JP2009047477A - 顕微鏡用プローブ及び走査型プローブ顕微鏡 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】 カンチレバー22と、カンチレバー先端に設けられた探針部21と、カンチレバー上面に設けられ、カンチレバー先端部に第1の端部291を有する第1の金属構造体29と、カンチレバー上面に設けられ、カンチレバー先端部に第2の端部301を有する第2の金属構造体30と、第1及び第2の端部291,301が重なることで形成された温度測定素子と、探針部21及びその近傍に形成された導電層70と、カンチレバー上面に設けられ、導電層70に接続された第3の金属構造体80と、導電層70及び第3の金属構造体80からなる電気特性検出素子と、を備え、第1〜第3の金属構造体29,30,80が、カンチレバー基端部において中心軸A上に重なって形成された顕微鏡用プローブとした。
【選択図】 図2
Description
3 試料移動手段
4 駆動装置
5 加振電源
500 加振手段
60 変位検出手段
7 コンピュータ
8 温度特性検出手段
9 試料支持部
10 電気特性検出手段
20 プローブ
21 探針部
22 カンチレバー
23 本体部
24 シリコン活性層
24S スリット
25 シリコン支持層
26 BOX層
27 SOI基板(シリコン基板)
28、90、91 絶縁層
29 第1の金属構造体
291 第1の端部
30 第2の金属構造体
301 第2の端部
33 シリコン酸化膜
40 ピエゾ抵抗素子
41、42 ピエゾ抵抗素子用電極配線
70 導電層
80 第3の金属構造体
100 試料
Claims (6)
- 上面に絶縁層を有するカンチレバーと、
前記カンチレバーの先端に設けられ、先鋭化された探針部と、
前記カンチレバーの上面に設けられ、前記カンチレバーの先端部に第1の端部を有する第1の金属構造体と、
前記カンチレバーの上面に設けられ、前記カンチレバーの先端部に第2の端部を有する第2の金属構造体と、
前記第1の端部及び前記第2の端部が重なることで形成された温度測定素子と、
前記探針部及びその近傍に形成された導電層と、
前記カンチレバーの上面に設けられ、前記導電層に接続された第3の金属構造体と、
前記導電層及び前記第3の金属構造体からなる電気特性検出素子と、
を備え、
前記第1の金属構造体と前記第2の金属構造体と前記第3の金属構造体とは、前記カンチレバーの基端部において該カンチレバーの中心軸上に重なって形成されていることを特徴とする顕微鏡用プローブ。 - 前記カンチレバーの基端部に撓み易い応力集中部を有していることを特徴とする請求項1に記載の顕微鏡用プローブ。
- 請求項1または請求項2に記載の顕微鏡用プローブと、
前記探針部を試料の被測定面に接近させて試料表面を走査することにより試料表面形状に応じて変位する前記探針部の変位データを検出する変位検出手段と、
前記探針部を前記試料表面に平行で互いに直交する二方向及び前記試料表面に垂直な方向に前記試料に対して相対的に移動させる移動手段と、
前記温度測定素子に接続された温度特性検出手段と、
前記第3の金属構造体に接続された電気特性検出手段と、
を備える走査型プローブ顕微鏡。 - 前記探針部を任意の周波数で共振または強制振動させる加振手段をさらに備え、
前記変位検出手段は、前記探針部の振動状態を検出する請求項3に記載の走査型プローブ顕微鏡。 - 前記変位検出手段が、前記カンチレバー内に設けられた変位検出部に接続されている請求項3または請求項4に記載の走査型プローブ顕微鏡。
- 前記変位検出部はピエゾ抵抗素子である請求項5に記載の走査型プローブ顕微鏡。
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JP2013012286A (ja) * | 2011-05-30 | 2013-01-17 | Hitachi High-Technologies Corp | 熱アシスト磁気ヘッド素子の検査方法及びその装置 |
Citations (8)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH05120742A (ja) * | 1990-12-17 | 1993-05-18 | Canon Inc | カンチレバー型プローブ、これを用いた情報処理装置及び情報処理方法 |
JPH08105801A (ja) * | 1994-08-12 | 1996-04-23 | Nikon Corp | 微小熱電対付きカンチレバー及び走査型温度分布 計測装置 |
JPH09304409A (ja) * | 1996-05-14 | 1997-11-28 | Seiko Instr Inc | 力変位センサ付カンチレバー |
JPH11295328A (ja) * | 1998-04-09 | 1999-10-29 | Nikon Corp | カンチレバー及びその製造方法 |
JP2000065718A (ja) * | 1998-06-09 | 2000-03-03 | Seiko Instruments Inc | 走査型プロ―ブ顕微鏡(spm)プロ―ブ及びspm装置 |
JP2002131211A (ja) * | 2000-08-18 | 2002-05-09 | Internatl Business Mach Corp <Ibm> | 薄膜熱電物質の熱的及び電気的特性を測定する方法及び装置 |
JP2007155492A (ja) * | 2005-12-05 | 2007-06-21 | Seiko Instruments Inc | 温度測定用プローブ |
JP2008241683A (ja) * | 2006-08-31 | 2008-10-09 | Seiko Instruments Inc | 顕微鏡用プローブ及び走査型プローブ顕微鏡 |
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Patent Citations (8)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH05120742A (ja) * | 1990-12-17 | 1993-05-18 | Canon Inc | カンチレバー型プローブ、これを用いた情報処理装置及び情報処理方法 |
JPH08105801A (ja) * | 1994-08-12 | 1996-04-23 | Nikon Corp | 微小熱電対付きカンチレバー及び走査型温度分布 計測装置 |
JPH09304409A (ja) * | 1996-05-14 | 1997-11-28 | Seiko Instr Inc | 力変位センサ付カンチレバー |
JPH11295328A (ja) * | 1998-04-09 | 1999-10-29 | Nikon Corp | カンチレバー及びその製造方法 |
JP2000065718A (ja) * | 1998-06-09 | 2000-03-03 | Seiko Instruments Inc | 走査型プロ―ブ顕微鏡(spm)プロ―ブ及びspm装置 |
JP2002131211A (ja) * | 2000-08-18 | 2002-05-09 | Internatl Business Mach Corp <Ibm> | 薄膜熱電物質の熱的及び電気的特性を測定する方法及び装置 |
JP2007155492A (ja) * | 2005-12-05 | 2007-06-21 | Seiko Instruments Inc | 温度測定用プローブ |
JP2008241683A (ja) * | 2006-08-31 | 2008-10-09 | Seiko Instruments Inc | 顕微鏡用プローブ及び走査型プローブ顕微鏡 |
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2013012286A (ja) * | 2011-05-30 | 2013-01-17 | Hitachi High-Technologies Corp | 熱アシスト磁気ヘッド素子の検査方法及びその装置 |
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