JP2009031584A - Organic el display and its manufacturing method - Google Patents
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Abstract
Description
本発明は、有機ELディスプレイ及びその製造方法に関する。 The present invention relates to an organic EL display and a manufacturing method thereof.
有機ELディスプレイは、薄型、広視野角、低消費電力、優れた動画表示特性などの特色を有しており、複数個の有機EL素子をマトリックス状に配列して構成されたものが従来から知られている。 Organic EL displays have such characteristics as thinness, wide viewing angle, low power consumption, and excellent moving image display characteristics. Conventionally, organic EL displays are configured by arranging a plurality of organic EL elements in a matrix. It has been.
かかる有機EL素子は、素子基板上に形成される第1電極層と、第1電極層上に形成される有機発光層と、有機発光層上に形成される第2電極層と、から構成されている。なお、有機発光層は、有機材料から成る複数の層から構成されているものが一般的に用いられている。 Such an organic EL element includes a first electrode layer formed on the element substrate, an organic light emitting layer formed on the first electrode layer, and a second electrode layer formed on the organic light emitting layer. ing. In general, the organic light emitting layer is composed of a plurality of layers made of an organic material.
有機発光層は、第1電極層及び第2電極層に電圧を加えて、第1電極層及び第2電極層から有機発光層に正孔及び電子を注入し、有機発光層中で正孔と電子が再結合することで、放出されるエネルギーの一部が有機発光層中の発光分子を励起する。そして、有機発光層は、その励起された発光分子が基底状態に戻るときにエネルギーを放出して光を発する。 The organic light emitting layer applies voltage to the first electrode layer and the second electrode layer, injects holes and electrons from the first electrode layer and the second electrode layer into the organic light emitting layer, and in the organic light emitting layer, As electrons recombine, part of the released energy excites the light emitting molecules in the organic light emitting layer. The organic light emitting layer emits energy by emitting energy when the excited light emitting molecules return to the ground state.
また、第2電極層は、第1電極層と間を空けて形成されるコンタクト電極層と電気的に接続されたものが開示されている(下記特許文献1参照)。 In addition, the second electrode layer is disclosed as being electrically connected to a contact electrode layer formed with a gap from the first electrode layer (see Patent Document 1 below).
また、図14に示すように、有機発光層を成膜する際に、コンタクト電極層と第2電極層との間に、両電極層と異なる材料が被着しないように、コンタクト電極層をマスキングすることが行われている。両電極層の間に両電極層と異なる材料が被着すると、両電極層の間にて電気抵抗が大きくなり、有機発光層に電流が流れにくくなる。
ところが、微細なコンタクト電極層をマスキングするのは、位置合わせが難しく、画素が小さくなるにつれさらにコンタクト電極層も小さくなり、マスキングすることは困難な作業となる。また、有機発光層を構成する材料を被着させている場合は、マスキングの位置合わせがずれると、コンタクト電極層の表面を被覆するように有機材料が被着することがある。その結果、コンタクト電極層と第2電極層との間の電気的接続が不安定になることがある。 However, masking a fine contact electrode layer is difficult to align, and as the pixels become smaller, the contact electrode layer also becomes smaller, which makes it difficult to mask. Further, when the material constituting the organic light emitting layer is deposited, the organic material may be deposited so as to cover the surface of the contact electrode layer when the masking alignment is shifted. As a result, the electrical connection between the contact electrode layer and the second electrode layer may become unstable.
本発明は、上述した課題に鑑みなされたものであって、コンタクト電極層と第2電極層との電気的接続を安定にすることが可能な有機ELディスプレイ及びその製造方法を提供することを目的とする。 The present invention has been made in view of the above-described problems, and an object thereof is to provide an organic EL display capable of stabilizing electrical connection between a contact electrode layer and a second electrode layer and a method for manufacturing the same. And
上記の課題を解決するため、本発明の有機ELディスプレイは、素子基板と、前記素子基板上に形成される第1電極層と、前記素子基板上に形成され、前記第1電極層と間を空けて併設されるコンタクト電極層と、前記第1電極層の端部上から前記コンタクト電極層の端部上にかけて形成される絶縁物と、前記第1電極層の中央領域上から前記絶縁物上を介して前記コンタクト電極層の端部上にかけて形成される電荷注入層と、前記電荷注入層上であって、前記第1電極層の中央領域上に形成される有機発光層と、前記有機発光層上から前記絶縁物上を介して前記コンタクト電極層上にかけて形成され、前記コンタクト電極層と直接接続される第2電極層と、を備えたことを特徴とする。 In order to solve the above problems, an organic EL display according to the present invention includes an element substrate, a first electrode layer formed on the element substrate, and an element substrate formed between the first electrode layer and the first electrode layer. A contact electrode layer provided side by side; an insulator formed on an end portion of the first electrode layer to an end portion of the contact electrode layer; and on the insulator from a central region of the first electrode layer A charge injection layer formed over an end of the contact electrode layer through the organic electroluminescence layer formed on the charge injection layer and on a central region of the first electrode layer, and the organic light emission And a second electrode layer formed on the contact electrode layer through the insulator and directly connected to the contact electrode layer.
また、本発明の有機ELディスプレイは、前記絶縁物が、前記コンタクト電極層との間に隙間が形成されており、前記隙間に前記電荷注入層の一部が充填されていることを特徴とする。 In the organic EL display of the present invention, a gap is formed between the insulator and the contact electrode layer, and the gap is partially filled with the charge injection layer. .
また、本発明の有機ELディスプレイは、前記絶縁物が、前記コンタクト電極層の中央領域を囲むように形成されており、前記隙間は、前記コンタクト電極層の中央領域に沿って形成されていることを特徴とする。 In the organic EL display of the present invention, the insulator is formed so as to surround a central region of the contact electrode layer, and the gap is formed along the central region of the contact electrode layer. It is characterized by.
また、本発明の有機ELディスプレイの製造方法は、第1電極層と、該第1電極層と間を空けて併設されるコンタクト電極層と、を有する素子基板を準備する工程と、前記第1電極層の端部上から前記コンタクト電極層の端部上にかけて絶縁物を形成する工程と、前記第1電極層の中央領域上から前記絶縁物上を介して前記コンタクト電極層上にかけて電荷注入層を形成する工程と、前記電荷注入層に熱を加え、前記コンタクト電極層上の前記電荷注入層を溶融させて取り除き、前記コンタクト電極層上を露出させる工程と、を備えたことを特徴とする。 In addition, the method for manufacturing an organic EL display according to the present invention includes a step of preparing an element substrate having a first electrode layer and a contact electrode layer provided side by side with the first electrode layer; Forming an insulator from the end of the electrode layer to the end of the contact electrode layer; and a charge injection layer from the central region of the first electrode layer to the contact electrode layer through the insulator And a step of applying heat to the charge injection layer, melting and removing the charge injection layer on the contact electrode layer, and exposing the contact electrode layer. .
また、本発明の有機ELディスプレイの製造方法は、前記絶縁物と前記コンタクト電極層との間には隙間が形成されており、前記コンタクト電極層上に被着した前記電荷注入層を溶融させて、前記絶縁物と前記コンタクト電極層との間の前記隙間に溶融物を流し込むことを特徴とする。 In the organic EL display manufacturing method of the present invention, a gap is formed between the insulator and the contact electrode layer, and the charge injection layer deposited on the contact electrode layer is melted. The melt is poured into the gap between the insulator and the contact electrode layer.
また、本発明の有機ELディスプレイの製造方法は、前記コンタクト電極層と前記絶縁物との間には、モリブデンから成る中間層が形成されており、前記絶縁物を形成後に、前記中間層をエッチングして除去することで、前記絶縁物と前記コンタクト電極層との間に隙間を形成することを特徴とする。 In the method for manufacturing an organic EL display according to the present invention, an intermediate layer made of molybdenum is formed between the contact electrode layer and the insulator, and the intermediate layer is etched after the insulator is formed. Thus, a gap is formed between the insulator and the contact electrode layer.
本発明によれば、コンタクト電極層の上面を露出した状態で、第2電極層をコンタクト電極層上に形成し、両者の電気的接続を安定にすることができる有機ELディスプレイ及びその製造方法を提供することができる。 According to the present invention, there is provided an organic EL display capable of forming a second electrode layer on a contact electrode layer with the upper surface of the contact electrode layer exposed, and stabilizing the electrical connection between them, and a method for manufacturing the same. Can be provided.
以下に、本発明について、図面を参照しつつ説明する。 The present invention will be described below with reference to the drawings.
図1は、本発明の実施形態に係る有機ELディスプレイ1の上方斜視図である。また、図2は、本発明の実施形態に係る有機ELディスプレイの画素の拡大断面図である。さらに、図3は、有機EL素子の拡大断面図である。 FIG. 1 is a top perspective view of an organic EL display 1 according to an embodiment of the present invention. FIG. 2 is an enlarged cross-sectional view of a pixel of the organic EL display according to the embodiment of the present invention. FIG. 3 is an enlarged cross-sectional view of the organic EL element.
有機ELディスプレイ1は、図1に示すように、テレビ等の家電機器、携帯電話又はコンピュータ機器等の電子機器に用いるものであり、基板としての平板状の素子基板2と、素子基板2上に複数の画素3と、かかる画素3の発光を制御する駆動IC4と、を含んで構成されている。
As shown in FIG. 1, the organic EL display 1 is used for a home appliance such as a television, an electronic device such as a mobile phone or a computer device, and has a
素子基板2は、例えばガラスやプラスチックから成り、素子基板2の中央に位置する表示領域D1には、マトリックス状に配列された複数の画素3が形成されている。また、素子基板2の端部に位置する非表示領域D2には、駆動IC4が実装されている。
The
かかる画素3は、図2に示すように、発光領域R1とコンタクト領域R2とを含んで構成されており、発光領域R1に発光可能な有機EL素子5が設けられている。なお、各画素3は、隔壁6によって仕切られている。また、画素3は、赤色、緑色、青色のいずれかの色を発光することができる。このことは、後述するように有機EL素子5を構成する有機材料を選択することによって、発光する色を決定することができる。
As shown in FIG. 2, the
また、素子基板2上には、素子基板2に対して対向するように配置された封止基板7が形成されている。封止基板7は透明の基板から成り、例えばガラスやプラスチックを用いることができる。さらに、素子基板2の表示領域D1には、表示領域D1を被覆するようにシール材8が形成されており、素子基板2と隔壁6と封止基板7とシール材8によって複数の画素3を密封している。なお、シール材8は、例えばアクリル樹脂、エポキシ樹脂、ウレタン樹脂又はシリコン樹脂等の光硬化性又は熱硬化性の樹脂を用いることができる。好ましくは、紫外線の照射により硬化する光硬化性のエポキシ樹脂を採用する。
In addition, a
次に、図3に示すように、素子基板2と封止基板7との間に形成される各種層について説明する。
Next, as shown in FIG. 3, various layers formed between the
素子基板2上には、TFTや電気配線が形成されている回路層9と、回路層9上に回路層9を外部と電気的に絶縁するための窒化珪素等から成る絶縁層10が形成されている。なお、回路層9の一部と、後述するコンタクト電極層11とが電気的に接続されている。また、絶縁層10上には、回路層9や絶縁層10の凹凸を低減するための平坦化膜12が形成されている。かかる平坦化膜12は、例えばノボラック樹脂、アクリル樹脂、エポキシ樹脂又はシリコン樹脂等の絶縁性を有する有機材料を用いることができる。なお、平坦化膜12の厚みは、例えば2μm以上、5μm以下に設定されている。
On the
また、平坦化膜12には、平坦化膜12を貫通するコンタクトホール13が形成されている。かかるコンタクトホール13は、上部よりも下部が幅狭な逆テーパー状に形成されている。さらにコンタクトホール13の内周面から平坦化膜12の上面にかけて、例えば銅やアルミニウム等の導電材料から成るコンタクト電極層11が形成されている。
Further, a
さらに、平坦化膜12上には、有機EL素子5が形成されている。
Further, an
有機EL素子5は、第1電極層14と、第1電極層14上に形成された電荷注入層15と、電荷注入層15上に形成された有機発光層16と、有機発光層16上に形成された第2電極層17と、を含んで構成されている。
The
また、有機EL素子5を被覆するように、表示領域D1上には保護層18が形成されている。保護層18は、有機EL素子5を封止し、有機EL素子を水分や外気から保護するものであって、光透過性の機能を有し、例えば窒化珪素、酸化珪素又は窒化炭化珪素等の無機材料から成る。なお、保護層18の厚みは、例えば100nm以上、5μm以下に設定されている。
Further, a
第1電極層14は、平坦化膜12上に形成されるとともに、コンタクト電極層11と間を空けて併設されている。第1電極層14は、例えばアルミニウム、銀、銅、金又はロジウム等の金属、又はこれらの合金等の光反射率の大きい材料から成る。このように、第1電極層14を光反射率の大きい材料から構成することにより、トップエミッション型の有機EL素子5においては光取り出し効率を向上させることができる。なお、第1電極層14の厚みは、例えば50nm以上、500nm以下に設定されている。
The
また、第1電極層14は、コンタクト電極層11と間を空けて併設されており、第1電極層14の端部上からコンタクト電極層11の端部上にかけて絶縁物19が形成されており、かかる絶縁物19は、その絶縁層19の端部の一部が第1電極層14と第2電極層17との間に介在され、両者の短絡を防止している。なお、第1電極層14の端部及びコンタクト電極層11の端部とは、絶縁層19の少なくとも一部が形成されうる箇所をいう。
Further, the
また、絶縁物19には、コンタクト電極層11と間を空けるように隙間Gが形成されている。隙間Gの高さが、例えば30nm以上、70nm以下に設定されており、さらにコンタクト領域R2側から発光領域R1側に向かって、例えば500nm以上削られている。かかる絶縁物19は、フェノール樹脂、アクリル樹脂又はポリイミド樹脂等の有機絶縁材料や、窒化珪素等の無機絶縁材料から成る。
In addition, a gap G is formed in the
また、絶縁物19は、コンタクト領域R2を取り囲むように形成されており、絶縁物19に形成される隙間Gは、コンタクト領域R2に沿って設けられている。その結果、隙間Gの領域を十分に大きく確保することができ、後述するように、コンタクト電極層11上に被着する電荷注入層15を構成する材料の多くを隙間Gに流入させることができ、コンタクト電極層11を効果的に露出させることができる。
The
また、絶縁物19上には、隔壁6が形成されている。
A
隔壁6は、絶縁物19上に形成され、画素3を取り囲むように配置されている。隔壁6は、上部よりも下部が幅狭であって、例えばフェノール樹脂、アクリル樹脂又はポリイミド樹脂等の有機絶縁材料から成る。
The
電荷注入層15は、第1電極層14の中央領域上から絶縁物19上を介してコンタクト電極層11上まで形成されている。電荷注入層15は、コンタクト電極層11の上面の全てを被覆せずに設けられている。また、電荷注入層15が形成される第1電極層14の中央領域とは、有機発光層16が形成される領域をいう。
The
かかる電荷注入層15は、例えばN,N’−ビス(3−メチルフェニル)−(1,1’−ビフェニル)−4,4’−ジアミン(TPD)、4,4’−ビス[N−(ナフチル)−N−フェニル−アミノ]ビフェニル(α−NPD)等 の芳香族ジアミン化合物、オキサゾール、オキサジアゾール、トリアゾール、イミダゾール、イミダゾロン、スチルベン誘導体、ピラゾリン誘導体、テトラヒドロイミダゾール、 ポリアリールアルカン、ブタジエン、および4,4’,4”−トリス(N−(3−メチルフェニル)N−フェニルアミノ)トリフェニルアミン(m−MTDATA)等のスターバースト芳香族やアミン化合物を用いることができる。なお、第1電極層14の直上に形成される電荷注入層15の厚みは、例えば10nm以上、50nm以下に設定されている。
The
有機発光層16は、例えばCBP、Alq3又はSDPVBi等の発光樹脂、またはこれらにDCJTB、クマリン、キナクリドン、スチリルアミン又はペルリン等の添加物を含有したものを用いることができる。なお、有機発光層16と第2電極層17との間に、例えばα‐NPD又はTPD等の輸送層、酸化ニッケル、酸化チタン、フッ化炭素又はCuPc等の注入層を、介在させることができる。
The organic light-emitting
第2電極層17は、光と透過する導電材料から、有機発光層16上から絶縁物19まで延在されており、該延在部がコンタクト電極層11と直接接続されている。第2電極層17は、例えばITO又はIZO等の透明電極や、プラチナ、金、ニッケル、銀又は銅や、これらの合金から成る。
The
以下に、本発明の実施形態に係る有機ELディスプレイ1の製造方法について、図4から図8を用いて詳細に説明する。 Below, the manufacturing method of the organic electroluminescent display 1 which concerns on embodiment of this invention is demonstrated in detail using FIGS. 4-8.
まず、回路層9と、絶縁層10とを上面に有する素子基板2を準備する。なお、回路層9及び絶縁層10は、従来周知のCVD法、スパッタリング法やフォトリソグラフィー法等の薄膜加工技術を用いて、所定パターンに形成される。
First, the
そして、図4(a)に示すように、回路層9及び絶縁層10を被覆するように例えば従来周知のスピンコート法を用いて、有機樹脂膜12aを形成する。なお、有機樹脂膜12aは、硬化後に平坦化膜12となる。
Then, as shown in FIG. 4A, an
次に、有機樹脂膜12a上に露光マスクを用いて有機樹脂膜12aを露光し、さらに現像、ベーキング処理を行い、図4(b)に示すように、回路層9の一部を露出させて、上部よりも下部が幅狭なコンタクトホール13を有する平坦化膜12を形成する。そして、図4(c)に示すように、例えばアルミニウムから成る金属膜14aを形成する。なお、金属膜14aは、後述するようにパターニング後に、第1電極層14及びコンタクト電極層11と成る。
Next, the
さらに、図5(a)に示すように、露出した金属膜14aに対して、従来周知のエッチング処理を行うことで、パターニングして第1電極層14及びコンタクト電極層11を形成する。
Further, as shown in FIG. 5A, the exposed
次に、図5(b)に示すように、例えばスピンコート法を用いて、第1電極層14、コンタクト電極層11及び露出した平坦化膜12上に、絶縁物19となりうる有機絶縁材料を被着し、有機絶縁材料層19aを形成する。さらに、図5(c)に示すように、有機絶縁材料層19a上に、フォトマスクMを対向配置する。フォトマスクMは、絶縁物19となりうる領域の直上を被覆するとともに、発光領域R1及びコンタクト領域R2に対応する領域に開口M1、M2を有している。なお、開口M1、M2は、有機絶縁材料層19aを露光する範囲を調整するために、M1のテーパーの角度をM2のテーパーの角度よりも緩やかに設定されている。
Next, as shown in FIG. 5B, an organic insulating material that can become the
そして、図6(a)に示すように、露光装置を用いて、フォトマスクMを介して、有機絶縁材料層19aに光を照射する。なお、光が照射された領域Bは、後述するように現像することによって除去される。そして、図6(b)に示すように、フォトマスクMを有機絶縁材料層19aから取り除く。
Then, as shown in FIG. 6A, the organic insulating
そして、図6(c)に示すように、光が照射された有機絶縁材料層19aの領域Bに対し、現像液を浸透させて領域Bを除去する。コンタクト領域R2は、コンタクト領域R1よりも光の照射された角度が急であるため、サイドエッチングが加わりやすく、隙間Gを有する絶縁物19を形成することができる。かかる絶縁物19は、コンタクト電極層11の表面を一部露出するように、コンタクト電極層11の外周を覆って形成される。
Then, as shown in FIG. 6C, the region B of the organic insulating
また、別の隙間Gを有する絶縁物19の製造方法としては、例えば、予め、コンタクト電極層11上にモリブデン又はモリブデン合金から成る中間層を形成しておき、絶縁物19を形成後に、硝酸、酢酸又は燐酸等から成る混酸を中間層に浸透させて中間層をエッチングする。そして、中間層を選択的に除去することによって、中間層が形成されていた箇所に隙間Gを形成することも可能である。
In addition, as a method of manufacturing the
次に、図7(a)に示すように、絶縁物19上に、従来周知の薄膜加工技術を用いて、上部よりも下部が幅狭な隔壁6を形成する。かかる隔壁6は、各画素3を取り囲むように形成される。
Next, as shown in FIG. 7A, the
そして、図7(b)に示すように、表示領域D1全体に対し、具体的には、発光領域R1及びコンタクト領域R2上に、従来周知の蒸着法を用いて電荷注入層15を形成する。そして、図7(c)に示すように、電荷注入層15に対し、該電荷注入層15を構成する材料のガラス転移点以上の温度、且つ昇華点未満の温度の熱を加えて、電荷注入層15を溶融させ、隙間Gに溶融した電荷注入層15を構成する材料を流しこむ。かかる場合、コンタク電極層11上に被着した電荷注入層15を構成ずる材料は、溶融後に、表面張力によって、絶縁物19の隙間Gに向かって流れる。その結果、図14に示すように、電荷注入層15を形成する際に、コンタクト領域R2をマスクmにて被覆しなくても、コンタクト電極層11の上面を一部露出させることができ、製造工程を単純化することができ、生産性を向上させることができる。
Then, as shown in FIG. 7B, the
次に、図8(a)に示すように、電荷注入層15上に、従来周知の蒸着法を用いて、有機発光層16を形成する。さらに、図8(b)に示すように、有機発光層16からコンタクト電極層11上にかけて、従来周知の蒸着法を用いて、第2電極層17を形成する。したがって、上面が露出しているコンタクト電極層11と第2電極層17とが直接接続され、両者の間に、不純物の層が形成されることがなく、両者を直接接続することができ、コンタクト電極層11と第2電極層17との間の電気的接続を安定にすることができる。
Next, as shown in FIG. 8A, an organic
このようにして、有機EL素子5を形成することができる。さらに、図8(c)に示すように、有機EL素子5を被覆するように、従来周知の薄膜形成技術を用いて、保護層18を形成する。そして、有機EL素子が形成された素子基板2に対して、封止基板7を対向配置し、両者をシール材8を介して接着する。なお、封止基板7をシール材8によって、素子基板2に固定する作業は、例えば窒素ガス又はアルゴンガス等の不活性ガス中や、高真空中で行うことによって、素子基板2と封止基板7との間に酸素や水分が含まれるのを抑制することができる。
In this way, the
そして、非表示領域D2に駆動IC4を実装することで、有機ELディスプレイ1を製造することができる。 And the organic EL display 1 can be manufactured by mounting the drive IC 4 in the non-display area D2.
上述したように、本発明の実施形態によれば、絶縁物19に隙間Gを設けることで、仮に発光領域R1に電荷注入層15を被着させる際に、コンタクト領域R2におけるコンタクト電極層11上に電荷注入層15を構成する材料が被着しても、コンタクト電極層11上に被着した電荷注入層15を構成する材料を溶融させて、絶縁物19の隙間Gに流入させることができる。その結果、コンタクト電極層11上を露出させることができ、後に形成する第2電極層17をコンタクト電極層11に直接接続させることができ、両者の電気的接続を安定にすることができる。
As described above, according to the embodiment of the present invention, when the
なお、本発明は上述の形態に限定されるものではなく、本発明の要旨を逸脱しない範囲において種々の変更、改良等が可能である。 In addition, this invention is not limited to the above-mentioned form, A various change, improvement, etc. are possible in the range which does not deviate from the summary of this invention.
本発明の第2の実施形態として、図9、図10に示すように、絶縁物19には、コンタクト電極層側に切り欠いた溝Hを有していても構わない。溝Hは、従来周知の薄膜加工技術を用いることにより、有機絶縁材料層19aのエッチングパターンを調整し、形成することができる。溝Hが形成されていると、電荷注入層15を、例えば蒸着法を用いて素子基板2上に被着させた後、コンタクト電極層11上に被着した電荷注入層15に熱を加えて溶融させ、溶融した電荷注入層15を構成する材料を、絶縁物19の側面を介して、毛管現象によって、溝Hまで流す。その結果、コンタクト電極層11上を露出させて、コンタクト電極層11と第2電極層17とを直接接続することができる。
As a second embodiment of the present invention, as shown in FIGS. 9 and 10, the
また、本発明の第3の実施形態として、図11に示すように、コンタクト領域R2におけるコンタクト電極層11に凹部11aが形成されていても構わない。凹部11aは、例えば、予め、コンタクト領域R2に対応する平坦化膜12に窪みを形成し、その平坦化膜12上にコンタクト電極層11を形成することで、凹部11aを形成することができる。また、凹部11aは、例えば、第1電極層14及びコンタクト電極層11と成りうる金属膜14aをエッチングする際に、コンタクト領域R2に対応する金属膜14aの表面に対し、該金属膜14aの表面が窪んで凹部となるようにエッチングすることによって形成することもできる。凹部11aは、コンタクト電極層11の表面が窪んだものであって、溶融した電荷注入層15を構成する材料が、窪んだ凹部11aに溜まる。その結果、コンタクト電極層11上を露出させて、コンタクト電極層11と第2電極層17とを直接接続することができる。
Further, as a third embodiment of the present invention, as shown in FIG. 11, a
また、本発明の第4の実施形態として、図12に示すように、コンタクト領域R2におけるコンタクト電極層11に凸部11bが形成されていても構わない。凸部11bは、コンタクト領域R2に対応する有機絶縁材料層19aが一部残存するように、フォトマスクMを調整し、露光現像することによって形成することができる。コンタクト領域R2に被着した電荷注入層15が溶融すると、凸部11bに凝集することができ、コンタクト領域R2におけるコンタクト電極層11を露出させることができる。その結果、第2電極層17を露出したコンタクト電極層11に直接接続することができる。
Further, as a fourth embodiment of the present invention, as shown in FIG. 12, a
また、本発明の第5の実施形態として、図13に示すように、絶縁物19xは、第1電極層14上の端部から第1電極層14とコンタクト電極層11との間の露出領域Fにかけて形成され、且つコンタクト電極層11と間を空けて設けられている。すなわち、コンタクト領域R2における絶縁物19xの縁が、コンタクト電極層11と間を空けて設けられている。そのため、コンタクト領域R2における平坦化膜12の上面が露出するため、かかる露出箇所に溶融した電荷注入層15を構成する材料を流し込むことができる。具体的には、電荷注入層15を発光領域R1及びコンタクト領域R2にかけて被着して形成した後、コンタクト領域R2のコンタクト電極層11上に被着した電荷注入層15を構成する材料を溶融して露出領域Fに流す。その結果、コンタクト電極層11の上面を露出することができ、しいてはコンタクト電極層11と第2電極層17とを直接接続することができる。なお、絶縁物19xは、有機絶縁材料層19aを従来周知のフォトリソグラフィー技術を用いて、コンタクト領域R2における平坦化膜12の上面が一部露出するように、露光現像することによって形成することができる。
Further, as a fifth embodiment of the present invention, as shown in FIG. 13, the
また、本発明の第6の実施形態として、図14に示すように、第5の実施形態における露出領域Fに凹部20が形成されている。電荷注入層15を、例えば蒸着法を用いて素子基板2上に被着させた後、コンタクト電極層11上に被着した電荷注入層15に熱を加えて溶融させ、溶融した電荷注入層15を構成する材料を、凹部20に流し込む。凹部20は、コンタクト電極層11の下面よりもさらに下方に窪んでいるため、凹部20に溶融した電荷注入層15を構成する材料を集中させることができる。その結果、コンタクト電極層11上を露出させて、コンタクト電極層11と第2電極層17とを直接接続することができる。なお、凹部20は、次の方法によって形成される。例えば、上述した有機絶縁材料層19aを現像液にて現像する際に、平坦化膜12の上面をも現像することで、露出領域Fに凹部20を形成することができる。
Further, as a sixth embodiment of the present invention, as shown in FIG. 14, a recessed
1 有機ELディスプレイ
2 素子基板
3 画素
4 駆動IC
5 有機EL素子
6 隔壁
7 封止基板
8 シール材
9 回路層
10 絶縁層
11 コンタクト電極層
12 平坦化膜
13 コンタクトホール
14 第1電極層
15 電荷注入層
16 有機発光層
17 第2電極層
18 保護層
19 絶縁物
20 凹部
D1 表示領域
D2 非表示領域
R1 発光領域
R2 コンタクト領域
F 露出領域
G 隙間
1
DESCRIPTION OF
Claims (6)
前記素子基板上に形成される第1電極層と、
前記素子基板上に形成され、前記第1電極層と間を空けて併設されるコンタクト電極層と、
前記第1電極層の端部上から前記コンタクト電極層の端部上にかけて形成される絶縁物と、
前記第1電極層の中央領域上から前記絶縁物上を介して前記コンタクト電極層の端部上にかけて形成される電荷注入層と、
前記電荷注入層上であって、前記第1電極層の中央領域上に形成される有機発光層と、
前記有機発光層上から前記絶縁物上を介して前記コンタクト電極層上にかけて形成され、前記コンタクト電極層と直接接続される第2電極層と、
を備えたことを特徴とする有機ELディスプレイ。 An element substrate;
A first electrode layer formed on the element substrate;
A contact electrode layer formed on the element substrate and provided side by side with the first electrode layer;
An insulator formed from an end of the first electrode layer to an end of the contact electrode layer;
A charge injection layer formed from a central region of the first electrode layer to an end of the contact electrode layer via the insulator;
An organic light emitting layer formed on the charge injection layer and on a central region of the first electrode layer;
A second electrode layer formed on the organic light emitting layer over the insulator over the contact electrode layer and directly connected to the contact electrode layer;
An organic EL display comprising:
前記絶縁物は、前記コンタクト電極層との間に隙間が形成されており、
前記隙間に前記電荷注入層の一部が充填されていることを特徴とする有機ELディスプレイ。 The organic EL display according to claim 1,
A gap is formed between the insulator and the contact electrode layer,
An organic EL display, wherein the gap is partially filled with the charge injection layer.
前記絶縁物は、前記コンタクト電極層の中央領域を囲むように形成されており、
前記隙間は、前記コンタクト電極層の中央領域に沿って形成されていることを特徴とする有機ELディスプレイ。 The organic EL display according to claim 1 or 2,
The insulator is formed so as to surround a central region of the contact electrode layer,
The organic EL display, wherein the gap is formed along a central region of the contact electrode layer.
前記第1電極層の端部上から前記コンタクト電極層の端部上にかけて絶縁物を形成する工程と、
前記第1電極層の中央領域上から前記絶縁物上を介して前記コンタクト電極層上にかけて電荷注入層を形成する工程と、
前記電荷注入層に熱を加え、前記コンタクト電極層上の前記電荷注入層を溶融させて取り除き、前記コンタクト電極層上を露出させる工程と、
を備えたことを特徴とする有機ELディスプレイの製造方法。 Preparing a substrate having a first electrode layer and a contact electrode layer provided to be spaced apart from the first electrode layer;
Forming an insulator from the end of the first electrode layer to the end of the contact electrode layer;
Forming a charge injection layer from a central region of the first electrode layer over the insulator over the contact electrode layer;
Applying heat to the charge injection layer, melting and removing the charge injection layer on the contact electrode layer, exposing the contact electrode layer;
A method for producing an organic EL display, comprising:
前記絶縁物と前記コンタクト電極層との間には隙間が形成されており、
前記コンタクト電極層上に被着した前記電荷注入層を溶融させて、前記絶縁物と前記コンタクト電極層との間の前記隙間に溶融物を流し込むことを特徴とする有機ELディスプレイの製造方法。 In the manufacturing method of the organic electroluminescent display of Claim 4,
A gap is formed between the insulator and the contact electrode layer,
A method for producing an organic EL display, comprising melting the charge injection layer deposited on the contact electrode layer and pouring the melt into the gap between the insulator and the contact electrode layer.
前記コンタクト電極層と前記絶縁物との間には、モリブデンから成る中間層が形成されており、
前記絶縁物を形成後に、前記中間層をエッチングして除去することで、前記絶縁物と前記コンタクト電極層との間に隙間を形成することを特徴とする有機ELディスプレイの製造方法。 In the manufacturing method of the organic electroluminescent display of Claim 4 or Claim 5,
An intermediate layer made of molybdenum is formed between the contact electrode layer and the insulator,
After forming the insulator, the intermediate layer is etched and removed, thereby forming a gap between the insulator and the contact electrode layer.
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