JP2009034747A - セラミック基板の分割装置 - Google Patents

Abstract

【課題】セラミック基板の分割サイズの小形化に伴うセラミック基板の分割不良を解消し得るセラミック基板の分割装置を提供する。
【解決手段】互いに交差した第１のブレーク溝と第２のブレーク溝を備え、第１のブレーク溝の間隔が第２のブレーク溝の間隔以下の長さであるセラミック基板１００を、第１のブレーク溝の方向と回転軸２０７が平行で周面に複数の突起２０８を備えたローラ２０４と、ローラ２０４に対向する支持台３０４とによって挟持し、第１のブレーク溝に沿ってセラミック基板１００を分割する。
【選択図】図３

Description

本発明は、セラミック基板の分割装置に関し、特にチップ型電子部品を実装したセラミック基板の分割装置に関する。

周知のように、コンデンサ、半導体部品および水晶発振器等のチップ型電子部品を、多数個の基板に分割される割基板の集合体としてのセラミック基板上に実装して、実装後、割基板に分割した状態で使用する。

このようなセラミック基板は、互いに直交する第１のブレーク溝と第２のブレーク溝とを複数形成したセラミックグリーンシートを焼成することによって構成される。

この種のセラミック基板においては、第１のブレーク溝同士の間隔寸法は、第２のブレーク溝同士の間隔寸法以下に設定されている。それゆえ、セラミック基板は、第１のブレーク溝に沿って長手の短冊状に分割され、さらに第２のブレーク溝に沿って分割されることによって、個々に独立した割基板とされる。このように細分化された割基板が、プリント基板等に実装される。

上記のようなセラミック基板を分割する装置としては、特許文献１にて提案されているものを挙げることができる。

図５に特許文献１にて提案されているセラミック基板の分割装置の構成を示す。同図（ａ）はセラミック基板の分割装置の全体構成を簡略化して示す図であり、同図（ｂ）は同図（ａ）の要部拡大図である。

図５を参照して説明する。特許文献１に開示のセラミック基板の分割装置は、セラミック基板１を挟み込んで供給部から排出部に向かって搬送するための上下一対の搬送手段２，３を備えている。

上側の搬送手段２は、第１のプーリ２１、第２のプーリ２２、無端状の第１のプーリベルト２３、第１の支持台２４および第１の押えローラ２５を含む。第１のプーリベルト２３は、第１のプーリ２１および第２のプーリ２２に巻き掛けられている。この第１のプーリベルト２３の巻き掛け空間内において、第１の支持台２４が第１のプーリ２１側に配置される一方、第１の押えローラ２５が第２のプーリ２２側に配置されている。

下側の搬送手段３は、第３のプーリ３１、第４のプーリ３２、無端状の第２のプーリベルト３３、第２の支持台３４および第２の押えローラ３５を含む。第２のプーリベルト３３は、第３のプーリ３１および第４のプーリ３２に巻き掛けられている。この第２のプーリベルト３３の巻き掛け空間内において、第２の支持台３４が第３のプーリ３１に配置されている一方、第２の押えローラ３５が第４のプーリ３２側に配置されている。

第１の支持台２４および第２の支持台３４の両者は、搬送されるセラミック基板１を挟んで対向している。同様に、第１の押えローラ２５および第２の押えローラ３５も、搬送されるセラミック基板１を挟んで対向している。

この特許文献１に記載のセラミック基板の分割装置では、セラミック基板１は、上記第１のブレーク溝に沿って分割される。この様子を以下に説明する。

まず、傾斜面を有する第１の支持台２４と平坦な第２の支持台３４との間、および第１のプーリベルト２３と第２のプーリベルト３３との間に、セラミック基板１を挟んで供給部から排出部に向かって移動させる。この移動は、第１のプーリ２１、第２のプーリ２２、第３のプーリ３１および第４のプーリ３２を回転させることによって行われる。この際、第１の支持台２４および第１の押えローラ２５からは押し下げる力が働き、第２の押えローラ３５からは押し上げる力が働くことによって、セラミック基板１は、図５（ｂ）において割基板１１のように分割される。ここでは、第１のブレーク溝に沿った分割であるため、セラミック基板１は長手の短冊状に分割される。この長手の短冊状に分割された割基板１１は、第１のブレーク溝と直交する第２のブレーク溝１０２について上記と同様の分割を施すことによって、個片である割基板に分割される。

特開２００２−１６６３９８号公報

ところで、近年では、上記割基板のサイズが縮小し、上記第１のブレーク溝および第２のブレーク溝の間隔がより狭くなっている。そのため、上記特許文献１に係るセラミック基板の分割装置の構造では、以下のような問題点が生じる。

（１）第１の支持台２４、第１の押えローラ２５および第２の押えローラ３５の間隔を狭くし、第１の押えローラ２５および第２の押えローラ３５の径を細くする必要がある。径が細くなると、第１の押えローラ２５および第２の押えローラ３５は変形し易くなる。その結果、長時間運用に対する信頼性が低下する。

（２）第１のプーリベルト２３および第２のプーリベルト３３の剛性は金属等に比べると低く、第１の支持台２４および第１の押えローラ２５からの押し下げる力、ならびに第２の押えローラ３５からの押し上げる力に対して変形するため、分割しようとする力が吸収されてしまう。そのため、セラミック基板１が分割されなかったり、ブレーク溝以外のところで割れたりする。その結果、セラミック基板１の分割を良好に行うことができない。

（３）第１の押えローラ２５および第２の押えローラ３５の径を細くして両者の間隔を短くすることはできるが、第１のプーリベルト２３および第２のプーリベルト３３の厚さは薄くしにくい。そのため、プーリベルトに分割しようとする力が吸収されて、ブレーク溝に力が集中せず、セラミック基板１の分割が困難となっている。

本発明は、上記技術的課題に鑑みなされたもので、セラミック基板の分割サイズの小形化に伴うセラミック基板の分割不良を解消し得るセラミック基板の分割装置の提供を目的とする。

上記目的を達成するため、本発明に係るセラミック基板の分割装置は、互いに交差する第１のブレーク溝と第２のブレーク溝とが複数形成され、前記第１のブレーク溝同士の間隔寸法が前記第２のブレーク溝同士の間隔寸法以下であるセラミック基板を、少なくとも当該第１のブレーク溝に沿って分割するためのセラミック基板の分割装置であって、前記セラミック基板を挟み込んで前記第２のブレーク溝に沿って供給部から排出部に向かって搬送するための上下一対の搬送手段を備え、前記一方の搬送手段は、前記第１のブレーク溝が延びる方向と平行な軸線周りに回動自在に支持され、周面に複数の突起が形成されているローラを含み、前記他方の搬送手段は、前記ローラに対向して配置され、当該ローラとの間で前記セラミック基板を挟持する支持台を含む。

上記構成によれば、互いに交差した第１のブレーク溝と第２のブレーク溝を備え、かつ第１のブレーク溝の間隔が第２のブレーク溝の間隔以下の長さであるセラミック基板は、第１のブレーク溝の延設方向と平行な軸線周りに回動し、かつ周面に複数の突起を備えたローラと、このローラに対向する支持台との挟持力によって、第１のブレーク溝に沿って分割される。

具体的には、ブレーク溝での分割に関して、従来のように、セラミック基板を上下１組のローラによって個片に分割するのではなく、突起を有するローラと支持台とで挟持し通過させることによって、分割されるべき割基板に、少なくとも２個以上の突起が接し、この突起の接触応力がセラミック基板の通過に伴い変化する。これによって、セラミック基板を第１のブレーク溝に沿って分割することができる。

また、第２のブレーク溝の間隔は、第１のブレーク溝の間隔より長い。そのため、隣り合う第２のブレーク溝に挟まれた割基板にも、上記のローラの複数の突起が接触する場合には、一度、通過させるだけで、第１のブレーク溝および第２のブレーク溝に沿った両方向について分割することも可能である。

上記セラミック基板の分割装置において、前記ローラの各突起の中心同士の間隔寸法は、前記第１のブレーク溝同士の間隔寸法の１／２以下に設定されていることが好ましい。この場合、ブレーク溝間隔に少なくとも２個以上ローラの突起が当接することになり、割基板の主面上から分割する力を均等に加えることができる。

また、上記セラミック基板の分割装置において、前記ローラの各突起の幅寸法は、前記第１のブレーク溝同士の間隔寸法の１／２以下に設定されていることが好ましい。この場合、ローラの突起が互いに重なることはなく、ローラに突起を形成することが容易となる。

ある態様では、前記ローラの各突起は、前記セラミック基板に対して点接触する形状を有し、かつ前記ローラの周面上に不規則な間隔で点在されている。

他の態様では、前記ローラの各突起は、前記セラミック基板に対して線接触する形状を有すると共に前記ローラの回転軸線と平行に当該ローラの全長にわたって形成され、かつ前記ローラの周面上に等間隔に配置されている。

本発明によれば、割基板の集合体としてのセラミック基板は、上下１組のローラによって個片に分割するのではなく、突起を有するローラと支持台とで挟持し通過させることによって分割される割基板に少なくとも２個以上の突起が当接するため、割基板が小サイズとなった場合でも、基板分割に用いるローラの直径を小さくする必要がない。そのため、ローラに十分機械的強度を持たせることができる。

また、分割される割基板サイズが小さくなったときでも、基板を分割するためのローラの直径、およびローラの間隔を狭くすることなく、分割されるべきブレーク溝に接触応力を印加させることができる。そのため、良好なセラミック個片分割が可能となり、その産業上の利用価値は大きい。

以下、本発明の実施の形態について図面に基づき詳細に説明する。

＜実施の形態１＞
図１は本発明の実施の形態１に係るセラミック基板の分割装置の全体構成を簡略化して示す図である。

図１を参照して説明する。本実施の形態１に係るセラミック基板の分割装置は、供給部Ｘから排出部Ｙに向かってセラミック基板１００を搬送する間に、当該セラミック基板１００を所定の態様で細かく分割するための装置であって、セラミック基板１００を挟み込んで供給部Ｘから排出部Ｙに向かって搬送するための上下一対の搬送手段２００，３００を備えている。

図２はセラミック基板の分割装置により分割されるセラミック基板の平面図である。

図２を参照して説明する。セラミック基板１００は、その平面形状が長方形をなしている。このセラミック基板１００の主面上には、当該セラミック基板１００の長辺に沿って第１のブレーク溝１０１が所定の間隔を開けて複数形成されている一方、各第１のブレーク溝１０１と直交するように当該セラミック基板１００の短辺方向に沿って第２のブレーク溝１０２が所定の間隔を開けて複数形成されている。

第１のブレーク溝１０１同士の間隔寸法は、第２のブレーク溝１０２同士の間隔寸法よりも小に設定されている。

上記のセラミック基板１００は、その主面側を上に向けた状態で第２のブレーク溝１０２に沿って図１の供給部Ｘから排出部Ｙに向かって搬送される。この間に、セラミック基板１００は、まず第１のブレーク溝１０１に沿って長手の短冊状に分割され、さらに第２のブレーク溝１０２に沿って分割されることによって、個別に独立した割基板１０３に分割される。

再び図１を参照して説明する。上下一対の搬送手段２００，３００は、いわゆるプーリ装置であり、本実施の形態１においては、下側の搬送手段３００が駆動側の搬送手段として機能し、上側の搬送手段２００が従動側の搬送手段として機能する。

上側の搬送手段２００は、第１のプーリ２０１、第２のプーリ２０２、第１のプーリベルト２０３およびローラ２０４を含む。

第１のプーリ２０１は、搬送手段２００の供給部Ｘ側に配置されていると共に、上記の第１のブレーク溝１０１の延設方向と平行な第１の横軸２０５周りに回転自在に支持されている。

第２のプーリ２０２は、第１のプーリ２０１と離間して搬送手段２００の排出部Ｙ側に配置されていると共に、上記の第１のブレーク溝１０１の延設方向と平行な第２の横軸２０６周りに回転自在に支持されている。

第１のプーリベルト２０３は、無端状のベルトであって、第１のプーリ２０１および第２のプーリ２０２に巻き掛けられている。

ローラ２０４は、第１のプーリベルト２０３の巻き掛け空間内において第１のプーリ２０１と第２のプーリ２０２とのほぼ中間位置に配置されていると共に、上記第１のブレーク溝１０１の延設方向と平行な第３の横軸２０７（図３（ａ）参照）周りに回転自在に支持されている。この第３の横軸２０７は、例えば、ＮＣサーボモータ等の駆動源（図示せず）の出力軸に結合されている。それゆえ、ローラ２０４は、図３（ｂ）に示すように、その駆動源を駆動させると第３の横軸２０７を回転中心として反時計周りに回転する。

下側の搬送手段３００は、その搬送方向に関する長さが上側の搬送手段２００の搬送方向に関する長さよりも大に設定されており、第３のプーリ３０１、第４のプーリ３０２、第２のプーリベルト３０３および支持台３０４を含む。

第３のプーリ３０１は、搬送手段３００の供給部Ｘ側に配置されていると共に、上記の第１のブレーク溝１０１の延設方向と平行な第４の横軸３０５周りに回転自在に支持されている。この第４の横軸３０５は、例えば、ＮＣサーボモータ等の駆動源（図示せず）の出力軸に結合されることによって、駆動プーリとされている。それゆえ、第３のプーリ３０１は、その駆動源を駆動させると第４の横軸３０５を回転中心として時計周りに回転する。また、第３のプーリ３０１およびローラ２０４の両者は、例えば、ＮＣ制御等のよって同期して回転するように制御される。

第４のプーリ３０２は、第３のプーリ３０１と離間して搬送手段３００の排出部Ｙ側に配置されていると共に、上記の第１のブレーク溝１０１の延設方向と平行な第５の横軸３０６周りに回転自在に支持されている。

第２のプーリベルト３０３は、無端状のベルトであって、第３のプーリ３０１および第４のプーリ３０２に巻き掛けられている。

支持台３０４は、第２のプーリベルト３０３の下面に当接してその上面をほぼ水平に維持させることによって、第２のプーリベルト３０３の上面に載置されたセラミック基板１００を支持するための板状部材である。この支持台３０４は、第２のプーリベルト３０３の巻き掛け空間内において第３のプーリ３０１と第４のプーリ３０２との中間位置よりも供給部Ｘ側でローラ２０４と対向して配置され、それによってセラミック基板１００の分割時に第１のプーリベルト２０３および第２のプーリベルト３０３を介してセラミック基板１００をローラ２０４との間で挟持する。

図３はローラの構成を説明するための図である。

図３を参照して説明する。ローラ２０４の周面には、第１のプーリベルト２０３を介して搬送されてきたセラミック基板１００に接触する複数の突起２０８が形成されている。このローラ２０４の各突起２０８は、搬送されてきたセラミック基板１００に第１のプーリベルト２０３を介して点接触するように球状形状をなし、かつローラ２０４の周面上において不規則な間隔で点在している。

ローラ２０４の第３の横軸（回転軸）２０７は、図３（ａ）に示すように、加圧用ばね２０９を介して上側の搬送手段２００のブラケット棒２１０に吊支されており、それによって当該ローラ２０４の球状突起２０８が第１のプーリベルト２０３を介してセラミック基板１００を押し付ける（加圧する）方向に付勢されている。この加圧用ばね２０９は、下端が第３の横軸２０７に取付けられている一方、上端がブラケット棒２１０に取り付けられている。

各突起２０８の中心同士の間隔寸法および幅寸法は、図３（ｂ）に示すように、第１のブレーク溝１０１同士の間隔寸法Ａの１／２以下に共に設定されている。

本セラミック基板の分割装置では、図１に示すように、下側の搬送手段３００では、第３のプーリ３０１を時計周りに回転させると、第２のプーリベルト３０３が時計周りに従動回転し、これに伴って第４のプーリ３０２も時計周りに従動回転する。この下側の搬送手段３００の回転駆動力は、上側の搬送手段２００に伝達され、上側の搬送手段２００の第１のプーリ２０１、第１のプーリベルト２０３および第２のプーリ２０２が反時計周りに共に従動回転する。その結果、セラミック基板１００は、第１のプーリベルト２０３と第２のプーリベルト３０３との両者に挟まれてその第２のブレーク溝１０２に沿って供給部Ｘから排出部Ｙに向かって搬送される。この間に、セラミック基板１００は長手の短冊状の割基板１０３に分割される。

図３（ａ）には、セラミック基板１００の主面（表面）をローラ２０４の突起２０８が押す状態が示されている。ここで、図３（ａ）を用いて本セラミック基板の分割装置の動作を詳細に説明する。

同図においては、ローラ２０４が反時計周りに回転している。このとき、ローラ２０４の周面（表面）には突起２０８が形成されている。そのため、２個以上の突起２０８が第１のプーリベルト２０３を介してセラミック基板１００の表面上の突起接触位置Ｐ１（図３（ｂ）参照）を押す。

ここで、ローラ２０４の回転中心である第３の横軸２０７に接続された加圧用ばね２０９の弾性力（付勢力）により、上記突起付ローラ２０４を第１のプーリベルト２０３に押し付ける力が働く。このセラミック基板１００の表面を押す突起２０８による接触応力は、ローラ２０４が回転するために時間的に変化する。したがって、第１のブレーク溝１０１には、上記の時間的に変化する突起２０８の押す力が加わる。その結果、母セラミック基板１００は、第１のブレーク溝１０１に沿って長手の短冊状に分割される。

また、複数の球状突起２０８がローラ２０４の周面上でセラミック基板１００に点接触するように不規則に点在している。そのため、第２のブレーク溝１０２に沿った基板分割に関しても、当該突起２０８による不均一な力が加わる。これにより、セラミック基板１００は第２のブレーク溝１０２に沿っても分割される。その結果、個別に独立した割基板１０３が作製されることになる。

＜実施の形態２＞
図４は本発明の実施の形態２に係るセラミック基板の分割装置に適用されるローラ２０４の構成を説明するための図である。

図４を参照して説明する。本実施の形態２の特徴は、ローラ２０４の周面上に設けられる複数の突起２１１の形状にあり、その他の構成は実施の形態１と同様である。

ローラ２０４の各突起２１１は、セラミック基板１００に対して線接触するように円柱形状を有している。これらの円柱状の突起２１１は、ローラ２０４の回転軸（第３の横軸）２０７と平行にローラ２０４の全長にわたって等間隔を開けて形成されている。なお、実施の形態１と同様に、各線状形状を有する突起２１１の中心同士の間隔寸法および幅寸法は、第１のブレーク溝１０１同士の間隔寸法Ａの１／２以下に共に設定されている。

上記構成において、セラミック基板１００の分割時には、隣接した第１のブレーク溝１０１の間に２本以上の円柱形状の突起（線状突起）２１１がセラミック基板１００の表面上の接触位置Ｐ２で接し、その接触応力はローラ２０４の回転に応じて時間的に変化する。そのため、セラミック基板１００は、第１のブレーク溝１０１に沿って分割される。

このとき、セラミック基板１００は、第２のブレーク溝１０２に沿って分割されることはなく、第１のブレーク溝１０１に沿って分離された長手の短冊形状の割基板１０３に分割される。しかし、未分割となった隣り合う第２のブレーク溝１０２についての分割については、人手により容易に分割可能である。

なお、本発明は上記実施の形態に限定されるものではない。

（１）実施の形態においては、下側の搬送手段を駆動側搬送手段として機能させる例について記載したが、上下の搬送手段同士で同期をとるようにして両方の搬送手段を駆動型としてもよい。このような場合においても、本発明の目的は十分に達成し得る。

（２）実施の形態においては、突起付きのローラをばねで吊支する構成について記載したが、支持台側に工夫を施してローラおよび支持台で搬送されてきたセラミック基板を挟持する構成としてもよい。このような態様としては、例えば、支持台をブラケット等に固定して第２のプーリベルトの下面に当接位置が変位しないように構成する態様、ばね等の弾性部材を利用してその弾性力により支持台を第２のプーリベルトの下面を押上げる方向に付勢する姿勢をとるように構成する態様、およびエアーシリンダ等による流体圧力により支持台の第２のプーリベルトに対する当接状態を維持するように構成する態様等を挙げることができる。いずれの態様であっても、本発明の目的は十分に達成し得る。

（３）実施の形態においては、ローラの突起が第１のプーリベルトを介してセラミック基板のブレーク溝形成面を押し、支持台が第２のプーリベルト上に載置されたセラミック基板のブレーク溝非形成面を支持するよう構成した例について記載したが、本発明はこのような構成に限定されない。例えば、溝のある板状のチョコレート等を割る場合、割れるのは溝から割れるが、力をかけるのは溝そのものではない。そのような局面から本発明を観ると、必ずしもローラの突起がセラミック基板のブレーク溝形成面を押す必要はない。よって、ブレーク溝形成面を下に向けた状態でセラミック基板を本分割装置に供給するようにしても構わない。この場合においても、本発明の目的は十分に達成し得る。

（４）実施の形態においては、上下の搬送手段の間に形成される搬送路のほぼ中間位置でセラミック基板をローラおよび支持台の両者で挟持するよう構成した例について記載したが、本発明はこのような構成に限定されない。セラミック基板をその搬送方向下流側（搬送移送方向に関して排出側）でローラおよび支持台で挟持する、又はセラミック基板をその搬送方向上流側（搬送送方向に関して供給側）でローラおよび支持台で挟持する構成としてもよい。いずれの場合にも、本発明の目的は十分に達成し得る。その理由は、従来の分割装置では、段差部でセラミック基板を折り曲げることによって分割するよう構成されているが、これに対して、本発明の分割装置では、個々の割基板に異なる力を印加することによってブレーク溝部分で分割するものであり、段差および上流・下流とは無関係であるからである。

（５）実施の形態１において、ローラの突起の形状を球状にした例について記載したが、ローラの形状は、半球状および断面山形状（三角状）等のように、セラミック基板に対して点接触可能な点状形状であれば、どのような形状であってもよい。

（６）実施の形態２においては、ローラの突起の形状を円柱状にした例について記載したが、ローラの形状は、三角柱等の角柱形状および断面半円状等のように、セラミック基板に対して線接触可能な線状形状であれば、どのような形状であってもよい。

（７）ローラの突起は、不規則な間隔で点在しているとしたが、規則的な間隔で点在していてもよい。

その他、特許請求の範囲内での種々の設計変更および修正を加え得ることは勿論である。

本発明は、セラミック基板の分割サイズの小形化に伴うセラミック基板の分割不良を解消し得るゆえ、セラミック基板の分割装置、特にチップ型電子部品を製造する際に用いられるセラミック基板の分割装置として有用である。

本発明の実施の形態１に係るセラミック基板の分割装置の全体構成を簡略化して示す図である。 同セラミック基板の分割装置により分割されるセラミック基板の平面図である。 同セラミック基板分割装置に適用されるローラの構成を説明するための図である。 本発明の実施の形態２に係るセラミック基板の分割装置に適用されるローラの構成を説明するための図である。 従来例に係るセラミック基板の分割装置の構成を示す。

符号の説明

１ セラミック基板
２ 搬送手段（上側）
３ 搬送手段（下側）
１１ 割基板
２１ 第１のプーリ
２２ 第２のプーリ
２３ 第１のプーリベルト
２４ 第１の支持台
２５ 第１の押さえローラ
３１ 第３のプーリ
３２ 第４のプーリ
３３ 第２のプーリベルト
３４ 第２の支持台
３５ 第２の押さえローラ
１００ セラミック基板
１０１ 第１のブレーク溝
１０２ 第２のブレーク溝
１０３ 割基板（個片）
２００ 搬送手段
２０１ 第１のプーリ
２０２ 第２のプーリ
２０３ 第１のプーリベルト
２０４ ローラ
２０５ 第１の横軸
２０６ 第２の横軸
２０７ 第３の横軸
２０８ 突起
２０９ 加圧用バネ
２１０ ブラケット棒
２１１ 円柱状の突起
３００ 搬送手段
３０１ 第３のプーリ
３０２ 第４のプーリ
３０３ 第２のプーリベルト
３０４ 支持台
３０５ 第４の横軸
３０６ 第５の横軸

Claims (5)

1. 互いに交差する第１のブレーク溝と第２のブレーク溝とが複数形成され、前記第１のブレーク溝同士の間隔寸法が前記第２のブレーク溝同士の間隔寸法以下であるセラミック基板を、少なくとも当該第１のブレーク溝に沿って分割するためのセラミック基板の分割装置であって、
   前記セラミック基板を挟み込んで前記第２のブレーク溝に沿って供給部から排出部に向かって搬送するための上下一対の搬送手段を備え、
   前記一方の搬送手段は、
   前記第１のブレーク溝が延びる方向と平行な軸線周りに回動自在に支持され、周面に複数の突起が形成されているローラを含み、
   前記他方の搬送手段は、
   前記ローラに対向して配置され、当該ローラとの間で前記セラミック基板を挟持する支持台を含むことを特徴とするセラミック基板の分割装置。
2. 前記ローラの各突起の中心同士の間隔寸法は、前記第１のブレーク溝同士の間隔寸法の１／２以下に設定されていることを特徴とする請求項１に記載のセラミック基板の分割装置。
3. 前記ローラの各突起の幅寸法は、前記第１のブレーク溝同士の間隔寸法の１／２以下に設定されていることを特徴とする請求項１または２に記載のセラミック基板の分割装置。
4. 前記ローラの各突起は、前記セラミック基板に対して点接触する形状を有し、かつ前記ローラの周面上に不規則な間隔で点在されていることを特徴とする請求項１〜３のいずれかに記載のセラミック基板の分割装置。
5. 前記ローラの各突起は、前記セラミック基板に対して線接触する形状を有するとともに、前記ローラの回転軸線と平行に当該ローラの全長にわたって形成され、かつ当該ローラの周面上に等間隔に配置されていることを特徴とする請求項１〜３のいずれかに記載のセラミック基板の分割装置。

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