JP2009053531A - 光電子回路基板 - Google Patents

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Toshimichi Iwamori
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Abstract

【課題】光電子回路を基板に実装した状態で光電子回路の検査が可能な光電子回路基板を提案する。
【解決手段】光電子回路基板1は、光回路と電子回路を有する第1及び第2の基板10、11と、光導波路層とを有し、第1の基板10には、基板側開口14が、光導波路層130には、光導波路側開口135が、開口150として形成されている。この開口150から、検査用光信号20,21の導入、又は取出しすることにより、光電子回路基板1の検査ができる。
【選択図】図2

Description

本発明は、光電子回路基板に関する。
従来の技術として、レーザ光の反射光量を増大させる金属反射膜が発光部の周囲に形成された光部品と、光部品を実装した基板と、光部品と基板との間に設けられ、レーザ光が伝播する光導波路と、光導波路の端部付近の光部品に対応する位置に設けられ、レーザ光の光路を変換する第1のピラミッド鏡と、光導波路から分岐して設けられた検査用光導波路と、検査用光導波路の端部付近に設けられ、レーザ光の光路を変換する第2のピラミッド鏡とを備えた光導波路基板が知られている(例えば、特許文献1参照)。
この光導波路基板に実装された光部品のずれの検出は、レーザ光を出力するレーザ光源と、レーザ光を反射する反射面を有するハーフミラーと、ハーフミラーの反射面によって反射されたレーザ光を検出する光検出器とを備えた検出装置を用いることによって行われる。
まず、検出装置のレーザ光源から第2のピラミッド鏡に向けて出力されたレーザ光は、ハーフミラーを透過した後、第2のピラミッド鏡によってその光路を変換され、検査用光導波路及び光導波路を伝播し、第1のピラミッド鏡によって再び光路が変換される。
光路が変換されたレーザ光は、光部品が所定の位置よりずれて実装されていたとき、光部品の金属反射膜によって反射光量を増大されて反射され、反射したレーザ光は、光路を逆戻りし、ハーフミラーの反射面で反射した後、光検出器によって検出され、光検出器は、レーザ光の光量の大きさに基づいて光部品の実装のずれを検出する。
特開2003−185526号公報
本発明の目的は、光素子を基板に実装した状態で光素子及び光導波路の検査が可能な光電子回路基板を提案することにある。
本発明は、上記目的を達成するため、以下の光電子回路基板を提供する。
(1)電子回路を有し、光信号を第1の面側から第2の面側に通過させる発光側開口、及び前記光信号を前記第2の面側から前記第1の面側へ通過させる受光側開口が形成された基板と、前記基板の前記第1の面側に実装され、前記発光側開口に対向する位置に設けられた発光素子、及び前記受光側開口に対向する位置に設けられた受光素子と、コアと前記コアの周囲に設けられたクラッドからなり、前記基板の前記第2の面側に設けられ、前記発光側開口を前記第1の面側から前記第2の面側に通過する前記光信号の光路を変換する第1の光路変換面、前記第1の光路変換面により変換された前記光信号が前記受光側開口を前記第2の面側から前記第1の面側に通過するように前記光信号の光路を変換する第2の光路変換面、及び前記コアが露出するように前記クラッドに設けられた検査用開口を有し、前記検査用開口に露出した前記コアから検査用光信号を導入及び取出しされる光導波路とを備えた光電子回路基板。
(2)前記基板は、前記発光側開口と前記受光側開口との間に基板側検査用開口を有し、前記光導波路の前記検査用開口は、前記基板側検査用開口に対応した位置に設けられる前記(1)に記載の光電子回路基板。
(3)更に、前記基板の前記第2の面側に前記光導波路を介して他の基板を備え、
前記他の基板は、前記光導波路の前記検査用開口に対応した位置に基板側検査用開口を備える前記(1)に記載の光電子回路基板。
請求項1の光電子回路基板によると、光素子を基板に実装した状態で光素子及び光導波路の検査ができる。
請求項2の光電子回路基板によると、光素子を基板に実装した状態で光素子及び光導波路の検査が容易にできる。
請求項3の光電子回路基板によると、基板に実装される電子部品等の実装密度を上げることができる。
[第1の実施の形態]
(光電子回路基板の構成)
図1は、本発明の第1の実施の形態に係る光電子回路基板を示し、図1(a)は、斜視図、図1(b)は、図1(a)のA―A線断面図、図1(c)は、図1(a)のB―B線断面図である。
この光電子回路基板1は、光回路と電子回路を有するものであり、各種の電子部品、電源回路部品等を含む電子回路を有する第1及び第2の基板10、11と、第1の基板10の第1の面側(上側)に実装された第1及び第2の光モジュール12A、12Bと、第1及び第2の基板10、11間に設けられ、第1及び第2の光モジュール12A、12B間を光学的に接続する光導波路層130とを備えて構成されている。
第1の光モジュール12Aは、発光素子120A及び受光素子121Aを有する。第2の光モジュール12Bは、発光素子120B及び受光素子121Bを有する。第1及び第2の光モジュール12A、12Bは、それぞれパッケージ化されており、それらの詳細な構成は後述する。
光導波路層130は、第1及び第2の光モジュール12A、12B間の光伝送路となる第1及び第2の光導波路13A、13Bを有する。
(第1の基板)
第1の基板10は、例えば、厚みが0.5mmのガラスエポキシ樹脂等の絶縁性材料から形成された基板材と、この基板材の上面に形成され、各種の電子部品や電源回路部品等が電気的に接続された導電性パターンとを有する。
また、第1の基板10は、発光素子120A、120B及び受光素子121A、121Bにそれぞれ対向した位置に後述する発光側開口及び受光側開口が形成されている。なお、第1及び第2の光モジュール12A、12Bに対応して形成される発光側開口と受光側開口は、1つの開口であっても良い。また、第1の基板10は、図1(a)に示すように、検査用の光信号を入出力するための貫通孔による基板側開口14を有する。基板側開口14の上面は、例えば、20×0.4mmである。
(第2の基板)
第2の基板11は、例えば、厚みが1mmのガラスエポキシ樹脂等の絶縁性材料から形成された基板材と、この基板材の下面に形成され、各種の電子部品や電源回路部品等が電気的に接続された導電性パターンとを有する。
(光導波路)
第1の光導波路13Aは、図1(b)に示すように、例えば、厚みが0.2mmの光導波路層130によって構成されており、その光導波路層130は、図1(c)に示すように、断面矩形状を有し、例えば、厚みが50μmのコア132と、コア132の周囲に形成されてコア132より屈折率が小さいクラッド131とで構成される。第2の光導波路13Bも同様に構成されている。
第1及び第2の光導波路13A、13Bは、第1の基板10側に設けられた基板側開口14に対応した位置に光導波路側開口135を有する。光導波路側開口135は、第1及び第2の光導波路13A、13Bのコア132が露出するように構成されており、その上面のサイズは、基板側開口14と同じであり、その深さは、コア132上のクラッド131の厚み75μmと同じである。よって、基板側開口14と光導波路側開口135をまとめて開口150とする。
光導波路層130の端部は、エポキシ樹脂等の封入剤200によって基板の縁辺を封止している。封入剤200による封止は、一部でも良く、これに限定されない。
(光導波路の製造法)
次に、第1及び第2の光導波路13A、13Bの製造方法について説明する。第1及び第2の光導波路13A、13Bは、例えば、一般によく用いられるフォトリソグラフィ法やRIE(反応性イオンエッチング)を利用した方法で作製可能である。特に、本出願人が既に提案した特開2004−29507号公報等に記載されている鋳型を用いた作製工程により効率的に製造することができる。以下に、その作製工程を説明する。
まず、コア132に対応する凸部が形成された原盤を、例えば、フォトリソグラフィ法を用いて作製する。次に、原盤の凸部が形成された面に、例えば、500〜7000mPa・s程度の粘度で、紫外領域や可視領域において光透過性を有する硬化性樹脂、例えば、分子中にメチルシロキサン基、エチルシロキサン基、フェニルシロキサン基を含む硬化性オルガノポリシロキサンの層を塗布等により設け、その後、硬化させて硬化層を構成する。次に、硬化層を原盤から剥離し、凸部に対応する凹部を有した鋳型を作製する。
次に、鋳型に、この鋳型との密着性に優れる樹脂、例えば、脂環式アクリル樹脂フィルム、脂環式オレフィン樹脂フィルム、三酢酸セルロースフィルム、フッ素樹脂フィルム等からなるクラッド用フィルム基材を密着させる。次に、鋳型の凹部に、例えば、紫外線硬化性又は熱硬化性のモノマー、オリゴマー若しくはモノマーとオリゴマーの混合物、エポキシ系、ポリイミド系、アクリル系の紫外線硬化性樹脂等からなる硬化性樹脂を充填する。次に、凹部内の硬化性樹脂を硬化させてコア132とした後、鋳型を剥離する。これにより、クラッド用フィルム基材上にコア132が残される。
次に、クラッド用フィルム基材のコア132が形成された面側にコア132を覆うようにクラッド131を設ける。このとき、第1の基板10の基板側開口14に対応した位置に、コア132が露出するように、クラッド131を形成しない光導波路側開口135を設ける。クラッド131として、例えば、フィルム、クラッド用硬化性樹脂を塗布して硬化させた層、高分子材料の溶剤溶液を塗布し乾燥してなる高分子膜等が挙げられる。
最後に、光導波路のコア132が露出する面をダイサーによって所定の角度に切削して光路変換面を形成する。更にコア132に平行にダイサーで切り出すことにより、クラッド用フィルム基材及びクラッド層をクラッド131とした第1及び第2の光導波路13A、13Bが完成する。
(光モジュール)
図2は、本発明の第1の実施の形態に係る光電子回路基板の概略図であり、図2(a)は、図1(a)のC−C線断面図、図2(b)は、図2(a)のD部分の断面図である。以下において、第1の光モジュール12Aの構成について述べるが、第2の光モジュール12Bも同様の構成及び機能を有する。第1の光モジュール12Aは、基板129と、基板129の下面に実装された上述の発光素子120A及び上述の受光素子121Aと、基板129の上面に実装された制御部127Aと、端子124、ワイヤ126及び制御部127Aを封止するエポキシ樹脂等の封止樹脂128とを備える。
第1の光モジュール12Aの受光素子121A(発光素子120Aも同様)は、図2(a)に示すように、ワイヤ122、パッド123を介して基板129に設けられた制御部127Aに電気的に接続されている。
制御部127Aは、発光素子120Aを駆動する駆動回路、及び受光素子121Aが出力する電気信号を増幅する増幅回路を有し、ワイヤ126、端子124とハンダボール125を介して端子110に電気的に接続されており、封止樹脂128によって保護されている。
受光素子121Aは、例えば、面型のフォトダイオード等の面型光素子を用いることができる。本実施の形態では、受光素子121Aとして、高速応答性に優れたGaAs型のPINフォトダイオードを用いる。このPINフォトダイオードは、例えば、GaAs基板上に、PIN接合されたP層、I層及びN層と、P層に接続されたp型電極と、N層に形成されたn型電極とを備えている。
第1の光モジュール12Aの発光素子120Aは、面型発光ダイオードや面型レーザ等の複数の発光素子(面型光素子)を用いることができる。本実施の形態においては、発光素子120Aとして、VCSEL(面発光レーザ)を用いる。
この面発光レーザは、例えば、n型GaAs基板に、n型上部反射鏡層、活性層、電流狭窄層、p型下部反射鏡層、p型コンタクト層、p型電極を形成し、n型GaAs基板の表側にn型電極を形成したものである。
光電子回路基板1の開口150は、発光装置3による検査時に使用されるが、その説明は後述する。
(第1の実施の形態の動作)
以下に、本発明の第1の実施の形態に関する光電子回路基板の動作について図1から図2を参照しつつ説明する。
(光信号の送受信)
ここでは、一例として、画像信号の送信を第1の光モジュール12Aから第2の光モジュール12Bに対して行う場合について説明する。第1の光モジュール12Aの制御部127Aは、画像信号に基づいた駆動信号を発光素子120Aに送信し、発光素子120Aは、駆動信号に基づいた光信号2を発光側開口100Aを介して光路変換面133Aに向けて送信する。
このとき、発光素子120Aのp型電極とn型電極間に駆動信号の電圧が印加され、発光層の発光領域から例えば、波長850nmのレーザ光を光信号2として出力する。
光路変換面133Aは、発光素子120Aから送信された光信号2の光路を変換し、第2の光導波路13Bに光信号2を伝播させる。
第2の光導波路13Bを伝播した光信号2は、光路変換面133Bによって光路を変換される。
光信号2は、受光側開口101Bを通過して第2の光モジュール12Bの受光素子121Bによって受信される。受光素子121Bは、受信した光信号2を電気信号に変換して制御部127Bに出力する。
制御部127Bは、変換された電気信号を処理して画像信号を生成し、画像信号を第1の基板10上の所定の電子部品に出力する。
(光電子回路基板の検査)
本実施の形態では、発光装置3から出力した検査用光信号20を第2の光導波路13Bに導入することによって、光電子回路基板1を検査する場合について説明する。
光ファイバ30の光出力端にグリス31を塗布した後、基板側開口14及び光導波路側開口135に光ファイバ30の光出力端を挿入し、図2(b)に示すように、露出した第2の光導波路13Bのコア132にグリス31を介して光学的に接続する。
光ファイバ30は、図2(b)に示すように、断面円形状を有するコア301と、コア301の周囲に形成されてコア301より屈折率が小さいクラッド302とで構成される。光ファイバ30の光出力端は、例えばダイシングソーを用いて、光導波路側開口135に露出したコア132に光学的に接続し易い形状に加工され、空気による光信号の散乱を防止するため、コア132と屈折率が近いグリス31が塗布される。
続いて発光装置3は、光ファイバ30、グリス31を介して検査用光信号20を第2の光導波路13Bのコア132に導入する。
第2の光モジュール12Bの受光素子121Bが、検査用光信号20に基づいた電気信号を制御部127Bに出力したとき、第1の光導波路13A及び第2の光モジュール12Bの受講素子121Bは、正常であることが分かる。
第2の光モジュール12Bの受光素子121Bが、検査用光信号20に基づいた電気信号を制御部127Bに出力しなかったとき、第2の光導波路13B及び第2の光モジュール12Bの受光素子121Bの何れか1つに異常があることが分かる。
第1の光モジュール12Aの受光素子121A及び第1の光導波路13Aの検査は、上記と同様に、第1の光導波路13Aに検査用光信号20を導入することによって行われる。
検査が終了したのち、開口150は、第1及び第2の光導波路13A、13Bに伝播する光信号2を第1及び第2の光導波路13A、13B内に閉じ込めるため、例えば封入剤200によって封止される。
なお、図2における発光装置3を受光装置に置き換え、コア132に伝播する光信号2を取出しできるか否かによって、第1の光モジュールの発光素子120A、第2の光モジュール12Bの発光素子120B、第1及び第2の光導波路13A、13Bの検査ができる。
[第2の実施の形態]
以下の説明において、第1の実施の形態と同一の構成および機能を有する部分については共通の符号を付している。
図3は、本発明の第2の実施の形態に係る治具を挿入した光電子回路基板の断面図であり、図4は、本発明の第2の実施の形態に係る治具の概略図であり、図3は、図1(a)のC−C線断面図、図4(a)は、治具上面の平面図、図4(b)は、治具下面の平面図、図4(c)は、図3のE部分の拡大図、図4(d)は、図3のF部分の拡大図であり、治具を用いて検査する場合について表している。本実施の形態における光電子回路基板1を検査する検査装置は、発光装置3、受光装置4、光ファイバ30、40及び治具5からなる。
(治具)
治具5は、例えば、高さ1mm、幅0.4mm、長さ20mmを有し、断面矩形状を有するコア51a及び51bと、コア51a及び51bの周囲に形成されてコア51a及び51bより屈折率が小さいクラッド50とで構成される。
コア51aは、2つのコアが交差した形状を有し、図4(a)及び(b)に示すように、治具5の上部に設けられ、検査用光信号20が導入される入力面52aと、入力面52aと対向して治具5の下部に設けられ、グリス31を介してコア132に検査用光信号20を出力する出力面52bと、治具5の下部に設けられ、第1の光導波路13Aを伝播する光信号2が検査用光信号21としてグリス31を介して伝播する入力面53aと、入力面53aと対向して治具5の上部に設けられ、検査用光信号21が出力する出力面53bとを備えている。
コア51bは、図3に示すように、2つのコアが交差した形状を有し、図4(a)及び(b)に示すように、治具5の上部に設けられ、検査用光信号20が導入される入力面54aと、入力面54aと対向して治具5の下部に設けられ、グリス31を介してコア132に検査用光信号20を出力する出力面54bと、治具5の下部に設けられ、第2の光導波路13Bを伝播する光信号2が検査用光信号21としてグリス31を介して伝播する入力面55aと、入力面55aと対向して治具5の上部に設けられ、検査用光信号21が出力する出力面55bとを備えている。
コア51a及び51bは、検査用光信号20及び21の導入及び出力が出来れば良いので、交差していなくても良く、これに限定されない。
(治具の製造法)
治具5は、例えば、一般によく用いられるフォトリソグラフィ法やRIE(反応性イオンエッチング)を利用した方法で作製可能であるが、本実施の形態においては、第1の実施の形態における第1及び第2の光導波路13A、13Bと同じ製造法を用い、製造された2つの光導波路を張り合わせることによって製造さる。続いて、コア51a及び51bが露出する面をダイサーによって切削して入力面52a、53a、54a及び55aと出力面52b、53b、54b及び55bを形成する。また、クラッド50及びコア51a、51bは、上記の光導波路層130と同じ材料で作製されるが、検査用光信号20及び21の導入及び出力が行える材料であえば、その材料は問わない。
(発光装置及び受光装置)
発光装置3は、第1の実施の形態と同様に、検査用光信号20を光ファイバ30を介して出力するように構成されている。光ファイバ30の光出力端には、図4(c)に示すように、レンズ41が設けられ、治具5の入力面52a及び54aとグリス31を介して光学的に接続されている。
受光装置4は、検査用光信号21を光ファイバ40を介して導入するように構成されている。光ファイバ40は、光ファイバ30と同様に構成され、その光入力端には、図4(d)に示すように、レンズ41が設けられ、治具5の出力面53b及び55bとグリス31を介して光学的に接続されている。
(光電子回路基板の検査)
(1)発光装置を用いた検査
始めに、発光装置3を用いた光電子回路基板1の検査について説明する。まず、下面にグリス31を塗布された治具5を開口150に挿入する。図3及び図4(b)に示すように、治具5の下部に設けられた入力面53a、及び出力面52bを露出した第1の光導波路13Aのコア132に、入力面55a及び出力面54bを露出した第2の光導波路13Bのコア132に、それぞれグリス31を介して光学的に接続する。
続いて発光装置3は、光ファイバ30、レンズ41及びグリス31を介して検査用光信号20を治具5の入力面54aから導入する。検査用光信号20は、入力面54aからコア51bに伝播し、図4(b)の出力面54bから第2の光導波路13Bのコア132に伝播する。第2の光導波路13Bを伝播した検査用光信号20は、第2の光導波路13Bに異常がなければ、光路変換面133Bによって光路を変換され、受光側開口101Bを通過して、受光素子121Bに到達する。
第2の光モジュール12Bの受光素子121Bが、検査用光信号20に基づいた電気信号を制御部127Bに出力したとき、第2の光導波路13B及び第2の光モジュール12Bの受光素子121Bは、正常であることが分かる。
ここで、第2の光モジュール12Bの受光素子121Bが、検査用光信号20に基づいた電気信号を制御部127Bに出力しなかったとき、第2の光導波路13B及び第2の光モジュール12Bの受光素子121Bの少なくとも1つに異常があることが分かる。
上記した検査方法と同様に、検査用光信号20を発光装置3から光ファイバ30、レンズ41及びグリス31を介して入力面52aに導入し、第1の光モジュール12Aの受光素子121Aが検査用信号20を受光したか否かによって、第1の光導波路13A及び第1の光モジュール12Aの受光素子121Aの検査ができる。
(2)受光装置を用いた検査
次に受光装置4を用いた光電子回路基板1の検査について説明する。まず、第1の光モジュール12Aの発光素子120Aから光信号2を出力する。出力された光信号2は、発光側開口100Aを通過したのち、光路変換面133Aによって光路を変換され、第2の光導波路13Bを伝播する。
第2の光導波路13Bに伝播した光信号2は、光導波路側開口135の露出したコア132からグリス31を介して、図4(b)に示す、治具5の入力面55aからコア51bにその一部が検査用光信号21として伝播する。
コア51bを伝播した検査用光信号21は、グリス31及びレンズ41を介して光ファイバ40に伝播し、受光装置4は、検査用光信号21を受光し、検査用光信号21に基づいた電気信号を所定の電子回路等に出力する。
ここで、受光装置4が検査用光信号21を受光できなかったとき、第2の光導波路13B及び第1の光モジュール12Aの発光素子120Aの少なくとも1つに異常があることが分かる。
上記した検査方法と同様に、第2の光モジュール12Bの発光素子120Bから出力された光信号2の一部である検査用信号21を入力面53a、出力面53b、グリス31、レンズ41及び光ファイバ40を介して受光装置4が受光するか否かによって、第1の光導波路13A及び第2の光モジュール12Aの発光素子120Bの検査ができる。
検査が終了したのち、基板側開口14及び光導波路側開口135は、第1及び第2の光導波路13A、13Bに伝播する光信号2を第1及び第2の光導波路13A、13B内に閉じ込めるため、例えば封入剤200によって封止される。
上記した第1及び第2の実施の形態は、開口150を第1の基板10に設けたが、第2の基板11に設けても良く、これに限定されない。
なお、本発明は、上記した実施の形態に限定されず、本発明の技術思想を逸脱あるいは変更しない範囲内で種々の変形が可能である。
(a)は、本発明の第1の実施の形態に係る光電子回路基板の斜視図であり、(b)は、本発明の第1の実施の形態に係る光電子回路基板のA―A線断面図であり、(c)は、本発明の第1の実施の形態に係る光電子回路基板のB―B線断面図である。 (a)は、本発明の第1の実施の形態に係る光電子回路基板のC−C線断面図であり、(b)は、本発明の第1の実施の形態に係る光電子回路基板のD部分の断面図である。 本発明の第2の実施の形態に係る治具を挿入した光電子回路基板のC−C線断面図である。 (a)は、本発明の第2の実施の形態に係る治具上面の平面図であり、(b)は、本発明の第2の実施の形態に係る治具下面の平面図であり、(c)は、本発明の第2の実施の形態に係るE部分の拡大図であり、(d)は、本発明の第2の実施の形態に係るF部分の拡大図である。
符号の説明
1…光電子回路基板、2…光信号、3…発光装置、4…受光装置、5…治具、10…第1の基板、11…第2の基板、12A…第1の光モジュール、12B…第2の光モジュール、13A…第1の光導波路、13B…第2の光導波路、14…基板側開口、20…検査用光信号、21…検査用光信号、30…光ファイバ、31…グリス、40…光ファイバ、41…レンズ、50…クラッド、51a…コア、51b…コア、52a…入力面、52b…出力面、53a…入力面、53b…出力面、54a…入力面、54b…出力面、55a…入力面、55b…出力面、100A…発光側開口、101B…受光側開口、110…端子、120A…発光素子、120B…発光素子、121A…受光素子、121B…受光素子、122…ワイヤ、123…パッド、124…端子、125…ハンダボール、126…ワイヤ、127A…制御部、127B…制御部、128…封止樹脂、129…基板、130…光導波路層、131…クラッド、132…コア、133A…光路変換面、133B…光路変換面、135…光導波路側開口、150…開口、200…封入剤、301…コア、302…クラッド

Claims (3)

  1. 電子回路を有し、光信号を第1の面側から第2の面側に通過させる発光側開口、及び前記光信号を前記第2の面側から前記第1の面側へ通過させる受光側開口が形成された基板と、
    前記基板の前記第1の面側に実装され、前記発光側開口に対向する位置に設けられた発光素子、及び前記受光側開口に対向する位置に設けられた受光素子と、
    コアと前記コアの周囲に設けられたクラッドからなり、前記基板の前記第2の面側に設けられ、前記発光側開口を前記第1の面側から前記第2の面側に通過する前記光信号の光路を変換する第1の光路変換面、前記第1の光路変換面により変換された前記光信号が前記受光側開口を前記第2の面側から前記第1の面側に通過するように前記光信号の光路を変換する第2の光路変換面、及び前記コアが露出するように前記クラッドに設けられた検査用開口を有し、前記検査用開口に露出した前記コアから検査用光信号を導入及び取出しされる光導波路とを備えた光電子回路基板。
  2. 前記基板は、前記発光側開口と前記受光側開口との間に基板側検査用開口を有し、
    前記光導波路の前記検査用開口は、前記基板側検査用開口に対応した位置に設けられる請求項1に記載の光電子回路基板。
  3. 更に、前記基板の前記第2の面側に前記光導波路を介して他の基板を備え、
    前記他の基板は、前記光導波路の前記検査用開口に対応した位置に基板側検査用開口を備える請求項1に記載の光電子回路基板。
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