JP2009042050A - 加速度・角速度センサ - Google Patents
加速度・角速度センサ Download PDFInfo
- Publication number
- JP2009042050A JP2009042050A JP2007206899A JP2007206899A JP2009042050A JP 2009042050 A JP2009042050 A JP 2009042050A JP 2007206899 A JP2007206899 A JP 2007206899A JP 2007206899 A JP2007206899 A JP 2007206899A JP 2009042050 A JP2009042050 A JP 2009042050A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- electrode
- piezo
- small
- rigid body
- electromotive force
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
Links
- 230000001133 acceleration Effects 0.000 title claims description 122
- 238000001514 detection method Methods 0.000 claims abstract description 28
- 230000002093 peripheral effect Effects 0.000 claims description 83
- 239000000463 material Substances 0.000 claims description 11
- 239000002033 PVDF binder Substances 0.000 claims description 9
- 229920002981 polyvinylidene fluoride Polymers 0.000 claims description 9
- 230000006835 compression Effects 0.000 claims 1
- 238000007906 compression Methods 0.000 claims 1
- 230000035945 sensitivity Effects 0.000 abstract description 9
- 125000006850 spacer group Chemical group 0.000 description 31
- 238000000034 method Methods 0.000 description 7
- 238000006073 displacement reaction Methods 0.000 description 6
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 6
- 230000008859 change Effects 0.000 description 4
- 230000005284 excitation Effects 0.000 description 3
- 239000000126 substance Substances 0.000 description 3
- PPBRXRYQALVLMV-UHFFFAOYSA-N Styrene Chemical compound C=CC1=CC=CC=C1 PPBRXRYQALVLMV-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 230000005684 electric field Effects 0.000 description 2
- 238000007641 inkjet printing Methods 0.000 description 2
- VGGSQFUCUMXWEO-UHFFFAOYSA-N Ethene Chemical compound C=C VGGSQFUCUMXWEO-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- JOYRKODLDBILNP-UHFFFAOYSA-N Ethyl urethane Chemical compound CCOC(N)=O JOYRKODLDBILNP-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 239000005977 Ethylene Substances 0.000 description 1
- XUIMIQQOPSSXEZ-UHFFFAOYSA-N Silicon Chemical compound [Si] XUIMIQQOPSSXEZ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 238000005452 bending Methods 0.000 description 1
- 229910010293 ceramic material Inorganic materials 0.000 description 1
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 1
- 229920001971 elastomer Polymers 0.000 description 1
- 239000000806 elastomer Substances 0.000 description 1
- 238000005530 etching Methods 0.000 description 1
- 230000001747 exhibiting effect Effects 0.000 description 1
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 description 1
- 230000004048 modification Effects 0.000 description 1
- 238000012986 modification Methods 0.000 description 1
- 238000000016 photochemical curing Methods 0.000 description 1
- 230000010287 polarization Effects 0.000 description 1
- 238000007639 printing Methods 0.000 description 1
- 230000008569 process Effects 0.000 description 1
- 239000011347 resin Substances 0.000 description 1
- 229920005989 resin Polymers 0.000 description 1
- 239000003566 sealing material Substances 0.000 description 1
- 229910052710 silicon Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000010703 silicon Substances 0.000 description 1
- 229920002379 silicone rubber Polymers 0.000 description 1
- 239000004590 silicone sealant Substances 0.000 description 1
- 229910001220 stainless steel Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000010935 stainless steel Substances 0.000 description 1
Images
Landscapes
- Gyroscopes (AREA)
Abstract
【解決手段】センサ体1は、水平面内に配置され、上面に第1の電極101を有し、下面に第2の電極103を有する第1のピエゾフィルム102と、第1のピエゾフィルム102から下方に離間された水平面内に配置され、上面に第3の電極107を有し、下面に第4の電極109を有する第2のピエゾフィルム108と、第1のピエゾフィルム102と第2のピエゾフィルム108との間に配置され、水平方向および垂直方向に変位可能な剛体105と、を有し、水平方向および垂直方向に対称性を有する構造にしている。
【選択図】図1
Description
また、同じ加速度、角速度が印加された場合、出力起電力は、加速度、角速度が小さいときは、X、Y、Z各軸とも印加された加速度、角速度に比例するが、加速度、角速度が大きくなった場合、前記センサーの構造変化(しなり)は、追従できなくなるため、加速度、角速度が小さい場合の印加された加速度、角速度に比例する出力起電力とは異なることになる。つまり、X、Y軸方向とZ軸方向では、構造が異なることにより、出力起電力の直線性の方向依存性が生じる。
よって、加速度および角速度の検出感度、および、出力の直線性の方向依存性が大きいという問題があった。
また、複数のピエゾ起電力に基づいて、加速度や角速度が算出されるから、加速された方向や回転された方向が精度良く検出されるとともに、加速度や角速度の算出精度が向上できる。よって、加速度や角速度を精度良く求めることができる。
本発明の第1の実施の形態を図1,図2に基づいて以下に説明する。
図1(a)、(b)に示すように、第1の実施の形態における加速度・角速度センサは、センサ体1を有している。センサ体1は、円筒形のスペーサ106を有し、この内部に、第1の電極101、第1のピエゾフィルム102、第2の電極103、シリコーンシーラントからなるゲル材104、ステンレスからなる球状の剛体105、第3の電極107、第2のピエゾフィルム108、第4の電極109を、上から下に亙ってこの順番で有している。
このようなセンサ体1は、以下の手順で作成される。まず、PVDFで形成された第2のピエゾフィルム108が用意され、この表面に第3の電極107が、この裏面に第4の電極109が、インクジェット印刷法によってそれぞれ印刷される。そして、この第2のピエゾフィルム108に分極処理が施されることによって、第2のピエゾフィルム108にピエゾ性が持たされる。
スペーサ106内において、剛体105が水平方向に移動(変位)すると、第1の電極101を構成する5つの小電極A11〜A15のうち、剛体105が変位した方向に位置する小電極と、第2の電極103を構成する5つの小電極B11〜B15のうち、剛体105が変位した方向に位置する小電極との間が、剛体105により圧縮される。これにより、互いに接近された2つの周囲小電極間の第1のピエゾフィルム102から、第1のピエゾ起電力が生じる。
また、スペーサ106内において、剛体105が垂直方向に移動(変位)すると、第1の電極101を構成する中央小電極A15と、第2の電極103を構成する中央小電極B15との間が、剛体105により圧縮または伸長される。これにより、互いに接近または離間された中央小電極A15と中央小電極B15との間の第1のピエゾフィルム102から、第5のピエゾ起電力が生じる。
また、スペーサ106内において、剛体105が回転すると、第1の電極101を構成する5つの小電極A11〜A15のうち、剛体105が変位した方向に位置する小電極と、この小電極に対向しない第2の電極103側の小電極であって、第2の電極103を構成する5つの小電極B11〜B15のうち、剛体105が変位した方向に位置する小電極との間が、剛体105により圧縮される。これにより、互いに接近された2つの小電極間の第1のピエゾフィルム102から、第7のピエゾ起電力が生じる。
センサ体1に加速度に起因して生じる外力fや、角速度に起因して生じるコリオリ力Fが作用すると、前記したように剛体105が加速され各種のピエゾ起電力が検出される。
次に、本発明の第2の実施の形態を図3乃至図12に基づいて以下に説明する。
スペーサ306内において、剛体305が水平方向に移動すると、第2の電極303を構成する9つの小電極のうち、剛体305が移動した方向に位置する小電極と、第1の電極301との間が、剛体305により圧縮される。これにより、互いに接近された小電極と第1の電極301との間の第1のピエゾフィルム302から、第1のピエゾ起電力が生じる。
また、スペーサ306内において、剛体305が垂直方向に移動すると、中央小電極E51と、第1の電極301との間が、剛体305により圧縮または伸長される。これにより、互いに接近または離間された中央小電極E51と第1の電極301との間の第1のピエゾフィルム102から、第5のピエゾ起電力が生じる。
また、垂直振動手段、前後振動手段、および、左右振動手段としての図示しない電圧印加装置により、第1の電極301と第2の電極303との間、第3の電極307と第4の電極309との間にそれぞれ電圧を印加することによって、剛体305をX軸方向、Y軸方向、Z軸方向のいずれかに振動させることが可能である。
この場合、図5に示す後側周囲小電極E11と第1の電極301との間が圧縮されて、第1の電極301と後側周囲小電極E11との間の第1のピエゾフィルム302から第1のピエゾ起電力が生じる。また、前側周囲小電極E41と第1の電極301との間が伸長されて、第1の電極301と前側周囲小電極E41との間の第1のピエゾフィルム302から第2のピエゾ起電力が生じる。
この場合、図6に示す前側周囲小電極E41と第1の電極301との間が圧縮されて、第1の電極301と前側周囲小電極E41との間の第1のピエゾフィルム302から第1のピエゾ起電力が生じる。また、後側周囲小電極E11と第1の電極301との間が伸長されて、第1の電極301と後側周囲小電極E11との間の第1のピエゾフィルム302から第2のピエゾ起電力が生じる。
このように、参照点m1〜m8が得られたら、図10に示すように、これらを順に結んだ信号波形を求める。こうして得られた信号波形は、もとの合成力f+Fのうちのバイアス成分に対応するものになり、従って、加速度aに基づく外力fに対応するものになる。
センサ体11に加速度に起因して生じる外力fが作用すると、前記したように剛体305に加速度が加わり各種のピエゾ起電力が検出される。
以上、本発明の実施例を説明したが、具体例を例示したに過ぎず、特に本発明を限定するものではなく、具体的構成などは、適宜設計変更可能である。また、発明の実施の形態に記載された、作用および効果は、本発明から生じる最も好適な作用および効果を列挙したに過ぎず、本発明による作用および効果は、本発明の実施の形態に記載されたものに限定されるものではない。
11 センサ体
101 第1の電極
102 第1のピエゾフィルム
103 第2の電極
104 ゲル材
105 剛体
106 スペーサ
107 第3の電極
108 第2のピエゾフィルム
109 第4の電極
301 第1の電極
302 第1のピエゾフィルム
303 第2の電極
304 ゲル材
305 剛体
306 スペーサ
307 第3の電極
308 第2のピエゾフィルム
309 第4の電極
A11,A12,A13,A14 周囲小電極
B11,B12,B13,B14 周囲小電極
C11,C12,C13,C14 周囲小電極
D11,D12,D13,D14 周囲小電極
A15,B15,C15,D15 中央小電極
E11,E12 後側周囲小電極
E21,E22 左側周囲小電極
E31,E32 右側周囲小電極
E41,E42 前側周囲小電極
E51,E52 中央小電極
Claims (8)
- 3次元座標系における各座標軸の成分ごとに加速度および角速度を検出する加速度・角速度センサであって、
水平面内に配置され、上面に第1の電極を有し、下面に第2の電極を有する第1のピエゾフィルムと、
前記第1のピエゾフィルムから下方に離間された水平面内に配置され、上面に第3の電極を有し、下面に第4の電極を有する第2のピエゾフィルムと、
前記第1のピエゾフィルムと前記第2のピエゾフィルムとの間に配置され、水平方向および垂直方向に変位可能な剛体と、
を有するセンサ体と、
前記第1の電極と前記第2の電極との間が、変位された前記剛体で圧縮されることによって、前記第1のピエゾフィルムに生じたピエゾ起電力と、
前記第1の電極と前記第2の電極との間が、変位された前記剛体で伸長されることによって、前記第1のピエゾフィルムに生じたピエゾ起電力と、
前記第3の電極と前記第4の電極との間が、変位された前記剛体で圧縮されることによって、前記第2のピエゾフィルムに生じたピエゾ起電力と、
前記第3の電極と前記第4の電極との間が、変位された前記剛体で伸長されることによって、前記第2のピエゾフィルムに生じたピエゾ起電力と、
をそれぞれ検出する検出手段と、
前記検出手段が検出した各ピエゾ起電力に基づいて、加速度および角速度を算出する加速度・角速度算出手段と、
を有することを特徴とする加速度・角速度センサ。 - 前記第1の電極、前記第2の電極、前記第3の電極、および、前記第4の電極の各々が、前記剛体に対向する中央小電極と、該中央小電極の周囲に位置する複数の周囲小電極とに分割されており、
前記検出手段は、
前記第1の電極側の任意の周囲小電極と、該周囲小電極に対向する前記第2の電極側の周囲小電極との間が、変位された前記剛体で圧縮されることによって、前記第1のピエゾフィルムに生じたピエゾ起電力を第1のピエゾ起電力として検出し、
前記第1の電極側の任意の周囲小電極と、該周囲小電極に対向する前記第2の電極側の周囲小電極との間が、変位された前記剛体で伸長されることによって、前記第1のピエゾフィルムに生じたピエゾ起電力を第2のピエゾ起電力として検出し、
前記第3の電極側の任意の周囲小電極と、該周囲小電極に対向する前記第4の電極側の周囲小電極との間が、変位された前記剛体で圧縮されることによって、前記第2のピエゾフィルムに生じたピエゾ起電力を第3のピエゾ起電力として検出し、
前記第3の電極側の任意の周囲小電極と、該周囲小電極に対向する前記第4の電極側の周囲小電極との間が、変位された前記剛体で伸長されることによって、前記第2のピエゾフィルムに生じたピエゾ起電力を第4のピエゾ起電力として検出し、
前記第1の電極側の前記中央小電極と、前記第2の電極側の前記中央小電極との間が、変位された前記剛体で圧縮または伸長されることによって、前記第1のピエゾフィルムに生じたピエゾ起電力を第5のピエゾ起電力として検出し、
前記第3の電極側の前記中央小電極と、前記第4の電極側の前記中央小電極との間が、変位された前記剛体で圧縮または伸長されることによって、前記第2のピエゾフィルムに生じたピエゾ起電力を第6のピエゾ起電力として検出し、
前記第1の電極側の任意の周囲小電極と、該周囲小電極に対向しない前記第2の電極側の周囲小電極との間が、変位された前記剛体で圧縮されることによって、前記第1のピエゾフィルムに生じたピエゾ起電力を第7のピエゾ起電力として検出し、
前記第1の電極側の任意の周囲小電極と、該周囲小電極に対向しない前記第2の電極側の周囲小電極との間が、変位された前記剛体で伸長されることによって、前記第1のピエゾフィルムに生じたピエゾ起電力を第8のピエゾ起電力として検出し、
前記第3の電極側の任意の周囲小電極と、該周囲小電極に対向しない前記第4の電極側の周囲小電極との間が、変位された前記剛体で圧縮されることによって、前記第2のピエゾフィルムに生じたピエゾ起電力を第9のピエゾ起電力として検出し、
前記第3の電極側の任意の周囲小電極と、該周囲小電極に対向しない前記第4の電極側の周囲小電極との間が、変位された前記剛体で伸長されることによって、前記第2のピエゾフィルムに生じたピエゾ起電力を第10のピエゾ起電力として検出し、
前記加速度・角速度算出手段は、前記第1乃至第4のピエゾ起電力に基づいて水平方向の加速度を算出し、前記第5乃至第6のピエゾ起電力に基づいて垂直方向の加速度を算出するとともに、前記第7乃至第10のピエゾ起電力に基づいて角速度を算出することを特徴とする請求項1に記載の加速度・角速度センサ。 - 前記剛体の形状が球形であることを特徴とする請求項2に記載の加速度・角速度センサ。
- 前記第2の電極と前記第3の電極とが、前記剛体の形状に沿った球面を有していることを特徴とする請求項3に記載の加速度・角速度センサ。
- 前記第2の電極および前記第3の電極が、前記剛体に対向する中央小電極と、該中央小電極の水平方向前方に位置する前側周囲小電極と、前記中央小電極の水平方向後方に位置する後側周囲小電極と、前記中央小電極の水平方向左方に位置する左側周囲小電極と、前記中央小電極の水平方向右方に位置する右側周囲小電極とを含むように、複数の周囲小電極に分割されており、
前記検出手段は、
前記第1の電極と、前記第2の電極側の任意の周囲小電極との間が、変位された前記剛体で圧縮されることによって、前記第1のピエゾフィルムに生じたピエゾ起電力を第1のピエゾ起電力として検出し、
前記第1の電極と、前記第2の電極側の任意の周囲小電極との間が、変位された前記剛体で伸長されることによって、前記第1のピエゾフィルムに生じたピエゾ起電力を第2のピエゾ起電力として検出し、
前記第3の電極側の任意の周囲小電極と、前記第4の電極との間が、変位された前記剛体で圧縮されることによって、前記第2のピエゾフィルムに生じたピエゾ起電力を第3のピエゾ起電力として検出し、
前記第3の電極側の任意の周囲小電極と、前記第4の電極との間が、変位された前記剛体で伸長されることによって、前記第2のピエゾフィルムに生じたピエゾ起電力を第4のピエゾ起電力として検出し、
前記第1の電極と、前記第2の電極側の前記中央小電極との間が、変位された前記剛体で圧縮または伸長されることによって、前記第1のピエゾフィルムに生じたピエゾ起電力を第5のピエゾ起電力として検出し、
前記第3の電極側の前記中央小電極と、前記第4の電極との間が、変位された前記剛体で圧縮または伸長されることによって、前記第2のピエゾフィルムに生じたピエゾ起電力を第6のピエゾ起電力として検出し、
前記加速度・角速度算出手段は、前記第1乃至第4のピエゾ起電力に基づいて水平方向の加速度を算出し、前記第5乃至第6のピエゾ起電力に基づいて垂直方向の加速度を算出することを特徴とする請求項1に記載の加速度・角速度センサ。 - 前記第1の電極と前記第2の電極の中央小電極との間に任意の極性の電圧を印加するとともに、前記第3の電極の中央小電極と前記第4の電極との間に前記任意の極性とは逆の極性の電圧を印加し、前記極性を交互に切り替えることによって、前記剛体を垂直方向に振動させる垂直振動手段と、
前記第1の電極と前記第2の電極の前側周囲小電極との間、および、前記第3の電極の前側周囲小電極と前記第4の電極との間に任意の極性の電圧をそれぞれ印加するとともに、前記第1の電極と前記第2の電極の後側周囲小電極との間、および、前記第3の電極の後側周囲小電極と前記第4の電極との間に前記任意の極性とは逆の極性の電圧をそれぞれ印加し、前記極性を交互に切り替えることによって、前記剛体を水平方向前方から水平方向後方にかけての前後方向に振動させる前後振動手段と、
前記第1の電極と前記第2の電極の左側周囲小電極との間、および、前記第3の電極の左側周囲小電極と前記第4の電極との間に任意の極性の電圧をそれぞれ印加するとともに、前記第1の電極と前記第2の電極の右側周囲小電極との間、および、前記第3の電極の右側周囲小電極と前記第4の電極との間に前記任意の極性とは逆の極性の電圧をそれぞれ印加し、前記極性を交互に切り替えることによって、前記剛体を水平方向左方から水平方向右方にかけての左右方向に振動させる左右振動手段と、
を更に有し、
前記加速度・角速度算出手段は、
前記剛体が振動している状態において前記検出手段が検出した各ピエゾ起電力に基づいて、加速度に起因して生じる外力と角速度に起因して生じるコリオリ力との合成力を算出する合成力算出手段と、
前記合成力を前記外力と前記コリオリ力とに分離する分離手段と、
前記外力に基づいて加速度を算出する加速度算出手段と、
前記コリオリ力に基づいて角速度を算出する角速度算出手段と、
を有していることを特徴とする請求項5に記載の加速度・角速度センサ。 - 前記第1のピエゾフィルムおよび前記第2のピエゾフィルムが、ポリフッ化ビニリデンで形成されていることを特徴とする請求項1乃至6のいずれかに記載の加速度・角速度センサ。
- 前記第1のピエゾフィルムと前記第2のピエゾフィルムとの間であって、前記剛体の周りの隙間には、ゲル状物質が充填されていることを特徴とする請求項1乃至7のいずれかに記載の加速度・角速度センサ。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2007206899A JP5202900B2 (ja) | 2007-08-08 | 2007-08-08 | 加速度・角速度センサ |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2007206899A JP5202900B2 (ja) | 2007-08-08 | 2007-08-08 | 加速度・角速度センサ |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2009042050A true JP2009042050A (ja) | 2009-02-26 |
JP5202900B2 JP5202900B2 (ja) | 2013-06-05 |
Family
ID=40442942
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2007206899A Expired - Fee Related JP5202900B2 (ja) | 2007-08-08 | 2007-08-08 | 加速度・角速度センサ |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP5202900B2 (ja) |
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
CN111366290A (zh) * | 2020-03-27 | 2020-07-03 | 中国工程物理研究院电子工程研究所 | 一种半球万向敏感压电冲击传感器 |
Citations (10)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US3911388A (en) * | 1973-09-21 | 1975-10-07 | Houston Products And Services | Accelerometer |
JPS60244863A (ja) * | 1984-05-21 | 1985-12-04 | Toyota Motor Corp | 衝撃検知器 |
JPH0627133A (ja) * | 1992-07-10 | 1994-02-04 | Toray Ind Inc | 3次元加速度センサ |
JPH0868636A (ja) * | 1994-08-26 | 1996-03-12 | Kazuhiro Okada | 加速度と角速度との双方を検出する装置 |
JPH08248059A (ja) * | 1995-03-08 | 1996-09-27 | Nec Corp | 3次元加速度センサ |
JPH0943271A (ja) * | 1995-07-27 | 1997-02-14 | Kansai Gas Meter Co Ltd | 3次元加速度センサ |
JPH09229961A (ja) * | 1996-02-26 | 1997-09-05 | Kansai Gas Meter Co Ltd | 加速度センサ |
JP3401252B2 (ja) * | 1993-03-30 | 2003-04-28 | 和廣 岡田 | 角速度センサ |
JP2005031096A (ja) * | 2004-09-27 | 2005-02-03 | Kazuhiro Okada | 加速度と角速度との双方を検出する装置 |
JP2006003277A (ja) * | 2004-06-18 | 2006-01-05 | Oki Electric Ind Co Ltd | 半導体加速度センサ装置及びその製造方法 |
-
2007
- 2007-08-08 JP JP2007206899A patent/JP5202900B2/ja not_active Expired - Fee Related
Patent Citations (10)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US3911388A (en) * | 1973-09-21 | 1975-10-07 | Houston Products And Services | Accelerometer |
JPS60244863A (ja) * | 1984-05-21 | 1985-12-04 | Toyota Motor Corp | 衝撃検知器 |
JPH0627133A (ja) * | 1992-07-10 | 1994-02-04 | Toray Ind Inc | 3次元加速度センサ |
JP3401252B2 (ja) * | 1993-03-30 | 2003-04-28 | 和廣 岡田 | 角速度センサ |
JPH0868636A (ja) * | 1994-08-26 | 1996-03-12 | Kazuhiro Okada | 加速度と角速度との双方を検出する装置 |
JPH08248059A (ja) * | 1995-03-08 | 1996-09-27 | Nec Corp | 3次元加速度センサ |
JPH0943271A (ja) * | 1995-07-27 | 1997-02-14 | Kansai Gas Meter Co Ltd | 3次元加速度センサ |
JPH09229961A (ja) * | 1996-02-26 | 1997-09-05 | Kansai Gas Meter Co Ltd | 加速度センサ |
JP2006003277A (ja) * | 2004-06-18 | 2006-01-05 | Oki Electric Ind Co Ltd | 半導体加速度センサ装置及びその製造方法 |
JP2005031096A (ja) * | 2004-09-27 | 2005-02-03 | Kazuhiro Okada | 加速度と角速度との双方を検出する装置 |
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
CN111366290A (zh) * | 2020-03-27 | 2020-07-03 | 中国工程物理研究院电子工程研究所 | 一种半球万向敏感压电冲击传感器 |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JP5202900B2 (ja) | 2013-06-05 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
US8117912B2 (en) | Multiaxial acceleration sensor and angular velocity sensor | |
JP2010078500A (ja) | 慣性センサ | |
US8508105B2 (en) | Inertial sensor | |
WO2007145113A1 (ja) | 慣性センサ | |
WO2011158348A1 (ja) | 複合センサ | |
US7155976B2 (en) | Rotation sensing apparatus and method for manufacturing the same | |
JP2005233706A (ja) | 角速度センサ | |
JP3135181U (ja) | 加速度と角速度との双方を検出するセンサ | |
JP2008076265A (ja) | 慣性力センサ | |
WO2018003692A1 (ja) | 物理量センサ | |
JP5202900B2 (ja) | 加速度・角速度センサ | |
JP2009222475A (ja) | 複合センサ | |
JP5227199B2 (ja) | 角速度センサ | |
US9052195B2 (en) | Inertial sensor for detecting angular velocity | |
JP4515491B2 (ja) | 角速度センサ | |
JP2010032482A (ja) | ジャイロセンサ振動体 | |
JP2008190972A (ja) | 角速度センサ | |
WO2019017277A1 (ja) | 振動型角速度センサ | |
US20130255376A1 (en) | Inertial sensor and measuring method for measuring angular velocity using the same | |
KR20120062390A (ko) | 관성센서 | |
WO2018235719A1 (ja) | 振動型角速度センサ | |
JP2008232704A (ja) | 慣性力センサ | |
JP2004004121A (ja) | 角速度センサ | |
JP2017058353A (ja) | センサ素子 | |
JP3015278U (ja) | 圧電型加速度センサ |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20100216 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20120828 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20121003 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20130205 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20130213 |
|
R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Ref document number: 5202900 Country of ref document: JP Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20160222 Year of fee payment: 3 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
LAPS | Cancellation because of no payment of annual fees |