JP2009032624A - 照明装置及び当該照明装置を備えたクリーンルーム - Google Patents
照明装置及び当該照明装置を備えたクリーンルーム Download PDFInfo
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Abstract
【解決手段】赤色LEDと、緑色LEDと、青色LEDとからなる白色LEDを備えた灯部1,1,1,1と、灯部1,1,1,1の点灯を制御する制御部20,20,20,20とを備え、例えばフォトレジスト、UV樹脂等を用いたパターニング作業の際には、赤色LED及び緑色LEDのみによる照明を行い、装置のメンテナンス、整理整頓等の際には、赤色LED、緑色LED及び青色LEDによる照明を行う。
【選択図】図1
Description
前記回路パターンはサブミクロン単位のものが多いので、塵埃の無いクリーンルームで行われている。一方、フォトレジスト、UV樹脂等を反応・硬化させるために用いられる光としては、g線(波長436nm),i線(波長365nm),KrFエキシマレーザー(波長248nm),ArFエキシマレーザー(波長193nm)があり、微細な回路パターンほど短波長の光が用いられている。フォトレジスト、UV樹脂等は、このような光に短時間(数秒〜数十秒)露光されることにより硬化される。
以下本発明の実施の形態を、図面を参照して説明する。図1は実施の形態1に係る複数の照明装置を備えた照明機器の構成を示すブロック図である。図中、実施の形態1に係る照明機器は二点鎖線によって囲まれており、照明装置は点線によって囲まれている。実施の形態1に係る照明機器は、複数の照明装置が接続部材8,8,8によって電気的に接続されることにより構成されている。また、照明機器は外部の操作部30と接続されている。
図9は本発明の実施の形態2に係る照明装置の灯部1のLED5A,5A,…、基板6及び接続部材8,8を示す斜視図である。なお、実施の形態1と同一の部分については同一の符号を付してその詳細な説明を省略する。
図11は本発明の実施の形態3に係る照明装置の灯部1のLEDモジュール40,40、基板6及び接続部材8,8を示す斜視図である。なお、実施の形態1及び実施の形態2と同一の部分については同一の符号を付してその詳細な説明を省略する。
2 収容部
3 グローブ
5,5A,5B LED
6 基板
8 接続部材
10 本体(扁平体)
20 制御部
Claims (8)
- 複数のLEDを備えた照明装置において、
特定の波長に反応する感光性物質が感光することを防止するために、前記特定の波長を抑制する制御部を備えたことを特徴とする照明装置。 - 複数のLEDを備えた照明装置において、
前記複数のLEDを制御することにより、白色の照明と、特定の波長に反応する感光性物質が感光することを防止するために、前記特定の波長を抑制した照明とができることを特徴とする照明装置。 - 前記複数のLEDは、緑色LED及び赤色LEDを含み、
前記緑色LED及び赤色LEDによって混合された光を発光するように構成されていることを特徴とする請求項1又は請求項2に記載の照明装置。 - 前記光は、xy色度図において、0.38〜0.44のx値及び0.48〜0.54のy値によって特定される色であることを特徴とする請求項3に記載の照明装置。
- 前記複数のLEDは、さらに青色LEDを含み、
前記緑色LED、赤色LED及び青色LED夫々の個別発光、又はこれらの組み合わせによる発光を制御する制御部を備えていることを特徴とする請求項3に記載の照明装置。 - 前記複数のLEDの一部又は全部の表面に黄色蛍光体層又は赤色蛍光体層が設けられてあることを特徴とする請求項1から請求項5の何れか1項に記載の照明装置。
- 前記複数のLEDが実装された基板と、
前記基板が収容される収容部と、
該収容部に取り付けられ、前記複数のLEDからの光を透光させる透光部とを備え、
該透光部を前記収容部に取り付けた場合、該透光部及び前記収容部が扁平体をなすように構成されていることを特徴とする請求項1から請求項6の何れか1項に記載の照明装置。 - 請求項1から請求項7の何れか1項に記載の照明装置を備えたクリーンルーム。
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