JP2009018969A - オゾンシステムおよび、オゾンシステムの吸着筒パージ方法 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】酸素濃縮装置6と、オゾン発生装置7と、オゾン利用装置8と、オゾン分解装置10とでオゾンシステム1が構成され、上記オゾンシステム1の運転を停止する際に、上記酸素濃縮装置6の吸着筒24内に残存する水分を除去すべく、上記バッファタンク5に貯蔵した高濃度酸素あるいは上記コンプレッサ2からの圧縮空気をパージガスとして上記吸着筒24に流すオゾンシステム1の吸着筒24パージ方法において、上記パージガスを、上記オゾン分解装置10の廃熱を用いて加熱した後、上記吸着筒24に流すものである。
【選択図】図1
Description
まず、図1および図2に基づき、第1の実施形態のオゾンシステム(以下、オゾン水洗浄システムという)の概略構造を説明する。
次に、図3および図4に基づき第2の実施形態を説明する。
2 コンプレッサ
4 SPA本体
5 バッファタンク
6 酸素濃縮装置
7 オゾン発生装置
8 オゾン利用装置
9 オゾン分解触媒
10 オゾン分解装置
12,52 パージガス取出し管
13 パージガス加熱器
14 パージガス戻し管
24 吸着筒
36 窒素吸着剤
Claims (6)
- コンプレッサからの圧縮空気を窒素吸着剤が充填された吸着筒に供給して高濃度酸素を製造し該高濃度酸素をバッファタンクに貯蔵する酸素濃縮装置と、その酸素濃縮装置から供給される高濃度酸素よりオゾンを製造するオゾン発生装置と、そのオゾン発生装置から供給されるオゾンを利用するオゾン利用装置と、そのオゾン利用装置から排出されるオゾンをオゾン分解触媒により分解するオゾン分解装置とでオゾンシステムが構成され、
上記オゾンシステムの運転を停止する際に、上記酸素濃縮装置の上記吸着筒内に残存する水分を除去すべく、上記バッファタンクに貯蔵した高濃度酸素あるいは上記コンプレッサからの圧縮空気をパージガスとして上記吸着筒に流すオゾンシステムの吸着筒パージ方法において、
上記パージガスを、上記オゾン分解装置の廃熱を用いて加熱した後、上記吸着筒に流すことを特徴とするオゾンシステムの吸着筒パージ方法。 - 上記オゾン分解装置が、上記オゾン分解触媒を加熱するためのヒータを有し、
上記パージガスの加熱を、上記パージガスを上記酸素濃縮装置から上記オゾン分解装置に送り、その送られたパージガスを上記ヒータが停止した後の上記オゾン分解触媒の余熱で加熱し、その加熱されたパージガスを上記酸素濃縮装置に戻して行う請求項1記載のオゾンシステムの吸着筒パージ方法。 - 上記オゾン分解装置で加熱されるパージガスが、上記コンプレッサで圧縮された圧縮空気からなり、
上記オゾンシステムの運転を停止する際に、上記コンプレッサを所定時間だけ継続して運転する請求項1または2記載のオゾンシステムの吸着筒パージ方法。 - コンプレッサからの圧縮空気を窒素吸着剤が充填された吸着筒に供給して高濃度酸素を製造し該高濃度酸素をバッファタンクに貯蔵する酸素濃縮装置と、その酸素濃縮装置から供給される高濃度酸素よりオゾンを製造するオゾン発生装置と、そのオゾン発生装置から供給されるオゾンを利用するオゾン利用装置と、そのオゾン利用装置から排出されるオゾンをオゾン分解触媒により分解するオゾン分解装置とを備え、
運転を停止する際に、上記酸素濃縮装置の吸着筒内に残存する水分を除去すべく、上記バッファタンクに貯蔵した高濃度酸素あるいは上記コンプレッサからの圧縮空気をパージガスとして上記吸着筒に流すオゾンシステムにおいて、
上記酸素濃縮装置から上記オゾン分解装置にパージガスを送るためのパージガス取出し管と、そのパージガス取出し管で送られたパージガスを上記オゾン分解装置の廃熱を用いて加熱するパージガス加熱器と、そのパージガス加熱器で加熱されたパージガスを上記酸素濃縮装置に戻すためのパージガス戻し管とを備えたことを特徴とするオゾンシステム。 - 上記オゾン分解装置が、上記オゾン分解触媒を加熱するためのヒータを有し、
上記パージガス加熱器が、上記オゾン分解触媒に取り付けられ、そのオゾン分解触媒の熱で上記パージガスを加熱する請求項4記載のオゾンシステム。 - 上記運転を停止する際に上記コンプレッサを所定時間だけ継続して運転するためのコントローラを備え、
上記パージガス取出し管が、上記コンプレッサと上記オゾン分解装置とを繋ぐ請求項4または5記載のオゾンシステム。
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