JP2009039855A - 研磨パッド - Google Patents
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Abstract
【解決手段】マイクロA硬度が80度以上の研磨層と、引っ張り強さが10MPa以上70MPa以下で、かつ厚さが0.3mm以上1.2mm以下で、かつ衝撃強さが100J/m以上で、かつ吸水率が0.5%以下の樹脂板とクッション層が、研磨層、樹脂板、クッション層の順に積層されてなり、該研磨層と該樹脂板が接着剤で一体化されている。
【選択図】なし
Description
高分子計器(株)製のマイクロゴム硬度計"MD−1"で測定する。マイクロゴム硬度計"MD−1"の構成は下記のとおりである。
1.1センサ部
(1)荷重方式:片持ばり形板バネ
(2)ばね荷重:0ポイント/2.24gf。100ポイント/33.85gf
(3)ばね荷重誤差:±0.32gf
(4)押針寸法:直径:0.16mm円柱形。 高さ0.5mm
(5)変位検出方式:歪ゲージ式
(6)加圧脚寸法:外径4mm 内径1.5mm
1.2センサ駆動部
(1)駆動方式:ステッピングモータによる上下駆動。エアダンパによる降下速度制御
(2)上下動ストローク:12mm
(3)降下速度:10〜30mm/sec
(4)高さ調整範囲:0〜67mm(試料テーブルとセンサ加圧面の距離)
1.3試料台
(1)試料台寸法:直径 80mm
(2)微動機構:XYテーブルおよびマイクロメータヘッドによる微動。ストローク:X軸、Y軸とも15mm
(3)レベル調整器:レベル調整用本体脚および丸型水準器。
ポリプロピレングリコール30重量部とジフェニルメタンジイソシアネート40重量部と水0.5重量部とトリエチルアミン0.3重量部とシリコーン整泡剤1.7重量部とオクチル酸スズ0.09重量部をRIM成型機で混合して、金型に吐出して加圧成型を行い、厚み2.6mmの独立気泡の発泡ポリウレタンシート(マイクロゴムA硬度:42,密度:0.76g/cm3 、独立気泡の平均気泡径:34μm)を作製した。
クッション層として日本マタイ(株)製の熱可塑性ポリウレタンのマイクロゴムA硬度で65度の1.0mm品(体積弾性率=65MPa、引っ張り弾性率=4MPa)を、該複合層と積水化学工業(株)製5782W接着層(中間テープ)を介して積層体を作成し、さらに裏面に裏面テープとして積水化学工業(株)両面テープ5604TDXを貼り合わせた。
ポリプロピレングリコール30重量部とジフェニルメタンジイソシアネート40重量部と水0.5重量部とトリエチルアミン0.3重量部とシリコーン整泡剤1.7重量部とオクチル酸スズ0.09重量部をRIM成型機で混合して、金型に吐出して加圧成型を行い、厚み2.6mmの独立気泡の発泡ポリウレタンシート(マイクロゴムA硬度:42,密度:0.76g/cm3 、独立気泡の平均気泡径:34μm)を作製した。
クッション層として日本マタイ(株)製の熱可塑性ポリウレタンのマイクロゴムA硬度で65度の1.0mm品(体積弾性率=65MPa、引っ張り弾性率=4MPa)を、該複合層と積水化学工業(株)製5782W接着層(中間テープ)を介して積層体を作成し、さらに裏面に裏面テープとして積水化学工業(株)両面テープ5604TDXを貼り合わせた。
実施例1と同様の厚み2.00mmの研磨層を作製した。
クッション層として日本マタイ(株)製の熱可塑性ポリウレタンのマイクロゴムA硬度で65度の1.0mm品(体積弾性率=65MPa、引っ張り弾性率=4MPa)を、該研磨層と積水化学工業(株)製5782W接着層(中間テープ)を介して積層体を作成し、さらに裏面に裏面テープとして積水化学工業(株)両面テープ5604TDXを貼り合わせた。
Claims (2)
- マイクロゴムA硬度が80度以上の研磨層と、引っ張り強さが10MPa以上70MPa以下で、かつ厚さが0.3mm以上1.2mm以下で、かつ衝撃強さが100J/m以上で、かつ吸水率が0.5%以下の樹脂板とクッション層が、研磨層、樹脂板、クッション層の順に積層されてなり、該研磨層と該樹脂板が接着剤で一体化されていることを特徴とする研磨パッド。
- 請求項1に記載の研磨パッドを用いて半導体基板の表面を研磨するプロセスを含む半導体デバイスの製造方法。
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WO2016031142A1 (ja) * | 2014-08-27 | 2016-03-03 | 株式会社フジミインコーポレーテッド | 曲面形状を有する部材の研磨加工工具と加工方法 |
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US10434622B2 (en) | 2014-08-27 | 2019-10-08 | Fujimi Incorporated | Polishing tool and polishing method for member having curved surface shape |
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