JP2009025181A - 厚み測定用光干渉測定装置 - Google Patents
厚み測定用光干渉測定装置 Download PDFInfo
- Publication number
- JP2009025181A JP2009025181A JP2007189414A JP2007189414A JP2009025181A JP 2009025181 A JP2009025181 A JP 2009025181A JP 2007189414 A JP2007189414 A JP 2007189414A JP 2007189414 A JP2007189414 A JP 2007189414A JP 2009025181 A JP2009025181 A JP 2009025181A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- light
- thickness
- subject
- optical
- measurement
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
Links
- 230000003287 optical effect Effects 0.000 title claims abstract description 109
- 238000005259 measurement Methods 0.000 title claims abstract description 76
- 230000004907 flux Effects 0.000 claims abstract description 16
- 230000001427 coherent effect Effects 0.000 claims description 11
- 230000001678 irradiating effect Effects 0.000 claims description 6
- 238000003384 imaging method Methods 0.000 abstract description 34
- 239000010410 layer Substances 0.000 description 85
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 12
- 238000000034 method Methods 0.000 description 9
- 239000002356 single layer Substances 0.000 description 9
- 230000015572 biosynthetic process Effects 0.000 description 3
- 230000002452 interceptive effect Effects 0.000 description 2
- 230000002238 attenuated effect Effects 0.000 description 1
- 238000007796 conventional method Methods 0.000 description 1
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 1
- 229910052736 halogen Inorganic materials 0.000 description 1
- 150000002367 halogens Chemical class 0.000 description 1
- 239000004973 liquid crystal related substance Substances 0.000 description 1
- 239000012528 membrane Substances 0.000 description 1
- 238000001228 spectrum Methods 0.000 description 1
- 239000000758 substrate Substances 0.000 description 1
Images
Landscapes
- Length Measuring Devices By Optical Means (AREA)
- Investigating Materials By The Use Of Optical Means Adapted For Particular Applications (AREA)
- Instruments For Measurement Of Length By Optical Means (AREA)
Abstract
【解決手段】光源11からの出力光を、発散レンズ12およびコリメータレンズ14を介し平行光からなる測定光として被検体5に照射するとともに、被検体5を透過した光束を、収束レンズ16および撮像レンズ17を介し撮像カメラ18に取り込む。この撮像カメラ18は、被検体5の被検層を透過した光束のうち、該被検層に対し互いに略同一の位置を通過しつつ、該被検層の両面での反射回数の違いにより互いの光路長が該被検層の厚みの光学距離の2倍だけ異なる光束同士の光干渉によって得られる干渉縞を撮像する。この干渉縞に基づき、被検層の厚みや厚みムラを測定する。
【選択図】図1
Description
光源からの出力光を平行光からなる測定光として前記被検体に照射する測定光照射手段と、
前記被検層を透過した光束のうち、該被検層に対し互いに略同一の位置を通過しつつ、該被検層両面での反射回数の違いにより互いの光路長が該被検層の厚みの光学距離の2倍だけ異なる光束同士の光干渉によって得られる干渉縞を観察し得るように配された観察手段と、を備えてなることを特徴とする。
前記観察手段において観察される前記干渉縞の色情報に基づき、前記被検層の厚みまたは厚みムラを解析する解析手段が設けられている、とすることができる。
前記測定光照射手段は、前記低可干渉光源から出力された前記低可干渉光を2光束に分岐し、該2光束の一方を他方に対して所定の光路長分迂回させた後に1光束に再合波するパスマッチ経路部を有し、
前記所定の光路長は、該所定の光路長と前記被検層の厚みの光学距離の2倍との差が、前記低可干渉光の可干渉距離以下となるように設定されている、としてもよい。
図1は本発明の第1実施形態に係る厚み測定用光干渉測定装置の概略構成図であり、図2および図3はその光干渉の原理を示す模式図(図2は被検体が単層構造の場合を示し、図3は被検体が2層構造の場合を示している)である。
次に、本発明の第2実施形態について説明する。図4は本発明の第2実施形態に係る厚み測定用光干渉測定装置の概略構成図であり、図5および図6はその光干渉の原理を示す模式図(図5は被検体が単層構造の場合を示し、図6は被検体が2層構造の場合を示している)である。
次に、本発明の第3実施形態について説明する。図7は本発明の第3実施形態に係る厚み測定用光干渉測定装置の概略構成図である。なお、この第3実施形態を示す図7において、上記第2実施形態と概念的に共通する構成要素については、図4で用いた符号に付けた文字「A」を文字「B」に置き換えた符号を用いることとし、重複する部分については詳細な説明は省略する。
5,5A,5B 被検体
5Aa,5Ba 表面
5Ab,5Bb 裏面
10,10A,10B 測定系
11,11A,11B 光源
12,12A,12B 発散レンズ
13A,13B,31 ビームスプリッタ
14,14A,14B コリメータレンズ
15A,15B 反射基準板
15Aa,15Ba 反射基準面
16 収束レンズ
17,17A,17B 撮像レンズ
18 撮像カメラ
19 傾き調整ステージ
20,20A,20B 解析演算部
21,21A,21B 解析装置
22,22A,22B 画像表示装置
23,23A,23B 入力装置
30 パスマッチ経路部
32〜35 第1〜第4反射ミラー
36 位置調整機構(フリンジスキャン機構)
51 ベース層
52 膜層
L1〜L3,L11〜L14,L21〜L23,L31〜L35 光束
X,XA,XB 光軸
Claims (6)
- 姿勢が変化し得る状態で保持されたシート状の被検体において、測定対象となる所定の被検層の厚みまたは厚みムラを測定する厚み測定用光干渉測定装置であって、
光源からの出力光を平行光からなる測定光として前記被検体に照射する測定光照射手段と、
前記被検層を透過した光束のうち、該被検層に対し互いに略同一の位置を通過しつつ、該被検層両面での反射回数の違いにより互いの光路長が該被検層の厚みの光学距離の2倍だけ異なる光束同士の光干渉によって得られる干渉縞を観察し得るように配された観察手段と、を備えてなることを特徴とする厚み測定用光干渉測定装置。 - 前記光源は、白色光を出力する白色光源とされ、
前記観察手段において観察される前記干渉縞の色情報に基づき、前記被検層の厚みまたは厚みムラを解析する解析手段が設けられていることを特徴とする請求項1記載の厚み測定用光干渉測定装置。 - 前記光源は、前記被検層の厚みの光学距離の2倍よりも短い可干渉距離を有する低可干渉光を出力する低可干渉光源とされ、
前記測定光照射手段は、前記低可干渉光源から出力された前記低可干渉光を2光束に分岐し、該2光束の一方を他方に対して所定の光路長分迂回させた後に1光束に再合波するパスマッチ経路部を有し、
前記所定の光路長は、該所定の光路長と前記被検層の厚みの光学距離の2倍との差が、前記低可干渉光の可干渉距離以下となるように設定されている、ことを特徴とする請求項1記載の厚み測定用光干渉測定装置。 - 前記パスマッチ経路部において、前記2光束の一方の光路長を他方に対して微小変化させるフリンジスキャン機構が設けられていることを特徴とする請求項3記載の厚み測定用光干渉測定装置。
- 前記観察手段は、前記被検体に対し前記測定光照射手段とは反対側に配されていることを特徴とする請求項1〜4までのうちいずれか1項記載の厚み測定用光干渉測定装置。
- 前記被検体を挟んで前記測定光照射手段と対向する位置に、該測定光照射手段から前記被検体に向けて照射され該被検体を透過した光を再帰反射する反射基準面が配され、
前記観察手段は、前記被検体に対し前記測定光照射手段と同じ側に配されていることを特徴とする請求項1〜4までのうちいずれか1項記載の厚み測定用光干渉測定装置。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2007189414A JP5009709B2 (ja) | 2007-07-20 | 2007-07-20 | 厚み測定用光干渉測定装置 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2007189414A JP5009709B2 (ja) | 2007-07-20 | 2007-07-20 | 厚み測定用光干渉測定装置 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2009025181A true JP2009025181A (ja) | 2009-02-05 |
JP5009709B2 JP5009709B2 (ja) | 2012-08-22 |
Family
ID=40397119
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2007189414A Active JP5009709B2 (ja) | 2007-07-20 | 2007-07-20 | 厚み測定用光干渉測定装置 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP5009709B2 (ja) |
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2011133249A (ja) * | 2009-12-22 | 2011-07-07 | Yokogawa Electric Corp | 多層膜の膜厚測定方法およびその装置 |
Citations (6)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS5535214A (en) * | 1978-09-04 | 1980-03-12 | Asahi Chem Ind Co Ltd | Method and device for film-thickness measurement making use of infrared-ray interference |
JPS56111405A (en) * | 1980-02-06 | 1981-09-03 | Unitika Ltd | Method and device for measuring thickness of transparent film |
JPS6242006A (ja) * | 1985-08-19 | 1987-02-24 | Nippon Soken Inc | 光学薄膜の膜厚測定装置 |
JPH04313005A (ja) * | 1991-04-08 | 1992-11-05 | Mitsubishi Electric Corp | 膜厚測定装置 |
JP2004279297A (ja) * | 2003-03-18 | 2004-10-07 | Japan Science & Technology Agency | 膜厚取得方法 |
JP2005043081A (ja) * | 2003-07-23 | 2005-02-17 | Fujinon Corp | フリンジスキャン機能を備えた干渉計装置 |
-
2007
- 2007-07-20 JP JP2007189414A patent/JP5009709B2/ja active Active
Patent Citations (6)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS5535214A (en) * | 1978-09-04 | 1980-03-12 | Asahi Chem Ind Co Ltd | Method and device for film-thickness measurement making use of infrared-ray interference |
JPS56111405A (en) * | 1980-02-06 | 1981-09-03 | Unitika Ltd | Method and device for measuring thickness of transparent film |
JPS6242006A (ja) * | 1985-08-19 | 1987-02-24 | Nippon Soken Inc | 光学薄膜の膜厚測定装置 |
JPH04313005A (ja) * | 1991-04-08 | 1992-11-05 | Mitsubishi Electric Corp | 膜厚測定装置 |
JP2004279297A (ja) * | 2003-03-18 | 2004-10-07 | Japan Science & Technology Agency | 膜厚取得方法 |
JP2005043081A (ja) * | 2003-07-23 | 2005-02-17 | Fujinon Corp | フリンジスキャン機能を備えた干渉計装置 |
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2011133249A (ja) * | 2009-12-22 | 2011-07-07 | Yokogawa Electric Corp | 多層膜の膜厚測定方法およびその装置 |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JP5009709B2 (ja) | 2012-08-22 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
US9297647B2 (en) | Apparatus for detecting a 3D structure of an object | |
US7821647B2 (en) | Apparatus and method for measuring surface topography of an object | |
JP5087186B1 (ja) | 等光路干渉計 | |
US7130059B2 (en) | Common-path frequency-scanning interferometer | |
JP2008525801A5 (ja) | ||
EP1840502B1 (en) | Optical interferometer for measuring changes in thickness | |
CN114502912B (zh) | 混合式3d检验系统 | |
TWI452262B (zh) | 同時量測位移及傾角之干涉儀系統 | |
JP2013152191A (ja) | 多波長干渉計 | |
JP2008047653A5 (ja) | ||
JP5009709B2 (ja) | 厚み測定用光干渉測定装置 | |
JP2007298281A (ja) | 被検体の面形状の測定方法及び測定装置 | |
JP4810693B2 (ja) | 光波干渉測定装置 | |
JP3230983B2 (ja) | 光波干渉装置の被検体位置調整方法 | |
JP4781702B2 (ja) | 傾斜測定干渉計装置 | |
JP6483973B2 (ja) | コリメーション評価装置およびコリメーション評価方法 | |
JP4100663B2 (ja) | 絶対厚み測定装置 | |
JP2006023279A (ja) | 波面測定用干渉計装置、光ビーム測定装置および方法 | |
KR20140130294A (ko) | 포토마스크 투과율 측정 시스템 | |
JP5518187B2 (ja) | 変形計測方法 | |
JP3907518B2 (ja) | 形状測定装置 | |
TW202129222A (zh) | 混合式3d檢測系統 | |
JP2006284233A (ja) | システム誤差計測装置およびこれを備えた波面測定用干渉計装置 | |
JP2001349704A (ja) | 干渉計装置 | |
JP3354698B2 (ja) | 平面度測定装置 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20100415 |
|
A711 | Notification of change in applicant |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A711 Effective date: 20100621 |
|
A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20110819 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20110928 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20111128 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20120523 |
|
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20120531 |
|
R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 Ref document number: 5009709 Country of ref document: JP Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20150608 Year of fee payment: 3 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |