JP2009045574A - 流量設定方法および塗布装置 - Google Patents

Abstract

【課題】各ノズルから吐出される塗布液の流量管理が容易となる塗布装置の流量設定方法および塗布装置を提供する。
【解決手段】単一の供給源から本管を介して供給される塗布液を複数の支管に分流し、当該支管にそれぞれ設けられた支管流量調節機構によって当該支管を流動する塗布液流量を所定の流量に調節して、当該支管に接続されたノズルから塗布液をそれぞれ吐出する。供給源から本管へ供給された塗布液を、複数の支管から選ばれた１つの支管にのみ供給し、他の支管への当該塗布液の供給を閉止している状態において、本管を流動する塗布液の流量を計測し、当該計測結果に基づいて、塗布液が供給されている支管に設けられた支管流量調節機構の所定の流量に対応した調節目標となる目標流量値を設定する。そして、上記設定動作を、他の支管に対して順次行う。
【選択図】図２

Description

本発明は、流量設定方法および塗布装置に関し、より特定的には、複数のノズルから塗布液を吐出して塗布する塗布装置の流量設定方法および塗布装置に関する。

従来、基板等の被処理体に塗布液を塗布する塗布装置が各種開発されている。例えば、有機ＥＬ（Ｅｌｅｃｔｒｏ Ｌｕｍｉｎｅｓｃｅｎｃｅ）表示装置を製造する装置では、ステージ上に載置されたガラス基板等の基板の主面に所定のパターン形状で正孔輸送材料や有機ＥＬ材料をノズル塗布する塗布装置が用いられる（例えば、特許文献１参照）。この塗布装置では、ノズルから塗布液（有機ＥＬ材料や正孔輸送材料）が所定の圧力で吐出される。具体的には、塗布装置に備えられたタンク等の供給源に塗布液が貯留され、供給源から供給される塗布液をポンプで増圧して、ノズルから吐出される。

上記塗布装置では、赤、緑、および青色の有機ＥＬ材料の塗布する場合、製造効率を上げるために、赤色、緑色、および青色の何れか１つの有機ＥＬ材料を同時に複数のノズル（例えば、１６本のノズル）から吐出して塗布することが一般的である。例えば、上記特許文献１で開示された塗布装置を用いて単色の有機ＥＬ材料を同時に複数のノズルから吐出する場合、単一の供給源に貯留された塗布液（例えば、赤色の有機ＥＬ材料）を複数のノズルへ分岐して供給し、それぞれのノズルから基板上に同時に塗布することによって、複数の位置に同時に塗布液を塗布する方法がある。

図１５は、単一の供給源１０１から複数のノズル１０８ａ〜１０８ｎへ分岐して供給する塗布装置の一例を示すブロック図である。図１５において、供給源１０１に貯留された塗布液は、ポンプ１０２で増圧され、フィルタ１０３を介してマニホールド（分岐管）１０４に供給される。マニホールド１０４は、複数のノズル系統（ａ系統〜ｎ系統とする）の配管が接続されており、供給された塗布液をａ系統〜ｎ系統の配管へそれぞれ流動させる。

マニホールド１０４からａ系統に分岐して流動する塗布液は、流量制御バルブ１０５ａによってａ系統を流動する流量が制御され、その流量が流量計１０６ａによって監視される。そして、ａ系統に分岐して流動する塗布液は、ノズル１０８ａに内蔵されたフィルタ１０９ａを介して当該ノズル１０８ａの先端部から吐出される。また、マニホールド１０４から他のｂ系統〜ｎ系統にそれぞれ分岐して流動する塗布液についても、ａ系統と同様に流動する。すなわち、マニホールド１０４からｂ系統〜ｎ系統にそれぞれ分岐して流動する塗布液は、流量制御バルブ１０５ｂ〜１０５ｎによってｂ系統〜ｎ系統を流動する流量がそれぞれ制御され、それらの流量が流量計１０６ｂ〜１０６ｎによってそれぞれ監視される。そして、ｂ系統〜ｎ系統に分岐して流動するそれぞれの塗布液は、ノズル１０８ｂ〜１０８ｎに内蔵されたフィルタ１０９ｂ〜１０９ｎを介して当該ノズル１０８ｂ〜１０８ｎの先端部からそれぞれ吐出される。
特開２００６−２０５０２４号公報

ここで、ノズルから正確な流量の塗布液を吐出するためには、ノズルから吐出される塗布液の実吐出流量を計測して管理する必要がある。例えば、ノズルから吐出される塗布液の実吐出流量は、当該ノズルから所定の容器内に塗布液を吐出させ、単位吐出時間に対する当該容器内の塗布液重量（例えば、ミリグラム／分）によって秤量される。そして、実流量計測時の流量計の値と実吐出流量計測結果との関係を用いて、以降の塗布作業中の塗布流量が管理される。例えば、ノズルから塗布液を吐出させている時の流量計の値がＸ１、Ｘ２、およびＸ３であり、その実吐出流量がそれぞれＹ１、Ｙ２、およびＹ３であるとする。このとき、図１６に示すような流量計の値と実吐出流量との関係式が導かれる。そして、塗布作業において実吐出流量Ｙｐでノズルから塗布液を塗布させたい場合、導かれた関係式に基づいて実吐出流量Ｙｐに対応する流量計の値Ｘｐを算出し、流量計が当該値Ｘｐを維持するようにノズルへの流量を制御する。

しかしながら、図１５に示したような複数のノズル１０８ａ〜１０８ｎから同時に塗布液を吐出する塗布装置の場合、ノズル系統毎に上述した実吐出流量の計測を行って上記関係式をそれぞれ導くことが必要となる。また、高精度な関係式を導き出す場合、１つのノズル系統に対して流量が異なる複数ポイントの実吐出流量の計測を行う必要がある。また、当該塗布装置において塗布する塗布液を変更（例えば、赤色の有機ＥＬ材料から緑色の有機ＥＬ材料に変更）する場合、当該塗布液変更後にも実吐出流量の秤量が必要となるため、塗布装置の流量管理工数が増大する。また、塗布装置の実吐出流量計測時間が長くなると、容器内に吐出した塗布液中の溶媒が蒸発することによって実吐出流量が変動することがあり、正確な実吐出流量の計測が困難となることがある。

それ故に、本発明の目的は、各ノズルから吐出される塗布液の流量管理が容易となる塗布装置の流量設定方法および塗布装置を提供することである。

上記目的を達成するために、本発明は、以下に述べるような特徴を有している。
第１の発明は、単一の供給源から本管を介して供給される塗布液を複数の支管に分流し、当該支管にそれぞれ設けられた支管流量調節機構によって当該支管を流動する塗布液流量を所定の流量に調節して、当該支管に接続されたノズルから塗布液をそれぞれ吐出する塗布装置における塗布液の流量設定方法である。流量設定方法は、塗布液供給工程、基準流量計測工程、支管流量目標設定工程、および支管選択工程を含む。塗布液供給工程は、供給源から本管へ供給された塗布液を、複数の支管から選ばれた１つの支管にのみ供給し、他の支管への当該塗布液の供給を閉止する。基準流量計測工程は、塗布液供給工程で１つの支管に塗布液を供給している状態において、本管を流動する塗布液の流量を計測する。支管流量目標設定工程は、塗布液供給工程で１つの支管に塗布液を供給している状態において、基準流量計測工程における計測結果に基づいて、塗布液が供給されている支管に設けられた支管流量調節機構の所定の流量に対応した調節目標となる目標流量値を設定する。支管選択工程は、塗布液供給工程による供給動作および支管流量目標設定工程における設定動作を、他の支管に対して順次行う。

第２の発明は、上記第１の発明において、支管流量目標設定工程では、本管に設けられた基準流量計が示す流量値と、塗布液が供給されている支管に設けられた支管流量調節機構の支管流量計が示す流量値との間の関係式が導かれ、当該関係式に基づいて所定の流量を示す基準流量計の流量値に対応する当該支管流量計の流量値が目標流量値に設定される。

第３の発明は、上記第２の発明において、支管流量目標設定工程では、塗布装置で使用する塗布液の種別毎に関係式が導かれて目標流量値が設定される。

第４の発明は、上記第１の発明において、基準流量計測工程では、本管に設けられた本管流量調節機構によって当該本管を流動する塗布液流量が所定の流量に調節される。支管流量目標設定工程では、支管流量調節機構によって流量を全開に調節した状態で当該支管流量調節機構が有する支管流量計が示す流量値が目標流量値に設定される。

第５の発明は、上記第４の発明において、支管流量目標設定工程では、塗布装置で使用する塗布液の種別毎に目標流量値が設定される。

第６の発明は、上記第１〜第５の発明の何れかにおいて、実流量計測工程を、さらに含む。実流量計測工程は、本管に設けられて当該本管を流動する塗布液の流量を計測する基準流量計が示す流量値とノズルから吐出される塗布液の実吐出量との間の関係式を予め導く。基準流量計測工程では、基準流量計を用いて計測された塗布液の流量が実流量計測工程で導かれた関係式を用いて換算されることによって、本管を流動する塗布液の流量の計測結果が算出される。

第７の発明は、上記第１〜第６の発明の何れかにおいて、塗布液は、有機ＥＬ材料または正孔輸送材料である。

第８の発明は、複数のノズルから塗布液をそれぞれ所定の流量で吐出する塗布装置である。塗布装置は、単一の供給源、複数のノズル、分岐部、基準流量計測部、複数の支管流量計測部、複数の支管流量調節部、および制御部を備える。単一の供給源は、塗布液を貯留する。複数のノズルは、塗布液を吐出する。分岐部は、供給源から本管を介して供給される塗布液を、ノズルがそれぞれ接続された複数の支管に分流する。基準流量計測部は、本管に設けられ、当該本管を流動する塗布液の流量を計測する。複数の支管流量計測部は、支管にそれぞれ設けられ、当該支管を流動する塗布液の流量をそれぞれ計測する。複数の支管流量調節部は、支管にそれぞれ設けられ、当該支管を流動する塗布液の流量をそれぞれ調節する。制御部は、支管流量計測部がそれぞれ計測した流量値に基づいて、少なくとも支管流量調節部の動作をそれぞれ制御する。制御部は、供給源から本管へ供給された塗布液が複数の支管から順次選ばれた１つの支管にのみに供給され他の支管への当該塗布液の供給が閉止された状態で計測された基準流量計測部における計測結果に基づいて、当該塗布液が供給されている支管に設けられた支管流量調節部の所定の流量に対応した調節目標となる目標流量値を順次設定する。

第９の発明は、上記第８の発明において、制御部は、供給源から本管へ供給された塗布液が複数の支管から順次選ばれた１つの支管にのみに供給され他の支管への当該塗布液の供給が閉止された状態において、基準流量計測部が計測した流量値と塗布液が供給されている支管に設けられた支管流量計測部が計測した流量値との間の関係式を導き、当該関係式に基づいて所定の流量を示す基準流量計測部の流量値に対応する当該支管流量計測部の流量値を目標流量値に設定する。

第１０の発明は、上記第８の発明において、本管流量調節部を、さらに備える。本管流量調節部は、本管に設けられ、当該本管を流動する塗布液の流量を基準流量計測部が計測した流量値に応じて調節する。本管流量調節部は、本管を流動する塗布液流量を所定の流量に調節する。制御部は、供給源から本管へ供給された塗布液が複数の支管から順次選ばれた１つの支管にのみに供給され他の支管への当該塗布液の供給が閉止された状態において、塗布液が供給されている支管に設けられた支管流量調節部が流量を全開に調節した状態で計測された当該支管の支管流量計測部の流量値を目標流量値に設定する。

第１１の発明は、上記第８〜第１０の発明の何れかにおいて、複数のノズルは、少なくとも３本以上で構成される。

第１２の発明は、上記第８〜第１０の発明の何れかにおいて、塗布液は、有機ＥＬ材料または正孔輸送材料である。

上記第１の発明によれば、本管から１つの支管に塗布液を供給している状態で計測された本管の塗布液流量計測値に基づいて当該支管の目標流量値が設定され、他の支管についても順次設定される。したがって、支管毎に実吐出流量を秤量するような流量管理作業が不要となる。例えば、塗布装置において塗布する塗布液を変更する場合、当該塗布液変更後であっても上記本管の塗布液流量計測値に基づいて各支管の目標流量値が設定されるため、塗布装置の流量管理工数が激減し、支管の数が多いほどその効果が顕著となる。また、実際の塗布作業に用いる塗布液を用いた目標流量値の設定が可能であるため、実作業に合致した高精度の目標流量値の設定が可能となる。また、従来のように塗布装置の実吐出流量計測時間が長くなることによって実吐出流量が変動することに起因する流量管理の不安定要素を排除することができるため、正確な実吐出流量の設定が可能となる。

上記第２の発明によれば、基準流量計が示す流量値を基準とした各支管流量計の流量値の関係式が導かれるため、基準流量計測工程において計測する塗布液の流量と実際の塗布作業において吐出する吐出流量が異なる場合や吐出流量を変更する場合においても、当該関係式を用いて正確な目標流量値を算出することができる。

上記第３の発明によれば、特性の異なる塗布液を使用する場合においても、使用する塗布液に応じた関係式が設定されるため、使用する塗布液に応じた正確な目標流量値が設定可能となる。

上記第４の発明によれば、基準流量計測工程において計測する塗布液の流量を実際の塗布作業において吐出する吐出流量に合致させて目標流量値の設定が可能であるため、実作業に合わせたピンポイントの流量管理が可能となり、さらに流量管理工数が削減される。

上記第５の発明によれば、特性の異なる塗布液を使用する場合においても、使用する塗布液に応じた正確な目標流量値が設定可能となる。

上記第６の発明によれば、基準流量計が示す流量値がノズルから吐出される塗布液の実吐出量と値付けされるため、塗布液の実吐出量を基準とした絶対評価が可能となる。

上記第７の発明によれば、有機ＥＬ材料や正孔輸送材料を塗布液として用いるとき、秤量による流量管理を行うと吐出した塗布液中の溶媒が蒸発することによって実吐出流量が変動することがあるが、秤量による管理が不要となるため流量管理が安定して、上述した効果と同様の効果を得ることができる。

また、本発明の塗布装置によれば、上述した流量設定方法と同様の効果を得ることができる。さらに、当該塗布装置に３本以上のノズルを設けられていても、各ノズルが接続される支管毎の流量管理が容易となるため、流量管理工数を削減しながら高効率な塗布作業が可能となる。

（第１の実施形態）
以下、図面を参照して、本発明の第１の実施形態に係る塗布装置について説明する。説明を具体的にするために、当該塗布装置が有機ＥＬ材料や正孔輸送材料等を塗布液として用いる有機ＥＬ表示装置を製造する塗布装置に適用された例を用いて、以下の説明を行う。当該塗布装置は、有機ＥＬ材料や正孔輸送材料等をステージ上に載置されたガラス基板上に所定のパターン形状に塗布して有機ＥＬ表示装置を製造するものである。図１（ａ）は、塗布装置１の要部概略構成を示す平面図である。図１（ｂ）は、塗布装置１の要部概略構成を示す正面図である。なお、塗布装置１は、上述したように有機ＥＬ材料や正孔輸送材料等の複数の塗布液を用いるが、それらの代表として有機ＥＬ材料を塗布液として説明を行う。

図１（ａ）および図１（ｂ）において、塗布装置１は、大略的に、基板載置装置２および有機ＥＬ塗布機構５を備えている。有機ＥＬ塗布機構５は、ノズル移動機構部５１と、ノズルユニット５０と、液受部５３Ｌおよび５３Ｒとを有している。ノズル移動機構部５１は、ガイド部材５１１が図示Ｘ軸方向に延設されており、ノズルユニット５０をガイド部材５１１に沿って図示Ｘ軸方向に移動させる。ノズルユニット５０は、赤、緑、および青色の何れか１色の有機ＥＬ材料を吐出する複数のノズル５２（図１では、３本のノズル５２ａ、５２ｂ、および５２ｃのみ図示）を並設した状態で保持する。なお、図１においては、３本のノズル５２ａ、５２ｂ、および５２ｃのみを図示した塗布装置１を示したが、塗布装置１にはさらに多くのノズル５２を並設してノズルユニット５０で保持することが可能である。塗布装置１には、ｎ本（例えば、１６本）のノズル５２（以下、ノズル５２ａ〜５２ｎとする）を並設することが可能であり、この場合、赤、緑、および青色の何れか１色の有機ＥＬ材料をノズル５２ａ〜５２ｎから吐出する。また、各ノズル５２ａ〜５２ｎへは、単一の供給源５４１（図２参照）から赤、緑、および青色の何れか１色の有機ＥＬ材料が供給される。このように、複数のノズル５２から同じ色の有機ＥＬ材料が吐出されるが、説明を具体的にするために赤色の有機ＥＬ材料がノズル５２ａ〜５２ｎから吐出される例を用いる。

基板載置装置２は、ステージ２１、旋回部２２、平行移動テーブル２３、ガイド受け部２４、およびガイド部材２５を有している。ステージ２１は、被塗布体となるガラス基板等の基板Ｐをそのステージ上面に載置する。ステージ２１の下部は、旋回部２２によって支持されており、旋回部２２の回動動作によって図示θ方向にステージ２１が回動可能に構成されている。また、ステージ２１の内部には、有機ＥＬ材料が塗布された基板Ｐをステージ面上で予備加熱処理するための加熱機構や基板Ｐの吸着機構や受け渡しピン機構等が設けられている。

有機ＥＬ塗布機構５の下方を通るように、ガイド部材２５が上記Ｘ軸方向と垂直の図示Ｙ軸方向に延設されて水平に固定される。平行移動テーブル２３の下面には、ガイド部材２５と当接してガイド部材２５上を滑動するガイド受け部２４が固設されている。また、平行移動テーブル２３の上面には、旋回部２２が固設される。これによって、平行移動テーブル２３が、例えばリニアモータ（図示せず）からの駆動力を受けてガイド部材２５に沿った図示Ｙ軸方向に移動可能になり、旋回部２２に支持されたステージ２１の水平移動も可能になる。

受け渡しピン機構を介してステージ２１上に基板Ｐを載置し、当該基板Ｐを吸着固定して、平行移動テーブル２３が有機ＥＬ塗布機構５の下方まで移動したとき、当該基板Ｐが赤色の有機ＥＬ材料の塗布をノズル５２ａ〜５２ｎから受ける位置となる。そして、制御部３（図３参照）がノズルユニット５０をＸ軸方向に往復移動させるようにノズル移動機構部５１を制御し、ステージ２１をＹ軸方向へ当該直線移動毎に所定ピッチだけ移動させるように平行移動テーブル２３を制御し、ノズル５２ａ〜５２ｎから所定流量の有機ＥＬ材料を吐出させる。また、ノズル５２ａ〜５２ｎのＸ軸方向吐出位置において、ステージ２１に載置された基板Ｐから逸脱する両サイド空間には、基板Ｐから外れて吐出された有機ＥＬ材料を受ける液受部５３Ｌおよび５３Ｒがそれぞれ固設されている。ノズル移動機構部５１は、基板Ｐの一方サイド外側に配設されている液受部５３（例えば、液受部５３Ｌ）の上部空間から、基板Ｐを横断して基板Ｐの他方サイド外側に配設されている液受部５３（例えば、液受部５３Ｒ）の上部空間まで、ノズルユニット５０を往復移動させる。また、平行移動テーブル２３は、ノズルユニット５０が液受部５３の上部空間に配置されている際、ノズル往復移動方向とは垂直の所定方向（図示Ｙ軸方向）に所定ピッチだけステージ２１を移動させる。このようなノズル移動機構部５１および平行移動テーブル２３の動作と同時にノズル５２ａ〜５２ｎから有機ＥＬ材料を液柱状態で吐出することによって、赤色の有機ＥＬ材料が基板Ｐに形成されたストライプ状の溝毎に配列された、いわゆる、ストライプ配列が基板Ｐ上に形成される。

次に、図２を参照して、塗布装置１における塗布液の供給部５４ａおよびノズルユニット５０の概略構成について説明する。なお、図２は、塗布装置１の供給部５４ａおよびノズルユニット５０の概略構成を示すブロック図である。

図２において、塗布装置１は、供給部５４ａおよびノズルユニット５０を備えている。供給部５４ａは、単一の供給源５４１から供給される塗布液（例えば、赤色の有機ＥＬ材料）を供給途中（マニホールド５４５）で複数に分岐させて複数のノズル５２ａ〜５２ｎに供給する。ここで、供給部５４ａにおいて、供給源５４１から塗布液を複数に分岐するまでの供給配管を本管と記載し、塗布液を複数に分岐してからノズル５２ａ〜５２ｎに供給するまでの供給配管をそれぞれ支管と記載する。

供給部５４ａは、供給源５４１、ポンプ５４２、フィルタ５４３、基準流量計５４４、マニホールド５４５、複数の流量制御バルブ５４６ａ〜５４６ｎ、複数の支管流量計５４７ａ〜５４７ｎ、および開閉バルブ５４８ａ〜５４８ｎを備えている。ポンプ５４２は、制御部３から出力される動作信号Ｃｐに応じて、供給源５４１に貯留された有機ＥＬ材料を取り出して本管中へ流動させる。フィルタ５４３は、本管中を流動する有機ＥＬ材料中の異物を除去する。基準流量計５４４は、本管における有機ＥＬ材料の流量を検出して、流量情報Ｉｆ０を制御部３へ出力する。そして、本管を流動した有機ＥＬ材料は、マニホールド（多岐管）５４５に供給される。

マニホールド５４５は、本管から供給された有機ＥＬ材料を複数（例えば、１６本）の支管に分岐する。ここで、マニホールド５４５が分岐する複数の支管は、それぞれノズル５２ａ〜５２ｎに接続されており、以下の説明においてはノズル５２ａ〜５２ｎに接続されるそれぞれの支管をａ系統支管〜ｎ系統支管として記載する。

流量制御バルブ５４６ａは、制御部３から出力される動作信号Ｃｆａに応じて、ａ系統支管を流動する有機ＥＬ材料の流量を制御する。支管流量計５４７ａは、ａ系統支管における有機ＥＬ材料の流量を検出して、流量情報Ｉｆａを制御部３へ出力する。なお、後述により明らかとなるが、制御部３が流量情報Ｉｆａに基づいて目標流量値ｆａｃとなるように動作信号Ｃｆａを生成して流量制御バルブ５４６ａの動作を制御するため、制御部３、流量制御バルブ５４６ａ、および支管流量計５４７ａを合わせてマスフローコントローラとして機能する。そして、目標流量値ｆａｃは、塗布作業における流量制御バルブ５４６ａの調節目標となる。

開閉バルブ５４８ａは、制御部３から出力される動作信号Ｃｏａに応じて、ａ系統支管を開閉して有機ＥＬ材料をノズル５２ａへ供給または停止する。そして、ノズル５２ａは、開閉バルブ５４８ａを介してａ系統支管から有機ＥＬ材料の供給を受けて、その先端部から液柱状態の有機ＥＬ材料を吐出する。なお、ノズル５２ａは、ａ系統支管から供給された有機ＥＬ材料中の異物を除去するためのフィルタ５２１ａを有している。

他のｂ系統支管〜ｎ系統支管も、ａ系統支管と同様の構成部を有している。すなわち、流量制御バルブ５４６ｂ〜５４６ｎは、それぞれ制御部３から出力される動作信号Ｃｆｂ〜Ｃｆｎに応じて、それぞれｂ系統支管〜ｎ系統支管を流動する有機ＥＬ材料の流量を制御する。支管流量計５４７ｂ〜５４７ｎは、それぞれｂ系統支管〜ｎ系統支管における有機ＥＬ材料の流量を検出して、それぞれ流量情報Ｉｆｂ〜Ｉｆｎを制御部３へ出力する。したがって、他のｂ系統支管〜ｎ系統支管についても、制御部３が流量情報Ｉｆｂ〜Ｉｆｎに基づいてそれぞれ目標流量値ｆｂｃ〜ｆｎｃとなるように動作信号Ｃｆｂ〜Ｃｆｎを生成して流量制御バルブ５４６ｂ〜５４６ｎの動作を制御するため、制御部３、流量制御バルブ５４６ｂ〜５４６ｎ、および支管流量計５４７ｂ〜５４７ｎをそれぞれ合わせてそれぞれマスフローコントローラとして機能する。そして、目標流量値ｆｂｃ〜ｆｎｃも、それぞれ塗布作業における流量制御バルブ５４６ｂ〜５４６ｎの調節目標となる。

また、開閉バルブ５４８ｂ〜５４８ｎは、それぞれ制御部３から出力される動作信号Ｃｏｂ〜Ｃｏｎに応じて、それぞれｂ系統支管〜ｎ系統支管を開閉して有機ＥＬ材料をノズル５２ｂ〜５２ｎへ供給または停止する。そして、ノズル５２ｂ〜５２ｎは、それぞれ開閉バルブ５４８ｂ〜５４８ｎを介してｂ系統支管〜ｎ系統支管から有機ＥＬ材料の供給を受けて、それらの先端部から液柱状態の有機ＥＬ材料を吐出する。なお、ノズル５２ｂ〜５２ｎも、それぞれｂ系統支管〜ｎ系統支管から供給された有機ＥＬ材料中の異物を除去するためのフィルタ５２１ｂ〜５２１ｎを有している。なお、供給源５４１からノズル５２ａ〜５２ｎに至るそれぞれの配管は、ＰＥ（ポリエチレン）、ＰＰ（ポリプロピレン）、テフロン（登録商標）等を材料とする管部材が用いられる。

次に、図３を参照して、塗布装置１における制御機能の概略構成について説明する。なお、図３は、塗布装置１の制御機能を示すブロック図である。

図３において、塗布装置１は、上述した各構成部を制御する制御部３を備えている。例えば、制御部３は、一般的なコンピュータシステムで構成され、内蔵されるコンピュータが用いるハードディスクやメモリ等の記憶媒体やユーザが計測結果等を入力する入力装置を有している。制御部３は、ポンプ５４２、複数の流量制御バルブ５４６ａ〜５４６ｎ、開閉バルブ５４８ａ〜５４８ｎ、旋回部２２、平行移動テーブル２３、およびノズル移動機構部５１のそれぞれの動作を制御する。また、制御部３は、基準流量計５４４が出力する本管流量を示す流量情報Ｉｆ０を取得し、支管流量計５４７ｂ〜５４７ｎがそれぞれ出力する支管流量を示す流量情報Ｉｆａ〜Ｉｆｎをそれぞれ取得する。そして、ａ系統支管〜ｎ系統支管それぞれに設定された目標流量（目標流量値ｆａｃ〜ｆｎｃ）となるように、流量情報Ｉｆａ〜Ｉｆｎに応じて流量制御バルブ５４６ａ〜５４６ｎの動作を制御する。

ここで、赤色の有機ＥＬ材料の塗布を受ける基板Ｐの表面には、有機ＥＬ材料を塗布すべき所定のパターン形状に応じたストライプ状の溝が複数本並設されるように形成されている。有機ＥＬ材料としては、例えば、基板Ｐ上の溝内に拡がるように流動する程度の粘性を有する有機性のＥＬ材料が用いられ、具体的には各色毎の高分子タイプの有機ＥＬ材料が用いられる。ノズルユニット５０は、所定の支持軸周りに回動自在に支持されており、制御部３の制御によって当該支持軸周りに回動させることで、塗布ピッチ間隔を調整することができる。

制御部３は、ステージ２１に載置された基板Ｐの位置や方向に基づいて、基板Ｐに形成された溝の方向が上記Ｘ軸方向になるように旋回部２２の角度を調整し、塗布のスタートポイント、すなわち、基板Ｐに形成された溝の一方の端部側で塗布を開始する塗布開始位置を算出する。なお、上記塗布開始位置は、一方の液受部５３の上部空間となる。そして、制御部３は、上述したように平行移動テーブル２３およびノズル移動機構部５１を駆動させる。

上記塗布開始位置において、制御部３は、各ノズル５２ａ〜５２ｎから有機ＥＬ材料の吐出開始を供給部５４ａに指示する。このとき、制御部３は、ストライプ状の溝の各ポイントにおける有機ＥＬ材料の塗布量が均一となり、液柱状態で有機ＥＬ材料が吐出されるように、ノズル５２ａ〜５２ｎの移動速度に応じてその塗布量を制御しており、支管流量計５４７ａ〜５４７ｎからの流量情報Ｉｆａ〜Ｉｆｎをそれぞれフィードバックして制御する。そして、制御部３は、基板Ｐ上の溝内への有機ＥＬ材料の流し込むために、有機ＥＬ材料を基板Ｐ上の溝に沿わせながらこの溝内に流し込むようにノズルユニット５０をガイド部材５１１に沿わせて移動させるように制御する。この動作によって、液柱状態で各ノズル５２ａ〜５２ｎから吐出される赤色の有機ＥＬ材料が同時にそれぞれの溝に流し込まれていく。

制御部３は、基板Ｐ上をノズルユニット５０が横断して溝の他方端部の外側に固設されている他方の液受部５３上に位置すると、ノズル５２ａ〜５２ｎからの有機ＥＬ材料の吐出を継続したまま、ノズル移動機構部５１によるノズルユニット５０の移動を停止する。この１回の移動によって、複数の溝（例えば、１６列分の溝）への有機ＥＬ材料の塗布が同時に完了する。具体的には、同色の有機ＥＬ材料を各ノズル５２ａ〜５２ｎから吐出しているので、３列毎に１列の溝を塗布対象とした例えば合計１６列分の溝に有機ＥＬ材料が塗布される。

次に、制御部３は、平行移動テーブル２３をＹ軸正方向に所定距離（例えば、４８列分）だけピッチ送りして、次に塗布対象となる溝への有機ＥＬ材料の塗布を行えるようにする。そして、制御部３は、他方の液受部５３の上部空間からノズルユニット５０を逆の方向へ基板Ｐ上を横断させて一方の液受部５３上に位置すると、ノズル５２ａ〜５２ｎからの有機ＥＬ材料の吐出を継続したまま、ノズル移動機構部５１によるノズルユニット５０の移動を停止する。この２回目の移動によって、次の溝への有機ＥＬ材料の塗布が完了する。このような動作を繰り返すことによって、赤色の有機ＥＬ材料が赤色を塗布対象とした溝に流し込まれる。

次に、図４〜図６を参照して、第１の実施形態に係る塗布装置１の流量設定手順の一例について説明する。なお、図４は、当該塗布装置１の流量設定手順の一例を示すフローチャートである。図５は、図４のステップＳ８２における実流量計測モード処理の動作の一例を示すサブルーチンである。図６は、図４のステップＳ８３における支管流量設定モード処理の動作の一例を示すサブルーチンである。

図４において、制御部３は、ポンプ５４２を動作させて供給源５４１に貯留された有機ＥＬ材料を本管中へ流動させ（ステップＳ８０）、処理を次のステップに進める。例えば、制御部３は、ポンプ５４２を作動させる動作信号Ｃｐをポンプ５４２へ出力して、当該ポンプ５４２を動作させる。

次に、制御部３は、実流量Ｒと基準流量計５４４の流量計測値Ｆとの間の関係式が設定済みか否かを判断する（ステップＳ８１）。例えば、制御部３は、塗布装置１が使用する塗布液の種別毎に、実流量Ｒと基準流量計５４４の流量計測値Ｆとの間の関係式を設定し、搭載された記憶媒体に当該関係式を記憶している。そして、制御部３は、塗布装置１で塗布する塗布液に対して上記関係式が設定されていない場合、次のステップＳ８２に処理を進める。一方、制御部３は、塗布装置１で塗布する塗布液に対して上記関係式が設定されている場合、次のステップＳ８３に処理を進める。

ステップＳ８２において、制御部３は、実流量計測モード処理を行い、次のステップに処理を進める。以下、図５を参照して、実流量計測モード処理の詳細な動作について説明する。

図５において、制御部３は、実流量（実吐出流量）を計測する支管系統（例えば、ａ系統）を選択し、吐出流量範囲を設定して（ステップＳ９１）、処理を次のステップに進める。ここで、上記吐出流量範囲とは、塗布装置１がこれから使用する塗布液を塗布する際に可能性がある吐出流量の範囲を示している。

次に、制御部３は、上記ステップＳ９１で選択された対象の支管系統の開閉バルブ５４８（例えば、ａ系統の開閉バルブ５４８ａ）を全開にして、他の開閉バルブ５４８を全閉にし（ステップＳ９２）、処理を次のステップに進める。

次に、制御部３は、基準流量計５４４の流量計測値Ｆが上記吐出流量範囲内の任意の値となるように、上記ステップＳ９１で選択された対象の支管系統の流量制御バルブ５４６（例えば、ａ系統の流量制御バルブ５４６ａ）を動作させ（ステップＳ９３）、処理を次のステップに進める。このステップＳ９３の動作によって、本管中へ流動する有機ＥＬ材料が上記ステップＳ９１で選択された対象の支管（例えば、ａ系統の支管）のみに流動して１つのノズル５２（例えば、ノズル５２ａ）から吐出される状態となる。

次に、制御部３は、秤量によって計測された実吐出流量Ｒおよびそのときの基準流量計５４４の流量計測値Ｆを取得し（ステップＳ９４）、処理を次のステップに進める。例えば、塗布装置１のユーザは、上記ステップＳ９３の動作状態において、塗布液を吐出しているノズル５２から吐出している塗布液を秤量し、実吐出流量Ｒを計測する。例えば、ノズル５２から吐出される塗布液の実吐出流量Ｒは、当該ノズル５２から所定の容器内に塗布液を吐出させ、単位吐出時間に対する当該容器内の塗布液重量（例えば、ミリグラム／分）によって秤量される。そして、ユーザは、制御部３の入力装置を介して、計測した実吐出流量Ｒを入力する。なお、そのときの基準流量計５４４の流量計測値Ｆについては、基準流量計５４４から出力される流量情報Ｉｆ０を用いて自動的に制御部３が取得してもいいし、ユーザが入力装置を介して入力してもかまわない。

次に、制御部３は、実流量計測が終了したか否かを判断する（ステップＳ９５）。例えば、上記ステップＳ９３およびステップＳ９４で行う実吐出流量Ｒの秤量は、上記吐出流量範囲内における複数ポイント（例えば、３〜５ポイント）に対応して行われる。上記ステップＳ９５において、制御部３は、実吐出流量Ｒの秤量が上記複数ポイント全てに対応して行われた場合、次のステップＳ９６に処理を進める。一方、制御部３は、実吐出流量Ｒの秤量が上記複数ポイントの何れかに対して行われていない場合、上記ステップＳ９３に戻って、上記吐出流量範囲内における他の値に対する処理を行う。

ステップＳ９６において、制御部３は、実吐出流量Ｒと基準流量計５４４の流量計測値Ｆとの関係式を設定して記憶媒体に記憶して、当該サブルーチンによる処理を終了する。以下、図７を参照して、実吐出流量Ｒと基準流量計５４４の流量計測値Ｆとの関係式について説明する。なお、図７は、実吐出流量Ｒの秤量結果から得られる上記関係式の一例を示すグラフである。

図７は、横軸を基準流量計５４４の流量計測値Ｆおよび縦軸を実吐出流量Ｒとし、実吐出流量Ｒの秤量結果をプロットしている。具体的には、上記ステップＳ９３およびステップＳ９４の処理によって、基準流量計５４４の流量計測値がＦ１のときに秤量された実吐出流量がＲ１である。また、基準流量計５４４の流量計測値がＦ２のときに秤量された実吐出流量がＲ２である。また、基準流量計５４４の流量計測値がＦ３のときに秤量された実吐出流量がＲ３である。そして、これら３つのプロット点（点Ｆ１−Ｒ１、点Ｆ２−Ｒ２、点Ｆ３−Ｒ３）を通る近似曲線（例えば、直線）が、実吐出流量Ｒと基準流量計５４４の流量計測値Ｆとの関係式として導かれる。例えば、上記関係式は、
Ｒ＝Ａ＊Ｆ＋Ｂ
で示される。ここで、ＡおよびＢは、それぞれ上記プロット点から導かれる定数である。塗布装置１では、このような関係式が使用する塗布液の種別毎にそれぞれ設定されて記憶される。

図４に戻り、上記ステップＳ８２の実流量計測モード処理の後、制御部３は、支管流量設定モード処理を行い（ステップＳ８３）、次のステップに処理を進める。以下、図６を参照して、支管流量設定モード処理の詳細な動作について説明する。

図６において、制御部３は、支管流量を設定する支管系統（例えば、ｂ系統）を選択し、吐出流量範囲を設定して（ステップＳ１０１）、処理を次のステップに進める。ここで、上記吐出流量範囲とは、上記ステップＳ９１で説明した範囲と同様であり、選択された支管系統を介して、塗布装置１がこれから使用する塗布液を塗布する際に可能性がある吐出流量の範囲を示している。

次に、制御部３は、上記ステップＳ１０１で選択された対象の支管系統の開閉バルブ５４８（例えば、ｂ系統の開閉バルブ５４８ｂ）を全開にして、他の開閉バルブ５４８を全閉にし（ステップＳ１０２）、処理を次のステップに進める。

次に、制御部３は、選択された対象の支管系統の支管流量計５４７（例えば、ｂ系統の支管流量計５４７ｂ）の流量計測値ｆ（例えば、支管流量計５４７ｂの流量計測値ｆｂ）が上記吐出流量範囲内の任意の値となるように、当該支管系統の流量制御バルブ５４６（例えば、ｂ系統の流量制御バルブ５４６ｂ）を動作させ（ステップＳ１０３）、処理を次のステップに進める。このステップＳ１０３の動作によって、本管中へ流動する有機ＥＬ材料が上記ステップＳ１０１で選択された支管（例えば、ｂ系統の支管）のみに流動して１つのノズル５２（例えば、ノズル５２ｂ）から吐出される状態となる。

次に、制御部３は、選択された支管系統の支管流量計５４７の流量計測値ｆおよびそのときの基準流量計５４４の流量計測値Ｆを取得し（ステップＳ１０４）、処理を次のステップに進める。例えば、制御部３は、ステップＳ１０３の状態で出力される支管流量計５４７ｂの流量情報Ｉｆｂおよび基準流量計５４４の流量情報Ｉｆ０を用いて、流量計測値ｆｂおよび流量計測値Ｆを取得する。

次に、制御部３は、選択された支管系統の支管流量設定が終了したか否かを判断する（ステップＳ１０５）。例えば、上記ステップＳ１０３およびステップＳ１０４で行う支管流量設定も、上述した実吐出流量Ｒの秤量と同様に、上記吐出流量範囲内における複数ポイント（例えば、３〜５ポイント）に対応して行われる。上記ステップＳ１０５において、制御部３は、選択された支管系統の支管流量設定が上記複数ポイント全てに対応して行われた場合、次のステップＳ１０６に処理を進める。一方、制御部３は、選択された支管系統の支管流量設定が上記複数ポイントの何れかに対して行われていない場合、上記ステップＳ１０３に戻って、上記吐出流量範囲内における他の値に対する処理を行う。

ステップＳ１０６において、制御部３は、基準流量計５４４の流量計測値Ｆと支管流量計５４７の流量計測値ｆとの関係式を設定して記憶媒体に記憶して、処理を次のステップに進める。以下、図８を参照して、基準流量計５４４の流量計測値Ｆと支管流量計５４７の流量計測値ｆとの関係式について説明する。なお、図８は、上記ステップＳ１０３およびステップＳ１０４の測定結果から得られる上記関係式の一例を示すグラフである。

図８は、横軸を支管流量計５４７ｂの流量計測値ｆｂおよび縦軸を基準流量計５４４の流量計測値Ｆとし、上記ステップＳ１０３およびステップＳ１０４の測定結果をプロットしている。具体的には、上記ステップＳ１０３およびステップＳ１０４の処理によって、支管流量計５４７ｂの流量計測値がｆｂ１のときに基準流量計５４４の流量計測値がＦ１である。また、支管流量計５４７ｂの流量計測値がｆｂ２のときに基準流量計５４４の流量計測値がＦ２である。また、支管流量計５４７ｂの流量計測値がｆｂ３のときに基準流量計５４４の流量計測値がＦ３である。そして、これら３つのプロット点（点ｆｂ１−Ｆ１、点ｆｂ２−Ｆ２、点ｆｂ３−Ｆ３）を通る近似曲線（例えば、直線）が、基準流量計５４４の流量計測値Ｆと支管流量計５４７ｂの流量計測値ｆｂとの関係式として導かれる。例えば、上記関係式は、
Ｆ＝Ｃｂ＊ｆｂ＋Ｄｂ
で示される。ここで、ＣｂおよびＤｂは、それぞれ上記プロット点から導かれるｂ系統の定数である。塗布装置１では、このような関係式が支管の系統毎に、使用する塗布液の種別に応じてそれぞれ設定されて記憶される。

図６に戻り、上記ステップＳ１０６における関係式の設定の後、制御部３は、全ての支管系統に対する支管流量設定が終了したか否かを判断する（ステップＳ１０７）。そして、制御部３は、支管流量設定が終了していない支管系統がある場合、上記ステップＳ１０１に戻って異なる支管系統に対する支管流量設定を行う。一方、制御部３は、全ての支管系統の支管流量設定が終了した場合、当該サブルーチンによる処理を終了する。

図４に戻り、上記ステップＳ８３の支管流量設定モード処理の後、制御部３は、後述する塗布作業（ステップＳ８５）で用いる吐出流量に対する各支管の目標流量値ｆｃを設定し（ステップＳ８４）、処理を次のステップに進める。以下、図７〜図９を参照して、目標流量値ｆｃについて説明する。なお、図９は、使用する塗布液の種別に応じてそれぞれ設定された関係式の一例を示す図である。

制御部３は、上記ステップＳ８０〜ステップＳ８３の処理によって、図９に示すような関係式を設定している。図９では、制御部３が使用する塗布液ｑ〜ｔに対してそれぞれ設定して記憶した関係式の一例を示している。例えば、塗布液ｑに対して、実吐出流量Ｒと基準流量計５４４の流量計測値Ｆとの関係式は、
Ｒ＝Ａｑ＊Ｆ＋Ｂｑ
で設定されている。ここで、ＡｑおよびＢｑは、それぞれ塗布液ｑに対して設定された上記定数ＡおよびＢを示している。また、塗布液ｑに対して、基準流量計５４４の流量計測値Ｆと支管流量計５４７ａの流量計測値ｆａとの関係式は、
Ｆ＝Ｃａｑ＊ｆａ＋Ｄａｑ
で設定されている。ここで、ＣａｑおよびＤａｑは、それぞれ塗布液ｑに対して設定されたａ系統の定数である。また、塗布液ｑに対して、基準流量計５４４の流量計測値Ｆと支管流量計５４７ｂの流量計測値ｆｂとの関係式は、
Ｆ＝Ｃｂｑ＊ｆｂ＋Ｄｂｑ
で設定されている。ここで、ＣｂｑおよびＤｂｑは、それぞれ塗布液ｑに対して設定されたｂ系統の定数である。また、他のｃ系統〜ｎ系統における支管流量計５４７ｃ〜５４７ｎの流量計測値ｆｃ〜ｆｎについてもａ系統およびｂ系統と同様に、塗布液ｑにおける基準流量計５４４の流量計測値Ｆとの関係式が設定されている。

制御部３は、上述した関係式を適宜組み合わせて上記吐出流量に対する各支管の目標流量値ｆｃを設定する。説明を具体的にするために、塗布作業におけるｂ系統のノズル５２ｂからの吐出流量が実吐出流量Ｒｐとした場合の目標流量値ｆｃについて説明する。例えば、図７に示すように、実吐出流量Ｒと基準流量計５４４の流量計測値Ｆとの関係式Ｒ＝Ａ＊Ｆ＋Ｂを用いて、実吐出流量Ｒｐに対応する基準流量計５４４の流量計測値Ｆｐが導かれる。そして、図８に示すように、基準流量計５４４の流量計測値Ｆと支管流量計５４７ｂの流量計測値ｆｂとの関係式Ｆ＝Ｃｂ＊ｆｂ＋Ｄｂを用いて、流量計測値Ｆｐに対応する支管流量計５４７ｂの流量計測値ｆｂｐが導かれる。つまり、これらの関係式から明らかなように、ｂ系統のノズル５２ｂから実吐出流量Ｒｐで塗布液を吐出したい場合、ｂ系統を流動する当該塗布液の目標流量値ｆｂｃを上記流量計測値ｆｂｐに設定すればいいことになる。したがって、吐出流量Ｒｐで吐出する場合のｂ系統の目標流量値ｆｂｃは、

で設定される。また、上述したように各関係式が塗布液の種別毎に設定されている。したがって、塗布液ｑを吐出流量Ｒｐで吐出する場合のｂ系統の目標流量値ｆｂｃｑは、

で設定される。

図４に戻り、上記ステップＳ８４の各支管の目標流量値ｆｃを設定した後、制御部３は、当該目標流量値ｆｃを用いて被塗布体（例えば、ガラス基板）に対する塗布作業を行う（ステップＳ８５）。この塗布作業において、制御部３は、各開閉バルブ５４８ａ〜５４８ｎを全開にする。また、制御部３は、ａ系統の支管流量計５４７ａから出力される流量情報Ｉｆａを用いて、当該支管流量計５４７ａが示す流量計測値ｆａが目標流量値ｆａｃとなるように、流量制御バルブ５４６ａを制御する。このように目標流量値ｆａｃは、流量制御バルブ５４６ａの流量調節目標となる。また、制御部は他の系統の支管も同様に、支管流量計５４７ｂ〜５４７ｎから出力される流量情報Ｉｆｂ〜Ｉｆｎを用いて、当該支管流量計５４７ｂ〜５４７ｎが示す流量計測値ｆｂ〜ｆｎがそれぞれの目標流量値ｆｂｃ〜ｆｎｃとなるように、流量制御バルブ５４６ｂ〜５４６ｎを制御する。このように目標流量値ｆｂｃ〜ｆｎｃは、それぞれ流量制御バルブ５４６ｂ〜５４６ｎの流量調節目標となる。

そして、当該塗布作業中において、制御部３は、支管流量の再設定の要否（ステップＳ８６）および塗布作業を終了するか否か（ステップＳ８４）を判断する。例えば、制御部３は、塗布装置１で使用する塗布液を交換する場合や支管流量を確認する定期管理（例えば、日常管理）時期が到来した場合等において、支管流量の再設定が必要であると判断する（ステップＳ８６でＹｅｓ）。そして、制御部３は、支管流量の再設定が必要と判断した場合、上記ステップＳ８１に戻って処理を繰り返す。また、制御部３は、支管流量の再設定が不要で塗布作業を継続する場合（ステップＳ８６およびステップＳ８７が何れもＮｏ）、上記ステップＳ８５に戻って処理を繰り返す。一方、制御部３は、塗布作業を終了する場合（ステップＳ８７でＹｅｓ）、ポンプ５４２を停止させて（ステップＳ８８）、当該フローチャートによる処理を終了する。

上述した第１の実施形態に係る流量設定方法では、実吐出流量の秤量計測を用いて基準流量計５４４を測定し、その値付けを行うことによって校正して、基準流量計５４４を塗布装置１内の標準器として取り扱っている。そして、この標準器（基準流量計５４４）を用いて複数の支管流量計５４７をさらに校正することによって、段階的な校正体系を確立して、塗布装置１内に設置された多数の流量計の流量管理を行っている。なお、第１の実施形態においては、各流量計（基準流量計５４４、支管流量計５４７）の関係式を設定することによって値付けして校正を行っているが、各流量計の流量計測値を調整（較正）してもかまわない。

このように、第１の実施形態に係る塗布装置は、本管に設置された基準流量計の流量計測値に基づいて各支管の目標流量値が設定される。したがって、ノズル系統毎に実吐出流量を秤量して関係式をそれぞれ導くことが不要となる。例えば、当該塗布装置において塗布する塗布液を変更（例えば、赤色の有機ＥＬ材料から緑色の有機ＥＬ材料に変更）する場合、当該塗布液変更後であっても基準流量計の流量計測値に基づいて各支管の目標流量値が設定されるため、塗布装置の流量管理工数が激減する。実際の塗布作業に用いる塗布液を用いて目標流量値が設定されるため、代替え塗布液を用いた流量設定と比較すると、実作業に合致した高精度の目標流量値の設定が可能であり、換算作業等も不要となる。また、従来のように塗布装置の実吐出流量計測時間が長くなることによって実吐出流量が変動することに起因する流量管理の不安定要素を排除することができるため、正確な実吐出流量の設定が可能となる。

（第２の実施形態）
以下、図面を参照して、本発明の第２の実施形態に係る塗布装置について説明する。ここで、第２の実施形態に係る塗布装置は、上述した第１の実施形態に係る塗布装置と比較して、本管に流量制御バルブ５４９が追加されている。第２の実施形態に係る塗布装置における他の構成要素は、上述した第１の実施形態に係る塗布装置と同様であるため、同様の構成要素に対して同一の参照符号を付して詳細な説明を省略する。

図１０を参照して、第２の実施形態に係る塗布装置１における塗布液の供給部５４ｂおよびノズルユニット５０の概略構成について説明する。なお、図１０は、当該塗布装置１の供給部５４ｂおよびノズルユニット５０の概略構成を示すブロック図である。

図１０において、供給部５４ｂは、供給部５４ａと同様に、単一の供給源５４１から供給される塗布液（例えば、赤色の有機ＥＬ材料）を供給途中（マニホールド５４５）で複数に分岐させて複数のノズル５２ａ〜５２ｎに供給する。供給部５４ａは、供給源５４１、ポンプ５４２、フィルタ５４３、基準流量計５４４、マニホールド５４５、複数の流量制御バルブ５４６ａ〜５４６ｎ、複数の支管流量計５４７ａ〜５４７ｎ、開閉バルブ５４８ａ〜５４８ｎに加えて、流量制御バルブ５４９を備えている。

流量制御バルブ５４９は、制御部３から出力される動作信号Ｃｆ０に応じて、本管を流動する有機ＥＬ材料の流量を制御する。また、基準流量計５４４は、本管における有機ＥＬ材料の流量を検出して、流量情報Ｉｆ０を制御部３へ出力する。そして、本管を流動した有機ＥＬ材料は、マニホールド（多岐管）５４５に供給される。なお、制御部３は、流量情報Ｉｆ０に基づいて目標流量値ｆ０ｃとなるように動作信号Ｃｆ０を生成して流量制御バルブ５４９の動作を制御することも可能であるため、制御部３、流量制御バルブ５４９、および基準流量計５４４を合わせてマスフローコントローラとして機能する。

次に、図１１〜図１３を参照して、第２の実施形態に係る塗布装置１の流量設定手順の一例について説明する。なお、図１１は、当該塗布装置１の流量設定手順の一例を示すフローチャートである。図１２は、図１１のステップＳ１１２における実流量計測モード処理の動作の一例を示すサブルーチンである。図１３は、図１１のステップＳ１１３における支管流量設定モード処理の動作の一例を示すサブルーチンである。

図１１において、制御部３は、ポンプ５４２を動作させて供給源５４１に貯留された有機ＥＬ材料を本管中へ流動させる（ステップＳ１１０）。次に、制御部３は、実流量Ｒと基準流量計５４４の流量計測値Ｆとの間の関係式が設定済みか否かを判断する（ステップＳ１１１）。そして、制御部３は、塗布装置１で塗布する塗布液に対して上記関係式が設定されていない場合、次のステップＳ１１２に処理を進める。一方、制御部３は、塗布装置１で塗布する塗布液に対して上記関係式が設定されている場合、次のステップＳ１１３に処理を進める。なお、上記ステップＳ１１０およびステップＳ１１１の処理は、それぞれ上述したステップＳ８０およびステップＳ８１の処理と同様であるため、詳細な説明を省略する。

ステップＳ１１２において、制御部３は、実流量計測モード処理を行い、次のステップに処理を進める。以下、図１２を参照して、実流量計測モード処理の詳細な動作について説明する。

図１２において、制御部３は、実吐出流量を計測する支管系統（例えば、ａ系統）を選択し、吐出流量範囲を設定する（ステップＳ１２１）。次に、制御部３は、上記ステップＳ１２１で選択された対象の支管系統の開閉バルブ５４８（例えば、ａ系統の開閉バルブ５４８ａ）を全開にして、他の開閉バルブ５４８を全閉にし（ステップＳ１２２）、処理を次のステップに進める。

次に、制御部３は、上記ステップＳ１２１で選択された対象の支管系統の流量制御バルブ５４６（例えば、ａ系統の流量制御バルブ５４６ａ）を全開にして（ステップＳ１２３）、処理を次のステップに進める。

次に、制御部３は、基準流量計５４４の流量計測値Ｆが上記吐出流量範囲内の任意の値となるように、本管の支管系統の流量制御バルブ５４９を動作させ（ステップＳ１２４）、処理を次のステップに進める。このステップＳ１２４の動作によって、本管中へ流動する有機ＥＬ材料が上記ステップＳ１２１で選択された対象の支管（例えば、ａ系統の支管）のみに流動して１つのノズル５２（例えば、ノズル５２ａ）から吐出される状態となる。

次に、制御部３は、秤量によって計測された実吐出流量Ｒおよびそのときの基準流量計５４４の流量計測値Ｆを取得し（ステップＳ１２５）、処理を次のステップに進める。なお、上記ステップＳ１２５で行われる秤量方法やデータ入力方法等は、上述したステップＳ９４で説明した方法と同様であるため、ここでは詳細な説明を省略する。

次に、制御部３は、実流量計測が終了したか否かを判断する（ステップＳ１２６）。例えば、上記ステップＳ１２４およびステップＳ１２５で行う実吐出流量Ｒの秤量も、上記吐出流量範囲内における複数ポイント（例えば、３〜５ポイント）に対応して行われる。上記ステップＳ１２６において、制御部３は、実吐出流量Ｒの秤量が上記複数ポイント全てに対応して行われた場合、次のステップＳ１２７に処理を進める。一方、制御部３は、実吐出流量Ｒの秤量が上記複数ポイントの何れかに対して行われていない場合、上記ステップＳ１２４に戻って、上記吐出流量範囲内における他の値に対する処理を行う。

ステップＳ１２７において、制御部３は、実吐出流量Ｒと基準流量計５４４の流量計測値Ｆとの関係式を設定して記憶媒体に記憶して、当該サブルーチンによる処理を終了する。なお、上記ステップＳ１２７で設定する実吐出流量Ｒと基準流量計５４４の流量計測値Ｆとの関係式については、図７を用いて説明した関係式と同様であるため、詳細な説明を省略する。

図１１に戻り、上記ステップＳ１１２の実流量計測モード処理の後、制御部３は、支管流量設定モード処理を行い（ステップＳ１１３）、次のステップに処理を進める。以下、図１３を参照して、支管流量設定モード処理の詳細な動作について説明する。

図１３において、制御部３は、支管流量を設定する支管系統（例えば、ｂ系統）を選択し、後述する塗布作業（ステップＳ１１４）において当該支管系統を介してノズル５２から吐出される吐出流量を設定する（ステップＳ１３１）。次に、制御部３は、上記ステップＳ１３１で選択された対象の支管系統の開閉バルブ５４８（例えば、ｂ系統の開閉バルブ５４８ｂ）を全開にして、他の開閉バルブ５４８を全閉にする（ステップＳ１３２２）。そして、制御部３は、選択された対象の支管系統の流量制御バルブ５４６（例えば、ｂ系統の流量制御バルブ５４６ｂ）を全開にして（ステップＳ１３３）、処理を次のステップに進める。

次に、制御部３は、本管の基準流量計５４４の流量計測値Ｆが塗布作業における吐出流量に応じた値となるように、本管の流量制御バルブ５４９を動作させ（ステップＳ１３４）、処理を次のステップに進める。

ここで、上記ステップＳ１３４における流量計測値Ｆと塗布作業における吐出流量との関係について説明する。上述したステップＳ１１２の実流量計測モード処理において、実吐出流量Ｒと基準流量計５４４の流量計測値Ｆとの関係式が設定されている。ここで、上記関係式が図７で示した一例であり、後述する塗布作業におけるｂ系統のノズル５２ｂからの吐出流量が実吐出流量Ｒｐであるとする。この場合、塗布作業における吐出流量（すなわち、実吐出流量Ｒｐ）に応じた基準流量計５４４の流量計測値はＦｐとなる。したがって、上記ステップＳ１３４において、制御部３は、上記ステップＳ１１２で設定された関係式を用いて、塗布作業における吐出流量に応じた基準流量計５４４の流量計測値Ｆｐを設定して、当該流量計測値Ｆｐを目標流量値ｆ０ｃとして流量制御バルブ５４９を動作させる。つまり、このステップＳ１３４の動作によって、本管中へ流動する有機ＥＬ材料が上記ステップＳ１３１で選択された支管（例えば、ｂ系統の支管）のみに流動して１つのノズル５２（例えば、ノズル５２ｂ）から吐出される状態となり、その塗布液および吐出流量が後述する実際の塗布作業で用いられる塗布液および流量となっている。

次に、制御部３は、選択された支管系統の支管流量計５４７の流量計測値ｆを取得し（ステップＳ１３５）、処理を次のステップに進める。例えば、制御部３は、ステップＳ１３４の状態で出力される支管流量計５４７ｂの流量情報Ｉｆｂを用いて、流量計測値ｆｂを取得する。

次に、制御部３は、上記ステップＳ１３５で取得した流量計測値ｆを選択された支管系統の目標流量値ｆｃを設定し（ステップＳ１３６）、処理を次のステップに進める。

次に、制御部３は、全ての支管系統に対する支管流量設定が終了したか否かを判断する（ステップＳ１３７）。そして、制御部３は、支管流量設定が終了していない支管系統がある場合、上記ステップＳ１３１に戻って異なる支管系統に対する支管流量設定を行う。一方、制御部３は、全ての支管系統の支管流量設定が終了した場合、当該サブルーチンによる処理を終了する。

図１１に戻り、上記ステップＳ１１３の支管流量設定モード処理の後、制御部３は、上記ステップＳ１３６でそれぞれ設定された目標流量値ｆｃを用いて被塗布体に対する塗布作業を行う（ステップＳ１１４）。この塗布作業において、制御部３は、本管の流量制御バルブ５４９および各開閉バルブ５４８ａ〜５４８ｎを全開にする。また、制御部３は、ａ系統の支管流量計５４７ａから出力される流量情報Ｉｆａを用いて、当該支管流量計５４７ａが示す流量計測値ｆａが目標流量値ｆａｃとなるように、流量制御バルブ５４６ａを制御する。また、制御部は他の系統の支管も同様に、支管流量計５４７ｂ〜５４７ｎから出力される流量情報Ｉｆｂ〜Ｉｆｎを用いて、当該支管流量計５４７ｂ〜５４７ｎが示す流量計測値ｆｂ〜ｆｎがそれぞれの目標流量値ｆｂｃ〜ｆｎｃとなるように、流量制御バルブ５４６ｂ〜５４６ｎを制御する。

そして、当該塗布作業中において、制御部３は、支管流量の再設定の要否（ステップＳ１１５）および塗布作業を終了するか否か（ステップＳ１１６）を判断する。例えば、制御部３は、塗布装置１で使用する塗布液を交換する場合、支管流量を確認する定期管理（例えば、日常管理）時期が到来した場合、塗布作業で用いる吐出流量を変更する場合等において、支管流量の再設定が必要であると判断する（ステップＳ１１５でＹｅｓ）。そして、制御部３は、支管流量の再設定が必要と判断した場合、上記ステップＳ１１１に戻って処理を繰り返す。また、制御部３は、支管流量の再設定が不要で塗布作業を継続する場合（ステップＳ１１５およびステップＳ１１６が何れもＮｏ）、上記ステップＳ１１４に戻って処理を繰り返す。一方、制御部３は、塗布作業を終了する場合（ステップＳ１１６でＹｅｓ）、ポンプ５４２を停止させて（ステップＳ１１７）、当該フローチャートによる処理を終了する。

ここで、図１４を参照して、上述した動作中における各流量制御バルブおよび流量計の状態について説明する。なお、図１４は、上記ステップＳ１１３の支管流量設定モード中と上記ステップＳ１１４の塗布作業中とにおける、各流量制御バルブおよび流量計の状態を示す図である。

図１４において、上記ステップＳ１１３の支管流量設定モード処理でａ系統支管の流量を設定しているとき、本管の基準流量計５４４の流量計測値ＦがＦｐ（すなわち、吐出流量Ｒｐに相当する値）になるように、本管の流量制御バルブ５４９が制御動作している。また、ａ系統支管の流量制御バルブ５４６ａが全開状態であり、他の支管の流量制御バルブ５４６ｂ〜５４６ｎが全閉状態にある。そのとき、ａ系統支管の支管流量計５４７ａにおける流量計測値ｆａがｆａｐを示している。この流量計測値ｆａｐが、ａ系統支管の目標流量値ｆａｃに設定される。

同様に、上記ステップＳ１１３の支管流量設定モード処理でｂ系統支管の流量を設定しているとき、本管の基準流量計５４４の流量計測値ＦがＦｐ（すなわち、吐出流量Ｒｐに相当する値）になるように、本管の流量制御バルブ５４９が制御動作している。また、ｂ系統支管の流量制御バルブ５４６ｂが全開状態であり、他の支管の流量制御バルブ５４６ａおよび５４６ｃ〜５４６ｎが全閉状態にある。そのとき、ｂ系統支管の支管流量計５４７ｂにおける流量計測値ｆｂがｆｂｐを示している。この流量計測値ｆｂｐが、ｂ系統支管の目標流量値ｆｂｃに設定される。このように、他の系統の支管についても、順次流量設定されていく。

一方、上記ステップＳ１１４の塗布作業でａ〜ｎ系統支管全てから塗布液を吐出するとき、本管の流量制御バルブ５４９が全開状態であり、本管の基準流量計５４４の流量計測値Ｆが総流量値を示す。そして、ａ系統支管の支管流量計５４７ａの流量計測値ｆａが目標流量値ｆａｃ（すなわち、吐出流量Ｒｐに相当する値）になるように、ａ系統支管の流量制御バルブ５４６ａが制御動作している。また、ｂ系統支管の支管流量計５４７ｂの流量計測値ｆｂが目標流量値ｆｂｃ（すなわち、吐出流量Ｒｐに相当する値）になるように、ｂ系統支管の流量制御バルブ５４６ｂが制御動作している。さらに、ｃ〜ｎ系統支管の支管流量計５４７ｃ〜５４７ｎの流量計測値ｆｃ〜ｆｎがそれぞれ目標流量値ｆｃｃ〜ｆｎｃ（すなわち、それぞれ吐出流量Ｒｐに相当する値）になるように、ｃ〜ｎ系統支管の流量制御バルブ５４６ｃ〜５４６ｎが制御動作している。

なお、第２の実施形態における流量設定動作においては、塗布装置１が使用する塗布液の種別に応じて、それぞれ目標流量値ｆｃが各支管毎に設定されるため、上述した各流量制御バルブおよび流量計の状態についても使用する塗布液毎に設定された流量計測値Ｆｐや目標流量値ｆｃを用いて動作する。また、塗布作業における各支管の吐出流量は、全て同じでなくてもよい。この場合、吐出流量に応じて流量計測値Ｆｐが異なる値に設定されることになり、結果的に目標流量値ｆｃも別の値に設定されることは言うまでもない。

また、上述した第２の実施形態に係る流量設定方法でも、実吐出流量の秤量計測を用いて基準流量計５４４を測定し、その値付けを行うことによって校正して、基準流量計５４４を塗布装置１内の標準器として取り扱っている。そして、この標準器（基準流量計５４４）を用いて複数の支管流量計５４７をさらに校正することによって、段階的な校正体系を確立して、塗布装置１内に設置された多数の流量計の流量管理を行っている。なお、第２の実施形態においては、基準流量計５４４の関係式を設定することによって値付けし、当該基準流量計５４４と各支管流量計５４７とをピンポイントで値付けして校正を行っているが、各流量計の流量計測値を調整（較正）してもかまわない。

このように、第２の実施形態に係る塗布装置も、本管に設置された基準流量計の流量計測値に基づいて各支管の目標流量値が設定される。したがって、ノズル系統毎に実吐出流量を秤量して関係式をそれぞれ導くことが不要となる。例えば、当該塗布装置において塗布する塗布液を変更（例えば、赤色の有機ＥＬ材料から緑色の有機ＥＬ材料に変更）する場合、当該塗布液変更後であっても基準流量計の流量計測値に基づいて各支管の目標流量値が設定されるため、塗布装置の流量管理工数が激減する。実際の塗布作業に用いる塗布液を用いて目標流量値が設定されるため、代替え塗布液を用いた流量設定と比較すると、実作業に合致した高精度の目標流量値の設定が可能であり、換算作業等も不要となる。また、従来のように塗布装置の実吐出流量計測時間が長くなることによって実吐出流量が変動することに起因する流量管理の不安定要素を排除することができるため、正確な実吐出流量の設定が可能となる。さらに、第２の実施形態に係る塗布装置は、支管流量の調整作業をピンポイントの流量（すなわち、塗布作業で用いる塗布流量）を狙って行うことができるため、さらに塗布装置の流量管理工数が削減される。また、第２の実施形態に係る塗布装置は、基準流量計の流量計測値と支管流量計の流量計測値との間の関係式も不要となる。

なお、第１の実施形態に係る塗布装置においても、第２の実施形態と同様に基準流量計の流量計測値と支管流量計の流量計測値との間の関係式を不要として、上記ピンポイントの支管流量の調整作業を可能とすることができる。例えば、図２に示す第１の実施形態の供給部５４ａにおいて、制御部３が基準流量計５４４から出力される流量情報Ｉｆ０に基づいて、流量制御バルブ５４６ａ〜５４６ｎそれぞれを制御可能に構成する。この場合、上記ステップＳ１０３の動作において、本管の基準流量計５４４の流量計測値Ｆが塗布作業における吐出流量に応じた値となるように、対象の支管系統の流量制御バルブ５４６を動作させることができる。そして、第２の実施形態と同様に、この動作中における当該支管系統の支管流量計５４７の流量計測値ｆを、当該支管系統の目標流量値ｆｃとして設定することが可能となり、上記ピンポイントの支管流量の調整作業が可能となる。また、第２の実施形態に係る塗布装置においても、第１の実施形態と同様に基準流量計の流量計測値と支管流量計の流量計測値との間の関係式を設定する支管流量の調整作業が可能であることは言うまでもない。

また、上述した実施形態では、吐出流量範囲内における複数ポイント（例えば、３〜５ポイント）をプロットして各種関係式を導いているが、１つのポイントのみをプロットして関係式を導いてもかまわない。例えば、導く関係式が必ず所定の原点（例えば、（０，０））を通る直線となることを仮定すれば、１つのポイントをプロットするだけで関係式を導くことが可能となる。この場合、関係式を導くための実吐出流量Ｒの秤量や選択された支管系統の支管流量設定が１つのポイントに対応して行うだけとなるため、さらに塗布装置の流量管理工数が削減される。

また、上述した実施形態では、実流量Ｒと基準流量計５４４の流量計測値Ｆとの間の関係式が未設定の場合に、実流量計測モード処理を行う例を示したが、他の態様によって実流量計測モード処理を行ってもかまわない。例えば、実流量Ｒと基準流量計５４４の流量計測値Ｆとの間の関係式が設定済みであっても、定期的に当該関係式を再設定するために実流量計測モード処理を行ってもかまわない。これによって、実流量計測モード処理によって設定される関係式の信頼性が高まり、より正確な流量管理を行うことが可能となる。

上述した実施形態では、実流量Ｒと基準流量計５４４の流量計測値Ｆとの間の関係式を塗布液毎に設定する一例を示したが、当該関係式を設定しなくてもかまわない。この場合、基準流量計５４４の流量計測値Ｆを基準として各支管流量計５４７が値付けされることになるが、実吐出流量の秤量計測値を基準とした値付けではないために、厳密には一般的な校正とは異なる管理となる。したがって、各支管流量計５４７には、上述した流量設定方法のような絶対評価ではなく、流量計測値Ｆを基準とした相対評価が行われることになる。しかしながら、このような相対評価であっても、流量計測値Ｆを基準とした各支管流量計５４７の流量計測値ｆのバラツキや変動を検出することは可能であり、これらの要因を排除した目標流量値を設定することによって正確な吐出流量での塗布作業が可能となる。

また、上述した実施形態では、ノズルユニット５０がＸ軸方向に直線移動する毎に、ステージ２１をＹ軸方向へ所定ピッチだけ移動させて、ノズルユニット５０とステージ２１との当該Ｙ軸方向に対する相対的な位置関係を変化させているが、本発明はこれに限らない。例えば、ノズルユニット５０がＸ軸方向に直線移動する毎に、当該ノズルユニット５０をＹ軸方向へ所定ピッチだけ移動（つまり、有機ＥＬ塗布機構５がＹ軸方向へ移動）させて、ノズルユニット５０とステージ２１との当該Ｙ軸方向に対する相対的な位置関係を変化させてもかまわない。この場合、液受部５３は、有機ＥＬ塗布機構５と共にＹ軸方向へ所定ピッチだけ移動する。

また、上述した実施形態では、赤、緑、および青色のうち、赤色の有機ＥＬ材料を３個１組のノズル５２ａ〜５２ｎで基板Ｐの溝内に流し込んでいるが、この塗布工程は、有機ＥＬ表示装置を製造する途中工程である。有機ＥＬ表示装置を製造するときの処理手順は、正孔輸送材料（ＰＥＤＯＴ）塗布→乾燥→赤色の有機ＥＬ材料塗布→乾燥→緑色の有機ＥＬ材料塗布→乾燥→青色の有機ＥＬ材料塗布→乾燥という手順となる。この場合、本発明の塗布装置は、正孔輸送材料、赤色の有機ＥＬ材料、緑色の有機ＥＬ材料、および青色の有機ＥＬ材料をそれぞれ塗布する工程に用いることができる。

また、上述した塗布装置１の各構成要素の形状、数、および設置位置等は、単なる一例に過ぎず他の形状、数、および設置位置であっても、本発明を実現できることは言うまでもない。

また、上述した実施形態では、塗布液として有機ＥＬ材料や正孔輸送材料を塗布液とした有機ＥＬ表示装置の製造装置を一例にして説明したが、本発明は他の塗布装置にも適用できる。例えば、レジスト液やＳＯＧ（Ｓｐｉｎ Ｏｎ Ｇｌａｓｓ）液やＰＤＰ（プラズマディスプレイパネル）を製造するのに使用される蛍光材料を塗布する装置にも適用することができる。また、液晶カラーディスプレイをカラー表示するために液晶セル内に構成されるカラーフィルタを製造するために使用される色材を塗布する装置にも適用することができる。

以上、本発明を詳細に説明してきたが、上述の説明はあらゆる点において本発明の例示にすぎず、その範囲を限定しようとするものではない。本発明の範囲を逸脱することなく種々の改良や変形を行うことができることは言うまでもない。

本発明に係る流量設定方法および塗布装置は、塗布装置の流量管理を容易にすることができ、複数のノズルからそれぞれ塗布液を吐出する装置や当該装置の流量管理方法等として有用である。

本発明の第１および第２の実施形態に係る塗布装置１の要部概略構成を示す平面図および正面図 本発明の第１の実施形態に係る供給部５４ａおよびノズルユニット５０の概略構成を示すブロック図 図１の塗布装置１の制御機能を示すブロック図 第１の実施形態に係る塗布装置１の流量設定手順の一例を示すフローチャート 図４のステップＳ８２における実流量計測モード処理の動作の一例を示すサブルーチン 図４のステップＳ８３における支管流量設定モード処理の動作の一例を示すサブルーチン 実吐出流量Ｒと流量計測値Ｆとの関係式の一例を示すグラフ 流量計測値Ｆと流量計測値ｆとの関係式の一例を示すグラフ 使用する塗布液の種別に応じてそれぞれ設定された関係式の一例を示す図 本発明の第２の実施形態に係る供給部５４ｂおよびノズルユニット５０の概略構成を示すブロック図 第２の実施形態に係る塗布装置１の流量設定手順の一例を示すフローチャート 図１１のステップＳ１１２における実流量計測モード処理の動作の一例を示すサブルーチン 図１１のステップＳ１１３における支管流量設定モード処理の動作の一例を示すサブルーチン 図１１のステップＳ１１３の支管流量設定モード中とステップＳ１１４の塗布作業中とにおける、各流量制御バルブおよび流量計の状態を示す図 従来の単一の供給源１０１から複数のノズル１０８ａ〜１０８ｎへ分岐して供給する塗布装置の一例を示すブロック図 従来の流量計の値と実吐出流量との関係式の一例を示す図

符号の説明

１…塗布装置
２…基板載置装置
２１…ステージ
２２…旋回部
２３…平行移動テーブル
２４…ガイド受け部
２５、５１１…ガイド部材
３…制御部
５…有機ＥＬ塗布機構
５０…ノズルユニット
５１…ノズル移動機構部
５２…ノズル
５２１、５４３…フィルタ
５３…液受部
５４…供給部
５４１…供給源
５４２…ポンプ
５４４…基準流量計
５４５…マニホールド
５４６、５４９…流量制御バルブ
５４７…支管流量計
５４８…開閉バルブ

Claims (12)

1. 単一の供給源から本管を介して供給される塗布液を複数の支管に分流し、当該支管にそれぞれ設けられた支管流量調節機構によって当該支管を流動する塗布液流量を所定の流量に調節して、当該支管に接続されたノズルから塗布液をそれぞれ吐出する塗布装置における塗布液の流量設定方法であって、
   前記供給源から前記本管へ供給された塗布液を、前記複数の支管から選ばれた１つの支管にのみ供給し、他の支管への当該塗布液の供給を閉止する塗布液供給工程と、
   前記塗布液供給工程で１つの支管に塗布液を供給している状態において、前記本管を流動する塗布液の流量を計測する基準流量計測工程と、
   前記塗布液供給工程で１つの支管に塗布液を供給している状態において、前記基準流量計測工程における計測結果に基づいて、塗布液が供給されている支管に設けられた前記支管流量調節機構の前記所定の流量に対応した調節目標となる目標流量値を設定する支管流量目標設定工程と、
   前記塗布液供給工程による供給動作および前記支管流量目標設定工程における設定動作を、他の支管に対して順次行う支管選択工程とを含む、流量設定方法。
2. 前記支管流量目標設定工程では、前記本管に設けられた基準流量計が示す流量値と、塗布液が供給されている支管に設けられた前記支管流量調節機構の支管流量計が示す流量値との間の関係式が導かれ、当該関係式に基づいて前記所定の流量を示す前記基準流量計の流量値に対応する当該支管流量計の流量値が前記目標流量値に設定される、請求項１に記載の流量設定方法。
3. 前記支管流量目標設定工程では、前記塗布装置で使用する塗布液の種別毎に前記関係式が導かれて前記目標流量値が設定される、請求項２に記載の流量設定方法。
4. 前記基準流量計測工程では、前記本管に設けられた本管流量調節機構によって当該本管を流動する塗布液流量が前記所定の流量に調節され、
   前記支管流量目標設定工程では、前記支管流量調節機構によって支管の流量を全開に調節した状態で当該支管流量調節機構が有する支管流量計が示す流量値が前記目標流量値に設定される、請求項１に記載の流量設定方法。
5. 前記支管流量目標設定工程では、前記塗布装置で使用する塗布液の種別毎に前記目標流量値が設定される、請求項４に記載の流量設定方法。
6. 前記本管に設けられて当該本管を流動する塗布液の流量を計測する基準流量計が示す流量値と前記ノズルから吐出される塗布液の実吐出量との間の関係式を予め導く実流量計測工程を、さらに含み、
   前記基準流量計測工程では、前記基準流量計を用いて計測された塗布液の流量が前記実流量計測工程で導かれた関係式を用いて換算されることによって、前記本管を流動する塗布液の流量の計測結果が算出される、請求項１乃至５の何れか１つに記載の流量設定方法。
7. 前記塗布液は、有機ＥＬ材料または正孔輸送材料である、請求項１乃至６の何れか１つに記載の流量設定方法。
8. 複数のノズルから塗布液をそれぞれ所定の流量で吐出する塗布装置であって、
   前記塗布液を貯留する単一の供給源と、
   前記塗布液を吐出する複数のノズルと、
   前記供給源から本管を介して供給される塗布液を、前記ノズルがそれぞれ接続された複数の支管に分流する分岐部と、
   前記本管に設けられ、当該本管を流動する塗布液の流量を計測する基準流量計測部と、
   前記支管にそれぞれ設けられ、当該支管を流動する塗布液の流量をそれぞれ計測する複数の支管流量計測部と、
   前記支管にそれぞれ設けられ、当該支管を流動する塗布液の流量をそれぞれ調節する複数の支管流量調節部と、
   前記支管流量計測部がそれぞれ計測した流量値に基づいて、少なくとも前記支管流量調節部の動作をそれぞれ制御する制御部とを備え、
   前記制御部は、前記供給源から前記本管へ供給された塗布液が前記複数の支管から順次選ばれた１つの支管にのみに供給され他の支管への当該塗布液の供給が閉止された状態で計測された前記基準流量計測部における計測結果に基づいて、当該塗布液が供給されている支管に設けられた前記支管流量調節部の前記所定の流量に対応した調節目標となる目標流量値を順次設定する、塗布装置。
9. 前記制御部は、前記供給源から前記本管へ供給された塗布液が前記複数の支管から順次選ばれた１つの支管にのみに供給され他の支管への当該塗布液の供給が閉止された状態において、前記基準流量計測部が計測した流量値と塗布液が供給されている支管に設けられた前記支管流量計測部が計測した流量値との間の関係式を導き、当該関係式に基づいて前記所定の流量を示す前記基準流量計測部の流量値に対応する当該支管流量計測部の流量値を前記目標流量値に設定する、請求項８に記載の塗布装置。
10. 前記本管に設けられ、当該本管を流動する塗布液の流量を前記基準流量計測部が計測した流量値に応じて調節する本管流量調節部を、さらに備え、
    前記本管流量調節部は、前記本管を流動する塗布液流量を前記所定の流量に調節し、
    前記制御部は、前記供給源から前記本管へ供給された塗布液が前記複数の支管から順次選ばれた１つの支管にのみに供給され他の支管への当該塗布液の供給が閉止された状態において、塗布液が供給されている支管に設けられた前記支管流量調節部が流量を全開に調節した状態で計測された当該支管の前記支管流量計測部の流量値を前記目標流量値に設定する、請求項８に記載の塗布装置。
11. 前記複数のノズルは、少なくとも３本以上で構成される、請求項８乃至１０の何れか１つに記載の塗布装置。
12. 前記塗布液は、有機ＥＬ材料または正孔輸送材料である、請求項８乃至１１の何れか１つに記載の塗布装置。

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