JP2009024246A - 金属ナノ粒子の製造方法 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】金属の錯体を気体状態にしてプラズマ雰囲気下で分解させることにより該金属のナノ粒子を生成させる。複数種類の金属の錯体を用いて、複数種類の金属から成る多元系金属ナノ粒子を生成させることができる。望ましくは、固体状の金属錯体を、上記プラズマ雰囲気を含む反応装置内で加熱により気化させて用いる。金属ナノ粒子の金属源として固体を用いることは、安全性、安定性、経済性、取り扱い利便性等の観点から最も望ましい。また、ナノコンポジット磁石の成分金属の一部として固体状の金属錯体で適したものが無い場合には、更に液体状の金属錯体を反応装置外で気化させてから反応装置内に導入することができる。
【選択図】図2
Description
本発明により下記の条件および手順でNdナノ粒子を作製した。
原料:Nd(TMOD)3 (*1)(固体) 200mg
(*1)正式名称:トリス(2,2,6,6−テトラメチル−3,5−オクタジオナト)ネオジウム
構造式:図1
RFプラズマ出力:200W
真空度:2.61E−2Torr
基板:KBr
プラズマ生成ガス:He(流量5.94sccm)
原料加熱坩堝温度:152℃
坩堝/基板間距離:100mm
生成時間:60sec
反応チャンバ内の原料加熱用坩堝内に原料Nd(TMOD)3を装入した後、反応チャンバを真空に減圧し、プラズマ生成ガスHeを導入し、RFプラズマ発生装置を所定出力で作動させてプラズマを生起させる。
(*B)トリス(ジピバロイルメタナト)ネオジウム
〔実施例2〕
本発明により下記の条件および手順でFeナノ粒子を作製した。
原料:Fe(TMOD)3 (*2)(固体) 200mg
(*2)正式名称:トリス(2,2,6,6−テトラメチル−3,5−オクタンジオナト)鉄
構造式:図4
RFプラズマ出力:200W
真空度:2.05E−1Torr
基板:KBr
プラズマ生成ガス:He(流量50sccm)
原料加熱坩堝温度:140℃
坩堝/基板間距離:100mm
生成時間:60sec
反応チャンバ内の原料加熱用坩堝内に原料Fe(TMOD)3を装入した後、反応チャンバを真空に減圧し、プラズマ生成ガスHeを導入し、RFプラズマ発生装置を所定出力で作動させてプラズマを生起させる。
(*D)トリス(イソブチリルピバロイルメタナト)鉄
(*E)トリス(ジピバロイルメタナト)鉄
〔実施例3〕
本発明により下記の条件および手順でFeBナノ粒子を作製した。
原料:Fe(TMOD)3(固体) 200mg
B(OC2H5)3 (*3)(液体) 流量5sccm(反応チャンバ外で気化して導入)(*3)正式名称:トリエトキシボロン
RFプラズマ出力:200W
真空度:1.68E−1Torr
基板:KBr
プラズマ生成ガス:He(流量50sccm)
Fe原料加熱坩堝温度:140℃
坩堝/基板間距離:100mm
生成時間:60sec
反応チャンバ内の原料加熱用坩堝内に原料Fe(TMOD)3を装入した後、反応チャンバを真空に減圧し、プラズマ生成ガスHeを導入し、RFプラズマ発生装置を所定出力で作動させてプラズマを生起させる。
本発明により下記の条件および手順でNdFeナノ粒子を作製した。
原料:Nd(TMOD)3(固体) 200mg
Fe(TMOD)3(固体) 200mg
RFプラズマ出力:200W
真空度:1.51E−1Torr
基板:KBr
プラズマ生成ガス:He(流量50sccm)
Nd原料加熱坩堝温度:145℃
Fe原料加熱坩堝温度:140℃
坩堝/基板間距離:100mm
生成時間:60sec
反応チャンバ内の2つの原料加熱用坩堝内にそれぞれ原料Nd(TMOD)3およびFe(TMOD)3を装入した後、反応チャンバを真空に減圧し、プラズマ生成ガスHeを導入し、RFプラズマ発生装置を所定出力で作動させてプラズマを生起させる。
実施例2と同様の条件および手順で、ただしRFプラズマ出力を200W、300W、400Wに変えて、Feナノ粒子の生成実験を行なった。処理後の基板上堆積物の(1)TEM像および(2)EELS分析チャートを、上記3通りのRFプラズマ出力についてそれぞれ図11、図12、図13に示す。
実施例2と同様の条件および手順で、ただし反応チャンバ内の真空度を2水準に変えて、Feナノ粒子の生成実験を行なった。処理後の基板上堆積物の(1)TEM像および(2)EELS分析チャートを、上記2水準の真空度についてそれぞれ図14、図15に示す。
実施例2と同様の条件および手順で、ただしプラズマ生成ガスHeの流量を3水準(5.5sccm、50sccm、500sccm)に変えて、Feナノ粒子の生成実験を行なった。(なお、Heガスの流量の変化に応じて真空度も5.68E−2Torr、2.05E−1Torr、6.15E−1Torrに変化した。)
処理後の基板上堆積物の(1A)(1B)TEM像および(2)EELS分析チャートを、上記3水準のHe流量についてそれぞれ図16、図17、図18に示す。TEM像(1A)と(1B)は同一視野であり、後者の方が高倍率である。
実施例2と同様の条件および手順で、ただし真空度およびHe流量を他水準に変えて、Feナノ粒子の生成実験を行なった。図19に、真空度とHe流量の種々の組み合わせについて、粒子の生成形態をまとめて示す。
Claims (4)
- 金属の錯体を気体状態にしてプラズマ雰囲気下で分解させることにより該金属のナノ粒子を生成させることを特徴とする金属ナノ粒子の製造方法。
- 請求項1において、複数種類の金属の錯体を用いて、該複数種類の金属から成る多元系金属ナノ粒子を生成させることを特徴とする金属ナノ粒子の製造方法。
- 請求項1または2において、固体状の金属錯体を、上記プラズマ雰囲気を含む反応装置内で加熱により気化させてから用いることを特徴とする金属ナノ粒子の製造方法。
- 請求項3において、更に液体状の金属錯体を、上記反応装置外で気化させてから該反応装置内に導入することを特徴とする金属ナノ粒子の製造方法。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2007191331A JP2009024246A (ja) | 2007-07-23 | 2007-07-23 | 金属ナノ粒子の製造方法 |
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JP2007191331A JP2009024246A (ja) | 2007-07-23 | 2007-07-23 | 金属ナノ粒子の製造方法 |
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Publication Number | Publication Date |
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JP2009024246A true JP2009024246A (ja) | 2009-02-05 |
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ID=40396338
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JP (1) | JP2009024246A (ja) |
Cited By (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
CN105081352A (zh) * | 2014-05-07 | 2015-11-25 | 中国科学院宁波材料技术与工程研究所 | 一种在基片上生长纳米颗粒的方法 |
RU2582870C2 (ru) * | 2014-07-16 | 2016-04-27 | Акционерное общество "Государственный Ордена Трудового Красного Знамени научно-исследовательский институт химии и технологии элементоорганических соединений" (АО "ГНИИХТЭОС") | Способ получения ферромагнитных металлических наночастиц с твердой изоляционной оболочкой |
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JPS62102827A (ja) * | 1985-10-29 | 1987-05-13 | Natl Res Inst For Metals | 金属窒化物微粒子の製造法 |
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JP2001504753A (ja) * | 1996-11-04 | 2001-04-10 | マテリアルズ モディフィケーション,インコーポレイティド | 超微粉のマイクロ波プラズマ化学合成 |
-
2007
- 2007-07-23 JP JP2007191331A patent/JP2009024246A/ja active Pending
Patent Citations (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
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