JP2009036597A - 光学特性測定装置、走査光学装置及び画像形成装置 - Google Patents

Abstract

【課題】被走査面上を移動するビームスポットの主走査ラインの曲がりや副走査方向の変動を正確に測定することが可能な光学特性測定装置を提供する。
【解決手段】ＸステージＸＳＴとしてリニアガイド方式のＸステージを使用する。ＸステージＸＳＴとしてリニアガイド方式のＸステージを使用する場合には、従来のシャフトアンドスライドブッシュ方式のように、支持部材８１の表面８１ｂと移動台７３の底面７３ａとの間に隙間Ｄが形成されないので、ＹステージＹＳＴのモーメントＭの発生が抑制され第１の移動台７２上に受光装置７１に撓みｄの発生が抑制され、真の走査線曲がり特性を測定することが可能となる。
【選択図】図１５

Description

本発明は、主走査方向及び副走査方向の被走査面を走査する走査光学装置から射出される光ビームを受光手段によって受光し、前記被走査面に照射された前記光ビームの主走査方向及び副走査方向のビームスポット位置を測定する前記走査光学装置の光学特性測定装置、これを使用して調整された走査光学装置及びこれを備えた画像形成装置に関する。

従来から、レーザプリンタやデジタル複写機といった各種の画像形成装置においては、例えば、感光体の被走査面上にレーザ光を集光させることにより形成された光スポットを、レーザ光を偏向させることにより主走査方向へ移動させて被走査面を走査する走査光学装置が広く用いられ、近年では、光源のマルチビーム化や走査線の高密度化にともない、被走査面上における走査精度の更なる向上が要求されている。
この種の走査光学装置においては、被走査面上における光スポットの移動軌跡（以下、主走査ラインという）は、正確な直線であることが理想的であるが、実際には種々の要因で直線とはならず、僅かな曲がりや傾きが生じてしまう。またレーザ光の偏向を、例えば複数の偏向反射面を有する回転多面鏡により行う場合には、各偏向反射面毎に偏向による主走査ラインが、いわゆる面倒れの影響で、被走査面上の主走査方向に直交する方向（以下、副走査方向という）に微小距離変動することが考えられる。このような主走査ラインの曲がりや傾き、及び副走査方向の微小距離変動は、所定の許容範囲内に収める必要があり、走査線を高密度化する場合や、マルチビームにより走査を行う場合には、その許容範囲はかなり狭くなる。そこで、走査光学系を実際に組み立てる際やその組み立て後には、上記主走査ラインの曲がりや副走査方向の変動の計測、及び調整等が行われている。
例えば、特許文献１に示されるように、所望の主走査方向の位置における副走査方向の走査位置を測定するための測定装置が提案されている。特許文献１に記載の測定装置は、１台のＣＣＤカメラを移動ステージにより、所望の主走査方向の位置まで移動させて、その位置での副走査方向の走査位置を測定する光学特性測定装置である。
特開２０００−３９５７３公報

しかしながら、特許文献１記載の測定装置においては、走査光学装置の回転多面鏡の各偏光反射面毎に対する走査位置を定量的に測定することが可能であっても被走査面上を移動するビームスポットの主走査ラインの曲がりや副走査方向の変動を正確に測定することができないという問題がある。
本発明は係る事情の下になされたもので、その第１の目的は、被走査面上を移動するビームスポットの主走査ラインの曲がりや副走査方向の変動を正確に測定することが可能な光学特性測定装置を提供することにある。
また、本発明の第２の目的は、走査精度の向上を図ることが可能な走査光学装置を提供することにある。
また、本発明の第３の目的は、高品質な画像を形成することが可能な画像形成装置を提供することにある。

上記課題を解決するために、請求項１に記載の発明は、主走査方向及び副走査方向の被走査面を走査する走査光学装置から射出される光ビームを受光手段によって受光し、前記被走査面に照射された前記光ビームの主走査方向及び副走査方向のビームスポット位置を測定する前記走査光学装置の光学特性測定装置において、前記受光手段を、前記主走査方向に延在する第１のガイド部材上を前記主走査方向に摺動自在に設置された第１の移動台上に取り付け、当該第１の移動台と対向する前記第１のガイド部材の底部の中間位置に、前記副走査方向に延在する第２のガイド部材上を前記副走査方向に摺動自在に設置された第２の移動台を取り付け、前記第１の移動台は、前記第１のガイド部材に取り付けられた前記主走査方向に移動させる第１の移動手段に連結され、前記第２の移動台は、前記第２のガイド部材に取り付けられた前記副走査方向に移動させる第２の移動手段に連結され、前記第１の移動手段及び第２の移動手段の駆動によって、前記受光手段が同一平面内で、副走査方向及び主走査方向に移動自在に取り付けられており、前記第２のガイド部材は、基台上に取り付けられた副走査方向に平行に延びる少なくとも２本のガイドレールを有し、当該ガイドレールに沿って前記第２の移動台を摺動自在に案内することを特徴とする。
また、請求項２の発明は、請求項１記載の光学特性測定装置において、前記第２のガイド部材は、基台上に取り付けられた副走査方向に平行に延びる２本のガイドレールを有し、前記第２の移動手段は、前記第２のガイド部材の２本のガイドレールの間に前記副走査方向に前記ガイドレールと平行に延びる送りネジを有しており、当該送りネジの一端は、当該送りネジを回転駆動するモータと接続され、前記第２の移動台は、前記送りネジに螺合されて送りネジの回転によって、前記副走査方向に移動されることを特徴とする。

また、請求項３の発明は、請求項１又は２記載の光学特性測定装置において前記第１のガイド部材は、主走査方向に平行に延びる２本のガイドシャフトを有し、前記第１の移動手段は、前記第１のガイド部材の２本のガイドシャフトの間に前記主走査方向に前記ガイドシャフトと平行に延びる送りネジを有しており、当該送りネジの一端は、当該送りネジを回転駆動するモータと接続され、前記第１の移動台は、前記送りネジに螺合する螺合部と当該螺合部の両側に前記ガイドシャフトを挿通するスライドブッシュを備えており、前記送りネジの回転によって、前記主走査方向に移動されることを特徴とする。
また、請求項４の発明は、主走査方向及び副走査方向の被走査面を走査する走査光学装置から射出される光ビームを受光手段によって受光し、前記被走査面に照射された前記光ビームの主走査方向及び副走査方向のビームスポット位置を測定する前記走査光学装置の光学特性測定装置において、前記受光手段を、前記主走査方向に延在する第１のガイド部材上を前記主走査方向に摺動自在に設置された第１の移動台上に取り付け、当該第１の移動台と対向する前記第１のガイド部材の底部の中間位置に、前記副走査方向に延在する第２のガイド部材上を前記副走査方向に摺動自在に設置された第２の移動台を取り付け、前記第１の移動台は、前記第１のガイド部材に取り付けられた前記主走査方向に移動させる第１の移動手段に連結され、前記第２の移動台は、前記第２のガイド部材に取り付けられた前記副走査方向に移動させる第２の移動手段に連結され、前記第１の移動手段及び第２の移動手段の駆動によって、前記受光手段が同一平面内で、副走査方向及び主走査方向に移動自在に取り付けられており、前記第２のガイド部材は、両端部で基台に固定され、さらに、副走査方向に平行に延びる少なくとも２本のガイドシャフトを有し、前記第２の移動手段は、前記第２のガイド部材の前記２本のガイドシャフトと平行に延びる送りネジを有しており、当該送りネジの一端は、当該送りネジを回転駆動するモータと接続され、前記第２の移動台は、前記送りネジに螺合する螺合部と前記ガイドシャフトを挿通するスライドブッシュを備えており、前記送りネジの回転によって前記副走査方向に移動可能となるように、基台から所定間隔を有して離隔された状態で前記第２のガイド部材によって保持され、当該第２の移動台は、前記第１の移動台の摺動範囲と等しい幅の支持部を有し、少なくとも当該支持部の幅方向の両端部にスライドブッシュを備え、当該スライドブッシュ内に、前記第２のガイド部材のガイドシャフトがそれぞれ挿通されていることを特徴とする。

また、請求項５の発明は、請求項４記載の光学特性測定装置において前記第１のガイド部材は、主走査方向に平行に延びる２本のガイドシャフトを有し、前記第１の移動手段は、前記第１のガイド部材の２本のガイドシャフトの間に前記主走査方向に前記ガイドシャフトと平行に延びる送りネジを有しており、当該送りネジの一端は、当該送りネジを回転駆動するモータと接続され、前記第１の移動台は、前記送りネジに螺合する螺合部と当該螺合部の両側に前記ガイドシャフトを挿通するスライドブッシュを備えており、前記送りネジの回転によって、前記主走査方向に移動されることを特徴とする。

また、請求項６の発明は、主走査方向及び副走査方向の被走査面を走査する走査光学装置から射出される光ビームを受光手段によって受光し、前記被走査面に照射された前記光ビームの主走査方向及び副走査方向のビームスポット位置を測定する前記走査光学装置の光学特性測定装置において、前記走査光学装置から副走査方向に所定間隔で射出される複数の光ビームが前記主走査方向と副走査方向とによって形成される平面に対して垂直方向となるように、前記走査光学装置が取り付けられ、前記受光手段の受光面が前記平面と平行になるように第３の移動台に取り付けられ、当該第３の移動台は、第１の移動台上に取り付けられた第３のガイド部材に取り付けられ、当該第１の移動台は、前記主走査方向に延在する第１のガイド部材上を前記主走査方向に摺動自在に取り付けられており、当該第１の移動台と対向する前記第１のガイド部材の底部の中間位置に、前記副走査方向に延在する第２のガイド部材上を前記副走査方向に摺動自在に設置された第２の移動台を取り付け、前記第１の移動台は、前記第１のガイド部材に取り付けられた前記主走査方向に移動させる第１の移動手段に連結され、前記第２の移動台は、前記第２のガイド部材に取り付けられた前記副走査方向に移動させる第２の移動手段に連結され、前記第１の移動手段及び第２の移動手段の駆動によって、前記受光手段が同一平面内で、副走査方向及び主走査方向に移動自在に取り付けられており、前記第３のガイド部材は、前記第３の移動台を前記垂直方向に摺動自在に案内するガイド手段を有し、前記第３の移動台は、前記第３のガイド部材のガイド手段によって前記垂直方向に移動させる第３の移動手段に連結され、当該第３の移動手段の駆動によって前記垂直方向に移動にとりつけられており、前記受光手段が前記走査光学装置から射出される他の光ビームを受光するときに、当該他の光ビームの受光位置まで第２の移動台を移動させると共に、各光ビームの出射部から受光手段の受光面までの距離が等しくなるように、第３の移動台を前記垂直方向に前記第３の移動手段を制御する制御装置を備えたことを特徴とする。

また、請求項７の発明は、レーザ光源から出射されたレーザ光を偏光する回転多面鏡及び変更されたレーザ光を被走査部材上に結像する走査レンズを備えた走査光学装置において、前記走査レンズ中央部を変形させる加圧調製手段を備え、当該加圧調製手段が請求項１乃至６の何れか１項記載の光学特性測定装置を用いて被走査面に形成される走査線の曲がりが最小となるように調整されていることを特徴とする。
また、請求項８の発明は、請求項７記載の走査光学装置において、前記走査レンズは、傾き調整手段を備え、請求項１乃至６の何れか１項記載の光学特性測定装置を用いて被走査面に形成される走査線の曲がりが最小となるように前記加圧調整手段と共に当該傾き調整手段を調整して設定されていることを特徴とする。
また、請求項９の発明は、感光体表面に走査光学装置によって静電潜像を形成する画像形成装置において、前記走査光学装置は、請求項７又は８記載の走査光学装置であることを特徴とする。

本発明によれば、受光手段を、主走査方向に延在する第１のガイド部材上を前記主走査方向に摺動自在に設置された第１の移動台上に取り付け、当該第１の移動台と対向する前記第１のガイド部材の底部の中間位置に、副走査方向に延在する第２のガイド部材上を前記副走査方向に摺動自在に設置された第２の移動台を取り付け、前記第１の移動台は、前記第１のガイド部材に取り付けられた前記主走査方向に移動させる第１の移動手段に連結され、前記第２の移動台は、前記第２のガイド部材に取り付けられた前記副走査方向に移動させる第２の移動手段に連結され、前記第１の移動手段及び第２の移動手段の駆動によって、前記受光手段が同一平面内で、副走査方向及び主走査方向に移動自在に取り付けられており、前記第２のガイド部材は、基台上に取り付けられた副走査方向に平行に延びる少なくとも２本のガイドレールを有し、当該ガイドレールに沿って前記第２の移動台を摺動自在に案内することすることによって、被走査面上を移動するビームスポットの主走査ラインの曲がりや副走査方向の変動を正確に測定することが可能な光学特性測定装置を提供することができる。
また、走査レンズ中央部を変形させる加圧調製手段を備え、当該加圧調製手段が本発明による光学特性測定装置を用いて被走査面に形成される走査線の曲がりが最小となるように調整されている走査光学装置とすることによって、走査精度の向上を図ることが可能な走査光学装置及び高品質な画像を形成することが可能な画像形成装置を提供することが可能となる。

以下、本発明による実施形態を図面に基づいて説明する。
図１には、本発明による一実施形態に係る画像形成装置としてのプリンタ１０の概略構成が示されている。プリンタ１０は、カールソンプロセスを用いて、例えば、黒（Ｂ）、イエロー（Ｙ）、マゼンタ（Ｍ）、シアン（Ｃ）のトナー像を普通紙（用紙）６１等の記録媒体上に重ね合わせて転写することにより、多色画像を印刷するタンデム方式のカラープリンタである。このプリンタ１０は、図１に示されるように、後述する光学特性測定装置により、例えば走査線の傾きや曲がり等の光学特性が測定された光走査装置１００、４本の感光ドラム３０Ｂ、３０Ｃ、３０Ｍ、３０Ｙ、転写ベルト４０、位置ずれ検出装置４５、給紙トレイ６０、給紙コロ５４、第１レジストローラ対５６、第２レジストローラ対５２、定着ローラ５０、排紙ローラ５８、及び上記構成部品を収容するほぼ直方体状のハウジング１２などを備えている。
ハウジング１２には、上面に印刷が終了した用紙が排出される排紙トレイ１２ａが形成され、その排紙トレイ１２ａの下方に光走査装置１００が配置されている。光走査装置１００は、感光ドラム３０Ｂに対しては、上位装置（パソコン等）から供給された画像情報に基づいて変調された黒色画像成分の光ビームを走査し、感光ドラム３０Ｃに対してはシアン画像成分の光ビームを走査し、感光ドラム３０Ｍに対してはマゼンタ画像成分の光ビームを走査し、感光ドラム３０Ｙに対してはイエロー画像成分の光ビームを走査する。なお、光走査装置１００の構成については後述する。

４本の感光ドラム３０Ｂ、３０Ｃ、３０Ｍ、３０Ｙは、その表面に、光ビームが照射されると、その部分が導電性となる性質をもつ感光層が形成された円柱状の部材であり、光走査装置１００の下方にＸ軸方向に沿って等間隔に配置されている。
感光ドラム３０Ｂは、ハウジング１２内部の−Ｘ側端部にＹ軸方向を長手方向として配置され、不図示の回転機構により図１における時計回り（図１の矢印に示される方向）に回転されるようになっている。そして、その周囲には、図１における１２時（上側）の位置に帯電チャージャ３２Ｂが配置され、２時の位置にトナーカートリッジ３３Ｂが配置され、１０時の位置にクリーニングケース３１Ｂが配置されている。
感光ドラム３０Ｃは、感光ドラム３０Ｂの＋Ｘ側に所定間隔隔てて配置され、不図示の回転機構により、図１における時計回り（矢印に示される方向）に回転されるようになっている。そして、その周囲には、前述の感光ドラム３０Ｂと同様の位置関係で、帯電チャージャ３２Ｃ、トナーカートリッジ３３Ｃ及びクリーニングケース３１Ｃがそれぞれ配置されている。

感光ドラム３０Ｍは、感光ドラム３０Ｃの＋Ｘ側に所定間隔隔てて配置され、不図示の回転機構を介して、図１における時計回り（矢印に示される方向）に回転されるようになっている。そして、その周囲には、前述の感光ドラム３０Ｂと同様の位置関係で、帯電チャージャ３２Ｍ、トナーカートリッジ３３Ｍ及びクリーニングケース３１Ｍがそれぞれ配置されている。
感光ドラム３０Ｙは、感光ドラム３０Ｍの＋Ｘ側に所定間隔隔てて配置され、不図示の回転機構により、図１における時計回り（矢印に示される方向）に回転されるようになっている。そして、その周囲には、前述の感光ドラム３０Ｂと同様の位置関係で、帯電チャージャ３２Ｙ、トナーカートリッジ３３Ｙ及びクリーニングケース３１Ｙがそれぞれ配置されている。
以下、感光ドラム３０Ｂ、帯電チャージャ３２Ｂ、トナーカートリッジ３３Ｂ及びクリーニングケース３１Ｂを合わせて第１ステーションと呼び、感光ドラム３０Ｃ、帯電チャージャ３２Ｃ、トナーカートリッジ３３Ｃ及びクリーニングケース３１Ｃを合わせて第２ステーションと呼び、感光ドラム３０Ｍ、帯電チャージャ３２Ｍ、トナーカートリッジ３３Ｍ及びクリーニングケース３１Ｍを合わせて第３ステーションと呼び、感光ドラム３０Ｙ、帯電チャージャ３２Ｙ、トナーカートリッジ３３Ｙ及びクリーニングケース３１Ｙを合わせて第４ステーションと呼ぶものとする。

転写ベルト４０は、無端環状の部材で、感光ドラム３０Ｂの下方に配置された従動ローラ４０ａと、感光ドラム３０Ｙの下方に配置された従動ローラ４０ｃと、これらの従動ローラ４０ａ、４０ｃより少し低い位置に配置された駆動ローラ４０ｂに、上端面が感光ドラム３０Ｂ、３０Ｃ、３０Ｍ、３０Ｙそれぞれの下端面に接するように張架されている。そして、転写ベルト４０は、駆動ローラ４０ｂが図１における反時計回りに回転することにより、反時計回り（図１の矢印に示される方向）に移送、回転される。また、転写ベルト４０の＋Ｘ側端部近傍には、上述した帯電チャージャ３２Ｂ、３２Ｃ、３２Ｍ、３２Ｙとは逆極性の電圧が印加された転写チャージャ４８が配置されている。
給紙トレイ６０は、転写ベルト４０の下方に配置されている。この給紙トレイ６０は略直方体状のトレイであり、内部に印刷対象としての複数枚の用紙６１が積み重ねられて収納されている。そして、給紙トレイ６０の上面の＋Ｘ側端部近傍には矩形状の給紙口が形成されている。
給紙コロ５４は、給紙トレイ６０から用紙６１を一枚ずつ取り出し、一対の回転ローラから構成される第１レジストローラ対５６を介して、転写ベルト４０と転写チャージャ４１によって形成される隙間に導出する。
定着ローラ５０は、一対の回転ローラから構成され、トナー画像が転写された用紙６１を加熱するとともに加圧してトナー画像を用紙６１上に定着し、第２レジストローラ対５２を介して、排紙ローラ５８へ導出する。排紙ローラ５８は一対の回転ローラから構成され、導出された用紙６１を排紙トレイ１２ａに順次スタックする。

次に、光走査装置１００の構成について説明する。図２は、光走査装置１００の光学レイアウト図である。図２に示されるように、光走査装置１００は、光源１３０と、カップリングレンズ１４６、第１シリンダレンズ１０２、及び第２シリンダレンズ１０３を含む集光光学系と、例えば６つの偏向面を有するポリゴンミラー１０４、ｆθレンズ１０５、４つの反射ミラー１０６Ａ、１０６Ｂ、１０６Ｃ、１０６Ｄ、４つのトロイダルレンズ１０７Ａ、１０７Ｂ、１０７Ｃ、１０７Ｄ、及び３つの反射ミラー１０８Ａ、１０８Ｂ、１０８Ｃを含む走査光学系とを備えている。
光源１３０は、複数の発光点を有する面発光型半導体レーザアレイである。各発光点は前述の第１〜第４ステーションに対応する４つの発光点Ｇ１〜Ｇ４に区分され、各発光点からは、ポリゴンミラー１０４に向かう光ビームが射出される。
カップリングレンズ１４６、第１シリンダレンズ１０２及び第２シリンダレンズ１０３は、光源１３０から射出される光ビームの経路上に、光源１３０に近い方から順に配置されている。前記カップリングレンズ１４６は、光ビーム１４３から射出された光ビームを、第１シリンダレンズ１０２の入射側で一旦集光するように整形する。第１シリンダレンズ１０２は、光源１３０から射出された光ビームを所定の形状に整形し、第２シリンダレンズ１０３は、第１シリンダレンズを通過した光ビームを、ポリゴンミラー１０４の偏向面へ集光する。

ポリゴンミラー１０４は、高さの低い正六角柱状部材からなり、側面には６面の偏向面が形成されている。そして、Ｚ軸に平行な軸を中心に、不図示の回転機構により一定の角速度で回転されている。これにより、上述した光源１３０から射出し、第１シリンダレンズ１０２及び第２シリンダレンズ１０３を経由して、ポリゴンミラー１０４の偏向面に集光された光ビームは、ポリゴンミラー１０４の回転により、一定の角速度でＹ軸に沿って偏向される。
ｆθレンズ１０５は、光ビームの入射角に比例した像高をもち、ポリゴンミラー１０４により、一定の角速度で偏向される光ビームの像面をＹ軸に対して等速移動させる。反射ミラー１０６Ａ、１０６Ｂ、１０６Ｃ、１０６Ｄは、長手方向をＹ軸方向とし、ｆθレンズ１０５を経由した光ビームを折り返し、トロイダルレンズ１０７Ａ、１０７Ｂ、１０７Ｃ、１０７Ｄそれぞれに導光する。

トロイダルレンズ１０７Ａは、長手方向をＹ軸方向とし両端がハウジング１２に対し固定された支持板１１０Ａに安定的に支持されている。そして、反射ミラー１０６Ａにより折れ返された光ビームを、Ｙ軸方向を長手方向とする反射ミラー１０８Ａを介して、感光ドラム３０Ｂの表面に結像する。
トロイダルレンズ１０７Ｂ、１０７Ｃ、１０７Ｄは、長手方向をＹ軸方向とし、一端（＋Ｙ側）がハウジング１２に対し固定され、他端（−Ｙ側）が、例えば回転モータと送りねじ機構を備える駆動機構１１２Ｂ、１１２Ｃ、１１２Ｄにより支持された支持板１１２Ｂ、１１２Ｃ、１１２Ｄに安定的に支持されている。そして、反射ミラー１０６Ｂ、１０６Ｃ、１０６Ｄによりそれぞれ折れ返された光ビームを、Ｙ軸方向を長手方向とする反射ミラー１０８Ｂ、１０８Ｃを介して、感光ドラム３０Ｃ、３０Ｍ、３０Ｙの表面にそれぞれ結像する。
上述のように構成された光走査装置１００では、各発光点群Ｇ１、Ｇ２、Ｇ３、Ｇ４からの複数の光ビームは、カップリングレンズ１４６により一旦交差され、第１シリンダレンズ１０２により副走査方向の間隔が拡張されて第２のシリンダレンズ１０３に入射する。第２のシリンダレンズ１０３は、入射した発光点群Ｇ１、Ｇ２、Ｇ３、Ｇ４それぞれから射出される光ビームをポリゴンミラー１０４の偏向面の近傍に集光する。ポリゴンミラー１０４で偏向された光ビームは、光ビーム同士の間隔を広げつつ、ｆθレンズ１０５に入射する。

ｆθレンズ１０５に入射した発光点Ｇ１からの光ビームは、反射ミラー１０６Ｄで反射されトロイダルレンズ１０７Ｄへ入射する。そして、トロイダルレンズ１０７Ｄにより感光ドラム３０Ｙの表面に集光される。同様に、ｆθレンズ１０５に入射した発光点Ｇ２、Ｇ３、Ｇ４からの光ビームは、反射ミラー１０６Ａ、１０６Ｂ、１０６Ｃで反射されトロイダルレンズ１０７Ａ、１０７Ｂ、１０７Ｃへ入射する。そして、トロイダルレンズ１０７Ａ、１０７Ｂ、１０７Ｃにより、反射ミラー１０８Ａ、１０８Ｂ、１０８Ｃを介して感光ドラム３０Ｂ、３０Ｃ、３０Ｍの表面に集光される。
このようにして感光ドラム３０Ｂ、３０Ｃ、３０Ｍ、３０Ｙ上にそれぞれ形成された発光点群Ｇ１、Ｇ２、Ｇ３、Ｇ４からの光ビームの集光点は、ポリゴンミラー１０４が回転することにより、Ｙ軸方向に一括して移動（走査）される。一方、感光ドラム３０Ｂ、３０Ｃ、３０Ｍ、３０Ｙそれぞれの表面の感光層は、帯電チャージャ３２Ｂ、３２Ｃ、３２Ｍ、３２Ｙにより所定の電圧で帯電されることにより、電荷が一定の電荷密度で分布している。そして、上述したように、感光ドラム３０Ｂ、３０Ｃ、３０Ｍ、３０Ｙがそれぞれ走査されると、光ビームが集光したところの感光層が導電性を有するようになり、その部分では電荷移動がおこり電位が零となる。したがって、図１の矢印の方向にそれぞれ回転している感光ドラム３０Ｂ、３０Ｃ、３０Ｍ、３０Ｙに対し、画像情報に基づいて変調した光ビームを走査することにより、それぞれの感光ドラム３０Ｂ、３０Ｃ、３０Ｍ、３０Ｙの表面に、電荷の分布により規定される静電潜像を形成することができる。

感光ドラム３０Ｂ、３０Ｃ、３０Ｍ、３０Ｙそれぞれの表面に静電潜像が形成されると、図１に示されるトナーカートリッジ３３Ｂ、３３Ｃ、３３Ｍ、３３Ｙの現像ローラにより、感光ドラム３０Ｂ、３０Ｃ、３０Ｍ、３０Ｙのそれぞれの表面にトナーが供給される。このときトナーカートリッジ３３Ｂ、３３Ｃ、３３Ｍ、３３Ｙのそれぞれの現像ローラは、感光ドラム３０Ｂ、３０Ｃ、３０Ｍ、３０Ｙと逆極性の電圧により帯電しているため、現像ローラに付着したトナーは、感光ドラム３０Ｂ、３０Ｃ、３０Ｍ、３０Ｙと同極性に帯電されている。したがって、感光ドラム３０Ｂ、３０Ｃ、３０Ｍ、３０Ｙの表面のうち電荷が分布している部分にはトナーが付着せず、走査された部分にのみトナーが付着することにより、感光ドラム３０Ｂ、３０Ｃ、３０Ｍ、３０Ｙの表面に静電潜像が可視化されたトナー像が形成される。そして、これらのトナー像は転写ベルト４０上に重ね合わせて転写され、図１に示されるように、給紙トレイ６０から取り出された用紙６１に、転写チャージャ４８によって転写され、定着ローラ５０により定着されることにより画像として形成される。

次に、光走査装置１００から感光ドラム３０Ｂ、３０Ｃ、３０Ｍ、３０Ｙに射出される光ビームを受光して、光走査装置１００の光学特性を測定する光学特性測定装置７０について説明する。
図３は、走査光学装置の光学特性を測定する光学特性測定装置の概略構成を示す斜視図である。光学特性測定装置７０は、長手方向をＸ軸方向（副走査方向）とする長方形板状の基台９２と、後述する走査光学装置１００から出射される黒（Ｂ）、シアン（Ｃ）、マゼンタ（Ｍ）、イエロー（Ｙ）に対応する静電潜像を画像形成装置の感光体に形成する光ビームＬＢ１、ＬＢ２、ＬＢ３、ＬＢ４を受光する受光装置７１と、受光装置７１をＹ軸方向（主走査方向）に駆動するＹステージＹＳＴ、受光装置７１をＹステージＹＳＴとともにＸ軸方向へ駆動するＸステージＸＳＴ及び受光装置７１、ＹステージＹＳＴ、ＸステージＸＳＴを統括的に制御する制御装置９０等を備えている。
受光装置７１は、立方体状のケーシングに収容されたエリアＣＣＤ（Charge Coupled Device Image Sensor）を含んで構成され、上方の面には、光ビームＬＢ１、ＬＢ２、ＬＢ３、ＬＢ４が入射する矩形状の入射面７１ａが形成されている。受光装置７１は、ＹステージＹＳＴの移動台７２（第１の移動台）に取り付けられており、移動台７２のＹ方向への移動と共にＹ方向への移動が可能となっている。さらに、ＹステージＹＳＴは、その底部の中間位置に取り付けられた移動台７３（第２の移動台）が、ＸステージＸＳＴ上に取り付けられ、移動台７３のＸ方向への移動と共にＹステージＹＳＴ全体がＸ方向に移動可能となっている。従って、受光装置７１は、移動台７３の移動によって、同一平面上で、Ｘ方向にも移動可能となっており、移動台７２および７３を移動させる回転駆動モータ等の第１の駆動手段７４及び第２の駆動手段７５を制御することによって、受光装置７１を所定のＸ位置とＹ位置に設定可能となっている。

ＸステージＸＳＴは、後述するように、基台９２にネジで取り付けられて固定されている。従って、受光装置７１は、移動台７３を移動させることによって、光ビームＬＢ１、ＬＢ２、ＬＢ３、ＬＢ４のそれぞれを受光すると共に、移動台７２を移動させることによって各光ビームＬＢ１、ＬＢ２、ＬＢ３、ＬＢ４の１つのＹ方向への偏光光を受光可能となっている。そしてこの偏光ビームのビームスポット位置に関する情報を制御装置９０へ出力し、制御装置９０は、移動台７２及び７３をＹ方向及びＸ方向に移動させる第１の駆動手段７４及び第２の駆動手段７５による移動台７２及び７３のそれぞれの移動量、移動速度等を制御する。さらに、制御装置９０は、偏光ビームのビームスポット位置を計測して表示装置９１にその測定結果を表示する。
ＸステージＸＳＴは、例えばガイド部材と送りネジ機構とステッピングモータ等の第２の駆動手段７５により、移動台７３のＸステージ面を駆動するものである。また、ＹステージＹＳＴは、ＸステージＸＳＴのＸステージ面上に、Ｘステージと直交するように固定され、例えばガイド部材と送りネジ機構とステッピングモータ等の第１の駆動手段７４により、移動台７２のＹステージ面を駆動するものである。

次に、光学特性測定装置７０による、上述した光走査装置１００の光学特性の測定方法について説明する。前提として、光走査装置１００は、一例として図４に示されるように、不図示の支持部材により光学特性測定装置７０の上方に支持され、光走査装置１００と受光装置７１の入射面７１ａが移動する移動面との距離は、光走査装置１００と第１〜第４ステーションにおける感光ドラム３０Ａ〜３０Ｄの被走査面との距離と等しくなるように設定されているものとする。この距離を調整するために、Ｙステージのステージ面（第１の移動台７２）上に、ＺステージＺＳＴを固定し、ＺステージＺＳＴのＺステージ面（第３の移動台８２）に受光装置７１が取り付けられている。
また、光走査装置１００から射出され第１ステーションに入射する光ビームをＬＢ１、第２ステーションに入射する光ビームをＬＢ２、第３ステーションに入射する光ビームをＬＢ３、第４ステーションに入射する光ビームをＬＢ４と定義する。これらの光ビームＬＢ１、ＬＢ２、ＬＢ３、ＬＢ４について、ＸステージＸＳＴのステージ面（第２の移動台７３）をＸ方向（矢印Ａ方向）に移動させ、各光ビームＬＢ１、ＬＢ２、ＬＢ３、ＬＢ４上でＹステージＹＳＴの移動台７２を移動させて各光ビームの主走査方向（Ｙ方向）の光ビームの光学特性を測定する。

光学特性測定装置７０の主制御装置９０は、ＸステージＸＳＴを駆動して、まず、図４に示されるように、受光装置７１が光ビームＬＢ１を検知できる位置に移動させる。この状態でＹステージＹＳＴを駆動し、予め設定された、測定ポイントとなる複数の像高位置に、受光装置７１を移動する。受光装置７１がラインＣＣＤの場合には、連続発光された光ビームは、図５のように検知され、ＣＣＤの出力がピークを示す位置を重心位置とし、その重心位置を求めることで、副走査方向の光ビーム位置が明らかになる。また、受光装置７１がエリアＣＣＤを使用する場合には、各測定ポイントで、タイミングを合わせたパルス発光を行い、受光装置７１で検知することにより、図６のような出力強度パターンが検知され、このパターンの中心位置を検出することでその重心位置を求めることが可能となり、主副両方向の光ビームの重心位置が明らかになる。
Ｙステージの測定ポイントである各像高と、光ビームの副走査位置の関係は、図７のように表わされ、直線とならず、中央部で最大となり、両端で減少する所謂、走査線曲りと呼ばれている現象が生じる。このような走査線曲がりは、光走査装置１００の光学的特性によっても生じるが、本発明者は、光学特性測定装置によっても生じることを究明した。

従来、ＹステージＹＳＴ及びＸステージＸＳＴは、図８に示すように、通常、安価でコンパクトであるために、所謂、シャフトアンドスライドブッシュ方式のＸ−Ｙステージが使用されている。即ち、支持部材８０及び８１によって支持されたＹ方向及びＸ方向にそれぞれ平行に延びる２本のガイドシャフト７６ａ、７６ｂ（第１のガイド部材）及び７８ａ、７８ｂ（第２のガイド部材）及びこれらの２本のガイドシャフト７６ａ、７６ｂ及び７８ａ、７８ｂの中間位置に端部がそれぞれステップモータ等の回転駆動手段７４、７５に連結された送りネジ７７、７９が配設されている。そして、これらのガイドシャフト７６ａ、７６ｂ及び７８ａ、７８ｂに摺動自在に挿通され、送りネジ７７及び７９と螺合する移動台７２及び７３がこれらのガイドシャフト部材７６ａ、７６ｂ及び７８ａ、７８ｂに取り付けられている。移動台７３は、ＹステージＹＳＴの支持部材８０の中間位置の底面に取り付けられて、送りネジ７９の回転によって、Ｘ方向に移動可能となっており、移動台７２は、送りネジ７７の回転によってＹ方向に移動可能となると共に、送りネジ７９の回転によって移動台７３のＸ方向への移動と共にＸ方向に移動可能となっている。そのため、移動台７２上に取り付けられる受光装置７１は、ＹステージＹＳＴ及びＸステージＸＳＴの移動によって、同一平面上の所望のＸ位置及びＹ位置に設定可能となっている。

ＸステージＸＳＴは、図９に示すように、支持部材８１に形成された取り付け孔８１ａに取り付けネジで基台９２の所定位置に取り付けられている。ここで、ＹステージＹＳＴの支持部材８０の底面８０ａが取り付けられる移動台７３は、移動台７３が円滑に摺動できるように、図１０に示すように、移動台７３の底面７３ａと支持部材８１の表面８１ｂとの間には隙間Ｄが形成されている。従って、この隙間Ｄによって、図１１に示すように、ＸステージＸＳＴの移動台７３上に取り付けられたＹステージＹＳＴの移動台７２が左右端に移動した際に、矢印で示すモーメントＭが発生して撓みが発生する。このような撓みの発生は、図１２に示すように、移動台７２上に取り付けられた受光装置７１においてもその両端において撓みｄを発生する。その結果、図１３に示すように、光走査装置１００から出射された光ビームＬＢが、図４で示すように、受光装置７１の入射面７１ａに対して傾斜した状態で入射されるため、受光装置７１の入射面７１ａが前記受光装置７１の撓みｄによって低下することによって、走査線の曲がりずれが発生正する。その結果、図１４に示すように、真の走査線曲がりよりも大きな走査線曲がりが発生し、正確な走査線曲がりが測定されていないことを究明した。なお、図１０の７３ｂは、スライド７８ａ及び７８ｂと円滑摺動させるためのスライドブッシュである。
本発明においては、このような光学特性測定装置７０において、走査線曲がり特性が精度良く測定されず、その結果、この光学特性装置７０によって走査線曲がり特性を測定して調整された光走査装置１００は、歪んだ状態で調整されることになり、色ずれ等の問題を招いていたことを究明し、真の走査線曲がり特性を測定可能な光学特性測定装置を提供しようとしたものである。以下、実施例に基づいて詳述する。

［実施例１］
図１５は、本発明による一実施形態の光学特性測定装置７０の概略構成を示す図で、ＸステージＸＳＴとしてリニアガイド方式のＸステージを使用したものである。即ち、リニアガイド方式のＸステージＸＳＴは、基台９２上にＸ方向に平行して延びる２本ガイドレール８３ａ及び８３ｂを取り付け、これらのガイドレール８３ａ及び８３ｂにボールベアリング８４ａ及び８４ｂを介して摺動自在に取り付けられたスライダ８５ａ及び８５ｂを有している。これらのスライダ８５ａ及び８５ｂの上面には、第２の移動台７３の底面が取り付けられ、移動台７３がＸ方向に摺動自在に取り付けられている。移動台７３の中央部には、駆動手段７５によって回転される送りネジ７９と螺合する螺合部を有しており、送りネジ７９の回転によって移動台７３がＸ方向に移動可能となっている。本実施例のように、ＸステージＸＳＴとしてリニアガイド方式のＸステージを使用する場合には、前述のシャフトアンドスライドブッシュ方式のように、支持部材８１の表面８１ｂと移動台７３の底面７３ａとの間に隙間Ｄが形成されないので、ＹステージＹＳＴのモーメントＭの発生が抑制され第１の移動台７２上に受光装置７１に撓みｄの発生が抑制され、真の走査線曲がり特性を測定することが可能となる。この場合、移動台７２が取り付けられるＹステージＹＳＴは、従来のＹステージＹＳＴで使用されているシャフトアンドスライドブッシュ方式が使用されているが、これに限らず、リニアガイド方式であっても良い。

［実施例２］
図１６は、本発明による他の実施形態の光学特性測定装置７０の概略構成を示す図で、ＸステージＸＳＴは、シャフトアンドスライドブッシュ方式を使用するものの第２の移動台７３は、その上に取り付けられるＹステージＹＳＴの支持部材８０のほぼ全長に亘ってその底面８０ａが移動台７３の上面７３ｃに当接して取り付けられている。このように、第２の移動台７３は、その上に取り付けられるＹステージＹＳＴの支持部材８０のほぼ全長に亘ってその底面８０ａが移動台７３の上面７３に当接して取り付けられている場合には、ＹステージＹＳＴの捩れモーメントＭの発生が抑制され、第１の移動台７２上に取り付けられる受光装置７１の撓みｄの発生が抑制され、高精度で走査線曲がり特性を測定することが可能となる。

［実施例３］
図１７は本発明による他の実施形態に係る光学特性測定装置７０の概略構成を示す図で、本実施例における光学特性測定装置においては、光走査装置１００の支持方法を変更し、さらに、ＺステージＺＳＴを利用したものである。前述の従来の光学特性測定装置においては、図１３で示すように、光ビームＬＢが受光装置７１の入射面７１ａに対して、傾斜した状態で入射されるため、ＹステージＹＳＴが捩れモーメントＭによって移動台７２が下降するに伴い、入射面７１ａが下降して、走査線曲がりが変動することに対して、本実施例においては、図１８で示すように、入射面７１ａに対して光ビームＬＢが入射面７１ａに対して垂直に入射するようにしている。このように、光ビームＬＢが入射面７１ａに対して垂直に入射するようにすれば、図１８に示すようなＹステージＹＳＴが捩れモーメントＭによって移動台７２が下降するに伴い、点線で示すように、入射面７１ａが下降してもＣＣＤで受光される重心位置は変動しないので、高精度で走査線曲がり特性を測定することができる。
このように、光ビームＬＢが入射面７１ａに対して垂直に入射するようにするには、図１７に示すように、被測定物である光走査装置１００を受光装置７１の入射面７１ａに対して傾斜させて支持し、光ビームＬＢ１、ＬＢ２、ＬＢ３及びＬＢ４が入射面７１ａに対して垂直となるように支持すればよい。この場合、光走査装置１００を傾斜して支持すると光ビームＬＢ１、ＬＢ２、ＬＢ３及びＬＢ４の入射面７１ａまでの距離が変化するので、光ビームＬＢ１、ＬＢ２、ＬＢ３及びＬＢ４の入射面７１ａまでの距離が一定となるように、ＺステージＺＳＴに取り付けられた第３の移動台８２をガイドレール等の第３のガイド手段、図示しない送りネジ等の第３の移動手段及び第３の移動手段８５をＺ方向（光ビームＬＢが入射面７１ａに対して垂直に入射する方向）に駆動する第３の駆動手段を使用してＺ方向に移動可能とし、受光装置７１をＸ方向（矢印Ａ方向）に移動させて光ビームＬＢ１、ＬＢ２、ＬＢ３及びＬＢ４を測定するに従い、矢印で示すように第３の移動台８２が上昇して、光ビームＬＢ１、ＬＢ２、ＬＢ３及びＬＢ４の入射面７１ａまでの距離が一定となるように、制御装置９０によって制御されている。
このように、本実施例においては、光ビームＬＢが入射面７１ａに対して垂直に入射するように、光走査装置１００を取り付けて測定するので、ＹステージＹＳＴが捩れモーメントＭによって移動台７２が下降するに伴い、入射面７１ａが下降しても下降による影響を除去した状態で測定可能となるので、高精度で走査線曲がり特性をそくていすることが可能となる。
なお、本発明による上記実施例においては、走査線曲がり特性について説明したが、副走査方向の測定においても有効に使用可能である。

［実施例４］
次に、上記実施例記載の光学特性測定装置７０を使用して、光走査装置１００の走査曲がり特性を矯正する方法について説明する。
図１９は、本発明による一実施形態の光走査装置１００で使用される走査レンズ（トロイダルレンズ１０７Ａ、１０７Ｂ、１０７Ｃ、１０７Ｄ）の概略構成を示している。本実施例で使用される光走査装置においては、走査レンズ１０７の中央部に加圧手段を設け、この加圧手段によって矢印のように、レンズ１０７の上面１０７ａから加圧して、中央部のレンズ厚みを調整可能としている。また、レンズ１０７の一端１０７ｂの位置を矢印の方向に変更する調整手段をも取り付けている。これらの調整手段を使用して、測定装置７０で走査線曲がり特性を測定し、図２０に示すように、走査線曲がり特性を（ａ）の状態から（ｂ）の状態に補正して走査線曲がり特性を低減させた状態の光走査装置１００を調整することが可能となる。このような走査線曲がり特性を改善した光走査装置を使用して、画像形成装置を作製したときには、色ずれの少ない画像形成装置を作製することが可能となる。

本発明による一実施形態の画像形成装置の概略構成を示す断面図である。 本発明による一実施形態の光走査装置の光学レイアウト図である。 本発明による一実施形態の光学特性測定装置の概略構成を示す斜視図である。 本発明による他の実施形態の光学特性測定装置のＹステージを切り欠いた概略構成を示す側面図である。 本発明による一実施形態の光学特性測定装置の受光装置としてラインＣＣＤを使用した場合のＣＣＤアドレスとＣＣＤ出力強度との関係を示すグラフ図である。 本発明による一実施形態の光学特性測定装置の受光装置としてエリアＣＣＤを使用した場合のＣＣＤＹアドレスとＣＣＤＸアドレスとの関係を示すグラフ図である。 本発明による一実施形態の光学特性測定装置による受光装置で検出されるＣＣＤＸアドレスとＹステージ位置との関係を示す走査線曲がり特性を示すグラフ図である。 従来の光学特性測定装置で使用されるＸ−Ｙステージの斜視図である。 図８におけるＸ−ＹステージのＸステージの斜視図である。 図９におけるＡ−Ａ線上で切断した断面図である。 図８のＢ−Ｂ線上で切断した断面図である。 従来の光学特性測定装置における撓み状況を説明するための模式図である。 従来の光学特性測定装置における光ビームと受光装置の入射面との関係を説明するための模式図である。 従来の光学特性測定装置によって測定された走査線曲がり特性を示すグラフ図である。 本発明による実施例１に係る光学特性測定装置で使用されるＸ−ＹステージのＸステージで切断した断面図である。 本発明による実施例２に係る光学特性測定装置で使用されるＸ−ＹステージのＸステージで切断した断面図である。 本発明による実施例３に係る光学特性測定装置で使用されるＸ−ＹステージのＹステージで切断した断面図である。 本発明による実施例３に係る光学特性測定装置で測定される光ビームと受光装置の入射面との関係を示す模式図である。 本発明による実施例４に係る光走査装置で使用される走査レンズの斜視図である。 本発明による実施例４に係る光走査装置について光学特性測定装置で測定された走査線曲がり特性を示すグラフ図で、（ａ）は補正前の走査線曲がり特性を示すグラフ図、（ｂ）は補正後の走査線曲がり特性を示すグラフ図である。

符号の説明

３０Ｂ、３０Ｃ、３０Ｍ、３０Ｙ 感光体ドラム、３１Ｂ、３１Ｃ、３１Ｍ、３１Ｙ クリーニング装置、３２Ｂ、３２Ｃ、３２Ｍ、３２Ｙ 帯電チャージャ、３０Ｂ、３０Ｃ、３０Ｍ、３０Ｙ トナーカートリッジ、４０ 転写ベルト、５０ 定着ローラ、６１ 用紙、７０ 光学特性測定装置、７１ 受光装置、７１ａ 入射面、７２ 第１の移動台、７３ 第２の移動台、７４ 第１の駆動手段、７５ 第２の駆動手段、７６，７６ａ、７６ｂ ガイドシャフト（第１のガイド手段）、７７ 送りネジ（第１の移動手段）、７８、７８ａ、７８ｂ ガイドシャフト（第２のガイド手段）、７９ 送りネジ（第２の移動手段、８０，８１ 支持部材、８２ 第３の移動台、８３ａ、８３ｂ ガイドレール、８４ａ、８４ｂ スライダ、８５ 第３のガイド手段、９０ 制御装置、９２ 基台、１００ 光走査装置、１０２ 第１シリンダレンズ、１０３ 第２シリンダレンズ、１０４ ポリゴンミラー、１０５ ｆθレンズ、１０６Ａ、１０６Ｂ、１０６Ｃ、１０６Ｄ 反射ミラー、１０７Ａ、１０７Ｂ、１０７Ｃ、１０７Ｄ トロイダルレンズ、１０８Ａ、１０８Ｂ、１０８Ｃ、１０８Ｄ 反射ミラー、１１０Ａ、１１０Ｂ、１１０Ｃ、１１０Ｄ 支持板、１１２Ｂ、１１２Ｃ、１１２Ｄ 駆動部材、１３０ 光源、１４６ カップリングレンズ

Claims (9)

1. 主走査方向及び副走査方向の被走査面を走査する走査光学装置から射出される光ビームを受光手段によって受光し、前記被走査面に照射された前記光ビームの主走査方向及び副走査方向のビームスポット位置を測定する前記走査光学装置の光学特性測定装置において、
   前記受光手段を、前記主走査方向に延在する第１のガイド部材上を前記主走査方向に摺動自在に設置された第１の移動台上に取り付け、
   当該第１の移動台と対向する前記第１のガイド部材の底部の中間位置に、前記副走査方向に延在する第２のガイド部材上を前記副走査方向に摺動自在に設置された第２の移動台を取り付け、
   前記第１の移動台は、前記第１のガイド部材に取り付けられた前記主走査方向に移動させる第１の移動手段に連結され、
   前記第２の移動台は、前記第２のガイド部材に取り付けられた前記副走査方向に移動させる第２の移動手段に連結され、
   前記第１の移動手段及び第２の移動手段の駆動によって、前記受光手段が同一平面内で、副走査方向及び主走査方向に移動自在に取り付けられており、
   前記第２のガイド部材は、基台上に取り付けられた副走査方向に平行に延びる少なくとも２本のガイドレールを有し、当該ガイドレールに沿って前記第２の移動台を摺動自在に案内することを特徴とする光学特性測定装置。
2. 請求項１記載の光学特性測定装置において、
   前記第２のガイド部材は、基台上に取り付けられた副走査方向に平行に延びる２本のガイドレールを有し、
   前記第２の移動手段は、前記第２のガイド部材の２本のガイドレールの間に前記副走査方向に前記ガイドレールと平行に延びる送りネジを有しており、当該送りネジの一端は、当該送りネジを回転駆動するモータと接続され、
   前記第２の移動台は、前記送りネジに螺合されて送りネジの回転によって、前記副走査方向に移動されることを特徴とする光学特性測定装置。
3. 請求項１又は２記載の光学特性測定装置において
   前記第１のガイド部材は、主走査方向に平行に延びる２本のガイドシャフトを有し、
   前記第１の移動手段は、前記第１のガイド部材の２本のガイドシャフトの間に前記主走査方向に前記ガイドシャフトと平行に延びる送りネジを有しており、当該送りネジの一端は、当該送りネジを回転駆動するモータと接続され、
   前記第１の移動台は、前記送りネジに螺合する螺合部と当該螺合部の両側に前記ガイドシャフトを挿通するスライドブッシュを備えており、前記送りネジの回転によって、前記主走査方向に移動されることを特徴とする光学特性測定装置。
4. 主走査方向及び副走査方向の被走査面を走査する走査光学装置から射出される光ビームを受光手段によって受光し、前記被走査面に照射された前記光ビームの主走査方向及び副走査方向のビームスポット位置を測定する前記走査光学装置の光学特性測定装置において、
   前記受光手段を、前記主走査方向に延在する第１のガイド部材上を前記主走査方向に摺動自在に設置された第１の移動台上に取り付け、
   当該第１の移動台と対向する前記第１のガイド部材の底部の中間位置に、前記副走査方向に延在する第２のガイド部材上を前記副走査方向に摺動自在に設置された第２の移動台を取り付け、
   前記第１の移動台は、前記第１のガイド部材に取り付けられた前記主走査方向に移動させる第１の移動手段に連結され、
   前記第２の移動台は、前記第２のガイド部材に取り付けられた前記副走査方向に移動させる第２の移動手段に連結され、
   前記第１の移動手段及び第２の移動手段の駆動によって、前記受光手段が同一平面内で、副走査方向及び主走査方向に移動自在に取り付けられており、
   前記第２のガイド部材は、両端部で基台に固定され、さらに、副走査方向に平行に延びる少なくとも２本のガイドシャフトを有し、
   前記第２の移動手段は、前記第２のガイド部材の前記２本のガイドシャフトと平行に延びる送りネジを有しており、当該送りネジの一端は、当該送りネジを回転駆動するモータと接続され、
   前記第２の移動台は、前記送りネジに螺合する螺合部と前記ガイドシャフトを挿通するスライドブッシュを備えており、前記送りネジの回転によって前記副走査方向に移動可能となるように、基台から所定間隔を有して離隔された状態で前記第２のガイド部材によって保持され、
   当該第２の移動台は、前記第１の移動台の摺動範囲と等しい幅の支持部を有し、少なくとも当該支持部の幅方向の両端部にスライドブッシュを備え、当該スライドブッシュ内に、前記第２のガイド部材のガイドシャフトがそれぞれ挿通されていることを特徴とする光学特性測定装置。
5. 請求項４記載の光学特性測定装置において
   前記第１のガイド部材は、主走査方向に平行に延びる２本のガイドシャフトを有し、
   前記第１の移動手段は、前記第１のガイド部材の２本のガイドシャフトの間に前記主走査方向に前記ガイドシャフトと平行に延びる送りネジを有しており、当該送りネジの一端は、当該送りネジを回転駆動するモータと接続され、
   前記第１の移動台は、前記送りネジに螺合する螺合部と当該螺合部の両側に前記ガイドシャフトを挿通するスライドブッシュを備えており、前記送りネジの回転によって、前記主走査方向に移動されることを特徴とする光学特性測定装置。
6. 主走査方向及び副走査方向の被走査面を走査する走査光学装置から射出される光ビームを受光手段によって受光し、前記被走査面に照射された前記光ビームの主走査方向及び副走査方向のビームスポット位置を測定する前記走査光学装置の光学特性測定装置において、
   前記走査光学装置から副走査方向に所定間隔で射出される複数の光ビームが前記主走査方向と副走査方向とによって形成される平面に対して垂直方向となるように、前記走査光学装置が取り付けられ、
   前記受光手段の受光面が前記平面と平行になるように第３の移動台に取り付けられ、
   当該第３の移動台は、第１の移動台上に取り付けられた第３のガイド部材に取り付けられ、
   当該第１の移動台は、前記主走査方向に延在する第１のガイド部材上を前記主走査方向に摺動自在に取り付けられており、
   当該第１の移動台と対向する前記第１のガイド部材の底部の中間位置に、前記副走査方向に延在する第２のガイド部材上を前記副走査方向に摺動自在に設置された第２の移動台を取り付け、
   前記第１の移動台は、前記第１のガイド部材に取り付けられた前記主走査方向に移動させる第１の移動手段に連結され、
   前記第２の移動台は、前記第２のガイド部材に取り付けられた前記副走査方向に移動させる第２の移動手段に連結され、
   前記第１の移動手段及び第２の移動手段の駆動によって、前記受光手段が同一平面内で、副走査方向及び主走査方向に移動自在に取り付けられており、
   前記第３のガイド部材は、前記第３の移動台を前記垂直方向に摺動自在に案内するガイド手段を有し、
   前記第３の移動台は、前記第３のガイド部材のガイド手段によって前記垂直方向に移動させる第３の移動手段に連結され、当該第３の移動手段の駆動によって前記垂直方向に移動にとりつけられており、
   前記受光手段が前記走査光学装置から射出される他の光ビームを受光するときに、当該他の光ビームの受光位置まで第２の移動台を移動させると共に、各光ビームの出射部から受光手段の受光面までの距離が等しくなるように、第３の移動台を前記垂直方向に前記第３の移動手段を制御する制御装置を備えたことを特徴とする光学特性測定装置。
7. レーザ光源から出射されたレーザ光を偏光する回転多面鏡及び変更されたレーザ光を被走査部材上に結像する走査レンズを備えた走査光学装置において、
   前記走査レンズ中央部を変形させる加圧調製手段を備え、当該加圧調製手段が請求項１乃至６の何れか１項記載の光学特性測定装置を用いて被走査面に形成される走査線の曲がりが最小となるように調整されていることを特徴とする走査光学装置。
8. 請求項７記載の走査光学装置において、
   前記走査レンズは、傾き調整手段を備え、請求項１乃至６の何れか１項記載の光学特性測定装置を用いて被走査面に形成される走査線の曲がりが最小となるように前記加圧調整手段と共に当該傾き調整手段を調整して設定されていることを特徴とする走査光学装置。
9. 感光体表面に走査光学装置によって静電潜像を形成する画像形成装置において、
   前記走査光学装置は、請求項７又は８記載の走査光学装置であることを特徴とする画像形成装置。

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