JP2009028819A - 工作機械の位置検出誤差測定方法 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】工作機械に設置されている位置検出器の位置検出精度の補正方法において、
レーザ測長器を用いて位置決め誤差測定用リニアスケール11の位置決め精度を補正する工程と、補正された位置決め誤差測定用リニアスケール11を前記工作機械の直線軸に並行に取り付ける工程と、前記直線軸を一定量移動し工作機械の前記位置検出器から得られる移動量と、前記直線軸に並行に取り付けられた前記位置決め誤差測定用リニアスケール11から読み取った移動量とを比較し、その差分を前記工作機械の位置検出器の誤差データとして記憶する工程、とからなる工作機械の位置検出誤差測定方法。
【選択図】図4
Description
リニアスケールは、レーザ測長器に比較して絶対精度はよくない。しかし、リニアスケールは、その周辺の温度や気圧が変動しても測定への影響がレーザ測長器に比べ非常に小さい。
また、一般的に、工作機械に用いられるスライドはX軸、Y軸、Z軸のそれぞれについて、ピッチ、ヨー、ロールによる傾きの影響が発生する。特に、ピッチやロールによる傾きはスライド上の低い位置と高い位置とでは距離換算すると何倍もの差が生じる。
そこで、本発明の目的は、加工点付近の動きをリニアスケールにより測定し、測定結果に基づいてCNC工作機械に設置されている位置検出器の位置検出器の補正を行い、CNC工作機械の位置検出器では検出されない加工点における各軸のピッチ、ヨー、ロール成分の影響を極力除去し、よりよい精度の加工を行えるようにすることである。
請求項2に係る発明は、位置決め誤差測定用リニアスケールを工作機械の加工点近辺(領域近傍)に設置することを特徴とする請求項1記載の工作機械の位置検出誤差測定方法である。
請求項3に係る発明は、工作機械の位置検出器はリニアスケールである請求項1記載の工作機械の位置検出誤差測定方法である。
請求項4に係る発明は、前記誤差データを用いて工作機械の位置検出器の検出データを補正することを特徴とする工作機械の位置検出誤差修正方法である。
また、リニアスケールをCNC工作機械の加工点近傍に治具を用いて配置すればよいので、レーザ測長器を用いる際のような光学軸の調整作業などを行う必要が無く、CNC工作機械が用いられている製造現場・研究室のその場で、当該発明である位置検出誤差測定方法を実施できる。
図1はリニアスケールが加工点近辺に取り付けられ、本発明が実行される一実施形態であるCNC工作機械の要部斜視図である。
CNC工作機械には工具とワークとが取り付けられ、X軸1、Z軸2の2つの並進軸と、Z軸2に回転軸3を取り付けた構成となっている。回転軸3には回転テーブル4が取り付けられている。そして、回転テーブル4にはワーク5が取り外し可能に固定されている。また、X軸1のスライダ8には工具6が固定された工具固定治具7が取り外し可能に取り付けられている。このような構成の工作機械において、前述のとおり各並進軸に対してピッチ、ヨー、ロール成分による位置決め誤差が発生する。
このように、リニアスケールの位置決め精度を補正することは、換言すれば、リニアスケールの位置にその位置の誤差分を足し込んだ値を実際の位置として使用することである。
CNC工作機械のスライダを使用する。CNC工作機械のX軸スライダに誤差測定用リニアスケールとレーザ光反射鏡とを誤差測定用リニアスケールとレーザ光の光軸とが平行状態になるように近接して取り付ける固定治具を用意する。誤差測定用リニアスケールとレーザ反射鏡とは近接して配置されていることから、CNC工作機械に使用されるスライドに存在するピッチ、ヨー、ロール方向の傾きによる誤差は相殺される。このようにすることにより、誤差計測用リニアスケールの誤差測定のために特別の移動装置を用意する必要がない。そして、Y軸、Z軸方向での誤差は、X軸方向で誤差測定を行っていることから、Y軸、Z軸方向ではレーザ測長器を使用するまでもない。
第3の実施形態として、図6に示されるように工作機械の数値制御装置内に、図2に示される手段により求めた誤差測定用リニアスケールの誤差補正するためのデータテーブルを格納しておく。工作機械の使用者は工作機械の位置検出器の誤差補正を行うとき、誤差測定用リニアスケールを工作機械にとりつけることにより、自動的に工作機械の位置検出誤差補正テーブルを作成することができる。
2 Z軸
3 回転軸
4 回転テーブル
5 ワーク
6 工具
7 工具固定治具
8 スライダ
9 スケール読み取りヘッド固定治具
10 スケール読み取りヘッド
11 誤差測定用リニアスケール
12 リニアスケール固定治具
Claims (4)
- 工作機械に設置されている位置検出器の位置検出精度の補正方法において、
レーザ測長器を用いて位置決め誤差測定用リニアスケールの位置決め精度を補正する工程と、補正された位置決め誤差測定用リニアスケールを前記工作機械の直線軸に並行に取り付ける工程と、前記直線軸を一定量移動し工作機械の前記位置検出器から得られる移動量と、前記直線軸に並行に取り付けられた前記位置決め誤差測定用リニアスケールから読み取った移動量とを比較し、その差分を前記工作機械の位置検出器の誤差データとして記憶する工程、
とからなる工作機械の位置検出誤差測定方法。 - 位置決め誤差測定用リニアスケールを工作機械の加工点近辺に設置することを特徴とする請求項1記載の工作機械の位置検出誤差測定方法。
- 工作機械の位置検出器はリニアスケールである請求項1記載の工作機械の位置検出誤差測定方法。
- 前記誤差データを用いて工作機械の位置検出器の検出データを補正することを特徴とする工作機械の位置検出誤差修正方法。
Priority Applications (4)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2007193365A JP4276275B2 (ja) | 2007-07-25 | 2007-07-25 | 工作機械の位置検出誤差測定方法 |
US12/165,943 US20090030637A1 (en) | 2007-07-25 | 2008-07-01 | Method of measuring position detection error in machine tool |
EP08159592A EP2019345A1 (en) | 2007-07-25 | 2008-07-03 | Method of measuring position detection error in machine tool |
CNA200810130014XA CN101352817A (zh) | 2007-07-25 | 2008-07-23 | 测量机床中位置检测误差的方法 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2007193365A JP4276275B2 (ja) | 2007-07-25 | 2007-07-25 | 工作機械の位置検出誤差測定方法 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2009028819A true JP2009028819A (ja) | 2009-02-12 |
JP4276275B2 JP4276275B2 (ja) | 2009-06-10 |
Family
ID=39967873
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2007193365A Active JP4276275B2 (ja) | 2007-07-25 | 2007-07-25 | 工作機械の位置検出誤差測定方法 |
Country Status (4)
Country | Link |
---|---|
US (1) | US20090030637A1 (ja) |
EP (1) | EP2019345A1 (ja) |
JP (1) | JP4276275B2 (ja) |
CN (1) | CN101352817A (ja) |
Cited By (6)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
CN102658499A (zh) * | 2012-04-20 | 2012-09-12 | 西安交通大学 | 一种精密卧式加工中心主轴热误差补偿方法 |
US20130104707A1 (en) * | 2009-11-02 | 2013-05-02 | Murata Machinery, Ltd. | Machine tool |
CN105423917A (zh) * | 2015-12-01 | 2016-03-23 | 中国科学院西安光学精密机械研究所 | 位置敏感探测器定位误差的标定方法及标定装置 |
US9423278B1 (en) | 2015-03-09 | 2016-08-23 | Laser Projection Technologies, Inc. | 3D laser projection, scanning and object tracking |
TWI569917B (zh) * | 2014-11-10 | 2017-02-11 | 國立虎尾科技大學 | 角度誤差修正裝置 |
TWI569916B (zh) * | 2014-11-10 | 2017-02-11 | 國立虎尾科技大學 | 旋轉軸角度輔助定位量測系統 |
Families Citing this family (17)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP4276252B2 (ja) * | 2006-10-31 | 2009-06-10 | ファナック株式会社 | 工具とワークの接触検知機構を有する工作機械 |
KR101139292B1 (ko) * | 2010-06-18 | 2012-04-26 | 순환엔지니어링 주식회사 | 엔코더 피드백 및 에러 맵핑과 에어 압력 조절을 이용한 에러 보상 시스템 |
DE102010064652B3 (de) | 2010-08-30 | 2023-03-02 | Bundesrepublik Deutschland, vertr.d.d. Bundesministerium für Wirtschaft und Technologie, d.vertr.d.d. Präsidenten der Physikalisch-Technischen Bundesanstalt | Verfahren zur Genauigkeitssteigerung einer positionierenden Maschine und positionierende Maschine |
DE102010035870B4 (de) * | 2010-08-30 | 2017-06-01 | Bundesrepublik Deutschland, vertr.d.d. Bundesministerium für Wirtschaft und Technologie, d.vertr.d.d. Präsidenten der Physikalisch-Technischen Bundesanstalt | Verfahren zur Genauigkeitssteigerung einer positionierenden Maschine und positionierende Maschine |
CN102566497B (zh) * | 2010-12-09 | 2013-07-24 | 中国科学院沈阳计算技术研究所有限公司 | 数控系统中直线轴定位误差补偿实现方法 |
US9222769B2 (en) | 2012-12-08 | 2015-12-29 | Grale Technologies | High speed metrology with numerically controlled machines |
CN104864896B (zh) * | 2015-06-09 | 2017-06-20 | 歌尔股份有限公司 | 一种机外校位方法 |
CN106671103A (zh) * | 2017-01-05 | 2017-05-17 | 北京航空航天大学 | 铣削机器人控制方法及系统 |
CN108132022A (zh) * | 2017-12-05 | 2018-06-08 | 航天材料及工艺研究所 | 一种大直径薄壁箱体的形变测量装置 |
CN108981566A (zh) * | 2018-05-30 | 2018-12-11 | 北京理工大学 | 一种工件形位在位检测装置 |
CN109613889B (zh) * | 2019-01-07 | 2021-08-06 | 安徽理工大学 | 基于微分变换的数控机床在机测量系统综合误差补偿方法 |
CN110977612B (zh) * | 2019-11-18 | 2021-08-03 | 上海爱堃智能系统有限公司 | Cnc数控加工在线测量误差修正方法及系统 |
CN111307036A (zh) * | 2020-03-11 | 2020-06-19 | 伊莱特能源装备股份有限公司 | 一种热态大型环件尺寸的检测方法 |
CN111678434B (zh) * | 2020-06-16 | 2021-08-24 | 中国工程物理研究院机械制造工艺研究所 | 机床直线轴运行的六自由度误差同时检测装置及方法 |
CN111966043B (zh) * | 2020-07-21 | 2023-10-31 | 天津大学 | 一种机床转台综合热误差检测装置及安装方法 |
CN114184366B (zh) * | 2021-12-02 | 2023-04-28 | 成都飞机工业(集团)有限责任公司 | 一种导管、外套螺母及管接头装配误差试验台 |
CN115682892A (zh) * | 2022-11-02 | 2023-02-03 | 四川大学 | 基于位置触发的导轨运动误差同步测量装置 |
Family Cites Families (11)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US3918167A (en) * | 1974-03-01 | 1975-11-11 | Gerber Scientific Instr Co | Apparatus for sensing relative movement of a work table and tool |
US4585350A (en) * | 1983-01-28 | 1986-04-29 | Pryor Timothy R | Pulsed robotic inspection |
AT379893B (de) * | 1984-07-03 | 1986-03-10 | R S F Elektronik Ohg Rechtsfor | Verfahren zur digitalen elektrischen laengenoder winkelmessung und schaltungsanordnung zur durchfuehrung dieses verfahrens |
JP2767936B2 (ja) | 1989-12-01 | 1998-06-25 | 日本精工株式会社 | リニアエンコーダの誤差補正方法 |
DE4442596C1 (de) * | 1994-11-30 | 1996-04-04 | Heidelberg Instruments Mikrotechnik Gmbh | Verfahren zur Korrektur von Positionsmeßfehlern |
DE19752290A1 (de) * | 1997-11-26 | 1999-06-02 | Hueller Hille Gmbh | Verfahren und Vorrichtung zur Messung von Lage und/oder Orientierung zusammenwirkender Maschineneinheiten |
DE19947374B4 (de) * | 1999-10-01 | 2005-11-03 | Bundesrepublik Deutschland, vertr. d. d. Bundesministerium für Wirtschaft und Arbeit, dieses vertr. d. d. Präsidenten der Physikalisch-Technischen Bundesanstalt | Verfahren zur Ermittlung geometrischer Abweichungen von Koordinatenmeßgeräten oder Werkzeugmaschinen |
DE10126753B4 (de) * | 2001-06-01 | 2005-02-10 | Bundesrepublik Deutschland, vertr. d. d. Bundesministerium für Wirtschaft und Arbeit, dieses vertr. d. d. Präsidenten der Physikalisch-Technischen Bundesanstalt | Verfahren zur Genauigkeitssteigerung von Koordinatenmessgeräten und Werkzeugmaschinen |
ITVE20010036A1 (it) * | 2001-08-08 | 2003-02-08 | Fpt Ind Spa | Metodo per effettuare in modo automatico la correzione degli errori sistematici in macchine di misura ed in macchine operatrici ed apparecch |
US6721675B1 (en) * | 2003-01-31 | 2004-04-13 | The Boeing Company | Machine capability verification and diagnostics (CAP/DIA) system, method and computer program product |
JP2006038839A (ja) | 2004-06-25 | 2006-02-09 | Fanuc Ltd | リニアエンコーダ |
-
2007
- 2007-07-25 JP JP2007193365A patent/JP4276275B2/ja active Active
-
2008
- 2008-07-01 US US12/165,943 patent/US20090030637A1/en not_active Abandoned
- 2008-07-03 EP EP08159592A patent/EP2019345A1/en not_active Withdrawn
- 2008-07-23 CN CNA200810130014XA patent/CN101352817A/zh active Pending
Cited By (9)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US20130104707A1 (en) * | 2009-11-02 | 2013-05-02 | Murata Machinery, Ltd. | Machine tool |
US8631727B2 (en) * | 2009-11-02 | 2014-01-21 | Murata Machinery, Ltd. | Machine tool |
CN102658499A (zh) * | 2012-04-20 | 2012-09-12 | 西安交通大学 | 一种精密卧式加工中心主轴热误差补偿方法 |
TWI569917B (zh) * | 2014-11-10 | 2017-02-11 | 國立虎尾科技大學 | 角度誤差修正裝置 |
TWI569916B (zh) * | 2014-11-10 | 2017-02-11 | 國立虎尾科技大學 | 旋轉軸角度輔助定位量測系統 |
US9423278B1 (en) | 2015-03-09 | 2016-08-23 | Laser Projection Technologies, Inc. | 3D laser projection, scanning and object tracking |
US9826207B2 (en) | 2015-03-09 | 2017-11-21 | Faro Technologies, Inc. | 3D laser projection, scanning and object tracking |
US10432903B2 (en) | 2015-03-09 | 2019-10-01 | Faro Technologies, Inc. | 3D laser projection, scanning and object tracking |
CN105423917A (zh) * | 2015-12-01 | 2016-03-23 | 中国科学院西安光学精密机械研究所 | 位置敏感探测器定位误差的标定方法及标定装置 |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JP4276275B2 (ja) | 2009-06-10 |
US20090030637A1 (en) | 2009-01-29 |
CN101352817A (zh) | 2009-01-28 |
EP2019345A1 (en) | 2009-01-28 |
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Legal Events
Date | Code | Title | Description |
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A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20081104 |
|
A521 | Written amendment |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20081128 |
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TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
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FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
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