JP2009036627A - 半導体装置 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】センサチップ20の表面に保護膜22を配置すると共に、電極21をセンサチップ20の側面から露出するように配置する。そして、電極21のうち露出されている部分を耐腐食金属27で覆うと共に、電極21と耐腐食金属27とを電気的に接続する。このような構成とすれば、耐腐食金属27がセンサチップ20の側面に備えられている構成とすることができるので耐腐食金属27と外部回路との接続工程を目視しながら行うことができる。またセンサチップ20の表面は保護膜22で覆われていると共に、電極21のうちセンサチップ20の側面から露出されている部分は耐腐食金属27で覆われているので耐環境性にも優れている。
【選択図】図1
Description
また、このような半導体装置は、ターミナル(12)が備えられたコネクタケース(10)のターミナル(12)に対して、電極(21)もしくは耐腐食金属(27)を電気的に接続し、この電気的な接続により機械的な接合を行うことが好ましい。このような機械的な接合を行うと製造工程の簡略化を図ることができる。
本発明の一実施形態が適用された半導体装置について説明する。図1は、本実施形態にかかる半導体装置を備えた圧力センサの全体断面図、図2は図1の二点鎖線部分の拡大図、図3は本実施形態にかかる半導体装置の上面レイアウト図である。図1、図2および図3に基づいて本実施形態の半導体装置が備えられた圧力センサについて説明する。
本発明の第2実施形態について説明する。本実施形態の半導体装置を備えた圧力センサは第1実施形態に対して半導体装置の構成とターミナル12との接続部の構成を変更したものであり、その他に関しては第1実施形態と同様であるため、ここでは説明を省略する。
本発明の第3実施形態について説明する。本実施形態の半導体装置を備えた圧力センサは第2実施形態に対して半導体装置の構成とターミナル12との接続部の構成を変更したものであり、その他に関しては第2実施形態と同様であるためここでは説明を省略する。
上記各実施形態においては、圧力センサを例に挙げて説明したが、本発明の半導体装置はもちろん圧力センサに限定されるものではない。
Claims (11)
- 半導体素子を備えたセンサチップ(20)と、前記センサチップ(20)に備えられた前記半導体素子と電気的に接続される電極(21)と、を有する半導体装置であって、
前記電極(21)は前記センサチップ(20)の側面に備えられており、前記電極(21)を介して前記半導体素子と外部回路との電気的な接続を行うように構成されていることを特徴とする半導体装置。 - 前記センサチップ(20)の表面には前記半導体素子を保護する保護膜(22)が配置されていることを特徴とする請求項1に記載の半導体装置。
- 前記センサチップ(20)の端部には前記センサチップ(20)の表面から前記センサチップ(20)の裏面に向かう穴(25)が形成されており、前記穴(25)に前記電極(21)が配置されていることにより前記電極(21)が前記センサチップ(20)の側面に配置されていることを特徴とする請求項1または請求項2に記載の半導体装置。
- 前記電極(21)の表面が耐腐食金属(27)で覆われていると共に、前記電極(21)を介して前記半導体素子と前記耐腐食金属(27)とが電気的に接続されていることを特徴とする請求項1ないし3のいずれか1つに記載の半導体装置。
- 請求項1ないし4のいずれか1つに記載の半導体装置であって、ターミナル(12)を備えたコネクタケース(10)の前記ターミナル(12)に対して、前記電極(21)もしくは前記耐腐食金属(27)が電気的に接続されており、前記電気的な接続により機械的な接合も行われていることを特徴とする半導体装置。
- 前記ターミナル(12)に対する前記電極(21)もしくは前記耐腐食金属(27)の前記電気的な接続および前記機械的な接合は前記ターミナル(12)に備えられたバネ部材(28)を介して行われていることを特徴とする請求項5に記載の半導体装置。
- 半導体素子を備えたセンサチップ(20)と、
前記センサチップ(20)に備えられた前記半導体素子と電気的に接続され、かつ前記センサチップ(20)の側面に備えられる電極(21)と、
前記電極(21)の表面を覆う耐腐食金属(27)と、
前記センサチップ(20)と前記耐腐食金属(27)とを搭載する土台(26)と、を有し、
前記耐腐食金属(27)は前記土台(26)の端部まで配置されており、
前記土台(26)の端部に配置される前記耐腐食金属(27)を介して前記半導体素子と外部回路との電気的な接続を行うように構成されていることを特徴とする半導体装置。 - 前記センサチップ(20)の表面には前記半導体素子を保護する保護膜(22)が配置されていることを特徴とする請求項7に記載の半導体装置。
- 前記センサチップ(20)の端部には前記センサチップ(20)の表面から前記センサチップ(20)の裏面に向かう穴(25)が形成されており、前記穴(25)に前記電極(21)が配置されていることにより前記電極(21)が前記センサチップ(20)の側面に配置されていることを特徴とする請求項7または請求項8に記載の半導体装置。
- 前記保護膜(22)は前記センサチップ(20)の表面および前記電極(21)の表面のうち前記センサチップ(20)の前記保護膜(22)が配置されている表面と少なくとも隣接する部分まで配置されており、前記耐腐食金属(27)は前記電極(21)の表面を覆うと共に、前記電極(21)の表面に配置された前記保護膜(22)を覆う構成とされていることを特徴とする請求項4ないし9のいずれか1つに記載の半導体装置。
- 請求項6ないし10のいずれか1つに記載の半導体装置であって、ターミナル(12)を備えたコネクタケース(10)の前記ターミナル(12)に対して、前記電極(21)もしくは前記耐腐食金属(27)が電気的に接続されており、前記電気的な接続により機械的な接合も行われていることを特徴とする半導体装置。
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JP2022169528A (ja) * | 2018-12-27 | 2022-11-09 | サーム-オー-ディスク・インコーポレイテッド | 圧力センサアセンブリ及び圧力センサアセンブリを製造するための方法 |
Citations (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH02248826A (ja) * | 1989-03-23 | 1990-10-04 | Toyota Autom Loom Works Ltd | 半導体圧力センサ |
JPH03148029A (ja) * | 1989-11-02 | 1991-06-24 | Toyota Autom Loom Works Ltd | 圧力検出器 |
JPH10321874A (ja) * | 1997-05-21 | 1998-12-04 | Nippon Seiki Co Ltd | 半導体式圧力センサ及びその製造方法 |
JP2004017171A (ja) * | 2002-06-12 | 2004-01-22 | Murata Mfg Co Ltd | 電子部品およびその製造方法 |
JP2006200924A (ja) * | 2005-01-18 | 2006-08-03 | Denso Corp | 圧力センサの製造方法 |
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2007
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Patent Citations (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH02248826A (ja) * | 1989-03-23 | 1990-10-04 | Toyota Autom Loom Works Ltd | 半導体圧力センサ |
JPH03148029A (ja) * | 1989-11-02 | 1991-06-24 | Toyota Autom Loom Works Ltd | 圧力検出器 |
JPH10321874A (ja) * | 1997-05-21 | 1998-12-04 | Nippon Seiki Co Ltd | 半導体式圧力センサ及びその製造方法 |
JP2004017171A (ja) * | 2002-06-12 | 2004-01-22 | Murata Mfg Co Ltd | 電子部品およびその製造方法 |
JP2006200924A (ja) * | 2005-01-18 | 2006-08-03 | Denso Corp | 圧力センサの製造方法 |
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2022169528A (ja) * | 2018-12-27 | 2022-11-09 | サーム-オー-ディスク・インコーポレイテッド | 圧力センサアセンブリ及び圧力センサアセンブリを製造するための方法 |
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