JP2009047466A - プローブカード機構 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】 ウエハを載置するステージを備えたプローバと、ウエハに接触するプローブ針を備えたプローブカードと、このプローブカードを囲い込み変形を防止する補強部材と、前記補強部材の上部に対向するように配置されたテストヘッドを備え、前記プローブカードの変形を防止するプローブカード機構において、
前記補強部材の概略中央部表面までの距離を測定する位置センサと、
前記テストヘッドに設けられ、前記位置センサが取り付けられるテストヘッドベースプレートと、
前記位置センサで測定された距離に基づいて前記補強部材を押圧する位置合わせ機構と
を備える。
【選択図】 図1
Description
ウエハを載置するステージを備えたプローバと、ウエハに接触するプローブ針を備えたプローブカードと、このプローブカードを囲い込み変形を防止する補強部材と、前記補強部材の上部に対向するように配置されたテストヘッドを備え、前記プローブカードの変形を防止するプローブカード機構において、
前記補強部材の概略中央部表面までの距離を測定する位置センサと、
前記テストヘッドに設けられ、前記位置センサが取り付けられるテストヘッドベースプレートと、
前記位置センサで測定された距離に基づいて前記補強部材を押圧する位置合わせ機構と
を備える。
前記位置合わせ機構は、
前記テストヘッドベースプレートに設けられるモータと、
このモータに結合され、前記モータの動力により回転するスクリューと、
このスクリューに結合し、前記スクリューが回転することによって上下方向に移動し、前記補強部材を押圧するナット
からなる。
前記ナットを前記補強部材に固定し、又は固定を外すロック機構を備える。
前記位置合わせ機構は、
前記テストヘッドベースプレートに設けられるエアシリンダと、
このエアシリンダに結合され、前記エアシリンダにより上下方向に移動するロッドと、
このロッドの先端に当接し、前記のロッドが移動することによって接触している前記補強部材を押圧するリミッタ
からなる。
前記位置センサと前記補強部材の概略中央部表面までの距離には、前記プローブカードごとに目標となる距離が定められており、この目標となる距離と実測距離との差分に基づいて前記位置合わせ機構が前記補強部材に圧力をかける。
11 結合機構
12 位置センサ
13 ナット
14 ロック機構
16 モータ
17 テストヘッドベースプレート
18 プローブカード
19 トレイ
20 プローバ
21 スクリュー
22 プローブ針
30 プローバ
31 ウエハ
32 プローバステージ
40 ロッド
41 エアシリンダ
42 リミッタ
Claims (5)
- ウエハを載置するステージを備えたプローバと、ウエハに接触するプローブ針を備えたプローブカードと、このプローブカードを囲い込み変形を防止する補強部材と、前記補強部材の上部に対向するように配置されたテストヘッドを備え、前記プローブカードの変形を防止するプローブカード機構において、
前記補強部材の概略中央部表面までの距離を測定する位置センサと、
前記テストヘッドに設けられ、前記位置センサが取り付けられるテストヘッドベースプレートと、
前記位置センサで測定された距離に基づいて前記補強部材を押圧する位置合わせ機構と
を備えたことを特徴とするプローブカード機構。 - 前記位置合わせ機構は、
前記テストヘッドベースプレートに設けられるモータと、
このモータに結合され、前記モータの動力により回転するスクリューと、
このスクリューに結合し、前記スクリューが回転することによって上下方向に移動し、前記補強部材を押圧するナット
からなることを特徴とする請求項1記載のプローブカード機構。 - 前記ナットを前記補強部材に固定し、または固定を外すロック機構を備えたことを特徴とする請求項2記載のプローブカード機構。
- 前記位置合わせ機構は、
前記テストヘッドベースプレートに設けられるエアシリンダと、
このエアシリンダに結合され、前記エアシリンダにより上下方向に移動するロッドと、
このロッドの先端に当接し、前記のロッドが移動することによって接触している前記補強部材を押圧するリミッタ
からなることを特徴とする請求項1記載のプローブカード機構。 - 前記位置センサと前記補強部材の概略中央部表面までの距離には、前記プローブカードごとに目標となる距離が定められており、この目標となる距離と実測距離との差分に基づいて前記位置合わせ機構が前記補強部材に圧力をかけることを特徴とする請求項1乃至4のいずれかに記載のプローブカード機構。
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