JP2009062848A - モータ一体型の磁気軸受装置 - Google Patents
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Abstract
【課題】スラスト荷重に対する転がり軸受の長期耐久性を向上させることができ、コンパクト化,高速回転化に対応でき、かつアキシアル磁気軸受の負荷容量を軽減し、電流あるいは容積を小さくできるモータ一体型の磁気軸受装置を提供する。
【解決手段】このモータ一体型の磁気軸受装置は、転がり軸受15,16と磁気軸受を併用し、転がり軸受15,16がラジアル負荷を支持し、磁気軸受がアキシアル負荷と軸受予圧のどちらか一方または両方を支持する。同一の主軸13に対してモータ28を配し、前記主軸13の両端にコンプレッサ6およびタービン7の各翼車6a,7aを取付ける。前記コンプレッサ6およびタービン7の翼車6a,7aの前面と背面の圧力差の差分を補償する手段として、前記いずれかの翼車6の背面に、この翼車の背面よりも大径の円盤状の板を設けて背圧の作用する面積を大きくする。
【選択図】図1
【解決手段】このモータ一体型の磁気軸受装置は、転がり軸受15,16と磁気軸受を併用し、転がり軸受15,16がラジアル負荷を支持し、磁気軸受がアキシアル負荷と軸受予圧のどちらか一方または両方を支持する。同一の主軸13に対してモータ28を配し、前記主軸13の両端にコンプレッサ6およびタービン7の各翼車6a,7aを取付ける。前記コンプレッサ6およびタービン7の翼車6a,7aの前面と背面の圧力差の差分を補償する手段として、前記いずれかの翼車6の背面に、この翼車の背面よりも大径の円盤状の板を設けて背圧の作用する面積を大きくする。
【選択図】図1
Description
この発明は、空気サイクル冷凍冷却用タービンユニット等に用いられる磁気軸受装置に関し、特に、転がり軸受と磁気軸受を併用し、磁気軸受がアキシアル負荷と軸受予圧のどちらか一方または両方を支持するようにしたモータ一体型の磁気軸受装置に関する。
空気サイクル冷凍冷却システムは、冷媒として空気を用いるため、フロンやアンモニアガス等を用いる場合に比べてエネルギー効率が不足するが、環境保護の面では好ましい。また、冷凍倉庫等のように、冷媒空気を直接に吹き込むことができる施設では、庫内ファンやデフロストの省略等によってトータルコストを引下げられる可能性があり、このような用途で空気サイクル冷凍冷却システムが提案されている(例えば特許文献1)。
また、−30℃〜−60℃のディープ・コール領域では、空気冷却の理論効率は、フロンやアンモニアガスと同等以上になることが知られている。ただし、上記空気冷却の理論効率を得ることは、最適に設計された周辺装置があって、始めて成り立つとも述べられている。周辺装置は、圧縮機や膨張タービン等である。
圧縮機,膨張タービンとしては、コンプレッサ翼車および膨張タービン翼車を共通の主軸に取付けたタービンユニットが用いられている(特許文献1)。
圧縮機,膨張タービンとしては、コンプレッサ翼車および膨張タービン翼車を共通の主軸に取付けたタービンユニットが用いられている(特許文献1)。
なお、プロセスガスを処理するタービン・コンプレッサとしては、主軸の一端にタービン翼車、他端にコンプレッサ翼車を取付け、前記主軸を電磁石の電流で制御するジャーナルおよびスラスト軸受で支承した磁気軸受式タービン・コンプレッサが提案されている(特許文献2)。
また、ガスタービンエンジンにおける提案ではあるが、主軸支持用の転がり軸受に作用するスラスト荷重が軸受寿命の短縮を招くことを回避するため、転がり軸受に作用するスラスト荷重をスラスト磁気軸受により低減することが提案されている(特許文献3)。
特許第2623202号公報
特開平7−91760号公報
特開平8−261237公報
また、ガスタービンエンジンにおける提案ではあるが、主軸支持用の転がり軸受に作用するスラスト荷重が軸受寿命の短縮を招くことを回避するため、転がり軸受に作用するスラスト荷重をスラスト磁気軸受により低減することが提案されている(特許文献3)。
上記のように、空気サイクル冷凍冷却システムとして、ディープ・コール領域で高効率となる空気冷却の理論効率を得るためには、最適に設計された圧縮機や膨張タービンが必要となる。
圧縮機,膨張タービンとしては、上記のようにコンプレッサ翼車および膨張タービン翼車を共通の主軸に取付けたタービンユニットが用いられている。このタービンユニットは、膨張タービンの生じる動力によりコンプレッサ翼車を駆動できることで空気サイクル冷凍機の効率を向上させている。
圧縮機,膨張タービンとしては、上記のようにコンプレッサ翼車および膨張タービン翼車を共通の主軸に取付けたタービンユニットが用いられている。このタービンユニットは、膨張タービンの生じる動力によりコンプレッサ翼車を駆動できることで空気サイクル冷凍機の効率を向上させている。
しかし、実用的な効率を得るためには、各翼車とハウジングとの隙間を微小に保つ必要がある。この隙間の変動は、安定した高速回転の妨げとなり効率の低下を招く。
また、コンプレッサ翼車やタービン翼車に作用する空気により、主軸にスラスト力が作用し、主軸を支持する軸受にスラスト荷重が負荷される。空気サイクル冷凍冷却システムにおけるタービンユニットの主軸の回転速度は、1分間に8万〜10万回転であり、一般的な用途の軸受に比べて非常に高速となる。そのため、上記のようなスラスト荷重は、主軸を支持する軸受の長期耐久性の低下、寿命低下を招き、空気サイクル冷凍冷却用タービンユニットの信頼性を低下させる。このような軸受の長期耐久性の課題を解消しなくては、空気サイクル冷凍冷却用タービンユニットの実用化が難しい。しかし、上記特許文献1に開示の技術は、この高速回転下におけるスラスト荷重の負荷に対する軸受の長期耐久性の低下については解決されるに至っていない。
また、コンプレッサ翼車やタービン翼車に作用する空気により、主軸にスラスト力が作用し、主軸を支持する軸受にスラスト荷重が負荷される。空気サイクル冷凍冷却システムにおけるタービンユニットの主軸の回転速度は、1分間に8万〜10万回転であり、一般的な用途の軸受に比べて非常に高速となる。そのため、上記のようなスラスト荷重は、主軸を支持する軸受の長期耐久性の低下、寿命低下を招き、空気サイクル冷凍冷却用タービンユニットの信頼性を低下させる。このような軸受の長期耐久性の課題を解消しなくては、空気サイクル冷凍冷却用タービンユニットの実用化が難しい。しかし、上記特許文献1に開示の技術は、この高速回転下におけるスラスト荷重の負荷に対する軸受の長期耐久性の低下については解決されるに至っていない。
特許文献2の磁気軸受式タービン・コンプレッサのように、主軸を磁気軸受からなるジャーナル軸受およびスラスト軸受で支承したものでは、ジャーナル軸受にアキシアル方向の規制機能がない。そのため、スラスト軸受の制御の不安定要因等があると、上記翼車とディフューザ間の微小隙間を保って安定した高速回転を行うことが難しい。磁気軸受の場合は、電源停止時における接触の問題もある。
そこで、本発明者等は、上記課題を解決するものとして、図6に示すようなモータ一体型の磁気軸受装置を開発した。このモータ一体型の磁気軸受装置は、主軸53の両端にコンプレッサ46のコンプレッサ翼車46aおよび膨張タービン47のタービン翼車47aを取付けた空気サイクル冷凍冷却用タービンユニットにおいて、主軸53のラジアル負荷を転がり軸受55,56で、アキシアル負荷を電磁石57でそれぞれ支持すると共に、主軸53に同軸に設けたモータ68による駆動力とタービン翼車47aの駆動力でコンプレッサ翼車46aを回転駆動するようにしたものである。アキシアル負荷を支持する電磁石57は、主軸53に垂直かつ同軸に設けられたスラスト板53a,53bに非接触で対向するように配置され、アキシアル方向の力を検出するセンサ58の出力に応じて磁気軸受用コントローラ59で制御される。モータ68はアキシアルギャップ型のものであって、主軸53に垂直かつ同軸に設けた前記スラスト板53a,53bにモータロータ68aを形成すると共に、このモータロータ68aと軸方向に対向するようにモータステータ68bを配置して構成される。モータロータ68aは、前記スラスト板53a,53bと、これらスラスト板53a,53bに周方向に等ピッチで設けられた複数個の永久磁石68aaとで構成される。モータステータ68bは、高分子材料からなるケース内にモータコイル68baを収容して構成される。
上記構成のモータ一体型の磁気軸受装置によると、主軸53にかかるスラスト力を電磁石57で支持するため、非接触でトルクの増大を抑えながら、転がり軸受55,56に作用するスラスト力を軽減することができる。その結果、各翼車46a,47aとハウジング46b,47bとの微小隙間を一定に保つことができ、スラスト荷重の負荷に対する転がり軸受55,56の長期耐久性を向上させることができる。また、磁気軸受である電磁石57とモータロータ68aの一体化により、コンパクトな構成とできる。
しかし、上記構成のモータ一体型の磁気軸受装置において、両翼車46a,47aの前面と背面の圧力差の差分が大きく、過大なスラスト力が発生する場合には、アキシアル磁気軸受である電磁石57の負荷容量および容積が大きくなるという問題がある。
この発明の目的は、スラスト荷重に対する転がり軸受の長期耐久性を向上させることができ、コンパクト化,高速回転化に対応でき、かつアキシアル磁気軸受の負荷容量を軽減し、電流あるいは容積を小さくできるモータ一体型の磁気軸受装置を提供することである。
この発明のモータ一体型の磁気軸受装置は、転がり軸受と磁気軸受を併用し、転がり軸受がラジアル負荷を支持し、磁気軸受がアキシアル負荷と軸受予圧のどちらか一方または両方を支持し、前記磁気軸受を構成する電磁石は主軸に設けられた強磁性体からなるフランジ状のスラスト板に非接触で対向するように、スピンドルハウジングに取付けられており、同一の主軸に対してモータを配し、前記主軸の両端にコンプレッサおよびタービンの各翼車が取付けられるモータ一体型の磁気軸受装置であって、前記コンプレッサおよびタービンの翼車の前面と背面の圧力差の差分を補償する手段として、前記いずれかの翼車の背面に、この翼車の背面よりも大径の円盤状の板を設けて背圧の作用する面積を大きくしたことを特徴とする。
この構成によると、転がり軸受と磁気軸受を併用し、転がり軸受がラジアル負荷を支持し、磁気軸受がアキシアル負荷と軸受予圧のどちらか一方または両方を支持するものであるため、アキシアル方向の精度の良い支持が行え、また転がり軸受の長期耐久性を確保でき、磁気軸受のみの支持の場合における電源停止時の損傷も回避される。
また、コンプレッサおよびタービンの翼車の前面と背面の圧力差の差分を補償する手段として、前記いずれかの翼車の背面に、この翼車の背面よりも大径の円盤状の板を設けて背圧の作用する面積を大きくしたため、コンプレッサ翼車の前面と背面の間の圧力差と、タービン翼車前面と背面の間の圧力差の差分を小さくすることができる。これにより、これら両翼車の前面と背面の圧力差の差分に起因して過大なアキシアル力が主軸に負荷されるのを回避できる。その結果、アキシアル磁気軸受を構成する前記電磁石の負荷容量および容積を小さくできる。
また、コンプレッサおよびタービンの翼車の前面と背面の圧力差の差分を補償する手段として、前記いずれかの翼車の背面に、この翼車の背面よりも大径の円盤状の板を設けて背圧の作用する面積を大きくしたため、コンプレッサ翼車の前面と背面の間の圧力差と、タービン翼車前面と背面の間の圧力差の差分を小さくすることができる。これにより、これら両翼車の前面と背面の圧力差の差分に起因して過大なアキシアル力が主軸に負荷されるのを回避できる。その結果、アキシアル磁気軸受を構成する前記電磁石の負荷容量および容積を小さくできる。
この発明において、前記円盤状の板が、前記翼車と一体であっても良い。この構成の場合、前記翼車へ円盤状の板を固定する固定が要らないので、組立作業が容易となる。
この発明において、前記円盤状の板が、前記翼車と別体に設けられて、ボルト締結、締り嵌め、または接着等の固定手段により翼車に固定されていても良い。この構成の場合、例えば既存の翼車に対して円盤状の板を付加した構成を容易に実現できるので、翼車を汎用品として扱うことができる。
この発明において、前記円盤状の板が設けられた翼車の背面内径部と外径のスクロール内部とをつなぐ通気孔を形成しても良い。この構成の場合、前記円盤状の板の径の設計だけによらず、例えば前記通気孔の孔径を所定値に設定することによっても、前記両翼車の前面と背面の圧力差の差分を小さくすることができる。
この発明において、前記通気孔に調節弁を設け、前記翼車の背面に圧力センサを設け、この圧力センサの検出する圧力に応じて前記調節弁の開度を変える手段を設けても良い。この構成の場合、前記両翼車の前面と背面の圧力差の差分が最小になるように、前記調節弁の開度を自動的に変更できる。
この発明において、前記モータ一体型の磁気軸受装置を備えた圧縮膨張タービンシステムが、流入空気に対して、タービンユニットのコンプレッサによる圧縮、熱交換器による圧縮、他の熱交換器による冷却、前記タービンユニットの膨張タービンによる断熱膨張、もしくは予圧縮手段による冷却、前記タービンユニットのコンプレッサによる圧縮、他の熱交換器による冷却、前記タービンユニットの膨張タービンによる断熱膨張を順次行う空気サイクル冷凍冷却システムに適用されるものであっても良い。
このモータ一体型の磁気軸受装置を備えた圧縮膨張タービンシステムを、このような空気サイクル冷凍冷却システムに適用した場合、圧縮膨張タービンシステムにおいて、各翼車の適切な隙間を保って主軸の安定した高速回転が得られ、かつ軸受の長期耐久性の向上、寿命の向上が得られることから、圧縮膨張タービンシステムの全体として、しいては空気サイクル冷凍冷却システムの全体としても信頼性が向上する。また、空気サイクル冷凍冷却システムのネックとなっている圧縮膨張タービンシステムの主軸軸受の安定した高速回転、長期耐久性、信頼性が向上することから、空気サイクル冷凍冷却システムの実用化が可能となる。
このモータ一体型の磁気軸受装置を備えた圧縮膨張タービンシステムを、このような空気サイクル冷凍冷却システムに適用した場合、圧縮膨張タービンシステムにおいて、各翼車の適切な隙間を保って主軸の安定した高速回転が得られ、かつ軸受の長期耐久性の向上、寿命の向上が得られることから、圧縮膨張タービンシステムの全体として、しいては空気サイクル冷凍冷却システムの全体としても信頼性が向上する。また、空気サイクル冷凍冷却システムのネックとなっている圧縮膨張タービンシステムの主軸軸受の安定した高速回転、長期耐久性、信頼性が向上することから、空気サイクル冷凍冷却システムの実用化が可能となる。
この発明のモータ一体型の磁気軸受装置は、転がり軸受と磁気軸受を併用し、転がり軸受がラジアル負荷を支持し、磁気軸受がアキシアル負荷と軸受予圧のどちらか一方または両方を支持し、前記磁気軸受を構成する電磁石は主軸に設けられた強磁性体からなるフランジ状のスラスト板に非接触で対向するように、スピンドルハウジングに取付けられており、同一の主軸に対してモータを配し、前記主軸の両端にコンプレッサおよびタービンの各翼車が取付けられるモータ一体型の磁気軸受装置であって、前記コンプレッサおよびタービンの翼車の前面と背面の圧力差の差分を補償する手段として、前記いずれかの翼車の背面に、この翼車の背面よりも大径の円盤状の板を設けて背圧の作用する面積を大きくしたため、スラスト荷重に対する転がり軸受の長期耐久性を向上させることができ、コンパクト化,高速回転化に対応でき、かつアキシアル磁気軸受の負荷容量を軽減し、電流あるいは容積を小さくすることができる。
この発明の一実施形態を図1ないし図4と共に説明する。図1は、この実施形態のモータ一体型の磁気軸受装置を組み込んだタービンユニット5の断面図を示す。このタービンユニット5は圧縮膨張タービンシステムを構成するものであり、コンプレッサ6および膨張タービン7を有し、コンプレッサ6のコンプレッサ翼車6aおよび膨張タービン7のタービン翼車7aが主軸13の両端にそれぞれ嵌合して固定されている。主軸13の材料には、磁気特性の良好な低炭素鋼が使用される。
図1において、コンプレッサ6は、コンプレッサ翼車6aと隙間d1を介して対向するコンプレッサハウジング6bを有し、中心部の吸込口6cから軸方向に吸入した空気を、コンプレッサ翼車6aで圧縮し、外周部の出口(図示せず)から矢印6dで示すように排出する。
膨張タービン7は、タービン翼車7aと微小の隙間d2を介して対向するタービンハウジング7bを有し、外周部のノズル12から矢印7cで示すように吸い込んだ空気を、タービン翼車7aで断熱膨張させ、中心部の排出口7dから軸方向に排出する。
膨張タービン7は、タービン翼車7aと微小の隙間d2を介して対向するタービンハウジング7bを有し、外周部のノズル12から矢印7cで示すように吸い込んだ空気を、タービン翼車7aで断熱膨張させ、中心部の排出口7dから軸方向に排出する。
この実施形態では、タービン翼車7aに比べて、コンプレッサ翼車6aの外径が大きいものとされている。このままでは、コンプレッサ翼車6aの前面(吸込口6cに向く面)と背面(タービン翼車7aに向く面)の間の圧力差と、タービン翼車7aの前面(排出口7dに向く面)と背面(コンプレッサ翼車6aに向く面)の間の圧力差の差分が大きくなる。すなわち、コンプレッサ翼車6aでの圧力差の方が大きくなる。そこで、この圧力差の差分を補償する、つまり差分を小さくする手段として、コンプレッサ翼車6aの部分拡大図を示す図2(A)のように、タービン翼車7aの背面に、このターンビン翼車7aの背面よりも大径の円盤状の板22を設けて、背圧の作用する面積を大きくしている。円盤状の板22はタービン翼車7aと別体に設けられて、ボルト締結、締り嵌め、または接着等の固定手段によりタービン翼車7aに固定されている。これにより、例えば既存のタービン翼車7aに対して円盤状の板22を付加した構成を容易に実現できるので、タービン翼車7aを汎用品として扱うことができる。このほか、円盤状の板22は、タービン翼車7aと一体に形成しても良い。この場合、タービン翼車7aへ円盤状の板22を固定する工程が要らないので、組立作業が容易となる。
また、図2(A)では図示を省略しているが、2(B)のように、前記円盤状の板22が設けられたタービン翼車7aの背面内径部と外径のスクロール内部との間には、これらの間をつなぐ通気孔23が形成されている。この通気孔23には調節弁25が設けられ、タービン翼車7aの背面には、その背圧を検出する圧力センサ24が設けられている。さらに、タービン翼車7aには、前記圧力センサ24の検出する圧力に応じて前記調節弁25の開度を変える調節弁開度変更手段20が設けられている。調節弁開度変更手段20は電子回路等からなる。
このタービンユニット5におけるモータ一体型の磁気軸受装置は、主軸13をラジアル方向に対し複数の転がり軸受15,16で支持し、主軸13にかかるアキシアル負荷と軸受予圧のどちらか一方または両方を、それぞれ磁気軸受となる電磁石17により支持すると共に、主軸13を回転駆動するアキシアルギャップ型のモータ28を設けたものである。このタービンユニット5は、主軸13に作用するスラスト力を検出する力検出センサユニット18と、この力検出センサユニット18の出力に応じて前記電磁石17による支持力を制御する磁気軸受用コントローラ19と、電磁石17とは独立に前記モータ28を制御するモータ用コントローラ29とを有している。
主軸13の軸方向中間部には、強磁性体からなるフランジ状の2つのスラスト板13a,13bが、軸方向に並んで主軸13に垂直かつ同軸に設けられている。磁気軸受である電磁石17は、前記2枚のスラスト板13a,13bのうち、膨張タービン7寄りに位置するスラスト板13bの膨張タービン7側に向く片面を磁石ターゲットとして、この片面に非接触で対向するようにスピンドルハウジング14に設置されている。
モータ28は、主軸13に設けられたモータロータ28aと、このモータロータ28aに対し軸方向に対向するモータステータ28bとでなる。具体的には、モータ28の一部品を構成するモータロータ28aは、主軸13における前記各スラスト板13a,13bの内向きの各片面に、円周方向に等ピッチで並ぶ永久磁石28aaを配置することで左右一対のものが構成される。このように軸方向に対向配置される永久磁石28aaは、その磁極が互いに異極となるように設定される。主軸13には磁気特性の良好な低炭素鋼を使用しているので、主軸13と一体構造となるように設けられる前記各スラスト板13a,13bを、永久磁石28aaのバックヨークおよび磁石ターゲットに兼用できる。
モータ28の他の部品であるモータステータ28bは、前記左右一対のモータロータ28aに挟まれる軸方向中央の位置において、これら両モータロータ28aの各面に非接触で対向するようにコアの無い状態で配置したモータコイル28baを、主軸13と同心のリング状隔壁22で被覆保持して構成され、その隔壁22を介してスピンドルハウジング14に設置される。
このモータ28は、前記モータロータ28aとモータステータ28b間に作用するローレンツ力により、主軸13を回転させる。このように、このアキシアルギャップ型のモータ28はコアレスモータとされていることから、モータロータ28aとモータステータ28b間の磁気カップリングによる負の剛性はゼロとなっている。
主軸13を支持する軸受15,16は転がり軸受であって、アキシアル方向位置の規制機能を有するものであり、例えば深溝玉軸受やアンギュラ玉軸受が用いられる。深溝玉軸受の場合、両方向のスラスト支持機能を有し、内外輪のアキシアル方向位置を中立位置に戻す作用を持つ。これら2個の転がり軸受15,16は、それぞれスピンドルハウジング14におけるコンプレッサ翼車6aおよびタービン翼車7aの近傍に配置されている。
主軸13は、中間部の大径部13cと、両端部の小径部13dとを有する段付き軸とされている。両側の軸受15,16は、その内輪15a,16aが小径部13dに圧入状態に嵌合し、片方の幅面が大径部13cと小径部13d間の段差面に係合する。
前記力検出センサユニット18は、タービン翼車7a側の転がり軸受16における静止側に設けられている。この力検出センサユニット18は、転がり軸受16の外輪16bの両端面を挟み込んだ一対のリング状のセンサターゲット41,42と、これら各センサターゲット41,42を支持する一対のリング状の板ばね43,44と、センサターゲット41,42における軸受対面側の各片面に対向するようにスピンドルハウジング14における軸受ハウジング14bに設けられたギャップセンサ45とからなる。スピンドルハウジング14は、転がり軸受16の周囲に位置して転がり軸受16の外輪16bを支持する前記軸受ハウジング14bと、この軸受ハウジング14bに結合されたスピンドルハウジング本体14aとでなる。ギャップセンサ45は、センサターゲット41,42に対するギャップを検出するセンサである。転がり軸受16の外輪16bは、軸受ハウジング14bの内径面に軸方向に移動自在に支持される。
このように構成された力検出センサユニット18では、主軸13に作用するスラスト力に応じて変化するギャップセンサ45とセンサターゲット41,42とのギャップを、ギャップセンサ45で検出し、その検出値を磁気軸受用コントローラ19でスラスト力に換算する。
力検出センサユニット18の非配置側の軸受15は、スピンドルハウジング14に対してアキシアル方向に移動自在に設置され、かつ軸受予圧ばね26によって弾性支持されている。この例では軸受15の外輪15bが、軸受ハウジング27を介してスピンドルハウジング14の内径面にアキシアル方向移動自在に嵌合していて、軸受予圧ばね26は、軸受ハウジング27とスピンドルハウジング14との間に介在している。軸受予圧ばね26は、内輪15aの幅面が係合した主軸13の段面に対向して外輪15bを付勢するものとされ、軸受15に予圧を与えている。
上記タービンユニット5におけるモータ一体型の磁気軸受装置の力学モデルは簡単なバネ系で構成することができる。すなわち、このバネ系は、軸受15,16とこれら軸受の支持系(軸受予圧ばね26、軸受ハウジング27など)とで形成される合成バネと、モータ部(電磁石17とモータ28)で形成される合成バネとが並列となった構成である。このバネ系において、軸受15,16とこれら軸受の支持系とで形成される合成バネは、変位した方向と逆の方向に変位量に比例して作用する剛性となるのに対し、電磁石17とモータ28とで形成される合成バネは、変位した方向に変位量に比例して作用する負の剛性となる。
このため、上記した両合成バネの剛性の大小関係を、
軸受等による合成バネの剛性値<電磁石・モータによる合成バネの負の剛性値…(1)とした場合、機械システムの位相は180°遅れとなり不安定な系となることから、電磁石17を制御する磁気軸受用コントローラ19において、予め位相補償回路を付加する必要が生じ、コントローラ19の構成が複雑なものになる。
このため、上記した両合成バネの剛性の大小関係を、
軸受等による合成バネの剛性値<電磁石・モータによる合成バネの負の剛性値…(1)とした場合、機械システムの位相は180°遅れとなり不安定な系となることから、電磁石17を制御する磁気軸受用コントローラ19において、予め位相補償回路を付加する必要が生じ、コントローラ19の構成が複雑なものになる。
そこで、この実施形態のモータ一体型の磁気軸受装置では、上記した両合成バネの剛性の大小関係を、
軸受等による合成バネの剛性値>電磁石・モータによる合成バネの負の剛性値…(2)としている。とくに、このモータ一体型の磁気軸受装置では、上記したようにアキシアルギャップ型のモータ28をコアレスモータとしているので、モータ28に作用する負の剛性値をゼロとすることができ、モータ28が高負荷動作し過大なアキシアル荷重が作用した状態においても上記(2)式の大小関係を保つことができる。
その結果、制御帯域において、機械システムの位相が180°遅れとなることを防止できるので、モータ28が高負荷動作し過大なアキシアル荷重が作用した状態でも磁気軸受用コントローラ19の制御対象を安定なものとでき、コントローラ19の回路構成を図3のように比例もしくは比例積分を用いた簡単なものに構成できる。
軸受等による合成バネの剛性値>電磁石・モータによる合成バネの負の剛性値…(2)としている。とくに、このモータ一体型の磁気軸受装置では、上記したようにアキシアルギャップ型のモータ28をコアレスモータとしているので、モータ28に作用する負の剛性値をゼロとすることができ、モータ28が高負荷動作し過大なアキシアル荷重が作用した状態においても上記(2)式の大小関係を保つことができる。
その結果、制御帯域において、機械システムの位相が180°遅れとなることを防止できるので、モータ28が高負荷動作し過大なアキシアル荷重が作用した状態でも磁気軸受用コントローラ19の制御対象を安定なものとでき、コントローラ19の回路構成を図3のように比例もしくは比例積分を用いた簡単なものに構成できる。
ブロック図で示す図3の磁気軸受用コントローラ19では、力検出センサユニット18の検出出力P1,P2をセンサ出力演算回路30で加減算し、その演算結果を比較器31で基準値設定手段32の基準値と比較して偏差を演算し、さらに演算した偏差をPI補償回路(もしくはP補償回路)33によりタービンユニット5に応じて適宜設定される比例積分(もしくは比例)処理を行うことで、電磁石17の制御信号を演算するようにしている。PI補償回路(もしくはP補償回路)33の出力は、電磁石17を駆動するパワー回路34に入力される。
同じくブロック図で示す図4のモータ用コントローラ29では、回転同期指令信号を基に、モータロータ28aの回転角をフィードバック信号として位相調整回路38でモータ駆動電流の位相調整が行われ、その調整結果に応じたモータ駆動電流をモータ駆動回路39からモータステータ28bに供給することによって、定回転制御が行われる。前記回転同期指令信号は、モータロータ28aに設けられた回転角度検出センサ(図示せず)の出力に応じて演算される。
この構成のタービンユニット5は、図5に示す例えば空気サイクル冷凍冷却システムに使用される。
このような使用例において、このタービンユニット5は、コンプレッサ翼車6aおよびタービン翼車7aが、前記スラスト板13a,13bおよびモータロータ28aと共通の主軸13に嵌合し、モータ28の動力とタービン翼車7aで発生した動力のどちらか一方または両方によりコンプレッサ翼車6aを駆動するものとしている。このため、各翼車6a,7aの適切な隙間d1,d2を保って主軸13の安定した高速回転が得られ、かつ軸受15,16の長期耐久性の向上、寿命の向上が得られる。
このような使用例において、このタービンユニット5は、コンプレッサ翼車6aおよびタービン翼車7aが、前記スラスト板13a,13bおよびモータロータ28aと共通の主軸13に嵌合し、モータ28の動力とタービン翼車7aで発生した動力のどちらか一方または両方によりコンプレッサ翼車6aを駆動するものとしている。このため、各翼車6a,7aの適切な隙間d1,d2を保って主軸13の安定した高速回転が得られ、かつ軸受15,16の長期耐久性の向上、寿命の向上が得られる。
タービンユニット5の圧縮,膨張の効率を確保するためには、各翼車6a,7aとハウジング6b,7bとの隙間d1,d2を微小に保つ必要がある。例えば、このタービンユニット5を空気サイクル冷凍冷却システムに適用する場合には、この効率確保が重要となる。これに対して、主軸13を転がり形式の軸受15,16により支持するため、転がり軸受の持つアキシアル方向位置の規制機能により、主軸13のアキシアル方向位置がある程度規制され、各翼車6a,7aとハウジング6b,7bとの隙間d1,d2を一定に保つことができる。
しかし、タービンユニット5の主軸13には、各翼車6a,7aに作用する空気の圧力でスラスト力がかかる。また、空気冷却システムで使用するタービンユニット5では、1分間に例えば8万〜10万回転程度の非常に高速の回転となる。そのため、主軸13を回転支持する転がり軸受15,16に上記スラスト力が作用すると、軸受15,16の長期耐久性が低下する。
この実施形態は、上記スラスト力を電磁石17で支持するため、非接触でトルクの増大を抑えながら、主軸13の支持用の転がり軸受15,16に作用するスラスト力を軽減することができる。この場合に、主軸13に作用するスラスト力を検出する力検出センサユニット18と、この力検出センサユニット18の出力に応じて前記電磁石17による支持力を制御する磁気軸受用コントローラ19とを設けたため、転がり軸受15,16を、その軸受仕様に応じてスラスト力に対し最適な状態で使用することができる。
特に、軸方向に並べて主軸13に設けられた2つのスラスト板13a,13bのうちの1つの軸方向外側に1つの電磁石17を配置して磁気軸受ユニットを構成すると共に、前記両スラスト板13a,13bで挟まれる位置にアキシアルギャップ型のモータ28を配置してモータユニットを構成することにより、磁気軸受ユニットとモータユニットをコンパクトな一体構造としているため、主軸53の軸長を短くでき、それだけ主軸13の固有振動数が高くなって、主軸13を高速回転させることができる。
この実施形態は、上記スラスト力を電磁石17で支持するため、非接触でトルクの増大を抑えながら、主軸13の支持用の転がり軸受15,16に作用するスラスト力を軽減することができる。この場合に、主軸13に作用するスラスト力を検出する力検出センサユニット18と、この力検出センサユニット18の出力に応じて前記電磁石17による支持力を制御する磁気軸受用コントローラ19とを設けたため、転がり軸受15,16を、その軸受仕様に応じてスラスト力に対し最適な状態で使用することができる。
特に、軸方向に並べて主軸13に設けられた2つのスラスト板13a,13bのうちの1つの軸方向外側に1つの電磁石17を配置して磁気軸受ユニットを構成すると共に、前記両スラスト板13a,13bで挟まれる位置にアキシアルギャップ型のモータ28を配置してモータユニットを構成することにより、磁気軸受ユニットとモータユニットをコンパクトな一体構造としているため、主軸53の軸長を短くでき、それだけ主軸13の固有振動数が高くなって、主軸13を高速回転させることができる。
また、この構成によると、コンプレッサ翼車6aに比べて外径が小さいタービン翼車7aの背面に、このターンビン翼車7aの背面よりも大径の円盤状の板22を設けて、背圧の作用する面積を大きくしているので、コンプレッサ翼車6aの前面と背面の間の圧力差と、タービン翼車7aの前面と背面の間の圧力差の差分を小さくすることができる。これにより、これら両翼車6a,7aの前面と背面の圧力差の差分に起因して過大なアキシアル力が主軸13に負荷されるのを回避できる。その結果、アキシアル磁気軸受を構成する前記電磁石17の負荷容量および容積を小さくできる。
また、この実施形態では、図2(B)のように、タービン翼車7aの背面内径部と外径のスクロール内部とをつなぐ通気孔23を形成しているので、前記円盤状の板22の径の設計だけによらず、例えばその通気孔23の孔径を所定値に設定することによっても、前記両翼車6a,7aの前面と背面の圧力差の差分を小さくすることができる。特に、この実施形態では、前記通気孔23に調節弁25を設け、タービン翼車7aの背面に圧力センサ24を設け、この圧力センサ24の検出する圧力(タービン翼車7aの背圧)に応じて調節弁開度変更手段20で前記調節弁25の開度を変えるようにしているので、前記両翼車6a,7aの前面と背面の圧力差の差分が最小になるように、前記調節弁25の開度を自動的に変更できる。
なお、この実施形態では、タービン翼車7aに比べて、コンプレッサ翼車6aの外径が大きいタービンユニット5の場合を示したが、逆にコンプレッサ翼車6aに比べて、タービン翼車7aの外径が大きい場合には、コンプレッサ翼車6aの背面に、この翼車6aの背面よりも大径の円盤状の板を設ければ良い。この場合、前記通気孔23、圧力センサ24、調節弁25、調節弁開度変更手段20をコンプレッサ翼車6aに設けても良い。
図5は、図1に示すタービンユニット5を用いた空気サイクル冷凍冷却システムの全体の構成を示す。この空気サイクル冷凍冷却システムは、冷凍倉庫等の被冷却空間10の空気を直接に冷媒として冷却するシステムであり、被冷却空間10にそれぞれ開口した空気の取入口1aから排出口1bに至る空気循環経路1を有している。この空気循環経路1に、予圧縮手段2、第1の熱交換器3、空気サイクル冷凍冷却用タービンユニット5のコンプレッサ6、第2の熱交換器3、中間熱交換器9、および前記タービンユニット5の膨張タービン7が順に設けられている。中間熱交換器9は、同じ空気循環経路1内で取入口1aの付近の流入空気と、後段の圧縮で昇温し、冷却された空気との間で熱交換を行うものであり、取入口1aの付近の空気は熱交換器9a内を通る。
予圧縮手段2はブロア等からなり、モータ2aにより駆動される。第1の熱交換器3および第2の熱交換器8は、冷却媒体を循環させる熱交換器3a,8aをそれぞれ有し、熱交換器3a,8a内の水等の冷却媒体と空気循環経路1の空気との間で熱交換を行う。各熱交換器3a,8aは、冷却塔11に配管接続されており、熱交換で昇温した冷却媒体が冷却塔11で冷却される。なお、前記予圧縮手段2を含まない構成の空気サイクル冷凍冷却システムでもよい。
この空気サイクル冷凍冷却システムは、被冷却空間10を0℃〜−60℃程度に保つシステムであり、被冷却空間10から空気循環経路1の取入口1aに0℃〜−60℃程度で1気圧の空気が流入する。なお、以下に示す温度および気圧の数値は、一応の目安となる一例である。取入口1aに流入した空気は、中間熱交換器9により、空気循環経路1中の後段の空気の冷却に使用され、30℃まで昇温する。この昇温した空気は1気圧のままであるが、予圧縮手段2により1.4気圧に圧縮させられ、その圧縮により、70℃まで昇温する。第1の熱交換器3は、昇温した70℃の空気を冷却すれば良いため、常温程度の冷水であっても効率良く冷却することができ、40℃に冷却する。
熱交換により冷却された40℃,1.4気圧の空気が、タービンユニット5のコンプレッサ6により、1.8気圧まで圧縮され、この圧縮により70℃程度に昇温した状態で、第2の熱交換器8により40℃に冷却される。この40℃の空気は、中間熱交換器9で−30℃の空気により−20℃まで冷却される。気圧はコンプレッサ6から排出された1.8気圧が維持される。
中間熱交換器9で−20℃まで冷却された空気は、タービンユニット5の膨張タービン7により断熱膨張され、−55℃まで冷却されて排出口1bから被冷却空間10に排出される。この空気サイクル冷凍冷却システムは、このような冷凍サイクルを行う。
中間熱交換器9で−20℃まで冷却された空気は、タービンユニット5の膨張タービン7により断熱膨張され、−55℃まで冷却されて排出口1bから被冷却空間10に排出される。この空気サイクル冷凍冷却システムは、このような冷凍サイクルを行う。
この空気サイクル冷凍冷却システムでは、タービンユニット5において、各翼車6a,7aの適切な隙間d1,d2を保って主軸13の安定した高速回転が得られ、かつ軸受15,16の長期耐久性の向上、寿命の向上が得られることで、軸受15,16の長期耐久性が向上することから、タービンユニット5の全体として、しいては空気サイクル冷凍冷却システムの全体としての信頼性が向上する。このように、空気サイクル冷凍冷却システムのネックとなっているタービンユニット5の主軸軸受15,16の安定した高速回転、長期耐久性、信頼性が向上するため、空気サイクル冷凍冷却システムの実用化が可能となる。
2…予圧縮手段
3…第1の熱交換器
5…タービンユニット
6…コンプレッサ
6a…コンプレッサ翼車
7…膨張タービン
7a…タービン翼車
8…第2の熱交換器
9…中間熱交換器
13…主軸
13a,13b…スラスト板
14…スピンドルハウジング
15,16…転がり軸受
17…電磁石(磁気軸受)
22…円盤状の板
23…通気孔
24…圧力センサ
25…調節弁
28…アキシアルギャップモータ
28a…モータロータ
28aa…永久磁石
28b…モータステータ
3…第1の熱交換器
5…タービンユニット
6…コンプレッサ
6a…コンプレッサ翼車
7…膨張タービン
7a…タービン翼車
8…第2の熱交換器
9…中間熱交換器
13…主軸
13a,13b…スラスト板
14…スピンドルハウジング
15,16…転がり軸受
17…電磁石(磁気軸受)
22…円盤状の板
23…通気孔
24…圧力センサ
25…調節弁
28…アキシアルギャップモータ
28a…モータロータ
28aa…永久磁石
28b…モータステータ
Claims (6)
- 転がり軸受と磁気軸受を併用し、転がり軸受がラジアル負荷を支持し、磁気軸受がアキシアル負荷と軸受予圧のどちらか一方または両方を支持し、前記磁気軸受を構成する電磁石は主軸に設けられた強磁性体からなるフランジ状のスラスト板に非接触で対向するように、スピンドルハウジングに取付けられており、同一の主軸に対してモータを配し、前記主軸の両端にコンプレッサおよびタービンの各翼車が取付けられるモータ一体型の磁気軸受装置であって、
前記コンプレッサおよびタービンの翼車の前面と背面の圧力差の差分を補償する手段として、前記いずれかの翼車の背面に、この翼車の背面よりも大径の円盤状の板を設けて背圧の作用する面積を大きくしたことを特徴とするモータ一体型の磁気軸受装置。 - 請求項1において、前記円盤状の板が、前記翼車と一体であるモータ一体型の磁気軸受装置。
- 請求項1において、前記円盤状の板が、前記翼車と別体に設けられて、ボルト締結、締り嵌め、または接着等の固定手段により翼車に固定されたモータ一体型の磁気軸受装置。
- 請求項1ないし請求項3のいずれか1項において、前記円盤状の板が設けられた翼車の背面内径部と外径のスクロール内部とをつなぐ通気孔を形成したモータ一体型の磁気軸受装置。
- 請求項4において、前記通気孔に調節弁を設け、前記翼車の背面に圧力センサを設け、この圧力センサの検出する圧力に応じて前記調節弁の開度を変える手段を設けたモータ一体型の磁気軸受装置。
- 請求項1ないし請求項5のいずれか1項において、前記モータ一体型の磁気軸受装置を備えた圧縮膨張タービンシステムが、流入空気に対して、タービンユニットのコンプレッサによる圧縮、熱交換器による圧縮、他の熱交換器による冷却、前記タービンユニットの膨張タービンによる断熱膨張、もしくは予圧縮手段による冷却、前記タービンユニットのコンプレッサによる圧縮、他の熱交換器による冷却、前記タービンユニットの膨張タービンによる断熱膨張を順次行う空気サイクル冷凍冷却システムに適用されるものであるモータ一体型の磁気軸受装置。
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Cited By (6)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
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WO2011021482A1 (ja) * | 2009-08-19 | 2011-02-24 | 三菱重工コンプレッサ株式会社 | 機械ユニットの配置システム |
WO2016194593A1 (ja) * | 2015-05-29 | 2016-12-08 | Ntn株式会社 | エアタービン駆動スピンドル |
CN106321467A (zh) * | 2016-10-14 | 2017-01-11 | 重庆通用工业(集团)有限责任公司 | 一种热泵压缩机结构 |
CN106514495A (zh) * | 2016-12-30 | 2017-03-22 | 青岛理工大学 | 膨胀机驱动制冷低温冷却纳米粒子射流微量润滑供给系统 |
CN112943386A (zh) * | 2021-01-19 | 2021-06-11 | 沂源县华阳能源设备有限公司 | 一种高温高背压新型机型 |
CN115388091A (zh) * | 2022-08-24 | 2022-11-25 | 电子科技大学 | 一种稳定性好的气体静压轴承系统装置 |
-
2007
- 2007-09-05 JP JP2007230453A patent/JP2009062848A/ja active Pending
Cited By (11)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
WO2011021482A1 (ja) * | 2009-08-19 | 2011-02-24 | 三菱重工コンプレッサ株式会社 | 機械ユニットの配置システム |
JP2011043071A (ja) * | 2009-08-19 | 2011-03-03 | Mitsubishi Heavy Industries Compressor Corp | 機械ユニットの配置システム |
CN102421993A (zh) * | 2009-08-19 | 2012-04-18 | 三菱重工压缩机有限公司 | 机器单元配置系统 |
US9127570B2 (en) | 2009-08-19 | 2015-09-08 | Mitsubishi Heavy Industries Compressor Corporation | Machine unit layout system |
WO2016194593A1 (ja) * | 2015-05-29 | 2016-12-08 | Ntn株式会社 | エアタービン駆動スピンドル |
JP2016223346A (ja) * | 2015-05-29 | 2016-12-28 | Ntn株式会社 | エアタービン駆動スピンドル |
CN106321467A (zh) * | 2016-10-14 | 2017-01-11 | 重庆通用工业(集团)有限责任公司 | 一种热泵压缩机结构 |
CN106514495A (zh) * | 2016-12-30 | 2017-03-22 | 青岛理工大学 | 膨胀机驱动制冷低温冷却纳米粒子射流微量润滑供给系统 |
CN112943386A (zh) * | 2021-01-19 | 2021-06-11 | 沂源县华阳能源设备有限公司 | 一种高温高背压新型机型 |
CN115388091A (zh) * | 2022-08-24 | 2022-11-25 | 电子科技大学 | 一种稳定性好的气体静压轴承系统装置 |
CN115388091B (zh) * | 2022-08-24 | 2024-05-24 | 电子科技大学 | 一种稳定性好的气体静压轴承系统装置 |
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