JP2009064745A - 膜形成方法、光学素子の形成方法、導電膜の形成方法、光学素子及び配線 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】少なくとも1方向に長い塗布領域2eに液滴30を吐出して膜を形成する膜形成方法に係り、塗布領域2eを囲んでバンク2を形成するバンク形成工程と、塗布領域2eに液滴30を吐出する塗布工程と、塗布された液滴30を固化する固化工程と、を有し、塗布領域2eには凸状の流動抑止部3が形成され、塗布工程において流動抑止部3を挟んで液滴30を塗布する。
【選択図】図8
Description
本適用例にかかる膜形成方法は、少なくとも1方向が長い塗布領域に膜材料液を吐出して膜を形成する膜形成方法であって、前記塗布領域を囲んでバンクを形成するバンク形成工程と、前記塗布領域に前記膜材料液を吐出する塗布工程と、塗布された前記膜材料液を固化する固化工程と、を有し、前記塗布領域には凸状の流動抑止部が形成され、前記塗布工程において前記流動抑止部を挟んで前記膜材料液を塗布することを特徴とする。
上記適用例にかかる膜形成方法において、前記流動抑止部は前記塗布領域の長手方向における端に近い場所に形成されていることを特徴とする。
上記適用例にかかる膜形成方法において、前記塗布工程では1つの前記塗布領域において複数回の吐出を行い、前記塗布領域に吐出する液滴の中で最後に吐出する前記液滴は前記流動抑止部に近い場所に吐出されることを特徴とする。
上記適用例にかかる膜形成方法において、吐出された前記膜材料液の1つの液滴が前記塗布領域に広がる液溜りの半径を液溜半径とするとき、前記流動抑止部と前記塗布領域の端との距離は液溜半径の1〜3倍の場所に位置することを特徴とする。
上記適用例にかかる膜形成方法において、前記流動抑止部の一端は前記バンクと接続して配置され、前記流動抑止部の前記バンクと離れている場所は、前記バンクと近い場所に比べて、前記バンクの底面からの高さが低くなるように形成されていることを特徴とする。
上記適用例にかかる膜形成方法において、前記流動抑止部は、前記バンクに近い場所から前記バンクから遠い場所まで、前記底面からの高さが連続して低くなるように形成されていることを特徴とする。
上記適用例にかかる膜形成方法において、前記流動抑止部と前記バンクの側面とが接する場所における前記バンクの側面が接する面の方向に対する前記流動抑止部の長さを前記流動抑止部の幅とするとき、前記流動抑止部の幅は、前記バンクに近い場所から前記バンクから離れるにしたがい連続して小さくなるように形成されていることを特徴とする。
上記適用例にかかる膜形成方法において、前記バンク形成工程において、前記バンクの上面及び側面と前記流動抑止部には前記膜材料液に対する撥液処理を行い、前記バンクの底面には前記膜材料液に対する親液処理を行うことを特徴とする。
上記適用例にかかる膜形成方法において、前記塗布領域の長手方向と略直交する方向に2つの前記流動抑止部が対向して配置されることを特徴とする。
上記適用例にかかる膜形成方法において、前記塗布工程では、前記流動抑止部上に前記膜材料液の一部が載るように塗布することを特徴とする。
上記適用例にかかる膜形成方法において、前記塗布工程では、挟んで塗布された前記膜材料液の一部が前記流動抑止部上に載るように吐出することを特徴とする。
上記適用例にかかる膜形成方法において、前記流動抑止部は前記バンクに囲まれた中に配置され、前記流動抑止部の前記バンクと近い場所は、前記バンクと離れている場所に比べて、前記バンクの底面からの高さが低くなるように形成されていることを特徴とする。
本適用例にかかる光学素子の形成方法は、1対の電極の間に発光膜を有する光学素子の形成方法であって、前記電極を形成する電極形成工程と、前記発光膜を形成する発光膜形成工程と、を有し、上記に記載の膜形成方法を用いて前記発光膜を形成することを特徴とする。
上記適用例にかかる光学素子の形成方法において、前記発光膜には発光する光が放射する窓部を有し、前記窓部は前記流動抑止部と異なる場所に配置されていることを特徴とする。
本適用例にかかる光学素子の形成方法は、通過する光の光路を変える光学素子の形成方法であって、光透過性の基板上に、光透過性膜を凸状又は凹状に形成する膜形成工程を有し、上記に記載の膜形成方法を用いて前記光透過性膜を形成することを特徴とする。
本適用例にかかる光学素子の形成方法は、通過する光の波長分布を変える光学素子の形成方法であって、光透過性の基板上に、色素を含有する膜材料液を用いて光透過性膜を形成する膜形成工程を有し、上記に記載の膜形成方法を用いて前記光透過性膜を形成することを特徴とする。
本適用例にかかる導電膜の形成方法は、基板上に、導電性材料を含有する膜材料液を用いて導電膜を形成する膜形成工程を有し、上記に記載の膜形成方法を用いて前記導電膜を形成することを特徴とする。
本適用例にかかる光学素子は、光学的特性を有し少なくとも1方向が長い光学膜を有する光学素子であって、前記光学膜の周囲に形成されたバンクと、前記光学膜の長手方向における端に近い場所に凸状に形成された流動抑止部と、を有し、前記流動抑止部と前記光学膜とが重ねて配置されていることを特徴とする。
上記適用例にかかる光学素子において、前記流動抑止部の一端は前記バンクと接続して配置され、前記流動抑止部の前記バンクと離れている場所は、前記バンクと近い場所に比べて、前記流動抑止部の厚さが薄くなるように形成されていることを特徴とする。
上記適用例にかかる光学素子において、前記流動抑止部は、前記バンクに近い場所から前記バンクから離れるにしたがい前記流動抑止部の前記厚さが連続して小さくなるように形成されていることを特徴とする。
上記適用例にかかる光学素子において、前記流動抑止部と前記バンクの側面とが接する場所における前記バンクの側面が接する面の方向に対する前記流動抑止部の長さを前記流動抑止部の幅とするとき、前記流動抑止部の幅は、前記バンクに近い場所から前記バンクから離れるにしたがい連続して小さくなるように形成されていることを特徴とする。
上記適用例にかかる光学素子において、前記光学膜は有機ELを含有する材料から形成されていることを特徴とする。
上記適用例にかかる光学素子において、前記光学膜が発光する光の一部を透過する窓部を有し、前記窓部から光が透過する範囲外に前記流動抑止部が配置されていることを特徴とする。
上記適用例にかかる光学素子において、前記光学膜は凸状又は凹状に形成され、前記光学膜を通過する光の光路が変わることを特徴とする。
上記適用例にかかる光学素子において、前記光学膜は色素を含有する光透過性膜であり、前記光学膜を通過する光の波長分布を変えることを特徴とする。
本適用例にかかる配線は、少なくとも1方向に長い導電膜などからなる配線であって、前記導電膜の周囲に形成されたバンクと、前記導電膜の長手方向における端に近い場所に凸状に形成された流動抑止部と、を有し、前記流動抑止部と前記導電膜とが重ねて配置されていることを特徴とする。
上記適用例にかかる配線において、前記流動抑止部の一端は前記バンクと接続して配置され、前記流動抑止部の前記バンクと離れている場所は、前記バンクと近い場所に比べて、前記流動抑止部の厚さが薄くなるように形成されていることを特徴とする。
上記適用例にかかる配線において、前記流動抑止部は、前記バンクに近い場所から前記バンクから離れるにしたがい前記流動抑止部の前記厚さが連続して薄くなるように形成されていることを特徴とする。
上記適用例にかかる配線において、前記流動抑止部と前記バンクの側面とが接する場所における前記バンクの側面が接する面の方向に対する前記流動抑止部の長さを前記流動抑止部の幅とするとき、前記流動抑止部の幅は、前記バンクに近い場所から前記バンクから離れるにしたがい連続して小さくなるように形成されていることを特徴とする。
尚、各図面における各部材は、各図面上で認識可能な程度の大きさとするため、各部材毎に縮尺を異ならせて図示している。
(第1の実施形態)
本実施形態では液滴吐出装置とこの液滴吐出装置を用いて膜を形成する場合の特徴的な例について図1〜図10に従って説明する。
図2は、液滴吐出装置の構成を示す概略斜視図である。液滴吐出装置10により、膜を構成する材料を含む機能液が吐出されて塗布される。図2に示すように、液滴吐出装置10には、直方体形状に形成される基台11が備えられている。本実施形態では、この基台11の長手方向をY方向とし、同Y方向と直交する方向をX方向とする。
次に、上述した液滴吐出装置10を用いて、基板1に機能液を吐出して塗布することにより膜を形成する方法について図5〜図9にて説明する。図5は、基板に液滴を吐出して塗布することにより膜を形成する製造工程を示すフローチャートである。図6〜図9は、膜の形成方法を説明する図である。
図10(a)〜図10(c)は比較例における膜の形成方法を説明する図であり、図10(a)及び図10(b)はステップS5に対応する図である。そして、図10(b)及び図10(c)は図10(a)のD−D’における断面図である。図10(a)及び図10(b)に示すように、塗布領域42を囲んでバンク43が形成され、塗布領域42に機能液27が吐出されて塗布されている。バンク43には流動抑止部3が形成されていないので、機能液27は塗布領域42内を移動し易くなっている。そして、バンク上面43aとバンク内側側面43bは機能液27に対する撥液処理がされており、バンク底面43cは機能液27に対する親液処理がされている。機能液27には表面張力が働くことにより一方に偏ることがある。このとき、例えば、右側の端部43dでは、機能液27が充填されない状態になる。
(1)本実施形態によれば、バンク2内に流動抑止部3が形成される。そして、流動抑止部3を挟んで機能液27が塗布される。このとき、流動抑止部3を挟んでいる機能液27は流動抑止部3により流動し難くなっている。従って、流動抑止部3を挟んでいる機能液27を移動させる力が加わるときにも、機能液27が移動せずに膜4を形成することができる。その結果、吐出する順序に影響されずに機能液27を塗布する場所に膜4を形成することができる。
できる。
次に、膜を形成する方法の一実施形態について図11(a)〜図11(j)の塗布領域の要部模式平面図を用いて説明する。この実施形態が第1の実施形態と異なるところは、流動抑止部3の位置が異なる点にある。尚、第1の実施形態と同じ点については説明を省略する。
(1)本実施形態によれば、抑止部距離46を液溜半径30dの1倍から3倍の間にすることにより、バンク端部2aまで膜4を形成することができる。
次に、第1の実施形態及び第2の実施形態の膜形成方法を応用して有機EL装置を製造する一実施形態について図12を用いて説明する。尚、第1の実施形態及び第2の実施形態と同様の部分は説明を省略する。
(1)本実施形態によれば、機能層63が第1の実施形態及び第2の実施形態における膜形成方法を用いて形成されるので、機能層63がバンク59に囲まれた領域総てに形成することができる。
次に、第1の実施形態及び第2の実施形態の膜形成方法を用いて光学レンズを製造する一実施形態について図15を用いて説明する。図15(a)〜図15(c)は、柱状凸レンズの製造方法を説明する図であり、図15(d)及び図15(e)は、柱状凹レンズの製造方法を説明する図である。図15(a)はバンク模式平面図であり、図15(b)〜図15(e)は、図15(a)のE−E’における模式断面図である。尚、第1の実施形態及び第2の実施形態と同様の部分は説明を省略する。
(1)本実施形態によれば、凸状又は凹状の光透過性膜を形成することにより光学レンズの機能を有する膜を形成することができる。このとき、光透過性膜が第1の実施形態及び第2の実施形態における膜の形成方法を用いて形成されるので、凸レンズ71及び凹レンズ72がバンク68に囲まれた領域総てに形成することができる。
次に、第1の実施形態及び第2の実施形態の膜形成方法を用いてカラーフィルタを製造する一実施形態について図16を用いて説明する。図16は、カラーフィルタの製造方法を説明する図である。尚、第1の実施形態及び第2の実施形態と同様の部分は説明を省略する。
(1)本実施形態によれば、着色層78が第1の実施形態及び第2の実施形態における膜の形成方法を用いて形成されるので、流動抑止部77bがバンク77に囲まれた領域総てに形成することができる。
次に、第1の実施形態及び第2の実施形態の膜形成方法を用いて金属配線を製造する一実施形態について図17を用いて説明する。図17は、金属配線の製造方法を説明する図である。尚、第1の実施形態及び第2の実施形態と同様の部分は説明を省略する。
(1)本実施形態によれば、配線83が、第1の実施形態及び第2の実施形態における膜の形成方法を用いて形成されるので、配線83がバンク82に囲まれた領域総てに形成することができる。
(変形例1)
前記第1の実施形態において、バンク2は基板1上に凸状に配置したが、図18に示すように基板1上に膜85を形成し、膜85の一部を凹状に形成してバンク86としても良い。そして、バンク86の内側に機能液27を吐出して塗布した後、固化することにより膜4を形成しても良い。膜85を平坦化膜又は絶縁膜などの機能膜として用いることができる。尚、前記第2の実施形態〜第6の実施形態においても同様に膜85の一部を凹状に形成したバンク86を用いても良い。
前記第1の実施形態において、2つの略円錐形を半分にした形状をした流動抑止部3が対向する場所に配置されたが、他の形態でも良い。例えば、図19(a)では、バンク88のバンク端部88aの近くには1つの流動抑止部88bが形成されている。この流動抑止部88bは略円錐形を半分にした形状に形成され、その先端は対向する場所の側面88cの近くまで形成されている。
前記第1の実施形態において、基板1はシートのように柔軟性のあるものでも良い。この場合においても同様の方法を用いることにより、同様の効果を得ることができる。
前記第1の実施形態において、フッ素系化合物が過多の条件でプラズマ処理することにより撥液性のあるバンク2及び流動抑止部3を形成したが、他の方法を用いても良い。例えば、撥液性のある溶液を塗布して固化することにより撥液性のある膜を形成しても良い。他にも、フッ素系化合物を含んだ材料を用いてバンク2を形成しても良い。いずれの方法においても撥液性のあるバンク2及び流動抑止部3を形成することができる。
前記第3の実施形態において、機能層63は正孔輸送層61と発光層62R,62G,62Bとにより形成されたが、他の構成でも良い。例えば、機能層63は正孔輸送層、発光層、電子注入層の組合せでも良い。又、機能層63は正孔注入層、正孔輸送層、発光層、電子注入層の組合せでも良い。材料の構成に合わせて各層の構成を変えても良い。この場合においても各層の材料を塗布するとき、前記第3の実施形態と同様の方法を用いることにより、同様の効果を得ることができる。
Claims (29)
- 少なくとも1方向が長い塗布領域に膜材料液を吐出して膜を形成する膜形成方法であって、
前記塗布領域を囲んでバンクを形成するバンク形成工程と、
前記塗布領域に前記膜材料液を吐出する塗布工程と、
塗布された前記膜材料液を固化する固化工程と、を有し、
前記塗布領域には凸状の流動抑止部が形成され、
前記塗布工程において前記流動抑止部を挟んで前記膜材料液を塗布することを特徴とする膜形成方法。 - 請求項1に記載の膜形成方法であって、
前記流動抑止部は前記塗布領域の長手方向における端に近い場所に形成されていることを特徴とする膜形成方法。 - 請求項2に記載の膜形成方法であって、
前記塗布工程では1つの前記塗布領域において複数回の吐出を行い、
前記塗布領域に吐出する液滴の中で最後に吐出する前記液滴は前記流動抑止部に近い場所に吐出されることを特徴とする膜形成方法。 - 請求項2に記載の膜形成方法であって、
吐出された前記膜材料液の1つの液滴が前記塗布領域に広がる液溜りの半径を液溜半径とするとき、
前記流動抑止部と前記塗布領域の端との距離は液溜半径の1〜3倍の場所に位置することを特徴とする膜形成方法。 - 請求項2に記載の膜形成方法であって、
前記流動抑止部の一端は前記バンクと接続して配置され、
前記流動抑止部の前記バンクと離れている場所は、前記バンクと近い場所に比べて、前記バンクの底面からの高さが低くなるように形成されていることを特徴とする膜形成方法。 - 請求項5に記載の膜形成方法であって、
前記流動抑止部は、前記バンクに近い場所から前記バンクから遠い場所まで、前記底面からの高さが連続して低くなるように形成されていることを特徴とする膜形成方法。 - 請求項5に記載の膜形成方法であって、
前記流動抑止部と前記バンクの側面とが接する場所における前記バンクの側面が接する面の方向に対する前記流動抑止部の長さを前記流動抑止部の幅とするとき、
前記流動抑止部の幅は、前記バンクに近い場所から前記バンクから離れるにしたがい連続して小さくなるように形成されていることを特徴とする膜形成方法。 - 請求項1に記載の膜形成方法であって、
前記バンク形成工程において、前記バンクの上面及び側面と前記流動抑止部には前記膜材料液に対する撥液処理を行い、前記バンクの底面には前記膜材料液に対する親液処理を行うことを特徴とする膜形成方法。 - 請求項5に記載の膜形成方法であって、
前記塗布領域の長手方向と略直交する方向に2つの前記流動抑止部が対向して配置されることを特徴とする膜形成方法。 - 請求項1に記載の膜形成方法であって、
前記塗布工程では、前記流動抑止部上に前記膜材料液の一部が載るように塗布することを特徴とする膜形成方法。 - 請求項10に記載の膜形成方法であって、
前記塗布工程では、挟んで塗布された前記膜材料液の一部が前記流動抑止部上に載るように吐出することを特徴とする膜形成方法。 - 請求項2に記載の膜形成方法であって、
前記流動抑止部は前記バンクに囲まれた中に配置され、
前記流動抑止部の前記バンクと近い場所は、前記バンクと離れている場所に比べて、前記バンクの底面からの高さが低くなるように形成されていることを特徴とする膜形成方法。 - 1対の電極の間に発光膜を有する光学素子の形成方法であって、
前記電極を形成する電極形成工程と、
前記発光膜を形成する発光膜形成工程と、を有し、
請求項1〜12のいずれか一項に記載の膜形成方法を用いて前記発光膜を形成することを特徴とする光学素子の形成方法。 - 請求項13に記載の光学素子の形成方法であって、
前記発光膜には発光する光が放射する窓部を有し、
前記窓部は前記流動抑止部と異なる場所に配置されていることを特徴とする光学素子の形成方法。 - 通過する光の光路を変える光学素子の形成方法であって、
光透過性の基板上に、光透過性膜を凸状又は凹状に形成する膜形成工程を有し、
請求項1〜12のいずれか一項に記載の膜形成方法を用いて前記光透過性膜を形成することを特徴とする光学素子の形成方法。 - 通過する光の波長分布を変える光学素子の形成方法であって、
光透過性の基板上に、色素を含有する膜材料液を用いて光透過性膜を形成する膜形成工程を有し、
請求項1〜12のいずれか一項に記載の膜形成方法を用いて前記光透過性膜を形成することを特徴とする光学素子の形成方法。 - 基板上に、導電性材料を含有する膜材料液を用いて導電膜を形成する膜形成工程を有し、
請求項1〜12のいずれか一項に記載の膜形成方法を用いて前記導電膜を形成することを特徴とする導電膜の形成方法。 - 光学的特性を有し少なくとも1方向が長い光学膜を有する光学素子であって、
前記光学膜の周囲に形成されたバンクと、
前記光学膜の長手方向における端に近い場所に凸状に形成された流動抑止部と、を有し、
前記流動抑止部と前記光学膜とが重ねて配置されていることを特徴とする光学素子。 - 請求項18に記載の光学素子であって、
前記流動抑止部の一端は前記バンクと接続して配置され、
前記流動抑止部の前記バンクと離れている場所は、前記バンクと近い場所に比べて、前記流動抑止部の厚さが薄くなるように形成されていることを特徴とする光学素子。 - 請求項19に記載の光学素子であって、
前記流動抑止部は、前記バンクに近い場所から前記バンクから離れるにしたがい前記流動抑止部の前記厚さが連続して小さくなるように形成されていることを特徴とする光学素子。 - 請求項19に記載の光学素子であって、
前記流動抑止部と前記バンクの側面とが接する場所における前記バンクの側面が接する面の方向に対する前記流動抑止部の長さを前記流動抑止部の幅とするとき、
前記流動抑止部の幅は、前記バンクに近い場所から前記バンクから離れるにしたがい連続して小さくなるように形成されていることを特徴とする光学素子。 - 請求項18〜21のいずれか一項に記載の光学素子であって、
前記光学膜は有機ELを含有する材料から形成されていることを特徴とする光学素子。 - 請求項22に記載の光学素子であって、
前記光学膜が発光する光の一部を透過する窓部を有し、
前記窓部から光が透過する範囲外に前記流動抑止部が配置されていることを特徴とする光学素子。 - 請求項18〜21のいずれか一項に記載の光学素子であって、
前記光学膜は凸状又は凹状に形成され、前記光学膜を通過する光の光路が変わることを特徴とする光学素子。 - 請求項18〜21のいずれか一項に記載の光学素子であって、
前記光学膜は色素を含有する光透過性膜であり、前記光学膜を通過する光の波長分布を変えることを特徴とする光学素子。 - 少なくとも1方向に長い導電膜などからなる配線であって、
前記導電膜の周囲に形成されたバンクと、
前記導電膜の長手方向における端に近い場所に凸状に形成された流動抑止部と、を有し、
前記流動抑止部と前記導電膜とが重ねて配置されていることを特徴とする配線。 - 請求項26に記載の配線であって、
前記流動抑止部の一端は前記バンクと接続して配置され、
前記流動抑止部の前記バンクと離れている場所は、前記バンクと近い場所に比べて、前記流動抑止部の厚さが薄くなるように形成されていることを特徴とする配線。 - 請求項27に記載の配線であって、
前記流動抑止部は、前記バンクに近い場所から前記バンクから離れるにしたがい前記流動抑止部の前記厚さが連続して薄くなるように形成されていることを特徴とする配線。 - 請求項27に記載の配線であって、
前記流動抑止部と前記バンクの側面とが接する場所における前記バンクの側面が接する面の方向に対する前記流動抑止部の長さを前記流動抑止部の幅とするとき、
前記流動抑止部の幅は、前記バンクに近い場所から前記バンクから離れるにしたがい連続して小さくなるように形成されていることを特徴とする配線。
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