JP2009062604A5 - - Google Patents

Download PDF

Info

Publication number
JP2009062604A5
JP2009062604A5 JP2007233724A JP2007233724A JP2009062604A5 JP 2009062604 A5 JP2009062604 A5 JP 2009062604A5 JP 2007233724 A JP2007233724 A JP 2007233724A JP 2007233724 A JP2007233724 A JP 2007233724A JP 2009062604 A5 JP2009062604 A5 JP 2009062604A5
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
processing
processing chamber
performs
pvd
cvd
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Ceased
Application number
JP2007233724A
Other languages
English (en)
Japanese (ja)
Other versions
JP2009062604A (ja
Filing date
Publication date
Application filed filed Critical
Priority to JP2007233724A priority Critical patent/JP2009062604A/ja
Priority claimed from JP2007233724A external-priority patent/JP2009062604A/ja
Priority to KR1020097027030A priority patent/KR20100065127A/ko
Priority to PCT/JP2008/065672 priority patent/WO2009034869A1/ja
Priority to CN200880023081A priority patent/CN101688296A/zh
Priority to TW97134559A priority patent/TW200931577A/zh
Publication of JP2009062604A publication Critical patent/JP2009062604A/ja
Publication of JP2009062604A5 publication Critical patent/JP2009062604A5/ja
Ceased legal-status Critical Current

Links

JP2007233724A 2007-09-10 2007-09-10 真空処理システムおよび基板搬送方法 Ceased JP2009062604A (ja)

Priority Applications (5)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2007233724A JP2009062604A (ja) 2007-09-10 2007-09-10 真空処理システムおよび基板搬送方法
KR1020097027030A KR20100065127A (ko) 2007-09-10 2008-09-01 진공 처리 시스템 및 기판 반송 방법
PCT/JP2008/065672 WO2009034869A1 (ja) 2007-09-10 2008-09-01 真空処理システムおよび基板搬送方法
CN200880023081A CN101688296A (zh) 2007-09-10 2008-09-01 真空处理系统及基板搬送方法
TW97134559A TW200931577A (en) 2007-09-10 2008-09-09 Vacuum treatment system, and method for carrying substrate

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2007233724A JP2009062604A (ja) 2007-09-10 2007-09-10 真空処理システムおよび基板搬送方法

Publications (2)

Publication Number Publication Date
JP2009062604A JP2009062604A (ja) 2009-03-26
JP2009062604A5 true JP2009062604A5 (enrdf_load_stackoverflow) 2010-08-26

Family

ID=40451878

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP2007233724A Ceased JP2009062604A (ja) 2007-09-10 2007-09-10 真空処理システムおよび基板搬送方法

Country Status (5)

Country Link
JP (1) JP2009062604A (enrdf_load_stackoverflow)
KR (1) KR20100065127A (enrdf_load_stackoverflow)
CN (1) CN101688296A (enrdf_load_stackoverflow)
TW (1) TW200931577A (enrdf_load_stackoverflow)
WO (1) WO2009034869A1 (enrdf_load_stackoverflow)

Families Citing this family (27)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
WO2011040538A1 (ja) * 2009-10-02 2011-04-07 東京エレクトロン株式会社 基板処理システム
TWI532114B (zh) * 2009-11-12 2016-05-01 Hitachi High Tech Corp Vacuum processing device and operation method of vacuum processing device
CN101958231A (zh) * 2010-05-06 2011-01-26 东莞宏威数码机械有限公司 气体环境缓冲装置
KR20120015987A (ko) * 2010-08-12 2012-02-22 삼성전자주식회사 기판 처리 시스템
JP5785712B2 (ja) * 2010-12-28 2015-09-30 株式会社日立ハイテクノロジーズ 真空処理装置
KR101254721B1 (ko) * 2011-03-30 2013-04-15 삼성전자주식회사 이에프이엠 버퍼 모듈
JP5750328B2 (ja) * 2011-07-20 2015-07-22 株式会社ニューフレアテクノロジー 気相成長方法及び気相成長装置
JP5923288B2 (ja) * 2011-12-01 2016-05-24 株式会社日立ハイテクノロジーズ 真空処理装置及び真空処理装置の運転方法
CN103184427A (zh) * 2011-12-28 2013-07-03 绿种子科技(潍坊)有限公司 薄膜沉积装置及其使用方法
KR101318929B1 (ko) * 2012-06-18 2013-10-17 주식회사 씨엘디 가압 장치
KR101375646B1 (ko) * 2012-06-18 2014-03-18 주식회사 씨엘디 가압 장치 및 방법
JP6120621B2 (ja) * 2013-03-14 2017-04-26 株式会社日立ハイテクノロジーズ 真空処理装置及びその運転方法
CN104421437B (zh) * 2013-08-20 2017-10-17 中微半导体设备(上海)有限公司 活动阀门、活动屏蔽门及真空处理系统
KR101649356B1 (ko) * 2014-01-20 2016-08-18 주식회사 풍산 반도체 기판 처리장치
JP2017028209A (ja) * 2015-07-27 2017-02-02 東京エレクトロン株式会社 基板収納方法及び基板処理装置
JP6141479B1 (ja) * 2016-03-18 2017-06-07 エスペック株式会社 乾燥装置
CN106229287B (zh) * 2016-09-30 2019-04-05 厦门市三安光电科技有限公司 用于转移微元件的转置头及微元件的转移方法
CN110835735A (zh) * 2018-08-17 2020-02-25 中智(泰兴)电力科技有限公司 一种8腔体卧式hwcvd-pvd一体化硅片镀膜工艺
CN110835739A (zh) * 2018-08-17 2020-02-25 中智(泰兴)电力科技有限公司 7腔体立式pecvd-pvd一体化硅片镀膜工艺
KR102618825B1 (ko) * 2020-01-06 2023-12-27 삼성전자주식회사 베이 내 가스 누출 방지를 위한 에어락 장치 및 제어 시스템
JP7386738B2 (ja) * 2020-03-19 2023-11-27 東京エレクトロン株式会社 基板搬送方法および基板処理装置
JP7420350B2 (ja) * 2020-04-24 2024-01-23 島根島津株式会社 自動保管モジュールおよび自動保管システム
JP7344236B2 (ja) * 2021-02-08 2023-09-13 キヤノントッキ株式会社 搬送装置、成膜装置及び制御方法
CN113122812B (zh) * 2021-04-20 2023-06-09 郑州航空工业管理学院 一种物理气相沉积材料加工设备
CN116085226A (zh) * 2021-05-27 2023-05-09 中科晶源微电子技术（北京）有限公司 真空互锁抽气设备及真空互锁抽气的方法
KR102452714B1 (ko) * 2021-12-23 2022-10-07 주식회사 에이치피에스피 고압 및 진공공정 병행 챔버장치
WO2023157226A1 (ja) 2022-02-18 2023-08-24 株式会社日立ハイテク 真空処理装置

Family Cites Families (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH0793348B2 (ja) * 1989-05-19 1995-10-09 アプライド マテリアルズ インコーポレーテッド 多重チャンバ真空式処理装置及び多重チャンバ真空式半導体ウェーハ処理装置
JPH04254349A (ja) * 1991-02-06 1992-09-09 Sony Corp マルチチャンバプロセス装置
JP3486821B2 (ja) * 1994-01-21 2004-01-13 東京エレクトロン株式会社 処理装置及び処理装置内の被処理体の搬送方法
JP2003060008A (ja) * 2001-05-21 2003-02-28 Tokyo Electron Ltd 処理装置、移載装置、移載方法

Similar Documents

Publication Publication Date Title
JP2009062604A5 (enrdf_load_stackoverflow)
USD597015S1 (en) Wheel or wheel cover
USD639019S1 (en) Swimsuit
USD597014S1 (en) Wheel or wheel cover
USD580064S1 (en) Wrist support
USD632050S1 (en) Supportive apparel
USD629871S1 (en) Fluid dynamic actuator
USD596807S1 (en) Glove
USD646792S1 (en) Graspable teething ring
USD609394S1 (en) Hookah
USD836515S1 (en) Exhaust pipe
USD665035S1 (en) Scooter
USD659044S1 (en) Dial
JP2010524750A5 (enrdf_load_stackoverflow)
JP2009537315A5 (enrdf_load_stackoverflow)
USD687165S1 (en) Door facing
USD604517S1 (en) Pants drying hanger
JP2006524283A5 (enrdf_load_stackoverflow)
USD656299S1 (en) Pants
USD676738S1 (en) Pipe hanger clamp
JP2012065100A5 (enrdf_load_stackoverflow)
USD620518S1 (en) Guitar
USD639905S1 (en) Silencer for air pressure devices
USD607182S1 (en) Skirt
JP2011007049A5 (enrdf_load_stackoverflow)