JP2009022055A - エレクトレットコンデンサー - Google Patents
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Abstract
【解決手段】半導体基板101及び薄膜で構成するエレクトレットコンデンサーにおいて、半導体基板101の中央部に、半導体基板101を選択的に除去したメンブレン領域113を備え、導電膜により、下部電極104と引出し配線115が設けられている。この下部電極104を、メンブレン領域113の内側に設けることにより、寄生容量を抑制することができる。これにより、高性能なECMを実現することができる。
また、シリコン窒化膜103、シリコン酸化膜105及びシリコン窒化膜106の端面は、半導体基板101と重なるように設けることにより、振動膜112の共振周波数特性を容易に制御することができ、小型かつ高感度のエレクトレットコンデンサーを実現することができる。
【選択図】図3
Description
固定膜110は、図2のFET20のゲートと電気的に接続しているので、FET20のゲート電位は、振動膜の振動により変化する。FET20のゲートの電位変化は外部出力端子29に電圧変化として出力されることとなる。
19 SMD
20 FET
21 プリント基板
22 ECMのケース
23 ECMの内部回路
24 出力端子
25 出力端子
26 外部端子
27 外部端子
28 端子
29 端子
30 端子
101 半導体基板
102 シリコン酸化膜
103 シリコン窒化膜
104 下部電極
105 シリコン酸化膜
106 シリコン窒化膜
107 リークホール
108 シリコン酸化膜
109 エアギャップ層
110 固定膜
111 アコースティックホール
112 振動膜
113 メンブレン領域
114 シリコン窒化膜
115 引出し配線
116 開口部
117 開口部
Claims (3)
- 周辺部を残すように除去された領域を有する半導体基板と、
前記領域を覆うように前記半導体基板上に形成された絶縁膜と、
前記絶縁膜表面に形成された電極膜とを備え、
前記電極膜は、前記半導体基板と重ならないように前記領域内に形成されていることを特徴とするコンデンサーマイクロフォン。 - 前記半導体基板と重なる周辺部には、前記電極膜から引き出された配線が形成されていることを特徴とする請求項1記載のコンデンサーマイクロフォン。
- 前記絶縁膜の端面は、前記領域の外側の前記半導体基板と重なる領域に形成されていることを特徴とする請求項1記載のコンデンサーマイクロフォン。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
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JP2008275125A JP4775427B2 (ja) | 2008-10-27 | 2008-10-27 | コンデンサーマイクロフォン |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
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JP2008275125A JP4775427B2 (ja) | 2008-10-27 | 2008-10-27 | コンデンサーマイクロフォン |
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JP2004251573A Division JP4244885B2 (ja) | 2004-08-31 | 2004-08-31 | エレクトレットコンデンサー |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2009022055A true JP2009022055A (ja) | 2009-01-29 |
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Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
KR101118627B1 (ko) * | 2011-05-12 | 2012-03-06 | 한국기계연구원 | Mems 마이크로폰 및 제조방법 |
Citations (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2000508860A (ja) * | 1996-04-18 | 2000-07-11 | カリフォルニア インスティチュート オブ テクノロジー | 薄膜エレクトレットマイクロフォン |
JP2001339796A (ja) * | 2000-05-29 | 2001-12-07 | Nippon Hoso Kyokai <Nhk> | コンデンサ型マイクロフォン |
JP2002027595A (ja) * | 2000-07-04 | 2002-01-25 | Nippon Hoso Kyokai <Nhk> | 圧力センサおよびその製造方法 |
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Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
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A621 | Written request for application examination |
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RD01 | Notification of change of attorney |
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