JP2009052838A - 真空浸炭炉 - Google Patents
真空浸炭炉 Download PDFInfo
- Publication number
- JP2009052838A JP2009052838A JP2007221241A JP2007221241A JP2009052838A JP 2009052838 A JP2009052838 A JP 2009052838A JP 2007221241 A JP2007221241 A JP 2007221241A JP 2007221241 A JP2007221241 A JP 2007221241A JP 2009052838 A JP2009052838 A JP 2009052838A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- gas
- furnace
- carburizing
- vacuum
- nozzle
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
Images
Classifications
-
- Y—GENERAL TAGGING OF NEW TECHNOLOGICAL DEVELOPMENTS; GENERAL TAGGING OF CROSS-SECTIONAL TECHNOLOGIES SPANNING OVER SEVERAL SECTIONS OF THE IPC; TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC CROSS-REFERENCE ART COLLECTIONS [XRACs] AND DIGESTS
- Y02—TECHNOLOGIES OR APPLICATIONS FOR MITIGATION OR ADAPTATION AGAINST CLIMATE CHANGE
- Y02P—CLIMATE CHANGE MITIGATION TECHNOLOGIES IN THE PRODUCTION OR PROCESSING OF GOODS
- Y02P10/00—Technologies related to metal processing
- Y02P10/20—Recycling
Landscapes
- Solid-Phase Diffusion Into Metallic Material Surfaces (AREA)
- Heat Treatments In General, Especially Conveying And Cooling (AREA)
- Waste-Gas Treatment And Other Accessory Devices For Furnaces (AREA)
Abstract
【課題】 構造が簡潔で設備費および保守費が低コストで済む、ガスノズルの詰まりを検出できる真空浸炭炉を提供する。
【解決手段】 真空排気装置に接続した炉殻2内に、断熱材3で包囲した真空浸炭室4をそなえ、真空浸炭室4内に浸炭性ガスを導入して被処理物Wを真空浸炭する真空浸炭炉1において、断熱材3を貫通して真空浸炭室4内に開口するガスノズル11を炉長方向に複数本並設した炉長方向に延びるノズルヘッダ12を、炉殻2と断熱材3との間の空間10に複数本配設し、これら各ノズルヘッダ12を空間10に設けたメインヘッダ13に接続し、このメインヘッダ13を浸炭性ガス送入口14に接続するとともに、各ガスノズル11の断熱材3外側位置の表面部に、該ガスノズル11の詰まり検出手段として、ガスノズル表面温度検出用の温度計を取付けた。
【選択図】 図2
【解決手段】 真空排気装置に接続した炉殻2内に、断熱材3で包囲した真空浸炭室4をそなえ、真空浸炭室4内に浸炭性ガスを導入して被処理物Wを真空浸炭する真空浸炭炉1において、断熱材3を貫通して真空浸炭室4内に開口するガスノズル11を炉長方向に複数本並設した炉長方向に延びるノズルヘッダ12を、炉殻2と断熱材3との間の空間10に複数本配設し、これら各ノズルヘッダ12を空間10に設けたメインヘッダ13に接続し、このメインヘッダ13を浸炭性ガス送入口14に接続するとともに、各ガスノズル11の断熱材3外側位置の表面部に、該ガスノズル11の詰まり検出手段として、ガスノズル表面温度検出用の温度計を取付けた。
【選択図】 図2
Description
この発明は、鉄鋼材料からなる被処理物に、減圧下でガス浸炭を施す真空浸炭炉に関する。
真空浸炭炉においては、減圧雰囲気で被処理物を加熱後、アセチレン,エチレン,プロパン等の浸炭性ガスを真空浸炭室内に導入して被処理物表面を浸炭処理するが、被処理物がパレット上に多数個段積みされているような場合などは、真空浸炭室内の浸炭性ガスの分布が不均一だと、被処理物表面の浸炭層深さなどの浸炭性能にばらつきを生じるため、浸炭性ガス導入用のガスノズルを多数本設けて、浸炭性ガスの分布の均一化をはかっている。
ところがこれらの複数本のガスノズルには、浸炭性ガスのクラッキングにより詰まりが生じやすく、この詰まりが発生すると加熱室内の浸炭性ガスの分布が不均一となり、被処理物の浸炭性能にばらつきを生じることになる。そこでこのガスノズルの詰まりを早期に検出して該ノズルの清掃などをおこなう必要があり、このための詰まりの検出装置として、たとえば浸炭拡散室に複数個設けた各ノズル毎に、ガス導入用の電磁弁と絞り弁と該絞り弁を通る流量を検知するセンサ付き監視流量計を設け、この監視流量計の設定流量値を一定時間下まわるときにガスノズル目詰まりを予知信号として検知するようにした真空熱処理炉のガスノズル目詰まりの予知検知装置が提案されている(特許文献1参照。)。
特開2003−106878号公報
ところが上記特許文献に記載の装置においては、各ガスノズル毎に監視流量計を設けているので、ガスノズルの本数が数10本に及ぶ場合には、設備費およびその保守費用がかさみ、また各ガスノズルは炉殻を貫通しているので、多数個の真空シール機構付きの貫通部の設置により設備費が一層かさむなどの問題点を有するものである。
この発明は上記従来の問題点を解決しようとするもので、構造が簡潔で設備費および保守費が低コストで済む、ガスノズルの詰まりを検出できる真空浸炭炉を提供することを目的とする。
上記目的を達成するために、この発明の真空浸炭炉は、真空排気装置に接続した炉殻内に、断熱材で包囲した真空浸炭室をそなえ、該真空浸炭室内に浸炭性ガスを導入して被処理物を真空浸炭する真空浸炭炉において、前記断熱材を貫通して前記真空浸炭室内に開口するガスノズルを炉長方向に複数本並設した炉長方向に延びるノズルヘッダを、前記炉殻と前記断熱材との間の空間に複数本配設し、これら各ノズルヘッダを前記空間に設けたメインヘッダに接続し、このメインヘッダを浸炭性ガス送入口に接続するとともに、前記各ガスノズルの前記断熱材外側位置の表面部に、該ガスノズルの詰まり検出手段として、ガスノズル表面温度検出用の温度計を取付けたことを特徴とする。
この発明の真空浸炭炉によれば、メインヘッダおよびノズルヘッダはいずれも炉殻と断熱材との間の空間に設けられ、このノズルヘッダに取付けたガスノズルは炉殻を貫通していないので、炉殻にはこの貫通による多数個の真空シール機構を設ける必要がなく、炉殻の構造が簡潔なもので済み、またガスノズルの詰まり検出手段として用いるガスノズル表面温度検出用のたとえば熱電対などで構成される温度計は、ガス流量を直接計量する流量計よりは遙かに低価格で保守の手間がかからず、真空浸炭室内の浸炭性ガスの分布の均一化のために多数本のガスノズルを用いた場合、設備費および保守費が低コストで済む装置によって、ガスノズルの詰まりの検出と、浸炭性能のばらつきの少ない真空浸炭をおこなうことができる。
以上説明したようにこの発明によれば、構造が簡潔で設備費および保守費が低コストで済む、ガスノズルの詰まりを検出できる真空浸炭炉が得られる。
以下、図1〜図7に示す一例により、この発明の実施の形態を説明する。図1および図2は、真空浸炭炉1の全体の構成を示し、水冷式(細部の図示は省略)の炉殻2内に、断熱材3で包囲した真空浸炭室4を形成してある。5は加熱用の電熱ヒータ(図1では一部のみを図示)、6は炉殻2に設けた真空排気口で、図示しない真空排気装置に接続されている。この例の真空浸炭炉1は、たとえば特開2006−63363号公報に開示されているような多室型の真空熱処理設備の真空浸炭処理チャンバに相当するものであり、引戸式の扉7を開閉し開口部8を経て、図示しない搬送ユニットにより被処理物Wの架台9上への装入、浸炭処理後の被処理物Wの引取り及び図示しない焼入チャンバへの装入などをおこなって、真空熱処理がおこなわれる。
11は浸炭性ガスを真空浸炭室4内に導入するためのガスノズルで、図3および図4にも示すように、断熱材3を貫通して先端が真空浸炭室4内に開口している。12はガスノズル11を複数本(この例では5本)並設したノズルヘッダで、炉殻2と断熱材3の間の空間10に、炉長方向に延びるように配設されている。このガスノズル11付きのノズルヘッダ12は図2に示すように、空間10に炉周方向に等間隔で6本配設され、炉体の横断面当り6本のガスノズル11が放射状に配置されているので、炉全体で合計30本のガスノズル11が設けられている。そして6本のノズルヘッダ12の基部は、同じく空間10に設けた環状のメインヘッダ13に接続され、このメインヘッダ13は、炉殻に設けた浸炭性ガス送入口14に、接続管15を介して接続されている。
そして図4に示すように、各ガスノズル11の断熱材3の外側位置の表面部には、このガスノズルの詰まり検出手段として、ガスノズル表面温度検出用の温度計であるシース熱電対21のシース部をパテにより固定取付けし、その外面部を保温材(この例ではセラミックファイバ)で覆ってある。22はシース熱電対21に接続した導線で、各ガスノズル11部からの多数本の導線22は、ノズルヘッダ12およびメインヘッダ13部に沿って保持され、ひとまとめにして炉殻2に設けたシール部23を経て炉外へ導出され、図6に示す温度計測部38に接続されている。なお図6に示す各機器については、後述する。
図4におけるシース熱電対21によるガスノズル11の詰まり検出は、次のような温度の特性を利用する。すなわち、ガスノズル11の先端部は温度Tf(たとえば950℃)の真空浸炭室4内にあり、シース熱電対21取付部は、温度Ta(炉殻2による水冷効果によりたとえば100℃)の空間10内にあるので、ガスノズル11内のガス流のないときは、シース熱電対21による検出温度は、ガスノズル11の温度Tf側からの伝導熱と空間10内への放射熱によって定まる非流通時温度T0(図5参照)となるが、ノズルヘッダ12から供給された温度Tg(常温)のガスGがガスノズル11内を流通している状態では、上記ガスGによる冷却が加わるため上記T0より低い流通時温度T1となる。そして図5の温度曲線に示すようにこの温度T1はガス流通量増加に伴って降温し、またこの温度曲線は真空浸炭室4の温度Tfによって異なるものとなる。
そこで真空浸炭室4内の温度Tfが一定(=後述する詰まり検出時の温度)の状態で、ガス流量が0のときの各ガスノズル11の非流通時温度T0を予め測定してデータとして保持しておき、目詰まり検出時には所定流量QのガスGを、浸炭性ガス送入口14,メインヘッダ13を経て各ガスノズル11に供給し(30本の各ガスノズル11には、この流量の1/30が供給される)、各ガスノズル11の熱電対検出温度T′を計測しこの計測値T′と前記T0から各ガスノズル11毎に算出した温度差ΔT=T0−T′が、流量Q付近での前記テストデータ等から想定される温度差ΔTよりも十分小さく設定した閾値Δt(たとえばΔt=50℃)以下となったとき、当該ガスノズル11における詰まり発生(詰まり発生に近い状態を含む)として検出することができるのである。
次に図6は、真空浸炭炉1のガスノズル11の詰まり検出系を組込んだ、ガス流量制御系の機器接続系統図で、この例の真空浸炭炉1では、C2H2ガスからなる浸炭性ガスと、N2ガスからなる不活性ガスを、プロセスガスとして用いる。そして真空浸炭処理時には、図示しない圧力制御系による炉殻2内の真空度の制御、および図示しない温度制御系による真空浸炭室4内の温度の制御と共に、図6に示すガス流量制御系によるガス流量制御により、図7に示すようなパルス浸炭がおこなわれる。このとき制御装置31は該装置に格納された制御プログラムに従って、開閉弁32,33に開閉信号を、流量調節器34に流量設定信号を、それぞれ出力して、図7に示すタイミングで、所定の流量のN2ガス,C2H2ガスを、浸炭性ガス送入口14を経て各ガスノズル11から真空浸炭室4内に切替供給する。
一方、制御装置31には、詰まり検出演算部35が組込まれており、この詰まり検出演算部35には、前述の予め測定した各ガスノズル11の非流通時温度T0のデータおよび前述の閾値Δtが格納されている。なお被処理物の種類や量等によって真空浸炭室4内の炉内温度Tfが複数種類にわたる場合は、上記非流通時温度T0および閾値Δtは、各炉内温度Tfにおいて測定・設定された多数個データを格納しておく。
そしてこの例の真空浸炭炉1では、図7に示す昇温期の終期において、一定流量供給されているN2ガスを、ガスノズル11への供給ガスGとして利用して、ガスノズル11の詰まり検出をおこなう。すなわち、昇温期の終期において、図6における熱電対36により測温し温度変換器37によりデータ変換した炉内温度Tfがほぼ一定値となったら、その時点で各ガスノズル11に付設したシース熱電対21によりガスノズル11の表面温度を検出し、温度計測部38により温度データに変換した検出温度T′と、炉内温度Tfにおける前記格納されている非流通時温度T0をもとに、詰まり検出演算部35においては温度差ΔT=T0−T′の演算と、このΔTと閾値Δtとの比較を、各ガスノズル11毎におこない、ΔT<Δtとなったときに該当するガスノズル11に詰まり発生と判定して、装置内に記録するとともに、図示しない表示部への表示,警報装置の吹鳴などをおこなうのである。
詰まり発生が検出された場合は、昇温に続く浸炭・拡散工程が1チャージ分終了した時点などに、該当するガスノズル11に対して、高圧ガス流通その他の方法による詰まり除去や、ガスノズル自体の交換などをおこなえばよい。
以上のようにして多数本のガスノズル11に対して、ガスノズル表面温度検出によりガスノズルの詰まりを正確・迅速に検出でき、真空浸炭室4内の浸炭性ガスを均一分布状態に維持して、浸炭性能のばらつきの少ない良好な真空浸炭をおこなうことができる。そしてメインヘッダ13およびノズルヘッダ12はいずれも炉殻2内の空間10に設けられ、多数本のガスノズル11は炉殻2を貫通していないので、炉殻2の構造は簡潔なもので済む。またガスノズル11の表面温度検出用のシース熱電対21は、ガス流量を直接計量する流量計よりは遙かに低価格で保守の手間がかからず、また温度が100℃程度に達する空間10内に設置しても性能上何ら問題はなく(上記流量計はこのような温度環境には設置困難である)、多数本のガスノズル11を用いても、設備費および保守費は低コストで済むのである。
この発明は上記の例に限定されるものではなく、たとえばノズルヘッダ12の本数や、ガスノズル11の本数など、各部の具体的構成は上記以外のものとしてもよい。またガスノズル表面温度検出用の温度計としては、上記のシース熱電対21のほか、他形式の各種熱電対や、測温抵抗体など用いてもよい。またガスノズルの詰まりの検出は、上記のように真空浸炭処理工程における送入ガス流を利用しておこなうほか、詰まり検出専用のガスを所定の時期に浸炭性ガス供給口内へ供給しておこなってもよく、また使用するガスは浸炭性ガスなど、不活性ガス以外のガスを用いてもよい。さらに詰まりの検出は、上記の温度差ΔTと閾値との比較による他、温度計により連続検出している温度計測値の変化率の大きさの閾値との比較など、他の判定方法によってもよい。
またこの発明は、上記の多室型熱処理設備の真空浸炭処理チャンバとして真空浸炭炉のほか、バッチ処理式の真空浸炭炉や、連続熱処理設備における真空浸炭処理帯を形成する真空浸炭炉にも、適用できるものである。
1…真空浸炭炉、2…炉殻、3…断熱材、4…真空浸炭室、5…電熱ヒータ、6…真空排気口、10…空間、11…ガスノズル、12…ノズルヘッダ、13…メインヘッダ、14…浸炭性ガス送入口、15…接続管、21…シース熱電対、31…制御装置、35…詰まり検出演算部、38…温度計測部。
Claims (1)
- 真空排気装置に接続した炉殻内に、断熱材で包囲した真空浸炭室をそなえ、該真空浸炭室内に浸炭性ガスを導入して被処理物を真空浸炭する真空浸炭炉において、
前記断熱材を貫通して前記真空浸炭室内に開口するガスノズルを炉長方向に複数本並設した炉長方向に延びるノズルヘッダを、前記炉殻と前記断熱材との間の空間に複数本配設し、これら各ノズルヘッダを前記空間に設けたメインヘッダに接続し、このメインヘッダを浸炭性ガス送入口に接続するとともに、
前記各ガスノズルの前記断熱材外側位置の表面部に、該ガスノズルの詰まり検出手段として、ガスノズル表面温度検出用の温度計を取付けたことを特徴とする真空浸炭炉。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2007221241A JP2009052838A (ja) | 2007-08-28 | 2007-08-28 | 真空浸炭炉 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2007221241A JP2009052838A (ja) | 2007-08-28 | 2007-08-28 | 真空浸炭炉 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2009052838A true JP2009052838A (ja) | 2009-03-12 |
Family
ID=40504068
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2007221241A Pending JP2009052838A (ja) | 2007-08-28 | 2007-08-28 | 真空浸炭炉 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP2009052838A (ja) |
Cited By (7)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2011026647A (ja) * | 2009-07-23 | 2011-02-10 | Koyo Thermo System Kk | ガス浸炭処理装置およびガス浸炭方法 |
CN102294529A (zh) * | 2011-08-31 | 2011-12-28 | 太仓市华瑞真空炉业有限公司 | 一种真空钎焊炉 |
WO2015163155A1 (ja) * | 2014-04-24 | 2015-10-29 | 株式会社Ihi | 熱処理装置 |
CN105364045A (zh) * | 2014-08-29 | 2016-03-02 | 一胜百模具技术(上海)有限公司 | 真空炉冷却用喷嘴 |
EP3477235A1 (en) | 2017-10-31 | 2019-05-01 | Dowa Thermotech Co., Ltd. | Heat treatment facility |
JP2020158865A (ja) * | 2019-03-28 | 2020-10-01 | 高砂工業株式会社 | 浸炭ガスノズルおよび真空浸炭炉 |
KR102453683B1 (ko) * | 2022-07-13 | 2022-10-11 | 김가원 | 진공침탄로 및 진공침탄 방법 |
-
2007
- 2007-08-28 JP JP2007221241A patent/JP2009052838A/ja active Pending
Cited By (14)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2011026647A (ja) * | 2009-07-23 | 2011-02-10 | Koyo Thermo System Kk | ガス浸炭処理装置およびガス浸炭方法 |
CN102294529A (zh) * | 2011-08-31 | 2011-12-28 | 太仓市华瑞真空炉业有限公司 | 一种真空钎焊炉 |
CN106104187A (zh) * | 2014-04-24 | 2016-11-09 | 株式会社Ihi | 热处理装置 |
WO2015163155A1 (ja) * | 2014-04-24 | 2015-10-29 | 株式会社Ihi | 熱処理装置 |
JPWO2015163155A1 (ja) * | 2014-04-24 | 2017-04-13 | 株式会社Ihi | 熱処理装置 |
CN105364045A (zh) * | 2014-08-29 | 2016-03-02 | 一胜百模具技术(上海)有限公司 | 真空炉冷却用喷嘴 |
WO2016029713A1 (zh) * | 2014-08-29 | 2016-03-03 | 一胜百模具技术(上海)有限公司 | 真空炉冷却用喷嘴 |
EP3477235A1 (en) | 2017-10-31 | 2019-05-01 | Dowa Thermotech Co., Ltd. | Heat treatment facility |
CN109722620A (zh) * | 2017-10-31 | 2019-05-07 | 同和热处理技术株式会社 | 热处理设备 |
US10870909B2 (en) | 2017-10-31 | 2020-12-22 | Dowa Thermotech Co., Ltd. | Heat treatment facility |
CN109722620B (zh) * | 2017-10-31 | 2021-03-09 | 同和热处理技术株式会社 | 热处理设备 |
JP2020158865A (ja) * | 2019-03-28 | 2020-10-01 | 高砂工業株式会社 | 浸炭ガスノズルおよび真空浸炭炉 |
JP7236729B2 (ja) | 2019-03-28 | 2023-03-10 | 高砂工業株式会社 | 浸炭ガスノズルおよび真空浸炭炉 |
KR102453683B1 (ko) * | 2022-07-13 | 2022-10-11 | 김가원 | 진공침탄로 및 진공침탄 방법 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
JP2009052838A (ja) | 真空浸炭炉 | |
US8835811B2 (en) | Thermal processing apparatus and method of controlling the same | |
TWI394940B (zh) | Metal surface temperature measuring device | |
CN114134275A (zh) | 一种高炉炉缸气隙的判断方法 | |
JP5554518B2 (ja) | 基板の温度を決定する方法および装置 | |
JP2012172871A (ja) | 熱処理装置および熱処理装置の温度測定方法 | |
JPH0567893B2 (ja) | ||
CN111020703B (zh) | 高温真空炉及半导体加工设备 | |
JP2002352938A (ja) | 熱処理装置のヒ−タ素線の断線予測方法及び熱処理装置 | |
CN108483440A (zh) | 一种核石墨粉纯化工艺 | |
JP2009033115A (ja) | 加熱装置及びこれを用いた基板処理装置並びに半導体装置の製造方法並びに絶縁体 | |
JP4272343B2 (ja) | 工業炉における雰囲気温度検知方法及び燃焼制御方法 | |
CN111595901A (zh) | 一种耐火材料导热系数的测量装置及方法 | |
US20170003178A1 (en) | Method and apparatus for determining the skin temperatures of heat-exchange tubes in a fired tubular gas heater | |
KR101267698B1 (ko) | 기계적 물성 모사 장치 및 그 모사 방법 | |
KR20070069907A (ko) | 반도체 소자 제조용 확산로의 웨이퍼 장치 | |
JP5223198B2 (ja) | 放射温度計の故障監視方法 | |
KR100862783B1 (ko) | 가열로의 가스유속 측정장치 | |
KR102452021B1 (ko) | 온도 감시 장치, 열처리 장치 및 온도 감시 방법 | |
JP2004239634A (ja) | エチレン製造装置用分解炉の出口温度測定システム | |
Failleau et al. | Adiabatic Calorimetry Approach to Assess Thermal Influences on the Indium Melting Point | |
CN113111519A (zh) | 一种判断20g锅炉水冷壁爆管超温区间和时间的方法 | |
JPS6117919A (ja) | 溶融金属の温度測定装置 | |
JP4664784B2 (ja) | 高炉内溶銑温度の推定方法 | |
Nanigian | Improving accuracy and response of thermocouples in ovens and furnaces |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
RD04 | Notification of resignation of power of attorney |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A7424 Effective date: 20100720 |