JP2009047810A - Light-irradiation device - Google Patents
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Abstract
Description
本発明は、マスク保持部材に遮光マスクを吸着保持させる構成を備えた光照射装置に係り、詳しくは、液晶等のフラットパネルディスプレイ(FPD:Flat Panel Display)に用いる2枚の基板の貼り合わせ工程に使用する光照射装置に関する。 The present invention relates to a light irradiation apparatus having a configuration in which a light-shielding mask is adsorbed and held on a mask holding member, and more specifically, a process for bonding two substrates used for a flat panel display (FPD) such as a liquid crystal display. The present invention relates to a light irradiation device used for the above.
従来、例えば特許文献1に示す光照射装置では、紫外線源からの紫外線の一部がマスク保持部材に吸着保持された遮光マスクにより遮光され、貼り合わせ基板におけるシール材のみに紫外線が照射されるようになっている。このような光照射装置において、遮光マスクをマスク保持部材に吸着する際には、まず、ワークステージ上に載置した遮光マスクの上面をマスク保持部材に当接させた後、マスク保持部材における遮光マスクとの当接面に形成された吸着凹部にて所定時間に亘って真空吸引する。これにより、遮光マスクとマスク保持部材との間に残存する空気が吸着凹部に吸い込まれ、遮光マスクはマスク保持部材に吸着保持される。また、マスク保持部材に吸着された遮光マスクを取り外す際には、マスク保持部材に接続された圧縮エアー供給装置等によって吸着凹部内に空気を所定時間亘って送り込む。すると、吸着凹部からの空気が遮光マスクとマスク保持部材との間に徐々に拡がり、遮光マスクの吸着状態が解消されて遮光マスクがマスク保持部材から剥離される。
しかしながら、上記のような光照射装置では、遮光マスクの吸着時において、遮光マスクとマスク保持部材との間に残存する空気を吸引するとともに、吸着凹部近傍の遮光マスクの縁からマスク保持部材との間に流れ込む外気を吸引してしまい、遮光マスクの吸着に長い時間が掛かる虞があった。また、遮光マスクを剥離する時においても同様に、吸着凹部からの空気が遮光マスクとマスク保持部材との間の所定範囲に拡がる前に、吸着凹部からの空気の一部が吸着凹部近傍の遮光マスクの縁から外部へ漏れてしまい、遮光マスクの吸着が解消されるまでに非常に長くの時間を要する虞があった。特に、近年、大型化傾向にあるフラットパネルディスプレイ等の貼り合わせに用いる光照射装置においては、貼り合わせ基板のサイズに応じて遮光マスクも大型化しており、その問題が顕著なものとなる。 However, in the light irradiation apparatus as described above, the air remaining between the light shielding mask and the mask holding member is sucked at the time of suction of the light shielding mask, and the edge of the light shielding mask in the vicinity of the suction recess is connected to the mask holding member. The outside air flowing in between is sucked, and there is a possibility that it takes a long time to adsorb the light shielding mask. Similarly, when the light shielding mask is peeled off, before the air from the suction recess spreads to a predetermined range between the light shielding mask and the mask holding member, part of the air from the suction recess is shielded from light near the suction recess. There is a possibility that it will take a very long time for the light to leak from the edge of the mask to the outside and the adsorption of the light shielding mask is eliminated. In particular, in light irradiation apparatuses used for bonding flat panel displays and the like that have been increasing in size in recent years, the shading mask is also increased in size in accordance with the size of the bonded substrate, and the problem becomes significant.
本発明は、上記課題を解決するためになされたものであって、その目的は、遮光マスクの着脱に要する時間を短縮することができる光照射装置を提供することにある。 The present invention has been made to solve the above problems, and an object of the present invention is to provide a light irradiation apparatus capable of shortening the time required for attaching and detaching the light shielding mask.
上記課題を解決するために、請求項1に記載の発明は、載置台に載置された遮光マスクの上面とマスク保持部材とを当接させ、その遮光マスクを前記マスク保持部材に吸着させて保持し、前記遮光マスクの下方に配置される被照射板に対して前記マスク保持部材及び前記遮光マスクを介して光を照射する光照射装置であって、前記マスク保持部材における前記遮光マスクとの当接面には、該遮光マスクを吸着させるべく真空吸引する吸着凹部が形成され、前記載置台には、前記遮光マスクにおける前記吸着凹部よりも縁側の部分を前記マスク保持部材に押し付ける押圧部が、該載置台から突出することをその要旨とする。 In order to solve the above-described problem, the invention according to claim 1 is configured such that the upper surface of the light shielding mask placed on the mounting table and the mask holding member are brought into contact with each other, and the light shielding mask is attracted to the mask holding member. A light irradiation apparatus for holding and irradiating light to an irradiated plate disposed below the light shielding mask through the mask holding member and the light shielding mask, the light irradiation apparatus including the light shielding mask in the mask holding member The contact surface is formed with a suction recess for vacuum suction to suck the light shielding mask, and the mounting table has a pressing portion for pressing a portion of the light shielding mask closer to the edge than the suction recess to the mask holding member. The gist is to protrude from the mounting table.
この発明では、遮光マスクにおける前記吸着凹部よりも縁側の部分が押圧部によってマスク保持部材に押し付けられるため、遮光マスクの吸着時において、遮光マスクとマスク保持部材との間への外気の流れ込みを抑制できる。これにより、吸着凹部はマスク保持部材と遮光マスクとの間に残存する空気を効率的に吸引することができる。また、例えば吸着凹部に空気を送り込んで遮光マスクの取り外す際において、吸着凹部から外部への空気の漏れを抑制でき、これにより、遮光マスクとマスク保持部材との間に効率的に空気を送り込むことができる。従って、遮光マスクの着脱に要する時間を短縮することが可能である。 In this invention, since the portion on the edge side of the suction concave portion of the light shielding mask is pressed against the mask holding member by the pressing portion, the flow of outside air between the light shielding mask and the mask holding member is suppressed during suction of the light shielding mask. it can. Thereby, the adsorption | suction recessed part can attract | suck the air which remains between a mask holding member and a light shielding mask efficiently. In addition, for example, when air is sent to the suction recess and the shading mask is removed, air leakage from the suction recess to the outside can be suppressed, thereby efficiently sending air between the shading mask and the mask holding member. Can do. Therefore, it is possible to reduce the time required for attaching / detaching the light shielding mask.
請求項2に記載の発明は、請求項1に記載の光照射装置において、前記押圧部は、前記遮光マスクとの当接部分が連続的な枠状となるように設けられたことをその要旨とする。
この発明では、押圧部と遮光マスクとの当接部分が連続的な枠状であるため、遮光マスクの吸着時における遮光マスクとマスク保持部材との間への外気の流れ込み(又は、遮光マスク剥離時における空気漏れ)を防止することができる。
The invention according to claim 2 is the gist of the light irradiation device according to claim 1, wherein the pressing portion is provided so that a contact portion with the light shielding mask has a continuous frame shape. And
In this invention, since the contact portion between the pressing portion and the light shielding mask has a continuous frame shape, the flow of outside air between the light shielding mask and the mask holding member during the suction of the light shielding mask (or the light shielding mask peeling). Air leakage at the time) can be prevented.
請求項3に記載の発明は、請求項2に記載の光照射装置において、前記載置台と前記遮光マスクとの間が前記押圧部にてシールされ、そのシールされた空間の気圧を変化させて前記遮光マスクに圧力を付与する気圧可変手段を備えたことをその要旨とする。 According to a third aspect of the present invention, in the light irradiation device according to the second aspect, the space between the mounting table and the light shielding mask is sealed by the pressing portion, and the pressure of the sealed space is changed. The gist of the invention is that it includes a pressure varying means for applying pressure to the light shielding mask.
この発明によれば、気圧可変手段により遮光マスクに作用する圧力が着脱時に補助的な役割を果たし、遮光マスクの着脱に要する時間をより短縮することが可能である。また、載置台と遮光マスクとの間が押圧部にてシールされているため、気圧可変手段による気圧変化が遮光マスクに対して効率的に作用する。 According to the present invention, the pressure acting on the light shielding mask by the atmospheric pressure varying means plays an auxiliary role at the time of attachment / detachment, and the time required for attachment / detachment of the light shielding mask can be further shortened. Further, since the space between the mounting table and the light shielding mask is sealed by the pressing portion, the atmospheric pressure change by the atmospheric pressure varying means efficiently acts on the light shielding mask.
請求項4に記載の発明は、請求項3に記載の光照射装置において、前記気圧可変手段は、前記遮光マスクを吸着する吸着時において、前記載置台と前記遮光マスクとの間の空間を加圧し、前記遮光マスクを剥離する時において、前記載置台と前記遮光マスクとの間の空間を減圧することをその要旨とする。 According to a fourth aspect of the present invention, in the light irradiation apparatus according to the third aspect, the air pressure varying unit adds a space between the mounting table and the light shielding mask at the time of sucking the light shielding mask. The gist is to depressurize the space between the mounting table and the light shielding mask when the light shielding mask is peeled off.
この発明によれば、遮光マスクの吸着時には遮光マスクをマスク保持部材に押し付ける力が働き、遮光マスクを剥離する時には、遮光マスクをマスク保持部材から引き離す力が働く。従って、気圧可変手段が遮光マスク着脱時に補助的な役割を果たすことができ、遮光マスクの着脱に要する時間をより短縮することが可能である。 According to the present invention, a force that presses the light shielding mask against the mask holding member acts when the light shielding mask is attracted, and a force that pulls the light shielding mask away from the mask holding member acts when the light shielding mask is peeled off. Therefore, the air pressure varying means can play an auxiliary role when the light shielding mask is attached / detached, and the time required for attaching / detaching the light shielding mask can be further shortened.
請求項5に記載の発明は、請求項1〜4のいずれか1項に記載の光照射装置において、前記押圧部は、その前記遮光マスクと当接する当接部分が前記載置台から突出しない位置まで退避可能に設けられたことをその要旨とする。 According to a fifth aspect of the present invention, in the light irradiation device according to any one of the first to fourth aspects, the pressing portion is a position where a contact portion that contacts the light shielding mask does not protrude from the mounting table. The gist of this is that it can be evacuated.
この発明によれば、載置台に被照射物を載置する場合等、押圧部が邪魔になる場合において、押圧部の突出をなくすことができる。 According to the present invention, the protrusion of the pressing portion can be eliminated when the pressing portion is in the way, such as when an object to be irradiated is placed on the mounting table.
従って、上記記載の発明によれば、遮光マスクの着脱に要する時間を短縮することができる。 Therefore, according to the above-described invention, the time required for attaching and detaching the light shielding mask can be shortened.
以下、液晶ディスプレイ(LCD)のパネルを製造するパネル製造装置に用いられる紫外線照射装置に本発明を具体化した一実施形態を図面に従って説明する。
図1に示す紫外線照射装置は、液晶パネルを構成する光透過性の貼り合わせ基板W(図中、中央上部)の間に介在された紫外線硬化性樹脂よりなるシール材(図示略)に紫外線を照射することで、そのシール材を硬化させるためのものである。尚、シール材が介在された貼り合わせ基板Wは、パネル製造装置におけるシール材塗布工程、液晶滴下工程及びプレス工程にて成形されるものである。これらの工程により、貼り合わせ基板W間にはシール材が板面に沿って枠状に形成され、そのシール材の枠中には滴下された液晶(図示略)が存在している。
Hereinafter, an embodiment in which the present invention is embodied in an ultraviolet irradiation apparatus used in a panel manufacturing apparatus for manufacturing a liquid crystal display (LCD) panel will be described with reference to the drawings.
The ultraviolet irradiation device shown in FIG. 1 applies ultraviolet rays to a sealing material (not shown) made of an ultraviolet curable resin interposed between light-transmitting bonded substrates W (in the upper center in the figure) constituting the liquid crystal panel. This is for curing the sealing material by irradiation. The bonded substrate W with the sealing material interposed is formed by a sealing material application process, a liquid crystal dropping process, and a pressing process in the panel manufacturing apparatus. By these steps, a sealing material is formed in a frame shape between the bonded substrates W along the plate surface, and dropped liquid crystal (not shown) exists in the frame of the sealing material.
[紫外線照射装置の構成]
図1に示すように、平面をなす基部1上には上記プレス工程後に搬送される貼り合わせ基板Wを載置するためのワークステージ部11が設けられるとともに、該基部1にはワークステージ部11の上側に配置されるマスク保持部材12を支持するためのマスクステージ13が固定されている。また、マスク保持部材12の上側には、図示しない筐体に支持固定されたランプハウス14が配置されるとともに、そのランプハウス14内には紫外線源としてのランプ15が下方に向かって紫外線を照射するように取り付けられている。
[Configuration of UV irradiation equipment]
As shown in FIG. 1, a
マスクステージ13によって両端が支持固定されたマスク保持部材12は、光透過性の板状部材からなり、その下面12aには板状の遮光マスク20が吸着保持されている。マスク保持部材12の下面12aには、遮光マスク20の縁に沿った連続的な枠状をなす吸着凹部としての吸着溝21が該遮光マスク20のサイズに応じて形成されている。また、マスク保持部材12には吸着溝21内を減圧するための真空ポンプ22、及び吸着溝21内を加圧するための圧縮エアー供給装置23が切替バルブ24を介して選択的に接続されている。
The
遮光マスク20は、ガラス等よりなる光透過性の板状部材の下面に遮光性材料にて所定のマスクパターンが形成されてなる。この遮光マスク20はマスク保持部材12の下面12aの所定位置に配置されて該下面12aと接触するとともに、真空ポンプ22と連通された吸着溝21からの真空吸引によってマスク保持部材12に吸着保持されている。上記ランプ15から出射された紫外線は遮光マスク20によってその一部が遮光され、上記ワークステージ部11に載置された貼り合わせ基板Wのシール材のみに照射されるようになっている。
The
次に、ワークステージ部11の構成について説明する。
ワークステージ部11下段のワーク移動機構31は、基部1上面に沿う方向に移動可能に設けられるとともに、基部1上面に対し水平方向に回転可能に設けられている。ワーク移動機構31の上段にはワークステージ部11の上下動作を行うための駆動部32が設けられている。駆動部32には一対のリフトピン33が立設されるとともに、リフトピン33の上下方向中間位置には各リフトピン33に跨る支持台34が固定されている。支持台34の両側位置には、前記マスクステージ13に支持固定されたアライメントカメラ35がそれぞれ配置されている。尚、アライメントカメラ35はワークステージ部11の位置合わせを行うためのものである。駆動部32における各リフトピン33の間には、支持台34に挿通された柱状の可動部36が上下方向に移動可能となるように設けられている。
Next, the configuration of the
The
可動部36の上端には載置台としてのワークステージ本体40が固定されるとともに、そのワークステージ本体40の上面には平面状をなす載置面40aが形成されている。ワークステージ本体40は、上記ワーク移動機構31の動作に伴って平面移動及び回転するとともに、可動部36の動作に伴って上下移動するようになっている。ワークステージ本体40の載置面40aには、照射加工時においては上記貼り合わせ基板Wが載置され、遮光マスク20の着脱時においては遮光マスク20が載置される。
A work stage
ワークステージ本体40にはリフトピン33がそれぞれ挿通される挿通孔40bが貫通形成されるとともに、前記アライメントカメラ35の光軸と対応する位置には貫通孔40cが形成されている。尚、貫通孔40cの開口下端は透明板40dによって閉塞されている。また、貫通孔40c下端と透明板40dとの間、及び挿通孔40bとリフトピン33との間はそれぞれ封止されている。
The
また、ワークステージ本体40には、遮光マスク20の吸着時において載置面40a上にエアーを送り込むための圧縮エアー供給装置41と、遮光マスク20を剥離する時において載置面40a上の空気を真空吸引する真空ポンプ42とが切替バルブ43を介して選択的に接続されている。これら圧縮エアー供給装置41、真空ポンプ42及び切替バルブ43は気圧可変手段を構成している。
The
載置面40aには、図1左方の拡大図に示すように、前記マスク保持部材12の吸着溝21及び遮光マスク20のサイズに対応して形成された保持溝40eが設けられている。詳しくは、保持溝40eは吸着溝21のより大きな枠状に形成されるとともに、遮光マスク20の周縁に沿うように形成されている。この保持溝40eには、弾性的な部材よりなる押圧部としての可動シール44が上下移動可能に設けられている。可動シール44は、保持溝40eと同様に連続的な枠状をなすとともに、その上下方向長さは保持溝40eの深さより小さく形成されている。
As shown in the enlarged view on the left side of FIG. 1, the mounting
可動シール44の下側における保持溝40eとの間の空間は、可動シール44下部に形成された突起44aにより封止されている。この可動シール44下側の空間は、図示しない真空ポンプ及び圧縮エアー供給装置と選択切替可能に連通されている。この封止された空間を減圧すると、可動シール44は下降してその上端が載置面40aより下側に位置する退避状態となる(図1参照)。逆に、その封止された空間を加圧すると、可動シール44は上方に移動して載置面40aから突出する突出状態となる(図2参照)。尚、図2では、説明の便宜のため、可動シール44の突出量を誇張して図示している。突出状態において、可動シール44下側の空間にはその突出状態を保持可能な所定圧が付与される。また、可動シール44は、保持溝40eの開口付近に設けられた抜出防止用の係止部45により保持溝40eから抜け出ることが防止されている。
The space between the lower side of the
[遮光マスクの吸着]
上記のような紫外線照射装置において、遮光マスク20をマスク保持部材12に吸着保持させる際には、まず、ワークステージ本体40が十分に下がった状態において、遮光マスク20をリフトピン33の上端に載置した後、可動シール44を退避状態としたワークステージ本体40を上昇させる。ワークステージ本体40は、その上昇途中で遮光マスク20を持ち上げ、遮光マスク20の上面がマスク保持部材12の下面12aと当接するまで上昇する(図2参照)。尚、平面視で遮光マスク20の内側に吸着溝21の全体が収まるように、ワークステージ本体40は上昇前(若しくは上昇中)において位置決めされる。遮光マスク20とマスク保持部材12との当接後、可動シール44を突出状態とすべく上方に移動させる。これにより、遮光マスク20における吸着溝21よりも縁側の周縁部20aは、可動シール44によってマスク保持部材12に押し付けられる。また、可動シール44は遮光マスク20に密着し、ワークステージ本体40と遮光マスク20との間の空間は封止された密閉空間Sが形成される。
[Adsorption of shading mask]
In the ultraviolet irradiation apparatus as described above, when the
次に、吸着溝21内を真空ポンプ22により減圧するとともに、密閉空間Sを圧縮エアー供給装置41により加圧する。このとき、遮光マスク20は周縁部20aが可動シール44によりマスク保持部材12側に押圧されているので、遮光マスク20の周縁部20aとマスク保持部材12との間に隙間が生じない。これにより、吸着溝21はマスク保持部材12と遮光マスク20との間に残存する空気を効率的に吸い込むことができ、遮光マスク20がマスク保持部材12に容易に吸着するようになっている。また、このとき、密閉空間Sへの圧気により遮光マスク20の略全体がマスク保持部材12に押し付けられて、遮光マスク20の撓みが解消される。これにより、マスク保持部材12と遮光マスク20との間に残存する空気をより効率的に吸着溝21に吸い込ませることができる。そして、所定時間後、遮光マスク20はマスク保持部材12の下面12aに吸着される。
Next, the
遮光マスク20の取り付け後、ワークステージ本体40を下降させるとともに、載置面40aの可動シール44を退避状態(図1参照)とし、その載置面40a上に貼り合わせ基板Wを載置する。その後、ワークステージ本体40を所定量上昇させる(図1参照)。そして、ランプ15を作動させ、貼り合わせ基板Wに対して遮光マスク20を介して紫外線が照射されて、貼り合わせ基板Wのシール材が硬化する。
After the
[遮光マスクの取り外し]
貼り合わせ基板Wの種類に応じて遮光マスク20を交換するとき等、遮光マスク20をマスク保持部材12から取り外す場合には、まず、前述の吸着の場合と同様に、載置面40aの可動シール44を突出状態とし、その可動シール44上端を遮光マスク20の周縁部20aにマスク保持部材12側への押圧力が付与されるように当接させる(図2参照)。
[Removing the shading mask]
When the
次に、吸着溝21内を圧縮エアー供給装置23により加圧するとともにするとともに、密閉空間Sを真空ポンプ42により減圧する。このとき、可動シール44の押圧により、吸着溝21からの供給される空気がマスク保持部材12と遮光マスク20の周縁部20aとの間から漏れず、吸着溝21からの空気は内側(遮光マスク20の中央部側)に向かって流れ込むこととなる。また、このとき、密閉空間Sの減圧により、遮光マスク20に対してマスク保持部材12から離間する方向への力が働くため、遮光マスク20の中央部分が下方に若干撓み、吸着溝21からの空気が遮光マスク20とマスク保持部材12との間に流れ込み易くなる。その後、所定タイミングで可動シール44を下降させると、遮光マスク20とマスク保持部材12との間の空気が放出され、遮光マスク20はマスク保持部材12から剥離される。
Next, the inside of the
次に、本実施形態の特徴的な作用効果を記載する。
(1)遮光マスク20における吸着溝21よりも縁側の周縁部20aが押圧部としての可動シール44によってマスク保持部材12に押し付けられるため、遮光マスク20の吸着時において、遮光マスク20とマスク保持部材12との間への外気の流れ込みを抑制できる。これにより、マスク保持部材12と遮光マスク20との間に残存する空気を吸着凹部としての吸着溝21に効率的に吸引される。また、遮光マスク20の取り外す際において、遮光マスク20の周縁部20aから吸着溝21からの空気が漏れるのを抑制でき、これにより、遮光マスク20とマスク保持部材12との間に効率的に空気を送り込むことができる。従って、遮光マスク20の着脱に要する時間を短縮することが可能である。
Next, the characteristic operation effects of this embodiment will be described.
(1) Since the peripheral edge portion 20a on the edge side of the
(2)可動シール44と遮光マスク20との当接部分が連続的な枠状であるため、遮光マスク20の吸着時における遮光マスク20とマスク保持部材12との間への外気の流れ込み、及び遮光マスク20剥離時における空気漏れを防止することができる。
(2) Since the contact portion between the
(3)気圧可変手段としての圧縮エアー供給装置41及び真空ポンプ42により遮光マスク20に作用する圧力が着脱時に補助的な役割を果たし、遮光マスク20の着脱に要する時間をより短縮することが可能である。また、載置台としてのワークステージ本体40と遮光マスク20との間が可動シール44にてシールされているため、圧縮エアー供給装置41及び真空ポンプ42による気圧変化が遮光マスク20に対して効率的に作用する。
(3) The pressure acting on the
(4)可動シール44はワークステージ本体40の載置面40aから突出しない位置まで退避可能に設けられる。このため、載置面40aに載置された貼り合わせ基板Wが、可動シール44の突出により撓むことが防止される。
(4) The
尚、本発明の実施形態は、以下のように変更してもよい。
・上記実施形態では、押圧部として上下移動可能な可動シール44が設けられたが、特にこれに限定されるものではなく、例えば、図3及び図4に示す構成としてもよい。図3に示す押圧部51は、例えばポリイミド樹脂、ステンレス等からなる膜状に形成され、ワークステージ本体40の載置面40aに形成された溝52を閉塞するように埋設されている。押圧部51は溝52内を高圧にすることで、図3(a)に示す平坦な状態から、図(b)に示す突出状態となる。また、図4に示す押圧部61は、チューブ状の弾性部材からなるとともに、載置面40aに形成された保持溝62に設けられている。押圧部61内部を高圧にすることで、図3(a)に示す退避状態から、図(b)に示す突出状態となる。また、下方に退避不能とした押圧部を設けて載置面40aから常時突出するようにしてもよい。
In addition, you may change embodiment of this invention as follows.
In the above embodiment, the
・上記実施形態では、可動シール44は連続的な枠状をなすように形成されたが、間欠的でもよい。
・上記実施形態では、吸着凹部として連続的な枠状をなす吸着溝21が設けられたが、これ以外に例えば、間欠的に配置された吸着孔としてもよい。
In the above embodiment, the
In the above embodiment, the
・上記実施形態では、遮光マスク20の着脱時において、ワークステージ本体40に遮光マスク20が載置されたが、これ以外に例えば、押圧部を設けたマスク取り付け治具を用いてもよい。
In the above embodiment, the
・上記実施形態では、液晶ディスプレイのパネルを製造するパネル製造装置に用いられる紫外線照射装置に本発明を適用したが、これに限らず、液晶以外のフラットパネルディスプレイのパネル製造装置でもよく、また、紫外線以外の例えば可視光を照射する光照射装置に本発明を適用してもよい。 In the above embodiment, the present invention is applied to an ultraviolet irradiation device used in a panel manufacturing apparatus for manufacturing a liquid crystal display panel. However, the present invention is not limited thereto, and may be a panel manufacturing apparatus for a flat panel display other than liquid crystal, The present invention may be applied to a light irradiation apparatus that emits, for example, visible light other than ultraviolet rays.
次に、上記実施の形態及び別例から把握できる技術的思想を以下に追記する。
(イ) 押圧部は、載置台上面に形成された保持溝内に昇降可能に設けられ、その保持溝内の気圧を可変させることで昇降する。
Next, technical ideas that can be grasped from the above-described embodiment and other examples will be described below.
(A) The pressing part is provided in a holding groove formed on the upper surface of the mounting table so as to be movable up and down, and moves up and down by changing the pressure in the holding groove.
(ロ) 押圧部は、載置台上面に形成された溝を塞ぐ膜状に設けられ、その保持溝内加圧により前記載置台から突出する。
(ハ) 押圧部は、載置台上面に形成された保持溝内に設けられたチューブ状の弾性部材であり、該押圧部内部への加圧により前記載置台から突出する。
(B) The pressing portion is provided in a film shape that closes the groove formed on the upper surface of the mounting table, and protrudes from the mounting table due to the pressure in the holding groove.
(C) The pressing part is a tube-like elastic member provided in a holding groove formed on the upper surface of the mounting table, and protrudes from the mounting table by pressurizing the pressing part.
これらの構成によれば、遮光マスクの吸着時において、遮光マスクを好適に押圧することができる。 According to these configurations, the light shielding mask can be suitably pressed when the light shielding mask is attracted.
W…被照射板としての貼り合わせ基板、12…マスク保持部材、20…遮光マスク、21…吸着凹部としての吸着溝、40…載置台としてのワークステージ本体、41…気圧可変手段としての圧縮エアー供給装置、42…気圧可変手段としての真空ポンプ、43…気圧可変手段としての切替バルブ、44…押圧部としての可動シール、51,61…押圧部。 W: Bonded substrate as irradiated plate, 12: Mask holding member, 20 ... Light shielding mask, 21 ... Suction groove as suction recess, 40 ... Work stage main body as mounting table, 41 ... Compressed air as air pressure variable means Supply device, 42... Vacuum pump as atmospheric pressure varying means, 43... Switching valve as atmospheric pressure varying means, 44... Movable seal as pressing part, 51, 61.
Claims (5)
前記マスク保持部材における前記遮光マスクとの当接面には、該遮光マスクを吸着させるべく真空吸引する吸着凹部が形成され、
前記載置台には、前記遮光マスクにおける前記吸着凹部よりも縁側の部分を前記マスク保持部材に押し付ける押圧部が、該載置台から突出するように設けられたことを特徴とする光照射装置。 The upper surface of the light shielding mask placed on the mounting table and the mask holding member are brought into contact with each other, and the light shielding mask is attracted to and held by the mask holding member, with respect to the irradiated plate disposed below the light shielding mask. A light irradiation device for irradiating light through the mask holding member and the light shielding mask,
On the contact surface of the mask holding member with the light shielding mask, a suction recess for vacuum suction is formed to suck the light shielding mask,
The light irradiation apparatus according to claim 1, wherein a pressing portion that presses a portion of the light shielding mask closer to the edge than the suction concave portion against the mask holding member is provided to protrude from the mounting table.
前記押圧部は、前記遮光マスクとの当接部分が連続的な枠状となるように設けられたことを特徴とする光照射装置。 In the light irradiation apparatus of Claim 1,
The light irradiation apparatus according to claim 1, wherein the pressing portion is provided so that a contact portion with the light shielding mask has a continuous frame shape.
前記載置台と前記遮光マスクとの間が前記押圧部にてシールされ、そのシールされた空間の気圧を変化させて前記遮光マスクに圧力を付与する気圧可変手段を備えたことを特徴とする光照射装置。 In the light irradiation apparatus of Claim 2,
Light comprising: a pressure varying means for sealing a space between the mounting table and the light shielding mask by the pressing portion and changing a pressure of the sealed space to apply pressure to the light shielding mask. Irradiation device.
前記気圧可変手段は、
前記遮光マスクを吸着する時において、前記載置台と前記遮光マスクとの間の空間を加圧し、
前記遮光マスクを剥離する時において、前記載置台と前記遮光マスクとの間の空間を減圧することを特徴とする光照射装置。 In the light irradiation apparatus of Claim 3,
The pressure varying means is
When adsorbing the light shielding mask, pressurize the space between the mounting table and the light shielding mask,
When peeling off the light shielding mask, the light irradiation apparatus is characterized in that the space between the mounting table and the light shielding mask is decompressed.
前記押圧部は、その前記遮光マスクと当接する当接部分が前記載置台から突出しない位置まで退避可能に設けられたことを特徴とする光照射装置。 In the light irradiation apparatus of any one of Claims 1-4,
The light irradiation device according to claim 1, wherein the pressing portion is provided so that a contact portion that contacts the light shielding mask can be retracted to a position where the pressing portion does not protrude from the mounting table.
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