２'＝φ２−Ｆ２×３６０＝１８.９４［Ｄｅｇ］ となる。ただし、Ｆ１、Ｆ２は、ＤEQ／（λ1／２)、Ｄ
EQ／（λ2／２)の少数部分であり、φ１'，φ２' が負
になったら３６０°加える。
【００５１】このように計算できるので、これを図６と
比較すると、Ｄ点であることがわかる。ＤＲ＝０（φ１
＝φ２＝０）となる点が、デッドパスが０の地点である
から、これより、現在のデッドパスの量は、 ４３.３０（Ｄ点の変位）＋６.０９１（ヘテロダイン干
渉計の変位）＝４９.３９１[μｍ] と算出することができる。
比較すると、Ｄ点であることがわかる。ＤＲ＝０（φ１
＝φ２＝０）となる点が、デッドパスが０の地点である
から、これより、現在のデッドパスの量は、 ４３.３０（Ｄ点の変位）＋６.０９１（ヘテロダイン干
渉計の変位）＝４９.３９１[μｍ] と算出することができる。
【００５２】これより、現在のデッドパスの状態は、測
定光路の方が参照光路より４９.３９１［μｍ］だけ長
いことがわかる。よって、本実施形態では、参照光路に
伸縮機構が設けられているので、参照光路の長さを４
９.３９１[μｍ]だけ伸ばせば、ちょうどデッドパスを
０にすることできる。
定光路の方が参照光路より４９.３９１［μｍ］だけ長
いことがわかる。よって、本実施形態では、参照光路に
伸縮機構が設けられているので、参照光路の長さを４
９.３９１[μｍ]だけ伸ばせば、ちょうどデッドパスを
０にすることできる。
【００５３】また、上記のデッドパスの測定方法は、デ
ッドパスの測定のみでなく、被測定物の形状測定に応用
することも可能である。被測定物の形状が１０［μｍ］
の段差等を有していた場合でも、上記のデッドパスの測
定方法と同様に、被測定物にレーザ光を走査させること
で求まる位相φ１，φ２から変位ＤEQを算出し、それを
もとにＤEQ＝０となるときの位相φ１'，φ２'を逆算し
て等価波長の変位を求め、被測定物の形状を測定するこ
とができる。
ッドパスの測定のみでなく、被測定物の形状測定に応用
することも可能である。被測定物の形状が１０［μｍ］
の段差等を有していた場合でも、上記のデッドパスの測
定方法と同様に、被測定物にレーザ光を走査させること
で求まる位相φ１，φ２から変位ＤEQを算出し、それを
もとにＤEQ＝０となるときの位相φ１'，φ２'を逆算し
て等価波長の変位を求め、被測定物の形状を測定するこ
とができる。
【００５４】以上説明したように、或る地点において、
位相計からの位相φ１，φ２から変位ＤEQを算出し、そ
れをもとにＤEQ＝０となるときの位相φ１'，φ２'を逆
算して、デッドパスの量を算出することにより、デッド
パス量が１０［μｍ］以上の場合であっても、確実にデ
ッドパス量を測定することが可能であり、測定光路もし
くは参照光路をデッドパス量だけ伸縮させデッドパスを
低減することが可能となる。
位相計からの位相φ１，φ２から変位ＤEQを算出し、そ
れをもとにＤEQ＝０となるときの位相φ１'，φ２'を逆
算して、デッドパスの量を算出することにより、デッド
パス量が１０［μｍ］以上の場合であっても、確実にデ
ッドパス量を測定することが可能であり、測定光路もし
くは参照光路をデッドパス量だけ伸縮させデッドパスを
低減することが可能となる。
【００５５】また、位相検出の際に使用する位相基準信
号として、デッドパスが０である信号を用いることによ
り、デッドパスが０である時の位相出力が０となること
を保証し、精度よくデッドパス量を求めることが可能と
なる。
号として、デッドパスが０である信号を用いることによ
り、デッドパスが０である時の位相出力が０となること
を保証し、精度よくデッドパス量を求めることが可能と
なる。
【００５６】また、被測定物の形状測定に応用すること
で、１０［μｍ］以上の段差等の形状を有する被測定物
を測定することが可能となる。
で、１０［μｍ］以上の段差等の形状を有する被測定物
を測定することが可能となる。
【００５７】
【発明の効果】以上説明したように、本発明によれば、
測定範囲を拡大するために僅かに波長のずれた複数のレ
ーザ光を光源とするヘテロダイン干渉計において、デッ
ドパスの量を測定し、デッドパスを低減することが可能
となる。
測定範囲を拡大するために僅かに波長のずれた複数のレ
ーザ光を光源とするヘテロダイン干渉計において、デッ
ドパスの量を測定し、デッドパスを低減することが可能
となる。
【００５８】また、同様の方法により、１０［μｍ］以
上の段差等の形状を有する被測定物の形状を測定するこ
とが可能となる。
上の段差等の形状を有する被測定物の形状を測定するこ
とが可能となる。
【図１】本発明の一実施形態の形状測定装置の概略構成
を示す図である。
を示す図である。
【図２】参照光路伸縮機構の例を示す図である。
【図３】２波長ヘテロダイン干渉計の原理を示した図で
ある。
ある。
【図４】算出変位ＤEQと変位ＤＲの関係を示した図であ
る。
る。
【図５】従来のヘテロダイン干渉計の構成を示す図であ
る。
る。
【図６】図４におけるＡ点からＤ点の変位ＤＲと位相φ
１，φ２の関係を示す図である。
１，φ２の関係を示す図である。
１ レーザ光源ａおよびレーザ光源ｂ
２ 偏光ビームスプリッタ（干渉手段）
３ 参照ミラー
４ 参照光伸縮機構
５ 測定物
６ 測定光路伸縮機構
７、８ 位相計（干渉状態検出手段）
９ 制御部
１０，１１，１２ フォトディテクタ
１３ ビームスプリッタ
１４ 反射ミラー
１５，１６ 波長選択フィルタ
１７ ビームスプリッタ
１８，１９，２０ 偏光子
２１ 測定物治具
２２，２３ λ／４波長板
３２ 参照ミラー治具
３３ 移動ステージ
３４ リニアガイド
３５ リニアガイド台
３６ 底板
３７ 電動モータ
３８ ボールねじ
３９ リニアセンサ
Claims (9)
- 【請求項１】 異なる２つの周波数のレーザにより、被
測定物の形状を測定するヘテロダイン干渉計を用いた形
状測定装置において、 異なる２つの周波数のレーザ光を発するレーザ光源と、 該レーザ光源から発せられたレーザ光を参照光と測定光
とに分離し、参照ミラーにより反射された参照光と被測
定物により反射された測定光とを干渉させ、干渉光を生
成する干渉手段と、 前記参照光と前記測定光の光路長差がない基準信号を検
出する基準信号検出手段と、 前記基準信号に対する、前記干渉光の各周波数における
位相を検出する位相検出手段と、 該位相検出手段の検出値から、等価波長の変位を算出す
る変位算出手段と、 該変位算出手段から算出された変位と、前記位相検出手
段の検出値から逆算される各周波数における干渉光の位
相差が０となる位相の値に対応する等価波長の変位とか
ら、前記参照光と前記測定光の光路長差を算出する光路
長差算出手段と、 該光路長差算出手段により算出された光路長差に応じ
て、前記参照光の光路長と前記測定光の光路長の少なく
とも一方の光路長を調整する光路長調整手段と、を具備
することを特徴とするヘテロダイン干渉計を用いた形状
測定装置。 - 【請求項２】 前記光路長差算出手段おける各周波数の
位相差が０となる位相の値は、前記位相検出手段の検出
値と、前記レーザ光の各周波数の値から逆算されること
を特徴とする請求項１項に記載のヘテロダイン干渉計を
用いた形状測定装置。 - 【請求項３】 前記各周波数における干渉光の位相差が
０となる複数の位相の値と、該位相における等価波長の
変位とを、あらかじめ記憶する記憶手段を更に具備する
ことを特徴とする請求項１項に記載のヘテロダイン干渉
計を用いた形状測定装置。 - 【請求項４】 異なる２つの周波数のレーザ光を発する
レーザ光源と、該レーザ光源から発せられたレーザ光を
参照光と測定光とに分離し、参照ミラーにより反射され
た参照光と被測定物により反射された測定光とを干渉さ
せ、干渉光を生成する干渉手段と、前記参照光と前記測
定光の光路長差がない基準信号を検出する基準信号検出
手段と、前記基準信号に対する、前記干渉光の各周波数
における位相を検出する位相検出手段と、該位相検出手
段の検出値から、等価波長の変位を算出する変位算出手
段とを備えるヘテロダイン干渉形を用いた形状測定装置
の光路長調整方法であって、 前記変位算出手段から算出された変位と、前記位相検出
手段の検出値から逆算される各周波数における干渉光の
位相差が０となる位相の値に対応する等価波長の変位と
から、前記参照光と前記測定光の光路長差を算出し、算
出された光路長差に応じて、前記参照光の光路長と前記
測定光の光路長の少なくとも一方の光路長を調整するこ
とを特徴とするヘテロダイン干渉計を用いた形状測定装
置の光路長調整方法。 - 【請求項５】 前記各周波数の位相差が０となる位相の
値は、前記位相検出手段の検出値と、前記レーザ光の各
周波数の値から逆算されることを特徴とする請求項４項
に記載のヘテロダイン干渉計を用いた形状測定装置の光
路長調整方法。 - 【請求項６】 前記各周波数における干渉光の位相差が
０となる複数の位相の値と、該位相における等価波長の
変位とを、あらかじめ記憶しておくことを特徴とする請
求項４項に記載のヘテロダイン干渉計を用いた形状測定
装置の光路長調整方法。 - 【請求項７】 異なる２つの周波数のレーザ光を発する
レーザ光源と、該レーザ光源から発せられたレーザ光を
参照光と測定光とに分離し、参照ミラーにより反射され
た参照光と被測定物により反射された測定光とを干渉さ
せ、干渉光を生成する干渉手段と、前記参照光と前記測
定光の光路長差がない基準信号を検出する基準信号検出
手段と、前記基準信号に対する、前記干渉光の各周波数
における位相を検出する位相検出手段と、該位相検出手
段の検出値から、等価波長の変位を算出する変位算出手
段とを備えるヘテロダイン干渉形を用いた形状測定方法
であって、 前記被測定物に前記レーザ光を走査させることにより、
前記変位算出手段で算出した変位と、前記位相検出手段
の検出値から逆算される各周波における干渉光の位相差
が０となる位相の値に対応する等価波長の変位とに基づ
いて、前記被測定物の形状を測定することを特徴とする
ヘテロダイン干渉計を用いた形状測定方法。 - 【請求項８】 前記各周波数の位相差が０となる位相の
値は、前記位相検出手段の検出値と、前記レーザ光の各
周波数の値から逆算されることを特徴とする請求項７項
に記載のヘテロダイン干渉計を用いた形状測定方法。 - 【請求項９】 前記各周波数における干渉光の位相差が
０となる複数の位相の値と、該位相における等価波長の
変位とを、あらかじめ記憶しておくことを特徴とする請
求項７項に記載のヘテロダイン干渉計を用いた形状測定
方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2002088807A JP2003287403A (ja) | 2002-03-27 | 2002-03-27 | ヘテロダイン干渉計を用いた形状測定装置、ヘテロダイン干渉計を用いた形状測定装置の光路長調整方法、及びヘテロダイン干渉計を用いた形状測定方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2002088807A JP2003287403A (ja) | 2002-03-27 | 2002-03-27 | ヘテロダイン干渉計を用いた形状測定装置、ヘテロダイン干渉計を用いた形状測定装置の光路長調整方法、及びヘテロダイン干渉計を用いた形状測定方法 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JP2003287403A true JP2003287403A (ja) | 2003-10-10 |
Family
ID=29234566
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP2002088807A Withdrawn JP2003287403A (ja) | 2002-03-27 | 2002-03-27 | ヘテロダイン干渉計を用いた形状測定装置、ヘテロダイン干渉計を用いた形状測定装置の光路長調整方法、及びヘテロダイン干渉計を用いた形状測定方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2003287403A (ja) |
Cited By (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2018501477A (ja) * | 2014-12-04 | 2018-01-18 | アプレ インストゥルメンツ， エルエルシーＡｐｒｅ Ｉｎｓｔｒｕｍｅｎｔｓ， Ｌｌｃ | 干渉非接触光プローブおよび測定 |
| KR20180073738A (ko) * | 2016-12-22 | 2018-07-03 | 중앙대학교 산학협력단 | 비팅을 이용한 헤테로다인 방식의 검출 방법 및 장치 |
| CN111442715A (zh) * | 2020-03-02 | 2020-07-24 | 哈尔滨工业大学 | 基于一体式二次分光组件的外差激光干涉仪 |
| CN112424562A (zh) * | 2018-05-18 | 2021-02-26 | 密歇根大学董事会 | 用于频率调制干涉仪的路径波动监测 |
| CN117192560A (zh) * | 2023-08-02 | 2023-12-08 | 哈尔滨工业大学 | 微探头激光调频干涉测距方法及系统 |
-
2002
- 2002-03-27 JP JP2002088807A patent/JP2003287403A/ja not_active Withdrawn
Cited By (9)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2018501477A (ja) * | 2014-12-04 | 2018-01-18 | アプレ インストゥルメンツ， エルエルシーＡｐｒｅ Ｉｎｓｔｒｕｍｅｎｔｓ， Ｌｌｃ | 干渉非接触光プローブおよび測定 |
| KR20180073738A (ko) * | 2016-12-22 | 2018-07-03 | 중앙대학교 산학협력단 | 비팅을 이용한 헤테로다인 방식의 검출 방법 및 장치 |
| KR101885125B1 (ko) * | 2016-12-22 | 2018-08-03 | 중앙대학교 산학협력단 | 비팅을 이용한 헤테로다인 방식의 검출 방법 및 장치 |
| CN112424562A (zh) * | 2018-05-18 | 2021-02-26 | 密歇根大学董事会 | 用于频率调制干涉仪的路径波动监测 |
| US11467031B2 (en) | 2018-05-18 | 2022-10-11 | The Regents Of The University Of Michigan | Path fluctuation monitoring for frequency modulated interferometer |
| CN111442715A (zh) * | 2020-03-02 | 2020-07-24 | 哈尔滨工业大学 | 基于一体式二次分光组件的外差激光干涉仪 |
| CN111442715B (zh) * | 2020-03-02 | 2021-09-07 | 哈尔滨工业大学 | 基于一体式二次分光组件的外差激光干涉仪 |
| CN117192560A (zh) * | 2023-08-02 | 2023-12-08 | 哈尔滨工业大学 | 微探头激光调频干涉测距方法及系统 |
| CN117192560B (zh) * | 2023-08-02 | 2024-04-09 | 哈尔滨工业大学 | 微探头激光调频干涉测距方法及系统 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| US7292347B2 (en) | Dual laser high precision interferometer | |
| JP4250530B2 (ja) | 位相シフト干渉分析の方法及びシステム | |
| KR100322938B1 (ko) | 전자적인 주파수 체배수단을 사용하여 공기의 굴절률을 보상하는 방법 및 수퍼헤테로다인 간섭계 장치 | |
| TWI401414B (zh) | 相移干涉方法及系統 | |
| US8411280B2 (en) | Surface shape measurement apparatus | |
| US20060187465A1 (en) | Interferometry systems and methods | |
| US20050200856A1 (en) | Interferometry systems and methods | |
| JP2009300263A (ja) | ２波長レーザ干渉計および２波長レーザ干渉計の光軸調整方法 | |
| JP2013083581A (ja) | 計測装置 | |
| Wu et al. | A novel design for fiber optic interferometric fringe projection phase-shifting 3-D profilometry | |
| JP2003287403A (ja) | ヘテロダイン干渉計を用いた形状測定装置、ヘテロダイン干渉計を用いた形状測定装置の光路長調整方法、及びヘテロダイン干渉計を用いた形状測定方法 | |
| JP4843789B2 (ja) | レーザスペックルによるナノメートル変位測定方法と装置 | |
| JP2014115228A (ja) | 干渉計測装置、および干渉計測方法 | |
| US20230062525A1 (en) | Heterodyne light source for use in metrology system | |
| JP5704150B2 (ja) | 白色干渉装置及び白色干渉装置の位置及び変位測定方法 | |
| CN113587844B (zh) | 移相干涉测量系统及测量方法 | |
| JP2011164090A (ja) | ヘテロダインレーザー干渉測長器 | |
| JP2012184967A (ja) | 波長走査干渉計 | |
| WO2016084195A1 (ja) | 白色干渉装置及び白色干渉装置による位置及び変位測定方法 | |
| JP4151778B2 (ja) | 溝面形状測定装置および溝面形状測定方法およびプログラム | |
| JP4613310B2 (ja) | 表面形状測定装置 | |
| JP2993836B2 (ja) | コヒーレンス度を利用する干渉計 | |
| US20230069087A1 (en) | Digital holography metrology system | |
| JP2805045B2 (ja) | 空間位置決め方法 | |
| JPS63128211A (ja) | スペ−シング測定方法 |
Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| A300 | Application deemed to be withdrawn because no request for examination was validly filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A300 Effective date: 20050607 |