JP2009015329A - 非エッチ・フラット偏光選択型回折光素子 - Google Patents

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Abstract

【課題】偏光選択型回折光素子を提供する。
【解決手段】偏光選択型回折光素子は、基板によって支持された液晶重合体膜を備えている。液晶重合体膜は、複数のピクセルのアレイを備えており、ピクセルの各々は、固定された液晶配向子で、該液晶配向子の各々が液晶重合体膜に対して直角の共通面内に配向され、予め決められた面外傾斜パターンを提供するように符号化されている。アレイ内のピクセルのサイズおよび予め決められたパターンは、液晶重合体膜が、前記共通面に平行に偏光された回折光に対しては位相ホログラムを形成し、また、前記共通面に直角に偏光された光に対しては第ゼロ次数回折格子を形成するように選択される。非エッチ・フラット位相ホログラムは、広範囲にわたるアプリケーションに適している。
【選択図】図2a

Description

本出願は一般に回折光素子に関し、詳細には非エッチ・フラット偏光選択型回折光素子に関する。
本出願は、参照により本明細書に組み込まれている、2007年7月3日に出願した米国仮出願第0/947,690号の優先権を主張するものである。
プログラム可能液晶(LC)ベース空間光変調器(SLM)の上に符号化された回折格子およびより複雑な薄いホログラムは、光ビームの波面を変えるための方法の1つとして積極的に研究されている。たとえば、これらのLC/SLMは、適応性光学位相修正のために使用することができ、もしくは合成位相アレイに、または電気通信ビーム方向付けスイッチに使用することができる。LC/SLMは、通常、微小ピクセル・ピッチ要求事項を提供するために、透過型マイクロ・ディスプレイ・パネルまたは反射型マイクロ・ディスプレイ・パネルのいずれかに基づいている。LC配向子(director)の面内(in−plane)回転を備えたLC(たとえばネマティックLCおよび強誘電性LCを使用した面内スイッチング(IPS)など)、およびLC配向子の面外(out−of−plane)回転を備えたLC(たとえば面配向すなわち平行配向(PA)および垂直配向(VA)ネマティックLC)の両方が利用されている。強誘電性LC(FLC)は、ホログラムが2つの位相レベルを使用して構成される場合、偏光に対して鈍感になることがある。光源が未知の偏光すなわちスクランブルされた偏光を有しているシステム、たとえば電気通信ネットワークに使用されるビーム方向付けスイッチなどの場合、この偏光鈍感性は、場合によっては重要である。一方、面外スイッチング・ネマティックLC(たとえばPAおよびVAネマティックLC)は、偏光に対して敏感であることが知られているため、これらのLC/SLMの上に記録されるホログラムには、通常、既知の偏光が必要である。したがって、これらのタイプのLCホログラムが有用であるのは、通常、光源が偏光される光学システムおよび計装においてのみである。
LC/SLMの上に符号化されたプログラム可能な薄いホログラムは、極めて汎用性に富んでいるが、これらの能動要素は、多くのアプリケーションに対して費用有効性が低い。また、これらのプログラム可能な薄いホログラムは、比較的微小な方向付け角を提供することが知られている。たとえば、最新技術によるシリコン上LC(LCoS)パネルは、そのピクセル・ピッチを10μmより小さくすることができ、0.5μmの波長で、1格子周期当たり最小2ピクセルを利用して、約1.4度の最大ビーム偏向角を提供している。他のすべてのプログラム可能ホログラム出力(たとえば再生と呼ばれている)は、さらに小さい偏向角を有することができる。
しかしながら、これらの能動デバイスに基づく受動回折格子またはホログラムを形成する関心が存在している。たとえば、米国特許第6,304,312号によれば、それぞれアライメント層がコーティングされた2つの透明基板の間に液晶単量体を注入することによって回折格子が形成されている。一例では、アライメント層は一様であり、回折格子は、透明基板の上に提供されている、パターン化された電極に電圧を印加することによって達成されている。他の例では、回折格子は、パターン化されたアライメント層(たとえばフォトリソグラフィ技法を使用してパターン化されたアライメント層)を使用して達成されている。液晶層が配向されると、それらが重合および/または交差結合され、それにより配向が固定される。この参考文献の場合、液晶重合体ピクセルは、ホメオトロピック配向(つまり基板に対して直角の配向)または面配向(つまり基板に平行の配向)のいずれかを有するように制限されていることに留意されたい。得られる2値格子(たとえば約8μmのピッチを有する格子)は、約40パーセントの回折効率しか提供しないことが報告されている。
もっと最近では、さらに微小なピクセル・ピッチ(たとえば1μm以下)を有するパターン化光アライメント層が提案されている。たとえば、米国特許第7,375,784号にマイクロ・パターン化アライメント層が開示されている。このアライメント層は、ホメオトロピック配向(つまり基板に対して直角の配向)および面配向(つまり基板に平行の配向)のみを有するように制限されているが、一定の範囲の面外角度を使用して液晶を配向させることができる。より詳細には、下方に位置しているホメオトロピック配向領域および面配向領域の平均面積によって液晶の局部配向が決定されることが言及されている。残念ながら、液晶の配向は、異なる領域の平均に関係しているため、アライメント層を正確にパターン化することができず、したがって多くのアプリケーションに対して適切ではない。
実際、受動ホログラムを必要とするほとんどのアプリケーションは、精度を最適化し、かつ、費用有効性を高くするために、物理的な階段を備えた回折光素子を使用している。残念ながら、これらの回折光素子を形成するために使用されるエッチング・プロセスおよび/または成形プロセスは、比較的複雑で、かつ、時間を消費するプロセスである。さらに、表面レリーフ構造には、通常、繊細な構造を保護するための複雑な光薄膜コーティング・プロセスが必要である。
米国特許第6,304,312号 米国特許第7,375,784号
薄膜格子またはホログラムを製造するための、比較的単純で、かつ、低コストであり、かつ/または広範囲にわたるアプリケーションに適した方法が提供されることが有利である。
本発明は、薄い液晶重合体層を使用して回折格子および/またはホログラムを形成する方法に関している。一実施形態では、フォトマスクを介して非法線入射の直線偏光に既に照射済みのアライメント層の上に薄い液晶重合体が形成される。この実施形態では、フォトマスクは、光がアライメント層の異なる領域に異なるエネルギー密度で入射するようにパターン化されている。有利には、異なるエネルギー密度で照射されたアライメント層の個々の領域は、アライメント層の上にコーティングされた液晶重合体のうちの該個々の領域の上方に位置している領域に、異なる面外傾斜角を提供する。したがって、0度と90度の間の複数の傾斜角を有するホログラムが高い精度で容易に形成される。したがって、広範囲にわたるアプリケーションのための比較的複雑なホログラム構造が容易に設計される。また、エッチングおよび/または成形を必要とすることなく、単一の基板の上に液晶重合体膜がコーティングされ、かつ、パターン化されるため、得られるホログラムはフラットであり、低コストで提供することができる。
また、本発明は、これらの非エッチ・フラット(NEF)ホログラムを使用して形成される、液晶(LC)面外傾斜が横空間座標により予め決められた方法で変化する回折光素子に関している。一実施形態では、得られる薄いNEF回折光素子は、所与の方位面に沿って配向されたホログラムの個々のピクセルにLC配向子を有している。LC配向子が分布しているこの方位面も傾斜面である。連続的に符号化され、あるいはピクセル化された方法で符号化されたリターダンスの可変量によって影響されるのは、傾斜した面に沿って偏光された光線のみである。リターダンスの可変量は、横空間座標の関数としての可変光路長変調を表している。それに対して、傾斜した面に直角の方向に沿って偏光された光線は、LCディレクトの傾斜に無関係に常光線屈折率のみをサンプルする。可変光路長変調は存在せず、この直交偏光は、本質的に、第ゼロ次数格子に遭遇することになる。つまり、これらの高周波格子は偏光選択型である。第1の直線偏光の場合、入射光線は、非第ゼロ次数位置へ回折することができ、一方、第2の直交直線偏光の場合、入射光線は回折せず、それらの光エネルギーは、第ゼロ回折次数内に保存される。
また、本発明は、様々なアプリケーションにおけるNEF回折格子および/またはホログラムの使用に関している。
本発明の一態様によれば、基板と、基板上に配置されたアライメント層と、アライメント層上に配置された液晶重合体膜とを備えた偏光選択型回折光素子が提供される。液晶重合体膜は、液晶重合体膜の表面に直角の第1の面に平行に配向された複数の液晶配向子を備えている。複数の液晶配向子の面外傾斜は、液晶重合体膜が偏光選択型位相ホログラムを形成するように選択される予め決められたパターンで、横空間座標により変化する。第1の偏光を有する直線偏光は、液晶重合体膜の空間的に別個の第1および第2の領域を一定の相対位相遅延で透過して非第ゼロ次数の回折出力を提供し、第2の偏光を有する直線偏光は、空間的に別個の第1および第2の領域を実質的にゼロ相対位相遅延で透過して第ゼロ次数の回折出力を提供する。第1の偏光は第1の面に平行であり、第2の偏光は第1の偏光に対して直角である。第1の領域には第1の液晶配向子が含まれており、第2の領域には第2の液晶配向子が含まれている。第1および第2の液晶配向子は、異なる面外傾斜を有している。
本発明の他の態様によれば、直線偏光UV光を使用して、フォトマスクを介して、傾斜した角度でアライメント層を照射するステップと、照射されたアライメント層の上に、液晶重合体前駆体を含有した液晶層をコーティングするステップと、液晶重合体膜を形成するために液晶層を照射するステップであって、液晶重合体膜が、液晶重合体膜の表面に直角の第1の面に平行に配向された複数の液晶配向子を備え、複数の液晶配向子の面外傾斜が、液晶重合体膜が偏光選択型位相ホログラムを形成するように選択される予め決められたパターンで、横空間座標により変化するステップとを含む、偏光選択型回折光素子を製造する方法が提供される。第1の偏光を有する直線偏光は、液晶重合体膜の空間的に別個の第1および第2の領域を一定の相対位相遅延で透過して非第ゼロ次数の回折出力を提供し、第2の偏光を有する直線偏光は、空間的に別個の第1および第2の領域を実質的にゼロ相対位相遅延で透過して第ゼロ次数の回折出力を提供する。第1の偏光は第1の面に平行であり、第2の偏光は第1の偏光に対して直角である。第1の領域には第1の液晶配向子が含まれており、第2の領域には第2の液晶配向子が含まれている。第1および第2の液晶配向子は、異なる面外傾斜を有している。
本発明の他の態様によれば、基板と、基板によって支持された、有限の数の異なる液晶配向子配列を使用して符号化された複数のピクセル領域のアレイを有する薄い平らな膜の形態の液晶層とを備えた偏光選択型回折光素子が提供される。個々のピクセル領域の液晶配向子配列は、そのピクセル全体にわたって実質的に一様で、かつ、恒久的である。個々のピクセル領域の液晶配向子配列は、アレイに入射する、液晶配向子の前記面に平行に偏光される直線偏光に位相遅延を付与し、かつ、アレイに入射する、液晶配向子の面に直角に偏光される直線偏光に影響を及ぼす位相遅延を実質的に有さないよう、基板の表面に直角の共通面に位置している。ピクセル・アレイ内における位相遅延の取り合わせ、ピクセルのサイズおよびピクセルの形状は、液晶配向子の面に平行に偏光される光に対しては液晶層が非第ゼロ次数の回折出力を提供し、また、液晶配向子の面に直角に偏光される光に対しては液晶層が第ゼロ次数の回折出力を提供するように予め決定される。
本発明の他の態様によれば、第1の偏光を有する直線偏光を放出するための光源と、直線偏光を平行にするためのコリメータ・レンズと、平行にされた直線偏光を光ディスク上に集束させるための対物レンズと、コリメータ・レンズと対物レンズの間に配置された、光ディスクで反射した光が第1の偏光に対して直角の第2の偏光を有する直線偏光として第1のレンズに向かって透過するよう、4分の1波長リターダンスを提供するための4分の1波長板と、コリメータ・レンズと4分の1波長板の間に配置された偏光選択型回折光素子とを備えた光ピックアップ・ユニットが提供される。偏光選択型回折光素子は、基板と、基板の上に配置されたアライメント層と、アライメント層の上に配置された液晶重合体膜とを備えており、液晶重合体膜は、液晶重合体膜の表面に直角の第1の面に平行に配向された複数の液晶配向子を備えている。複数の液晶配向子の面外傾斜は、液晶重合体膜が偏光選択型位相ホログラムを形成するように選択される予め決められたパターンで、横空間座標により変化する。偏光選択型回折光素子は、第1の偏光が第1の面に対して直角に偏光されるように配置されており、また、偏光選択型位相ホログラムが、第1の偏光を有する直線偏光に対してはゼロ次数回折を提供し、第2の偏光を有する直線偏光に対しては非第ゼロ次数回折を提供するように配置されている。非第ゼロ次数回折は、第2の偏光を有する直線偏光を光源から遠ざかる方向にその方向を変え、検出器の方向に向けるだけの十分なビーム偏向を提供する。
本発明の他の特徴および利点は、添付の図面を参照して行う以下の詳細な説明から明らかになるであろう。
添付のすべての図面を通して、同様の特徴は同様の参照数字で識別されていることに留意されたい。
図1は、従来技術による薄い液晶(LC)ホログラム構造を示したもので、回折ベクトルに沿った厚さ断面図である。回折ベクトルは、光が回折効果によって分散する面である。また、回折ベクトルは、1D格子またはホログラムのピクセル化方向である。ホログラム5は基板1を備えており、基板1の上に、可変方位LC配向子配向を有する複数のピクセルのアレイ10が配置されている。図の11、12、13および14は、4つの離散方位LC配向子配向を示したものである。より詳細には、図の面(XZ−平面)に投影されたLC屈折率楕円体が示されている。ピクセル11は、X−軸に平行に配向されたその投影配向子を有しており、一方、ピクセル13は、Y−軸に平行に配向されたその投影配向子を有している。他の2つの状態であるピクセル12および14は、XY平面に含まれ、かつ、X−軸およびY−軸のいずれにも平行ではないそれらの投影配向子を有している。ホログラム素子5は、さらに、透過効率を改善するためのARコーティング・スタック2および3を備えている。
動作中、Z−軸に沿って入射する光線20がホログラムによって空間的にサンプルされ、空間位相符号化により、ビームが出力光線21として角度22で方向付けされる。ホログラムの設計に応じて、出力光線21に加えて、それ以外の他の回折次数を出力に存在させることも可能であることに留意されたい。また、この出力には、回折の無効力性によって生じる第ゼロ次数(非回折)光が含まれることもある。
この従来技術によるLCホログラムのキーとなる特徴は、すべてのピクセルが可変LC配向子方位配向を備えたA−プレート(つまり、その異常軸が層の平面に平行に配向された光リタデーション素子)またはO−プレート(つまり、その異常軸が層の平面に対して斜めに配向された光リタデーション素子)のいずれかとして構成されることである。つまり、LC配向子の面外傾斜の変化は存在しない。図1bを参照すると、複数のピクセルに跨るLC配向子方位配向の変化が示されている。4つの離散ピクセル状態11、12、13および14は、ホログラム・ベクトル25に対してそれぞれ約0度、45度、90度および135度で配向されたそれらのLC配向子を有している。
図1aおよび1bに示されているホログラム構成は、偏光に敏感であることに留意されたい。詳細には、1つの円偏光に対して、4つのピクセル状態が連続的に進む位相分布を表し、したがって1つの方向に向かって光が方向付けされることが期待される。円偏光の相対する左右像に対しては、同じ4つのピクセル符号化が、連続的に遅延する位相分布を表し、対称次数に光が方向付けされる。しかしながら、このLC格子は偏光に対して敏感であるが、偏光選択型ではない。入射する偏光に対する完全な制御をたとえ有しているとしても、回折効果を完全に遮断することはできない。2つの円固有偏光は、常に対称パターンに対して再生する。他の偏光(直線偏光、あるいは一般的には楕円偏光)は、2つの円状態の組合せであり、したがって2つの円偏光出力の何らかの混合に対して再生する。入力偏光を選択して、すべての光パワーを非回折次数の中に保存することはできない。
図2aおよび2bを参照すると、本発明の一実施形態による偏光選択型ホログラムが示されている。図2aは、格子ベクトル45に沿った断面図である。ホログラム30は基板31を備えており、基板31の上に、連続的に変化する層、つまりピクセル化されたLC層40が配置されている。ホログラム素子30は、さらに、透過効率を改善するためのARコーティング・スタック32および33を備えている。偏光選択性は、異なるピクセル内のLC配向子を可変量の面外傾斜を使用して配向し、かつ、一様な方位配向を維持することによって提供される。面外傾斜角がそれぞれ約0度、33.6度、53.1度および90度の4つの離散ピクセル状態41、42、43および44が示されている。公称λ=400nmでは、常光線屈折率nおよび異常光線屈折率nの屈折値は、それぞれ1.61および1.75であり、したがってこれらの4つのピクセルによって、A−プレート構成のピクセル41に対して、単位長当たり[0 −0.0461 −0.0921 −0.1382]位相差がもたらされる。LCの膜厚が約2.17μmの場合、これらの4つのピクセルによって[0、π/2、π、3π/2]位相符号化が提供される。これらの位相符号化は、4レベル位相限定ホログラムの場合、最適離散状態である。
動作中、Z−軸に沿って入射するX偏光入力光50は、偏向角52で主回折次数51に方向付けされる。ホログラムの設計に応じて、51に加えて、それ以外の他の回折次数を出力に存在させることも可能であることに留意されたい。また、この出力には、回折の無効力性によって生じる第ゼロ次数(非回折)光が含まれることもある。直交直線偏光入力(たとえばY偏光)の場合、LCホログラム30は、光路長変調を提供しない。この光は、回折することなく、第ゼロ次数出力の中に含まれる。つまり、LCホログラムを複数の可変傾斜符号化ピクセルのアレイとして構成することにより、薄いホログラムは偏光選択型になる。1つの直線偏光の場合、ホログラムは回折する。直交直線偏光の場合、ホログラムは高度に透明である。
図2bを参照すると、傾斜面46は、ホログラム・ベクトル45に平行である。一連の暗い矢印は、実効面内複屈折を表している。より一般的には、ホログラム・ベクトルは、光線が回折する方向を表しており、一方、傾斜の面は、LCホログラムを見る直線偏光を表している。回折する直線偏光は、傾斜面に平行に配向される。傾斜面に直角の直線偏光は回折しない。
図2cを参照すると、本発明の他の実施形態による偏光選択型ホログラムが示されている。この実施形態では、LCホログラム35のホログラム・ベクトル45aはX−軸に平行であるが、傾斜面46aは、ホログラム・ベクトルに対して方位オフセット57を有するように選択されている。したがって、傾斜面46aに平行に偏光された光線は、格子ベクトル46aに平行の面に沿って回折する。個々のピクセル内のLC配向子の面外角度はピクセル間で変化するが、LC配向子の方位角はピクセル間で同じであることに留意されたい。
図3を参照すると、本発明の一実施形態による平らな非エッチ偏光選択型回折光素子(たとえばホログラム)を製造するためのシステムが示されている。光学的構成60は、製造中のデバイス65を支持するためのマウント、直線偏光紫外(LPUV)光露光システム70およびフォトマスク75を備えている。製造中のデバイス65は基板66を備えており、基板66の上に、線状光重合可能(LPP)アライメント層67が付着されている。LPUV露光システム70は、UV光源71、コリメータ・レンズ72およびUV偏光子73を備えている。フォトマスク75は、変化レベルの光を予め決められた方法でアライメント層に提供するようにパターン化されている。詳細には、フォトマスク75は、可変レベルのエネルギー密度を横空間座標の関数としてアライメント層に提供するようにパターン化されている。一実施形態では、フォトマスク75は、可変透過率マスクである。他の実施形態では、フォトマスク75は、可変サイズ開口マスクである。
動作中、光源71は、LPUV光を基板66の表面に斜めの角度から提供する。この実施形態では、水平の基板に対して傾斜した光源が示されている。他の実施形態では、基板が光源に対して傾斜している。非法線LPUV光が入射し、そのエネルギー密度線量によってアライメント層67に変化が誘導され、それにより、次に付着されるLCP前駆体層中のLC配向子が斜めの角度(何がしかの方位角で基板の面外で傾斜した角度)で配向される。この実施形態では、UV偏光子73は、図の面(つまり入射面)に平行に偏光されたUV光を大きい透過率で透過させるように配向されている。この構成によれば、通常、LPP材料の化学的性質に応じて、次に付着されるLCP層のLC配向子がLPUVの入射面に平行または直角の方位面内に配向されることになる。LC配向子の実際の面外傾斜は、LPPアライメント層67に引き渡されるLPUVエネルギー密度線量によって決まる。フォトマスク75は、様々なエネルギー密度を予め決められたパターンでアライメント層67に提供するため、可変面内リターダンスを有する空間可変傾斜LCP膜が得られる。LC配向子の面外傾斜は、膜全体にわたって予め決められた方法で変化するが、LC配向子の方位角は、たとえば図2bおよび2cに示されているように一定である。たとえば、一実施形態では、LC配向子は単一の方位面に沿って均質に配向されるが、傾斜角は可変である。この方法でLPP層がLPUVに露光されると、液晶重合体前駆体の薄い層がアライメント層の上にコーティングされる。次に、この層がUV光(たとえばこのUV光は必ずしも偏光させる必要はない)に露光され、それによりLCP前駆体が交差結合し、LC配向子が予め決められた傾斜角度で固定される。したがって、この方法によれば、単一の基板によって支持された薄いLCP層の上に回折格子およびより複雑な薄いホログラムを符号化することができ、広範囲にわたるアプリケーションに適した安定した回折光素子が提供される。また、LCP膜を支える必要があるのは単一の基板のみであるため、薄いNEF偏光選択型回折素子を他の光学系と容易に統合することができる。
この製造技法は、後続するUV照射による交差結合によってLCPに変換されることが好ましいLCP前駆体を参照して説明されていることに留意されたい。通常、LCP層は、当分野で知られている任意のLPPおよび液晶化合物を使用して形成することができ、液晶化合物は、UV照射および/または熱によって重合および/または交差結合させることができる。たとえば、一実施形態では、LPP層は、シクロペンタノン中のLPPの2重量%溶液をガラス基板の上にスピン塗布し(たとえば3000RPMで60秒間)、厚さ50nmのアライメント層を得ることによって形成される。他の実施形態では、LPP層は、ワイヤ・コーティング、グラビア・コーティング、スロット・コーティング等々などの他のコーティング方法を使用して形成される。ケイ皮酸誘導体および/またはフェルラ酸誘導体を含有していることがしばしばであるLPP層は、当分野で良く知られている。本発明によれば、LPP層は、次に加えられるLC層またはLCP層中に面外傾斜を生成するタイプの層であってもよい。Rolic(Allschwil、CH)から、LPP層の形成に適した様々な化合物を入手することができる。一実施形態では、フォトマスクを介したLPUVの照射に先立って、LPPがコーティングされたガラスが予め決められた時間の間(たとえば5分間)、予め決められた温度(たとえば180度)で焼き付けられる。一実施形態では、LPPは2つのステップ・プロセスで照射される。第1のステップでは、フォトマスクを使用することなく層が直線偏光に露光される(たとえば標準の開口を介して露光され、それによりすべての位置の傾斜角が最も低い角度に設定される)。第2のステップでは、フォトマスクを介して層が直線偏光に露光される(たとえば、選択された、フォトマスクの透過領域に対応する位置の傾斜角を最も高い角度に設定するために)。この実施形態では、第1および第2の照射ステップで露光される領域では、第1の照射ステップでのみ露光される領域と比較して、引き渡される総エネルギー密度(すなわち線量)をより高くすることができる。通常、必要なエネルギー密度および照射波長はLPPの材料で決まる。通常、エネルギー密度は、典型的には30mJ/cm2と300mJ/cm2の間であり、また、波長の範囲は、典型的には280nmと365nmの間である。上で示した実施形態では、フォトマスクは、可変量のエネルギーを提供するようにパターン化されている。他の実施形態では、フォトマスクが基板に対して移動し、それにより可変量のエネルギーを提供している。いずれの場合においても、LPUVの入射角は、通常、20度と60度の間である。上で説明したように、照射されたLPP層が次にコーティングされるLCP層のための配向層として使用される。一実施形態では、LCP層は、液晶重合体前駆体を含有した液晶材料から形成される。たとえば交差結合が可能なジアクリル酸メナティック液晶化合物を含むことができるLCP前駆体材料については、当分野で良く知られている。本発明によれば、LCP材料は、傾斜を誘導するLPP層に適切に応答することができるタイプの材料であってもよい。Rolic(Allschwil、CH)から、LCP層の形成に適した様々なLCP前駆体化合物を入手することができる。一実施形態では、LCP前駆体層は、15重量%アニソール溶液としてLPP層の上に回転塗布される。他の実施形態では、LCP層は、ワイヤ・コーティング、グラビア・コーティング、スロット・コーティング等々などの他のコーティング方法を使用して形成される。次に、得られたLLP/LCPデバイスは、通常、予め決められた時間の間、焼き付けられ(つまり焼きなましされ)、LPPアライメント層へのLCPの良好な配向が促進される。有利には、後続するLCP層の光化学交差結合は、高出力照明および短波長レーザ露光の下での信頼性が改善されるとされている。
図4は、LPP/LCPシステムに対するLPUV露光線量の応答曲線の一例を示したものである。実線は、LPUV線量密度を関数とした面内複屈折をプロットしたものである。可変リターダを生成する場合、LPUV線量密度は、横空間座標に対応する。実効面内複屈折は、デバイス面に全LC屈折率楕円体を投影することによって得られる。LPUVエネルギー密度の増加に伴う実効複屈折の減少は、面外LC配向子の傾斜がLPUVエネルギー密度と共に急峻になることを意味している。図4のダッシュ線は、LC配向子傾斜をプロットしたものである。
通常、フォトマスク75は、意図するアプリケーションに応じてパターン化することができる。一実施形態では、フォトマスク75は、可変エネルギー密度をピクセル化された方法でアライメント層67に提供するようにパターン化される。他の実施形態では、フォトマスク75は、可変エネルギー密度を連続的にグレード化された方法でアライメント層67に提供するようにパターン化される。一実施形態では、ピクセルは周期的に配置されている(たとえば一定の間隔で配置されている)。他の実施形態では、ピクセルは非周期的に配置されている(たとえば無作為に、または予め決められたパターンで配置されている)。有利には、フォトマスク75を使用することにより、極めて多数の位相特性レベルを使用して、かつ、高い精度でLCP層をパターン化することができる。一実施形態では、フォトマスク75は、2つのレベルの位相特性を提供するようにパターン化される。他の実施形態では、フォトマスク75は、2より大きいレベルの位相特性を提供するようにパターン化される。通常、ほとんどのアプリケーションには、合理的な回折効率を提供するために少なくとも4つのレベルの位相特性が必要である。以下、回折効率に対する位相特性のレベルについて説明する。
最も単純な薄いホログラムは通常の格子であり、格子周期は、存在している別個の位相レベルの数と同じ数のピクセルを有している。位相限定格子は、キノフォーム(kinoform)とも呼ばれている。回折表現式は、m−レベル格子はp−次数回折出力を、
Figure 2009015329
の効率η で生成することを予測している。上式で、sinc(x)はsin(x)/x、sinc(0)=1、p=...−2m+1、−m+1、1、m+1、2m−1、...である。
p−次数回折角は、
Figure 2009015329
によって制御される。上式で、λは照明の波長であり、Λは格子周期(すなわちピッチ)である。微小角度近似(たとえばsin(θ)〜θ)および焦点距離がfのフーリエ変換レンズを取ると、
Figure 2009015329
である。上式で、Δxは回折出力の空間並進であり、また、wはピクセル・ピッチであり、上記表現式は、それぞれ1Dホログラム再生および2Dホログラム再生に対して、
Figure 2009015329
で一般化することができる。上式で、(σ、τ)は、第ゼロ次数複製領域内における分数ホログラム主回折次数位置を表しており、また、fλ/wは、光軸を中心とする物理的サイズである(たとえば、K.L.Tan et al.、「Dynamic holography for optical interconnections.II.Routing holograms with predictable location and intensity of each diffraction order,」J.Opt.Soc.Am.A、18(1)、205〜215頁、2001年を参照されたい)。分数次数は、±1/2複製領域内に位置している。この表記法においては、空間サンプリングおよび複製(つまりホログラム記録デバイスおよびホログラム再生のアーチファクト)は、ホログラム生成から非干渉化されている。すべてのmレベル位相階段が格子内に存在し、かつ、利用可能な総位相範囲が2π(m−1)/mであり、また、個々の符号化セルが100%ピクセル−フィル・デューティ・サイクル比を有していない限り、第1の再生次数の回折効率は、格子記録毎に、式(1)の予測より低くなる。
LCホログラム記録および再生操作が理想化されている(無損失)と仮定すると、いくつかの位相限定格子に対する理想第1次数回折効率は、
Figure 2009015329
で与えられる。したがって、ホログラム再生をより有効にするためには、別個の位相レベルの数を8より大きくしなければならない。
図5は、4レベル位相限定ホログラムを示したものである。上側のプロットは、傾斜面に沿ったLC配向子の配向を示す側面図を示している。面外極角傾斜特性である下側のプロットは、無損失1/4位相ホログラムを実現するために必要な離散傾斜階段を示している。この構成は、光が、主として、中央再生複製内の第ゼロ次数の左側まで1/4の距離に方向付けされるため、しばしば−1/4分数再生と呼ばれている。非対称再生を示すこのσ=−1/4偏光選択型周期位相マスク(たとえば格子)は、図の面に平行の直線偏光入力を有する光を回折させ、また、直交直線偏光に対しては透明である。上で説明したように、この4レベル・ホログラムは、第1の回折次数において、最大81%の回折効率をもたらすことが期待される。回折効率を高くするためには、位相レベルをもっと多くしなければならない。概して損失がないため、単一符号化素子は、Z−軸に対して一定の角度で傾斜し、かつ、XZ平面に含まれるLC配向子として表現することができる。図6を参照すると、LC配向子81は、Z−軸に対して極角オフセット82θを形成している。LC配向子面外傾斜83θは、π/2−θで与えられる。屈折率楕円体を記述している二次方程式から、面内実効屈折率nおよび面外実効屈折率nは、XY−平面80への投影およびZ−軸85に沿った投影によって表される。これらの実効屈折率は、
Figure 2009015329
で与えられる。上式で、n(λ)およびn(λ)は、単軸材料の異常光線屈折率および常光線屈折率の分散である。A−プレート配向ピクセル(θ=0)に対する位相の進みに関して、式(6)は、面外傾斜の増加に伴う非直線の位相ランプの増加を示している。図7は、A−プレート構成ピクセル(つまりn(θ;λ)−n(λ))に対する位相差をプロットしたものである。このプロットによれば、0〜56.7°のLC傾斜で配向された符号化ピクセルは、単位長当たり−0.1の位相差をもたらしている。つまり、高さ2μmのピクセルによって、A−プレート・ピクセルに対する200nmの位相進みが提供される。したがって、λ=400nmにおいて、必要なπ位相階段が得られる。多重レベル位相ホログラムの場合にしばしば要求される直線位相ランプは、傾斜角特性に対する単位長当たりの位相から構成することができる。
図8および9a〜cを参照すると、2つの位相レベルを有する薄い偏光選択型ホログラムの様々な実施形態が示されている。図8は、交番するA−プレート・ピクセル/C−プレート・ピクセルとして符号化された2値LCホログラムを示したものである。上側のプロットは、傾斜面に沿ったLC配向子配向を示す側面図を表している。下側のプロットは、面外極角傾斜特性を示している。このσ=±−1/2偏光選択型周期位相マスク(たとえば格子)によれば、対称再生が得られ、図の面に平行の直線偏光入力を有する光が回折する。また、このマスクは、直交直線偏光に対しては透明である。上で説明したように、この2レベル・ホログラムは、第1の回折次数において、最大40.5%の回折効率をもたらすことが期待される。回折効率を高くするためには、位相レベルをもっと多くしなければならない。このホログラムによれば、所与の最小ピクセル・サイズで最大周波数符号化能力が得られることに留意されたい。同じLC材料を上で説明した計算に使用すると、このホログラムの厚さは、たったの1.45μmであり、それでも、全LC複屈折を使用してπ位相階段を生成するには十分である。この2値LCホログラムのイメージは、図9aに示すように、一連の縞として提供することができる。この実施形態では、明るい縞は0位相ピクセルを表しており、一方、暗い縞はπ位相ピクセルを表している。他の実施形態では、明るい縞がπ位相ピクセルを表し、暗い縞が0位相ピクセルを表している(つまり2つのLC極角傾斜はπ位相の光路差を有している)。図9bを参照すると、2Dビーム方向付けホログラムの一実施形態が示されている。このチェッカー盤ホログラムは、XおよびYの両方向に対して、光を最大空間周波数位置に方向付けする。図9cは、交差型ダマン格子の一実施形態を示したものである。このホログラムは、光をX方向に沿って方向付けする際に、Y方向のはるか遠くまで光を3回方向付けする。これらの3つのすべての2値ホログラム例では、スカラ回折領域でホログラムが動作することが仮定されている。ピクセル化することによってTE波およびTM波に対する実効屈折率が影響されることはない。そうではなく、ホログラム全体にわたって一様であり、かつ、1Dまたは2D方向付け面のいずれと一致していても、あるいは一致していなくてもよいホログラム符号化内における傾斜面は、ホログラムによって回折する直線偏光およびホログラムを透過する直交直線偏光を表している。
本発明の一実施形態による偏光選択型ホログラムのアプリケーションの1つは、光ピックアップ・ユニット(OPU)に存在している。たとえば、図10に示されている従来技術によるOPUシステムについて考察する。OPU100は、複数の半導体レーザ源のアレイ110を備えている。アレイ110の出力は、複数の偏光ビーム・コンバイナ(PBC)キューブのアレイ130によって空間的に多重化され、レンズ・システム160によって平行にされ、漏れミラー140によって折り畳まれ、第2の対物レンズ素子161を介して、回転ディスク媒体150上の単一「ピット」領域に画像化される(集束する)。漏れミラーにより、入射ビーム・エネルギーの微小部分(たとえば5%)をタップ・オフし、もう1つのレンズ素子165を介してモニタ・フォトダイオード(PD)175上に集束させることができる。複数の半導体レーザ源のアレイ110は、λ=400nmの第1のLD111、λ=660nmの第2のLD112およびλ=780nmの第3のLD113を含む3つの離散レーザ・ダイオード(LD)として示されている。これらのLDのアレイ110からの出力は、実質的に直線偏光されている(たとえばPBC斜辺表面に対して「S」偏光されている)。直線偏光ビームは、直交偏光光線をアレイ130内の第1のPBC131、第2のPBC132および/または第3のPBC133によってレーザ共振器に向かって反射させることになる望ましくない帰還からLD源110を保護している複数の低仕様偏光子のアレイ120を通過する。
動作中、LD源の各々の主ビームが、共通経路180に沿って、ディスク媒体150内の情報層(IL)に向かって方向付けされる。ビームは、色消し4分の1波長板(QWP)145に到達する前に実質的に直線偏光される。色消しQWP145は、直線偏光(LP)を円偏光(CP)に変換し、その左右像は、色消しQWP145の光学軸の配向で決まる(たとえば所与のS−偏光入力またはP−偏光入力に対して)。「S」偏光が色消しQWP145に入力されるこの例では、色消しQWP145の光学軸(つまり遅軸)がPBCのP−面に対して反時計方向(CCW)に45°で配向されている場合、左回り円偏光が得られる(たとえば、観察者に入射するビームを見ている間、直観RH−XYZ座標系を仮定した場合)。回転ディスク媒体150が、記録済みピットの物理的な刻み目が存在する事前記録コンパクト・ディスク(CD)またはディジタル汎用ディスク(DVD)の場合、1/6波ないし1/4波におけるピットとその周囲の「ランド」との間の光路長差は、弱め合う干渉(たとえば少なくとも部分的に)をもたらし、PBCキューブ・アレイ130の第2のポートに配置されている主フォトダイオード170によって検出される光が弱くなる。ピットが存在しない場合、弱め合う干渉は存在せず、光は、色消しQWP145を2回通過し、色消しQWP145によって元のS−偏光からP−偏光に有効に変換され、したがって実質的に同じ光パワーがPBCキューブ・アレイ130に向かって戻る。
回転ディスク媒体150がディスクの片面に複数の情報層を備えた、たとえばDVD二重層(DL)ディスクなどである場合、これらの2つのIL層間の分離は、ディスクにアクセスする際のコヒーレント・クロストークを小さくするために、通常、20μmと30μmの間である。対物レンズ161は、必要なIL深さに集束させるために容易に調整されるが、この再焦点合わせは球面収差の原因になる。対物レンズの開口数(NA)が約0.6であり、かつ、650nmの照明波長を利用している、過去から受け継がれているDVDシステムの場合、IL深さの変化は、場合によっては重要ではない。しかしながら、他のDLフォーマット(たとえばBlu−ray(BD)および高解像度(HD)−DVD)の場合、対応するNAの増加(たとえばBDの場合、0.85NA)および照明波長の減少(たとえば約405nm)は、高NA対物レンズが第2のIL深さに再焦点合わせされると、大まかに200〜300mλの球面収差の原因になる(たとえば、屈折率が0〜1.5である約20μmのスペーサ層を有する二重層ディスク・フォーマットの場合)。この収差を小さくするための様々な方法が存在している。たとえば、対物レンズに入射するビームの水平または垂直位置を変えるための、複合対物レンズ内の素子の機械的な調整および/またはコリメーション・レンズの位置の調整は広く実践されている。別法としては、様々な非機械式収差修正スキームが提案されている。
図11を参照すると、非機械式収差修正を備えたOPU(つまり米国特許第6,947,368号の中で提案されているOPUシステムに類似したOPU)の一例が示されている。この図では、図10で説明した素子と同様の素子は、同様の番号を使用して参照されている。図11に示されているOPU200は、図10で説明した光要素に加えて、さらに、能動的にスイッチされるLCセル210および非周期位相マスク220を備えている。これらは、コリメータ・レンズ160と対物レンズ161の間の平行ビーム・セクションに挿入されている。コリメータ・レンズ160は、PBC131の後段ではなく、PBC131の前段に配置されている。
動作中、PBC131によって90度偏向したビームがPBC斜辺面に対してS−偏光される。このビームは、2つの直交直線偏光のうちの一方が出力されるように能動LCセル210を通過する(たとえばPBC斜辺(同じくY−軸およびX−軸にそれぞれ平行である)に対するS−偏光およびP−偏光)。所与の出力(たとえば図11に示されているS−偏光)を生成するための電気駆動状態(オンまたはオフ)は、LCの動作モードに応じて異なる。90度捻じれたネマティックLCセルの場合、入力の偏光と同じ偏光の出力を生成するためには、セルの駆動をオフにしなければならない。VAネマティックLCセルの場合、セルを駆動することなく、入力の偏光と同じ偏光の出力が得られる。FLCネマティックLCセルおよびIPSネマティックLCセルなどのさらに他のLCモードには、入射する光ビームの偏光を変え、あるいは偏光を維持するための適切な電圧駆動が必要である。
図11では、S−偏光放射が位相マスク220に提供されている。位相マスク220は、複屈折層または複屈折基板の中にエッチングされた一連の物理的な階段を備えている。通常、これらの物理的な階段の製造は、フォトリソグラフィおよびドライ/ウェット・エッチング技法を使用して達成される。一実施形態では、位相マスク220のエッチングされた階段は、空気にさらされている。他の実施形態では、位相マスク220は、パターニングおよびエッチングによって得られたエア・ギャップに等方性材料を充填することによって形成される。この等方性材料は、複屈折媒体の複数の主屈折率のうちの1つと同じ屈折率を有していても、あるいは有していなくてもよい。この実施形態では、空気/複屈折位相マスク220は、P−面(たとえば図11の面)に平行に配向された一様な遅軸配向を有しており、また、階段の高さは、空気およびn屈折率の場合、2π位相飛越しとして構成されている。したがって、S−偏光が位相マスク220を透過すると、位相変調が付与される。P−偏光(図示せず)がLCセル210の通過を許容されると、位相マスクは非活動状態になる。
対物レンズが公称焦点に位置している場合(たとえば0〜100μmの深さに存在している内部情報層154に集束させる場合)、LCセル210は、4分の1波長板145を通過し、反射して戻って、レンズ163を介して検出器170上に集束するP−偏光(図示せず)を透過させる。外部情報層153(たとえば0〜80μmの深さに存在している)に対する読出し/書込みを実施する場合、対物レンズが再焦点合わせされる。対物レンズに入射するビームの水平または垂直位置を変更することなく再焦点合わせすると、球面収差の原因になる。球面収差を小さくするために、焦点位置を公称値から変更する場合、S−偏光を透過させるためにLCセル210が使用される。S−偏光は、位相マスク220中のn屈折率をサンプルし、所望の波面を生成する。
位相マスク220は、一連の環状ゾーンを備えた表面レリーフ構造(SRS)であることに留意されたい。たとえば、図12に示されている、中央基準位相ゾーンを有する従来技術による位相マスク250について考察する。複屈折材料は、X−軸に沿って配向されたその光学軸252を有している。入射するS−偏光ビーム253は、Y−軸に対して配向されている。入射するビームが位相マスク中の空気セグメントをサンプルする場合、それは、中央環状ゾーンに対する位相進みを表している。焦点距離が0〜100μmIL深さから0〜80μmIL深さになると、集束ビームの位相が遅れる。図13は、XZ断面251に沿った位相特性を示したものである。図に示されている、総位相範囲が1.2πに近いこの例は、焦点の変化によってもたらされるrms波面収差を約200mλから0〜40mλまで減少させる必要がある。修正された波面収差は、動作波長で回折限界である。
もう一度図11を参照すると、エッチングされた位相マスク220とLCスイッチ210が相俟って、波面収差に対する2つの偏光状態の選択的な修正を可能にしており、その修正に基づいて情報層がディスク上にアクセスされている。所与の公称対物レンズ焦点(内部情報層に対する焦点または外部情報層に対する焦点のいずれか)に対して、再焦点合わせが実施されると、関連する収差の補足位相特性を位相マスク上に符号化することができる。LCセルの出力偏光を切り換えることにより、回折限界内に含まれている波面収差を使用して個々の情報層がアクセスされる。
残念ながら、位相マスク220は、通常、複屈折素子をエッチングすることによって製造されるため、位相マスク220は、一般的に比較的高価な光素子と見なされている。本発明の一実施形態によれば、予め決められた位相特性(たとえば、図3を参照して説明した傾斜光アライメント技法を使用して実効面内複屈折をパターニングすることによって形成された位相特性)が符号化された光硬化LCP層が、非機械式収差修正スキームで使用されている。
図14を参照すると、本発明の一実施形態によるOPU300の略図が示されている。この図では、図10および11で説明した素子と同様の素子は、同様の番号を使用して参照されている。従来のエッチ位相マスク220の代わりに非エッチ・フラット(NEF)LC位相マスク310が提供されていることに留意されたい。
動作中、平行にされた光のビームが、S−偏光231として、PBC131の反射ポートを介して共通経路に結合される。LCスイッチ210は、S−偏光を直交P−偏光232に変換する(たとえばPBC斜辺に対して)。このP−偏光は、図の面に平行であり、また、薄いNEFLC位相マスク310の一様な方位配向に平行である。NEF位相マスクは、ひとみ位置を関数とした可変LC面外傾斜を有している。実効異常光線屈折率は、LC配向子の傾斜により変化する。したがって、LC傾斜を構成することによって光路長が適合される。能動位相修正の場合、P−偏光は、対物レンズが無収差状態で構成されている第1の情報層の深さとは異なる深さの第2の情報層をアクセスする際に、その対物レンズの公称焦点の変化に関連する相補位相特性を生成するために必要な方法で、個々の符号化ピクセルの位相を別様にサンプルする。LCセル(図示せず)からの第2の直線偏光出力を使用した非能動位相修正の場合、ビームは、個々の符号化ピクセル内の傾斜に無関係にn屈折率をサンプルする。LCホログラムは、透明な第ゼロ次数格子であり、ビームの位相事前条件付けは実施されない。
事前条件付けされたこのビームは、次に、第1の直線偏光232を第1の円偏光233に変換する4分の1波長板145を横切る。情報層で反射すると、第2の(相対する左右像)円偏光234が得られる。このビームは、4分の1波長板145によってもう一度第2の直線偏光235に変換される。この位相修正は、第1のパスでは能動的であるが、第2のパスではこの位相修正は非能動的であり、LCセルの切換えに応じてその逆についても同様である。ビームは、光検出器に向かう途中では厳密に再焦点合わせされないため、第2のパス位相修正は重要ではない。
図15は、ひとみ座標におけるLC配向子傾斜特性を示したものである。プロット(a)は、図13に示されているような離散階段位相特性を生成するための、最大傾斜70度および90度の2つの事例に対する面外LC配向子傾斜を示している。計算波長は400nmであり、この波長における常光線屈折率nおよび異常光線屈折率nの屈折値は、それぞれ1.61および1.75である。それぞれ70度および90度の最大傾斜で1.2πの最大位相範囲を生成するために必要なLC膜の厚さは、約1.94μmおよび1.74μmである。この膜は非常に薄く、開口全体にわたって一定の物理的厚さを有している。ひとみ全体にわたる極角分布によって位相修正機能が得られる。LC配向子(同じく遅軸)は、共通面に沿って配向されており、たとえば図に示されている例ではXZ−平面に沿って配向されている。図15のプロット(b)は、XZ平面および傾斜面に沿ったいくつかの離散ピクセルに対するLC配向子特性を示したものである。この場合も、中央環状ゾーンは、LC膜のn屈折率によって提供される基準位相を有している。実効屈折率をサンプリングすることにより、初期位相が、LC膜のnとnの間で、ひとみの中心から外側へ向かって、LCが最大傾斜(たとえば70度または90度のいずれか)で配向されているゾーン#7まで漸進的に進む。この環状ゾーンを超えると、LC傾斜を小さくすることにより、中央ゾーンに対する位相差がひとみの限界に向かって漸進的に減少する。図15のプロット(c)は、傾斜面に対して直角の面に沿った実効LC屈折率楕円体の投影を示したものである。これは垂直面であるため、より長い屈折率楕円体ピクセルによって、法線入射光線に対するより小さい実効リターダンスが得られ、したがってより短い屈折率楕円体ピクセルに対して位相が進む。
図14を参照して説明した実施形態では、本発明による偏光選択型ホログラムは、非機械式収差修正スキームで使用されている。有利には、非周期マスク310の層の厚さは、透明開口全体にわたって一様である。単軸LC材料の光学軸が斜め傾斜に対して配向され、また、必要な平らなホメオトロピック配向に対して配向されている場合、位相マスク310を液晶セル210と共に使用して、偏光選択型波面位相修正または全透明画を提供することができる。有利には、偏光選択型位相マスク310は、レーザ・ダイオード光源によって、高い偏光純度で便利に提供される直線偏光で動作する。したがって、円偏光の純度不足によって回折効率が低下することになる4分の1波長板145の後段に偏光選択型位相マスク310を配置する必要はない。
他の実施形態では、本発明による偏光選択型ホログラムは、OPU内のビーム方向付け素子として使用されている。たとえば、図16に示されている、偏光選択型周期格子410が図10に示されているPBCキューブ130に類似した機能を提供している、従来技術によるOPUシステム400について考察する。日本国特許出願第JP−A−2001−174614号および米国特許出願第2006/0239171号の中で提案されているシステムに類似したこのシステム400では、格子410は、光ディスクで反射して戻るビームをレーザ・ダイオードから入射する放射から角度的(および空間的)に分離するために使用されている。詳細には、格子410は、コレステリック液晶の反射帯域端の近く、および有機色素の吸収帯域エッチの近くの大きな施光性分散を利用して、必要な円偏光を+1次数(たとえば2値周期格子の場合、同じく±1次数)に優先的に回折させ、かつ、直交円偏光に対する透明性を維持している(たとえば直交円偏光はほとんど回折せず、光は、主として第ゼロ次数内に出現する)。
OPUシステム400は、共通パッケージされたレーザ・ダイオードおよび検出器モジュール305を備えている。モジュール305のレーザ・ダイオード・セクションは、第1の直線偏光231(つまり、説明を目的として、図の面に対して直角になるように示されている)の平行ビームを生成するコリメータ・レンズ162に向けて発散ビームを放出している。直線偏光231は、4分の1波長板145を通過すると、第1の円偏光233に変換される。円偏光入力として相対する左右像を有する好ましいコレステリック・ヘリカル・ツイストの場合、この円偏光233は、周期格子410の影響を受けない。ビームは、次に、高NA対物レンズ161によってディスク媒体150の上に集束する。より詳細には、ビームは、ディスク中の情報層153に集束する。情報層153は、保護層152で覆われ、かつ、基板151の上に配置されている。ディスクで反射すると円偏光の左右像が変化し、したがって反射したビーム234は、第1の円偏光とは逆の第2の円偏光を有している。この第2の円偏光は、コレステリック・ヘリカル・ツイストの左右像と同じ左右像を有しているため、ビームは、コレステリック/等方性周期格子410によって、戻りのパス上で方向付けされる。ビームが4分の1波長板145をもう一度透過すると、第2の直線偏光236が得られる(この第2の直線偏光236は、たとえば第1の直線偏光に対して直角である)。戻りビームは、格子ピッチおよび動作波長に応じて、回折式(2)に従って角度320だけ偏向する。この角偏向がレンズ162によって空間オフセットに変換され、ビーム・オフセットΔx321が得られる。
つまり、偏光選択型周期格子410は、順方向伝搬方向ではビーム方向付けを提供し、したがってディスク150に伝達されるビーム・エネルギーを保存し、また、逆方向伝搬方向ではビーム方向付けを提供し、したがって情報を担っているビームを入力ビームから分離するホログラフィック・ビーム・スプリッタとして機能している。このスキームは有望ではあるが、偏光選択型周期格子410に関連するいくつかの欠点がある。第1に、周期格子410の波長選択性は、所与の円偏光で回折し、あるいは回折しないように構成することができるのは、多重波長OPUシステム(たとえば図10に示されているBD/DVD/CDシステム)のただ1つの波長のみであることを意味している。したがって、ホログラフィック・ビーム・スプリッタをBD/DVD/CDシステムで動作させるためには、3つの格子層を使用してホログラフィック・ビーム・スプリッタを設計しなければならない。そのためには追加コストが必要であり、また、重量が増加するため、要素のサイズを小さくする目的に逆行することになる。波長選択性は、格子がコレステリック反射帯域端の近くで動作していることに関連していると考えられることに留意されたい。偏光選択型周期格子410の第2の欠点は、偏光選択型周期格子410が円偏光を使用して動作していることである。一OPUシステムでは、円偏光を利用することができるのは、4分の1波長板145とディスク150の間のみである。また、格子410の有効性は、4分の1波長板の後段で生成される円偏光の純度で決まる。第3の欠点は、周期格子410が、通常、基板をパターニングし、かつ、エッチングすることによって製造され、また、しばしば、エッチングされた基板を充填することによって製造されることである。上で説明したように、これらの製造技法は、時間を消費し、また、比較的コストが高いことがしばしばである。さらに、エッチングされた表面に他の材料を充填する場合、充填材料の屈折率と複屈折格子の屈折率が重要なすべての波長帯域全体にわたって整合しないことが考えられる。非回折の場合、コレステリック・ピクセルおよび等方性ピクセルは、通常、それらの屈折率の値が同じではなく、望ましくない円偏光をすべての動作波長で完全に抑制することは不可能である。第4の欠点は、達成可能な格子分解能が一般的に制限されていることである。たとえば、米国特許第2006/0239171号の中で提供されている第1の例について考察する。コレステリックLCがどちらかと言えば大きい直線複屈折(たとえばΔn=0.2)を有しているこの例では、4×4行列モデル化円複屈折は約0.04である(たとえばλ=660nmにおけるπ位相階段および8.8μmの2値格子の物理的階段高さである)。この高い階段が達成可能な格子分解能に影響を及ぼしている。たとえば、1μmのピクセル幅を生成するためには9:1のアスペクト比(幅に対する高さの比率)が必要であり、それがエッチング・ステップを困難にしている。多重レベル位相格子の効率をさらに高くするためには、場合によっては2πに近い位相範囲が必要であり、そのためにはさらに大きいアスペクト比が必要である。つまり、従来技術は、実際問題として、格子分解能が粗い2値位相格子に限定されており、それらは不十分であり、また、方向付け角が小さい。
図17を参照すると、本発明の一実施形態によるOPU500の略図が示されている。図16の中で使用されている偏光選択型周期格子410の代わりに偏光選択型周期LC回折格子510が提供されている。この非エッチ・フラット(NEF)LC回折格子510は、複数の可変リターダ素子のアレイを生成するために可変傾斜LCP膜を利用している。すべての格子ピクセルの遅軸は同じ方位面内に配向されているが、極角傾斜の量が異なっている。
動作中、共通パッケージされたレーザ・ダイオードおよび検出器モジュール305が、第1の直線偏光231(たとえば、説明を目的として、図の面に対して直角に示されている)の平行ビームを生成するコリメータ・レンズ162に向けて発散ビームを放出する。この直線偏光231は、偏光選択型LCホログラム510の傾斜面に対して直角である。LCホログラムは、この直線偏光に対して透明であるため、透過した光は第ゼロ次数の中に含まれており、4分の1波長板145を通過すると、第1の円偏光233に変換される。ビームは、次に、高開口数(NA)対物レンズ161によってディスク媒体150の上に集束する。ディスク150で反射すると円偏光の左右像が変化し、したがって反射して戻るビーム234は、ビーム233の第2の(相対する)左右像を有している。第2の円偏光は、次に、4分の1波長板145をもう一度通過し、第2の直線偏光236を提供する。この第2の直線偏光は、戻りのパス上で、偏光選択型LC周期格子510によって方向付けされる。戻りビームは、格子ピッチおよび動作波長に応じて、回折式(2)に従って角度320だけ偏向する。この角偏向がレンズ162によって空間オフセットに変換され、ビーム・オフセットΔx321が得られる。
上で説明した従来技術による円偏光選択型格子410とは対照的に、偏光選択型LC周期格子510は、直線偏光入力の状態に応じて、場合によってはホログラムであり、また、透明デバイスである。等方性充填格子410が交番する近帯域端コレステリックの狭帯域特性とは対照的に、偏光選択型LC周期格子510は、比較的広い範囲の帯域にわたって動作する。
図18は、一例として、第1の回折次数のみに光を方向付けすることを意図した、Blu−ray Disc(BD)または高解像度(HD)DVD/DVD/CD OPUシステムの3つの離散波長に対する単純な格子構造を示したものである。LCホログラム傾斜特性は、660nmの中間波長で無損失位相限定格子として構成されている。位相ランプは、連続するピクセル内のLC傾斜を変化させることによって構成されている。660nmの設計波長では、16レベル位相格子は、0から15π/8にわたっており、また、個々の符号化ピクセルは、1μmの幅を有していることが仮定されている。上で説明したLC材料の場合、0から90度傾斜の全範囲を使用することができる場合のLC膜の厚さは5.9μmである。もっと長い780nmの波長では、LC混合物の自然分散によって2πより小さい位相ランプが得られる。この波長におけるホログラム回折は、第ゼロ次数の非回折光出力を有することになる。一方、より短い全波光路差要求事項と結合した短い400nm波長における複屈折の増加により、λ=400nmにおいてほぼ4πの位相ランプが得られる。これは、第1次数回折角がこれらの3つの離散波長のすべてに対してほぼ同じであることを意味している(たとえばλ=400nmでは、波長は、λ=780nmの場合の波長のほぼ1/2であるが、その空間格子周期も同じくNIR格子の場合の波長のほぼ1/2である)。図19は、LC傾斜面に平行の偏光入力に対する薄いLC格子の角スペクトルを示したものである。設計波長チャネルは、約98%の第1次数回折効率(DE)を有している。他の2つの光チャネルは、約88%の第1次数DEを有していた。また、入力偏光がLC傾斜面に対して直角である場合、LCホログラムは、あらゆる照明波長において第ゼロ次数格子として挙動する。第ゼロ次数格子は、偏光純度が保障され、また、外部AR損失が除去される場合、無損失にすることができる。
米国特許出願2006/0239171の場合、それらの2値コレステリック/等方性格子の総合厚さは約10μmである(これは、たとえば上で説明した5.9μmに類似している)。しかしながら、対称再生は、第1次数DEがせいぜい40%であることを意味している。いくつかの他の波長帯域では、報告されている理論DEは、色素をベースとする材料の位相符号化が有効ではないため、10%より小さい。フォトリソグラフィおよびエッチングを実行する要求事項と結合した従来技術技法における小さい円複屈折の場合、アスペクト比の制約のため、位相階段の数が限られている。さらに、この方法で製造された単一格子の場合、円複屈折が吸収/反射帯域端の近くに誘導されるため、複数のチャネルを同時に方向付けすることはできない。
有利には、偏光選択型ホログラム510を使用することにより、従来技術が抱えている上記の問題(たとえば、不適切な位相変調、厳格なアスペクト比、回折効率の悪さ、多重チャネル動作の不足、材料のエッチング等々)が解決される。
図20を参照すると、本発明の一実施形態によるOPU600の略図が示されている。周期格子である薄い第1のNEFホログラム510は、ホログラフィック・ビーム・スプリッタとして機能しており、また、非周期位相マスクである薄い第2のNEFホログラム310は、対物レンズが非設計情報層の深さに再焦点合わせされる際に、読出し/書込みビームの波面を事前条件付けしている。この実施形態では、薄い第1のNEFホログラム510および薄い第2のNEFホログラム310は、それぞれ図17および14を参照して説明したように機能している。図に示されているディスク150は、基板151の上に配置され、かつ、スペーサ層155で分離された第1の情報層153および第2の情報層154を備えている。
図21を参照すると、本発明の他の実施形態によるOPU700の略図が示されている。薄いNEFホログラム710は、微小量の戻りビームをタップ・オフするために使用されている。商用OPUシステムの場合、ディスク媒体上の螺旋溝、ディスクのそりによって誘導される非点収差、および/または読出し/書込みビームに対する一定の角度でのディスクの配置をトラッキングするために、微小量の戻りビームがしばしばタップされる。タップオフ・ビームは、しばしば、複数の素子がアレイ化された検出器に画像化される。実際の信号ビームは、主フォトダイオードを通過することができる。このようなシナリオの場合、LCホログラム設計は、主ビームを第ゼロ次数内に含むように探索し、かつ、光の微小部分(たとえば5%)を1つまたは複数の再生次数にすることができる。OPUシステム700は、レーザ・ダイオード出力の1つまたは複数のチャネルをPBC131の反射ポートを介して共通経路に放出する。S−偏光は、第1のパスでは、偏光選択型LCホログラム710で回折しない。偏光は、戻りのパス上で、LCホログラムの傾斜面に平行の偏光に変換される。LCホログラムは、ここでは大きい第ゼロ次数を再生するように設計され、かつ、符号化されている。したがって、共通パッケージされた検出器アレイ705は、主信号を検出するための主フォトダイオード721、および1つまたは複数のトラッキング・ビームを検出するための1つまたは複数の補助フォトダイオード722を備えている。この優勢な第ゼロ次数再生は、たとえば不適切な位相範囲を故意に提供することによって達成することができる。理想的な位相範囲(たとえばピクセルの符号化に利用することができる最後の位相階段に対する第1の位相階段の差)は、2π*(m−1)/mである。mは位相レベルの数である。たとえば、無損失2値および1/4位相限定ホログラムには、πおよび1.5πの位相範囲が必要である。第ゼロ次数非回折光(たとえば幾何学中心再生の和)およびすべての高複製中心は、
Figure 2009015329
によって与えられる。上式で、Φは、最大m個のレベルの位相階段を符号化するために利用することができる総位相範囲であり、sinc(x)=sin(x)/x、sinc(0)=1である。2値位相ホログラムの場合、DC非回折光微小部分は、cos(Φ/2)である。2値ホログラムは、場合によっては、対称再生次数を有効に使用して幾何学的ねじれを検出することができ、また、ほとんどの光を第ゼロ次数の中に含めなければならないOPU(つまり回折した次数を有効にしてはならないOPU)におけるトラッキングの目的に最も適している。たとえば、光の90%を第ゼロ次数として保持しなければならない場合、0〜37度の位相変調を持たせなければならないのは2値格子のみである。0度位相階段および37度位相階段の等しいピクセル幅を含む理想的な符号化条件の下では、トラッキング用として約4%の光出力を得るために第±1次数を期待することができる。他の実施形態では、偏光選択型LCホログラムは、信号ビームを第1回折次数に再生し、また、トラッキング・ビームを他の再生次数に再生するように構成することができる。
上で説明した実施形態では、薄い偏光選択型LCホログラムは、1つの直線偏光に対して位相マップを提供し、直交直線偏光に対しては透明である。たとえば、一実施形態では、位相マップは、収差修正非周期波面マップである。他の実施形態では、位相マップは、ビーム方向付けを提供する周期格子またはホログラムである。これらの実施形態では、薄い偏光選択型LCホログラムは、対応するOPUシステム内に個別に取り付けられた単一の基板によって支持されている。上で説明したように、他の光素子によって薄い偏光選択型LCホログラムを支持することも可能である。たとえば、図21を参照すると、薄い偏光選択型LCホログラム710は、4分の1波長板145と統合することができる。
図22を参照すると、本発明の一実施形態による複合偏光選択型デバイス1100は基板901を備えており、基板901の上にLCホログラム1010が配置されている。LCホログラム1010は、ビーム方向付けを実行するべくパターン化された複数のピクセル1011、1012、1013、1014を備えている。LC傾斜面は、XZ平面に平行の直線偏光がビーム方向付けされ、一方、Y−軸に平行の直線偏光は影響を受けないよう、XZ平面に平行に配向されている。基板901の反対側の面には、複屈折材料の1つまたは複数の層を有する4分の1波長板1120が配置されている。QWP1120の遅軸および速軸は、通常、X−軸またはY−軸に対して±45度で配向されている。したがって、図に示されている屈折率楕円体1121は、図の面上への全屈折率楕円体の投影である。デバイス1100は、さらに、総合透過率を改善するための光ARコーティング902および903を備えている。図22を参照して説明した実施形態の場合、QWPは、基板の反対側の面に統合されている。他の実施形態では、QWPは、基板のLCホログラムと同じ面の、LCホログラム層の上側または下側のいずれかに統合されている。図21を参照して説明したようなOPUにこの複合素子1100を使用する場合、複合素子1100は、その構成には無関係に、LCホログラムがOPUの直線偏光セグメント内に位置するように配置されることが好ましい。
動作中、Z−軸に平行に入射する光ビーム920が、1010の中に符号化された位相特性によって空間変調される。射出するビームが鏡面方向から微小角度だけ逸れる。ビームは、直線偏光を円偏光に変換するQWP1120を通過する。このビームは、次に、角度オフセット922を有する921としてアセンブリから射出する。
図23を参照すると、本発明の他の実施形態による複合偏光選択型デバイス1200が示されている。この複合デバイス1200は、透明基板901の上に配置された反射体1203の上に配置されたLCホログラム1010を備えている。LCホログラムの反対側の面にはARコーティング902がコーティングされている。
動作中、入射する光ビーム920は、波面が反射体に向かう第1のパスでサンプルされ、また、反射体からのその戻りでもう一度サンプルされるようにデバイス1200を透過する。したがって、必要な位相範囲は、透過型LC格子デバイスの位相範囲の半分である。出力ビーム1221は、より稠密なピクセル(すなわちA−プレート、つまり格子周期内にn屈折率を有するピクセル)を有する角方向に向かって方向付けされる。LCホログラム構成が図17に示されている透過型LC格子デバイス500と全く同じである場合(たとえばピクセル・サイズ、位相範囲、個々のピクセルにおける位相符号化および動作波長が同じである場合)、デバイス1200は、回折角の2倍の大きさで方向付けすることになる。しかしながら、2重パスによって位相階段がより少なくなるため、回折効率を維持することができないことに留意されたい。
上で説明した実施形態では、薄いNEFLCホログラムは、直線偏光選択型ビーム方向付けデバイスとして機能している。LCホログラムは、単一スポット高効率格子再生として構成されると、常光線波を非回折で透過させ、かつ、異常光線波を微小角度だけ方向付けする。角度オフセットは、ほぼ、波長と格子ピッチ長の比率である(式2)。可視およびNIR波長帯域内で、かつ、実際的なミクロン・サイズのピクセルの場合、98%を超える効率で主ビームを約2度に方向付けするように16−ピクセル格子を構成することができる(方向付け角としてsin−1(0.55/16))。この量子のウォークオフ角は、多くのアプリケーションで有用である。
図24を参照すると、高効率LC格子は、独立型ビーム方向付けデバイス1300として使用されている。デバイス1300は、LC格子膜1310を支持するための透明基板1319を備えている。LC格子膜1310は、必要に応じてLC面外傾斜を配置することによってもたらされる適合位相特性を備えた複数のピクセルを備えている。図に示されている位相ピクセルのうちの1つ1311は、C−プレート光対称性を有している。図に示されている他のピクセル1312は、A−プレート光対称性を有している。図に示されている介在ピクセル(たとえば1311と1312の間のピクセル)は、O−プレート光対称性を備えたピクセルとして構成されている。
動作中、光の非偏光光ビーム1320がデバイス1300の左側に入射する。光の非偏光ビーム1320には、1321で示されているように、LC傾斜面に平行に偏光された光およびLC傾斜面に直角に偏光された光が同じ量だけ含まれている。光の非偏光ビーム1320がLC格子1310を通過すると、LC傾斜面に直角の直線偏光が格子ピクセルの0−波屈折率をサンプルし、影響されることなく透過する。このo−ビームは、傾斜面に直角の直線偏光1331を有する1330として射出する。一方、LC傾斜面に平行の直線偏光は、格子ピクセルの実効e−波屈折率をサンプルする。格子1310の空間位相特性は、格子ベクトル面に平行の方向に沿ってe−波を非ゼロ出力角に方向付けする微分位相波面を生成する。e−波1340は、傾斜面に平行の直角偏光1341を有してLC格子デバイス1300から射出する。1345は方向付け角である。一般的には、傾斜面を格子ベクトル面に平行にする必要はないことに留意されたい。傾斜面は、回折した直線偏光を選択し、一方、格子ベクトルは、回折の面を選択する。
注目すべきことには、この単一段LCホログラム・デバイス1300の機能は、2つの水晶くさびでできた従来技術によるローション偏光子の機能と等価である。図25は、ローション偏光子の略図を示したものである。水晶偏光子1350は、公称ビーム方向に平行のその光学軸に沿って配向された第1のくさび1360、および図の面に直角のその光学軸に沿って配向された第2のくさび1361を備えている。図の面に平行および直角の偏光成分を有する光線入力1370が、第1のくさびを変化することなく伝搬している間に常光線屈折率をサンプルする。図の面に平行の直線偏光は、くさびの境界で、第2のくさびの常光線屈折率を引き続いてサンプルし、したがって影響を受けることなく(偏光およびビーム方向が変化することなく)偏光子から射出する。図の面に直角の他の直線偏光は、第2のくさびの異常光線屈折率をサンプルする。負の単軸結晶材料を使用する場合、結果として生じる屈折率値の減少は、光線が法線のラインからくさびの境界へ向かって屈折することを意味している。第2の直線偏光は、偏光子から射出するまでの間に一定の角度に方向付けされる。くさびが、λ=550nmにおいて[1.66および1.49]の屈折率nおよびnを有する方解石結晶でできている場合、大きい複屈折が予測され、第2のくさび内で約7度のビーム方向付けが提供される。このビーム方向付けは、空気中における約10度と等価である。注目すべきことには、本発明の様々な実施形態によるNEF回折光素子は、16−位相レベルの1μmピクセル幅に対して約2度が得られることが予測されている。このビーム方向付けはそれほど大きくはないが、このNEF回折素子によれば、開口が大きく、かつ、薄いフォーム・ファクタの利点が提供される。
本発明の一実施形態による偏光選択型ホログラムの他のアプリケーションは、外部共振器レーザにおけるビーム方向付け素子としてのアプリケーションである。外部共振器レーザ・システムには、レーザ放出偏光を優先的に選択するために直線偏光子がしばしば使用されている。偏光子は、望ましくない偏光を吸収/反射し、必要な偏光に、共振器からの射出に先立つ往復増幅を連続的に蓄積させることができる。有機吸収型偏光子には、高出力動作に対する信頼性要求事項がしばしば欠乏している。反射型ワイヤグリッドに基づく偏光子は、グリッドの浄化および金属層による吸収などの他の問題をもたらしている。
図26を参照すると、フロント・ファセット・コーティング1502を有するレーザ結晶1501と、透明基板1504の上に配置された偏光選択型ビーム方向付けデバイス1503と、リア(射出)ファセット反射体1506を備えた第二高調波発生結晶1505とを備えた外部共振器固体レーザ・システム1500が示されている。レーザ結晶1501には、通常、所望の波長の放出を生成するために、Nd:YAG(ネオジミウム・ドープ・イットリウム・アルミニウム・ガーネット)、Nd:YV04(ネオジミウム・ドープ・イットリウム・バナジン酸塩)等々などの希土類金属元素がドープされている。たとえば、ダイオード・ポンプ光は、場合によっては808nmであり、一方、放出は1064nmである。第二高調波発生結晶、たとえばKTP(カリウム・チタン・ホスファート)は、レーザ結晶放出を他の波長に変換するバルク非線形結晶である(たとえば1064nmの入力光を使用して532nmに変換する)。第二高調波の発生は、リチウム・ニオベートを周期的にポーリングする拘束導波路モード内で得ることも可能である。偏光選択型格子1503を使用することにより、基本周波数光の単一偏光にレーザ共振器内でレーザを放出させることができる。周波数2倍器結晶を使用して生成される第二高調波光は、次に、同じ偏光を出力することができる。
動作中、ダイオード・ポンプがポンプ光HT(高透過率)コーティング1502を介して光ビーム1510(たとえばλ=808nm)をレーザ結晶1501の中に放出する。この光がレーザ結晶1501によって吸収され、それにより基本周波数光(たとえばλ=1064nm)が放出される。放出された光は、図の面に平行の直線偏光1521と図の面に直角の直線偏光1522の2つの直交直線偏光が入り混った光線1520として順方向に伝搬する。偏光選択型LC格子1503は、o−波(たとえば図の面に直角の直線偏光)をビーム1530として偏向させることなく透過させ、一方、e−波(たとえば図の面に平行の直線偏光)を微小偏向1545を有するビーム1540として回折させる。LC格子を第1のパスで通過した後の、空気中の等価偏向角θは、sin−1(λ/Λ)である。高反射体1506を基本周波数光で反射した偏向ビームは、ビーム1550として、システム軸に対して−θで移動する。このビームは、もう一度偏光選択型格子1503に入射し、ビーム1560として透過して、システム軸からさらに遠ざかる方向に方向付けされる。この第2のパスのビームは、図の面に平行の直線偏光1561を、空気中の等価偏向角sin(θ)=sin(−θ)−λ/Λ;sin(θ)=−2λ/Λで維持している。LC格子を2回通過したビームは、フロント・ファセット反射体1502で反射し、ビーム1570として、システム軸に対して−θでLC格子に向かって伝搬する。このビームは、もう一度、3度目の偏向を経て、sin(θ)=sin(−θ)+λ/Λ;sin(θ)=3λ/Λで与えられる偏向角1585を有する1580を提供する。図の面に平行の直線偏光は、偏光選択型LC格子を透過する毎に、レーザ・システムの光学システムから遠ざかる方向に偏向することが分かる。したがって、この偏光を有する光は、レーザ結晶の利得セグメントから大きく偏向し、そのため、コヒーレント・レーザ放出作用は許容されない。LC格子のe−波に対応する直線偏光は、レーザ・システム内で抑制され、また、この偏光における第二高調波光の生成も抑制される。図の面に平行の直線偏光は、連続的に偏向してレーザ・システムの光軸から遠ざかるが、図の面に直角の直線偏光は、ビーム1530として、主軸に沿って複数回にわたって反射する。フロント・ファセット反射体1502およびリア・ファセット反射体1506で反射する毎に、図の面に直角に偏光された基本周波数光の振幅が蓄積される。この基本周波数光の一部が非線形結晶1505によってその第二高調波光に変換される。この第二高調波光が高透過率リア・ファセット・コーティング1506を介してレーザから射出する。
有利には、NEF偏光選択型LCホログラムは、望ましくない直線偏光を方向付けオフすることによって外部共振器レーザにおける偏光弁別器として動作している。システム内で抑制される直線偏光は、傾斜面によって選択することができる。LCホログラムは完全に平らであり、統合、取扱いおよび浄化を補助している。このアプリケーションでは、LCホログラムの機能は、ローション偏光子(たとえば第1の直線偏光の1つのビームが偏向せず、一方、直交ビームが若干回折する偏光子)の機能に類似している。レーザ・システム・アプリケーションの場合、偏向する偏光の利得を小さくし、レーザ放出作用を引き起こさせないようにするためには、往復縦断毎にごくわずかの角度で偏向させるだけで十分である。また、NEF偏光選択型LC格子は、開口が大きく、また、フォーム・ファクタが比較的薄い。放射状に対称のレーザ・システムの場合、格子ベクトル面の選択はそれほど重要ではないことに留意されたい。
上で説明した実施形態では、NEF回折光素子は、たとえばOPUシステムにおける収差修正およびホログラフィック・ビーム分割に使用され、また、外部共振器レーザにおけるレーザ放出偏光選択に使用されている単層LC格子膜である。他の実施形態では、NEF回折光素子は、複数のLC格子層から形成されている。
図27を参照すると、本発明の一実施形態による2段デバイス1600は、直列に配置された、図24で説明したLC格子に類似した2つのLC格子を備えている。より詳細には、この複合デバイス1600は、第1のNEF回折光素子1310および第2のNEF回折光素子1610を備えている。これらは、ほぼ全く同じになるように製造されており、また、これらの2つの段からの偏向角が同じ角度方向に沿って配向されるように配置されている。たとえば、一実施形態では、第1段LC格子および第2段LC格子の各々で、LC傾斜面および格子ベクトルの両方が同じである。
動作中、両方の直線偏光1321を含んだ光ビーム1320が、o−波1330およびe−波1340としてLC格子1310によって分割される。次に、第1のLC格子1310の後段に配置された第2のLC格子1610がもう一度e−波を方向付けし、複合偏向角sin(θ)=2λ/Λを与える。λは照明の波長であり、Λは格子ピッチである。2段デバイスからのe−波出力1640は、図の面に平行の直線偏光1641を有しており、その偏向角は1645である。影響を受けない、図の面に直角の直線偏光は、偏光1631を有するビーム1630として射出する。必要な偏向角で単一段方向付けを提供するようにLC格子の厚さを構成することができない場合、この2段構成は、場合によっては有用である。
図28を参照すると、本発明の他の実施形態による2段デバイス1700は、直列に配置された、図24で説明したLC格子を2つ備えている。より詳細には、この複合デバイス1700は、第1のNEF回折光素子1310および第2のNEF回折光素子1710を備えている。これらは、ほぼ全く同じになるように製造されており、また、これらの2つの段からの偏向角が逆方向の角度方向に配向されるように配置されている。たとえば、一実施形態では、LC傾斜面および格子ベクトルは、第1段LC格子および第2段LC格子で、必ずしも一致している必要はないが平行である。傾斜面は、これらの2つの格子で平行であるが、これらの格子は、面外傾斜が互いに逆の方向になるように配置されていることに留意されたい。たとえば、一実施形態では、第2のLC格子1710は、180度回転したその方位位置に沿って配向されるように、また、2つのLC格子が互いに逆符号の角度を有する光ビームを方向付けするように、第1のLC格子1310の後段に配置されている。
動作中、両方の直線偏光1321を含んだ光ビーム1320が、o−波1330およびe−波1340としてLC格子1310によって分割される。第1段LC格子1310からのe−波出力は、角度sin(θ)=λ/Λだけ偏向し、これが、第2段LC格子1710の入射角になる。ここで、第2段ホログラムのe−波出力が、入力ビームの方向を復元する−sinn−1(λ/Λ)だけ入射ビームを方向付けする。しかしながら、ビームは、段1と段2の間の所与の距離l1750を角度θで伝搬するため、横方向にΔxだけ並進する。この横方向の並進1751は、概ね、空気中におけるΔx=ltan(θ)で与えられる。したがって、この2段デバイス1700は、ビーム・ウォークオフ素子つまりビーム・ディスプレーサとして機能している。
したがって、本発明の一実施形態による偏光選択型ホログラムの他のアプリケーションは、光サーキュレータ、アイソレータ、光低域通過フィルタ等々におけるビーム・ディスプレーサとしてのアプリケーションである。有利には、平行常光線(o−光線)出力および異常光線(e−光線)出力を備えたウォークオフ・デバイスとして使用される偏光選択型ホログラムは、類似した2つの格子を直列に接続することによって製造される。詳細には、第1の線形格子(1D)は、射出するビームが、第2の逆符号角度方向付け1D格子が非法線ビーム角を修正するまで、特性方向角で順方向に伝搬するように高効率単一次数格子再生を構成している。所与の格子幾何構造に対して、また、2つのホログラム段の間の間隙に応じて、平行のo−光線とe−光線の間の横方向のオフセットが設定される。
図29を参照すると、本発明の他の実施形態による2段デバイス1800は、直列に配置された、図24で説明したLC格子を2つ備えている。より詳細には、この複合デバイス1800は、第1のNEF回折光素子1310および第2のNEF回折光素子1810を備えている。これらは、ほぼ全く同じになるように製造されており、また、これらの2つのLC格子段のLC傾斜面が直角に配向されるように配置され、また、これらの2つのLCホログラム段が直交直線偏光に対して作用するように配置されている。より詳細には、第2段LC格子1810は、1310の格子ベクトル面に平行のその格子ベクトル面を有するように配置されているが、1310のLC傾斜面に対して直角の面にLC傾斜面を備えている。図に示されているLC屈折率楕円体は、図の面への投影である。また、第2段LC格子は、逆符号の角度を第1段LC格子として方向付けするように構成されている。この構成によれば、第1のLCホログラムからのo−波1330出力およびe−波1340出力は、それぞれe−波1840およびo−波1830として第2のLC格子から射出する。e−波1840は、角度−sin−1(λ/Λ)で方向付けされ、一方、o−波1830出力は影響を受けない(元の方向付け角sin−1(λ/Λ)で射出する)。
図30を参照すると、本発明の他の実施形態による2段デバイス1900は、直列に配置された、図24で説明したLC格子を2つ備えている。より詳細には、この複合デバイス1900は、第1のNEF回折光素子1310および第2のNEF回折光素子1910を備えている。これらは、ほぼ全く同じになるように製造されており、また、これらの2つのLC格子段のLC傾斜面が直角に配向されるように配置され、また、デバイスに入力される両方の直線偏光がビーム方向付けされるように配置されている。より詳細には、第2段LC格子1910は、1310の格子ベクトル面に平行のその格子ベクトル面を有するように配置されているが、1310のLC傾斜面に対して直角の面にLC傾斜面を備えている。図に示されているLC屈折率楕円体は、図の面への投影である。また、第2段LC格子は、同じ符号の角度を第1段LC格子として方向付けするように構成されている。この構成によれば、第1のLCホログラムからのo−波1330出力およびe−波1340出力は、それぞれe−波1940およびo−波1930として第2のLC格子から射出する。e−波1840は、角度sin−1(λ/Λ)で方向付けされ、一方、o−波1830出力は影響を受けない(元の方向付け角sin−1(λ/Λ)で射出する)。o−波およびe−波は、いずれも複合デバイスから平行に射出する。このデバイスの独自の機能は、この複合格子がもはや偏光選択型ではないことである。LC格子の厚さ(たとえば数ミクロン)によって横方向の微小オフセットを禁じることにより、あらゆる偏光入力が角度θだけ光軸に対して方向付けされる。図に示されているデバイス内の2つの基板1319および1919は、単一の基板の上にLC格子層1310および1910の両方を連続的にコーティングすることによって省略することができる。
上で説明した4つの2段構成1600、1700、1800および1900の各々では、デバイスは、段1および段2に平行の格子ベクトルを有するように構成されている。他の実施形態では、任意の第1段および第2段の方向付け面(格子ベクトルによって示される)を有する2段構成が提供される。その場合、第1および第2の格子内のLC傾斜面は、両方の直線偏光入力にアクセスするために、平行または直角のいずれかである。
2段LCホログラムは、それぞれ幅が1μmの16個の位相ピクセルを有する非偏光選択型空気/誘電体ブレーズ型格子としてLC格子を表すことにより、λ=550nmにおけるRCWA(Texas州Allen在所のGrating Solver Development Companyの精密結合波解析GSolver、バージョン4.20b)プログラムを使用してシミュレートされている。図31は、その結果を示したものである。右ブレーズは、観察者がビームを真正面から見た場合に、単一格子ピッチの右側がより長い光路長を有する階段様位相ランプである。このブレーズ型格子は、図31のプロット(a)で示すように、ビームを第ゼロ次数の右側に位置している第1次数に方向付けする。この場合、空気/1.5屈折率格子上にARコーティングがなくても、DEは92%に近づいている。図31のプロット(b)では、第1の右ブレーズ型の空気/1.5屈折率格子の後に、第2の右ブレーズ型の空気/1.5屈折率格子が続いている。この2段格子は、単一格子と比較すると、出力光を空間周波数の2倍に方向付けする(次数2としてプロットされている)。このシミュレーションでは、どの格子もARコーティングされておらず、また、中間格子層は、屈折率が1.5であり、その物理的な厚さは220μmであった。図31のプロット(c)は、ビーム・ディスプレーサの結果を示したものである。この複合格子は、入射のより近くに第1の左ブレーズ型格子を有し、その後段に、基板に隣接して第2の右ブレーズ型格子を有していた。これらの2つの格子は、屈折率が1.5、物理的厚さが220μmの中間格子層によって分離されている。いずれの格子も、全く同じ16位相レベルを有し、16μmの格子ピッチ長にわたるランプを形成していた。この結果は、第1段格子によって強いられる方向付け角が第2段格子によって修正されることを示している。出力ビームは、共直線であるが、一定の量だけ空間的にオフセットしている(回折シミュレーションには示されていない)。いずれの2段シミュレーション例も、約82%の主次数効率をもたらした。
図32を参照すると、単一の基板2010の両面に配置された第1のLC格子1310および第2のLC格子1710がそれぞれ示されている。NEF回折光素子2000は、複合NEF回折光素子1700と機能的に等価であることに留意されたい。これらの図には、同様の素子を定義するために同様の数表示が使用されている。透明基板2010は、LC格子層を支持し、中間格子層として機能している。既に説明した(たとえば1μmピクセル・ピッチの16−ピクセル格子を使用して)2段階方向付けの例を使用し、かつ、中間格子層2010の屈折率を1.5と仮定すると、0〜220μmの中間格子層は、約5μmのビーム変位をもたらすことになる。射出する、格子ベクトルに平行および直角に偏光されたビームは、平行に進行する。0〜5μmのこのウォークオフは、光低域通過フィルタ・アプリケーションの要求事項に合致している。ディジタル画像化システムの場合、最小の画像スポット・サイズを電子CCD/CMOSアレイの背面上に確実に集束させるためには、折返し歪み除去技法は、ビーム・ウォークオフを利用しなければならない。ウォークオフは、通常、適切な厚さの45度切断単軸水晶板を使用して実施される。水晶板は、その製造が高価である。別法としては、45度で配向されたスピン塗布均質LC膜を使用して適切なウォークオフを提供することも可能である(たとえば米国特許第7,088,510号を参照されたい)。しかしながら、必要な45度の傾斜で分厚いLC層(数十ミクロン)を製造することに伴う困難性のため、均質傾斜LC膜は実際的ではない。それに対して、2層LC格子2000は、最初に、第1のLC格子にビーム方向付け機能を提供し、次に、中間格子層による空間オフセットの蓄積を偏光ビームに許容し、最後に、第2のLC格子によるビーム角の修正によって、ビーム変位を達成している。
図33を参照すると、付着された中間格子層によってLC格子が分離され、かつ、基板の一方の面にこれらのLC格子が提供された本発明の他の実施形態が示されている。より詳細には、デバイス2050は透明基板1719を備えており、この透明基板1719の上に第1のLC格子1310および第2のLC格子1710が提供されている。第1および第2のLC格子層は、中間格子層2010によって分離されている。同様の数表示は、図28および32の数表示と同じ定義を有している。射出するビームは直角に偏光され、かつ、共直線である。射出する際のビーム分離は、
Figure 2009015329
で与えられる。上式で、lは、屈折率がnの中間格子層の層厚であり、λは照明の波長、Λは格子ピッチである。
本発明のNEF回折光素子の他のアプリケーションは、光低域通過フィルタ(OLPF)における二次元(2D)ウォークオフ素子としてのアプリケーションである。たとえば、一実施形態では、図28に示されているウォークオフ・デバイスと類似したウォークオフ・デバイスの複数の段が直列に接続され、ディジタル画像化システムにおける高空間周波数画像成分を遮断するために使用されるOLPFを形成している。図34を参照すると、2Dウォークオフ・デバイス2100は、第1のウォークオフLC格子デバイス2000、第2の直交軸ウォークオフLC格子デバイス2110および偏光スクランブラ2120を備えている。2つの直交直線偏光1321を有する入力波1320の場合、第1のウォークオフLC格子デバイス2000は、影響を受けないo−波ビーム1730に対してe−波ビーム1740を予め決められた量1751だけ変位させる。直交直線偏光における2つの共直線ビーム(伝搬方向に平行のビーム)は、次に、偏光スクランブラ2120によってスクランブルされ、ビーム毎に両方の直交直線偏光が生成される。一実施形態では、偏光スクランブラ2120は、4分の1波長板などのリターダ素子である。図の面に平行および直角の両方の直線偏光を含んだこれらの2つのビームは、第2のウォークオフLC格子デバイス2110に向かって伝搬する。第2のLC格子デバイス2110の格子ベクトルは、第1の格子デバイス2000の格子ベクトルに対して直角に配置されている。この構造によれば、第1の格子デバイス2000の出力が図の面に沿って変位し、一方、第2の格子デバイス2110の出力は、図の面に直角に変位する。
偏光スクランブラ2120が4分の1波長板の場合、4分の1波長板(QWP)の速軸/遅軸は、通常、図の面に対して±45度で配向される。第1のウォークオフLC格子デバイスから射出する2つのビーム1730および1740は、QWPによって円偏光に変換される(つまり、任意の2つの直交方向に沿って等しい量の直線偏光が存在する)。傾斜面は、一般的には、第2のウォークオフLC格子デバイスの格子ベクトルに対して平行(図34に示されている)または直角(図示せず)になるように選択される。第2のウォークオフLC格子デバイスによって個々のビーム・パワーの約半分が図の面の中へ変位する。図34の2133および2134は、この2つのビームのセットを示したものである。これらのビームは、第2のウォークオフLC格子デバイスの傾斜面に平行に偏光されている。影響を受けていない残りの2つのビーム2131および2132は、第2のウォークオフLC格子デバイスの傾斜面に直角に偏光されている。したがって2D OLPFは、正方形の格子内(または、第1段の変位の量子と第2段の変位の量子が同じでない場合、長方形の格子内)のビーム入力配列毎に4つのビーム・スポットを生成している。
図35のプロット(a)は、ビーム・ウォークオフ・パターンを示したものである。第1段ウォークオフは、実線矢印で示されているように、単一入力ビームを2つのほぼ等しい強度のスポットへ変位させる。第2段ウォークオフに先立って、両方のビームの偏光がスクランブルされる。次に、直交軸に沿った第2段ウォークオフにより、隣接する4つのCCD/CMOSピクセルに分布した4つのビーム・スポットが得られる。
偏光スクランブラの代わりに45度切断水晶板を使用したウォークオフの場合、第2段ウォークオフは、第1ウォークオフ段の出力に対して±45度のe−波軸を有するように構成することができる。第1段ウォークオフ出力ビームの各々が1/2e−波および1/2o−波に分解される。e−波は、さらに、±45度対角線に沿って変位し、菱形ウォークオフ・パターンを生成する(たとえば図35のプロット(b)を参照されたい)。
偏光選択型LC格子を使用したウォークオフの場合、理想的な正方形ウォークオフ・パターンを犠牲にすることなく偏光スクランブラ段を省略することができる。図36は、4分の1波長板偏光スクランブラを備えた2段ウォークオフOPLFの平面図を示したものである。(a)は、水平格子ベクトルを備えたウォークオフLC格子デバイス2000を示したものである。2001および2002は、第1のウォークオフ・デバイス内の第1の層および第2の層のLC屈折率楕円体を図の面に投影したものである。図に示されている4分の1波長板2120は、第1のウォークオフ・デバイスの格子ベクトルに対して45度で配向された遅軸2121を備えている(たとえば線図(b)を参照されたい)。第2のウォークオフ格子デバイス2110は、垂直(たとえば第1の格子ベクトルに対して直角)に配向されたその格子ベクトルを有している。既に言及したように、偏光スクランブラによって第2のウォークオフ格子デバイスに円偏光が入力されるため、第2の格子デバイスの傾斜面は任意に選択することができる。(c)の線図は、第2の格子ベクトルに沿って配向された傾斜面を示したものである。ラベル2111および2112は、図の面に投影されたLC屈折率楕円体である。第2のウォークオフ格子デバイスは、垂直偏光で配向されたパワーの微小部分に対して、ビームを垂直方向に変位させる。
上で説明したように、中間偏光スクランブラを使用することなくOPLFを構成することも可能である。このスキームについて、図37を参照して説明する。(a)は、図36の(a)に示されているウォークオフLC格子デバイスと同様、水平面に第1の格子ベクトルを有する第1のウォークオフ格子デバイスを示したものである。第1のウォークオフ格子デバイスから射出する2つのビーム2006および2007は、それぞれ図の面に平行および直角に偏光されている。偏光スクランブルすることなく個々のビームからほぼ等しいe−波およびo−波パワーの微小部分を得るためには、第2のウォークオフ格子デバイスの傾斜面を第1の格子ベクトルに対して±45度で配向しなければならない。2113および2114は、第2のウォークオフ格子デバイス内の第1および第2の格子層のLC屈折率楕円体の投影を示したものである。2008および2009は、90度の第2の格子ベクトル・アライメントを有する、第2のウォークオフ格子デバイスへの入力を示したもので、それぞれ傾斜面に沿ってほぼ1/2のビーム・パワーを有している。e−波微小部分は垂直方向(たとえば90度方位方向)に変位し、一方、o−波微小部分は影響を受けていない。2段ウォークオフ格子デバイスを備え、かつ、偏光スクランブラのないデバイス全体で、入射するビーム・スポット毎に4つのビーム・スポットが生成される。
上で説明した本発明の実施形態では、NEF偏光選択型回折光素子は、LC面外傾斜を横空間座標全体にわたって予め決められた方法で合法的に配置することにより、近軸回折限界内で動作する薄いホログラム素子を提供している。得られる薄いNEFホログラムは、所与の方位面に沿って均質に配向されたLC配向子を有している。LC配向子分布を含んだ面も傾斜面である。連続的に符号化された、あるいはピクセル化された方法で符号化された可変量のリターダンスによって影響されるのは、傾斜面に沿って偏光された光線のみである。可変量のリターダンスは、横空間座標の関数としての可変光路長変調を表している。一方、傾斜面に直角の方向に沿って偏光された光線が見ているのは、LC配向子の傾斜に無関係に、常光線屈折率のみである。可変光路長変調は存在せず、また、この直交偏光は、本質的に第ゼロ次数格子に遭遇することになる。
有利には、これらの薄いNEFホログラムの偏光選択性は、直線偏光を使用する様々なアプリケーションに利用される。OPUシステムにおける収差補償およびホログラフィック・ビーム分割、外部共振器固体レーザにおけるビーム方向付けに基づく偏光選択、および光低域通過フィルタにおけるビーム・ウォークオフ・デバイスを含む、偏光選択性に関連するいくつかのアプリケーションについて、その概要を説明した。偏光選択型である単層LCホログラムまたは多層あるいは多段LCホログラムのいずれかを使用したもっと多くのアプリケーションを列挙することができることは明らかである。偏光選択性は、均質方位配向を使用したLCデバイスに固有のものである。しかしながら、いくつかのアプリケーションでは、この選択性は、たとえば傾斜面が直角に配向された2つのLCホログラム層を結合することによって故意にターン・オフされる。さらに有利には、NEF回折光素子を生成するために使用される製造技法によれば、高回折効率が得られるよう、多重レベル位相限定ホログラムを記録することができる。
NEF回折光素子のさらに他のアプリケーションは、可変量複屈折補償板としてのアプリケーションである。たとえば、直交複屈折軸アライメントの他の複屈折板に隣接して配置された2つの複屈折結晶くさび(たとえば水晶)を備えた従来技術によるバビネ−ソレイユ補償板について考察する。一方のくさびを機械的に並進させることにより、直径の小さい探索用ビームに可変量のリターダンスが提供される。
図38は、従来のバビネ−ソレイユ補償板を示したものである。この可変リターダンス補償板2200は、2つの複屈折くさび2202および2203でできたもう1つの複屈折板に結合された、第1の均質に配向されたA−プレート2201を備えている。A−プレート2201は、縞の入った方向に平行に配向されたその光学軸を有している。複屈折くさび2202/2203は、通常、結晶材料から切断されており、縞の入った方向に平行のそれらの光学軸に沿って配向されている。つまり、これらのくさびの光軸は互いに平行であり、かつ、第1の複屈折板の光学軸に対して直角である。上側の複屈折くさび2203は、もう一方のくさび2203の角度が付いたファセットに対向する角度が付いたそのファセットを有しており、第1の複屈折板の光学軸に平行の方向に(つまり2204に沿って)機械的に並進させることができる。この横方向の並進により、これらの2つのくさびの組合せによって実効リターダンスが提供される。次に、このリターダンスの大きさが第1の複屈折板によって提供される第2のリターダンスの大きさからオフセットされる。このリターダンスの差が、光入力2220から見た実効リターダンスである。このデバイス構成は、2つの直交軸リターダの各々に実現されるリターダンスの差によって必要なリターダンスが提供される多重次数波長板に類似している。バビネ−ソレイユ補償板2200の場合、一番上のくさびを横方向に並進させることによってリターダンスの正味の量を調整することができる。
本発明の一実施形態によれば、NEF回折光素子は、可変量複屈折補償板として使用されている。詳細には、精密で正確な可変量複屈折を提供するようにLC面外配向子分布がパターン化される。図39を参照すると、可変リターダ2300は単層のLCPを備えており、LC配向子は、結果として得られる、所与の横空間座標に沿ったリターダンスが、必要な方法で変化する(たとえばX座標に対して直線的に変化する)よう、何らかの予め決められた方法で分布している。図に示されているこのモノリシック可変リターダ2300は、C−プレート2301、O−プレート2302およびA−プレート2303などのいくつかのセグメントのLC配向子分布を備えている。A−プレート・セグメントは、所与の物理的LC厚さに対して、O−プレート・セグメントおよび/またはC−プレート・セグメントと比較して最大量のリターダンスを提供している。横空間座標に対して線形リターダンス特性が望ましい場合、LC傾斜特性が非線形方法で適合される。所与の光入力位置2320に対して異なる量のリターダンスを得るために、異なる空間領域が入力ビームに対して整列するよう、機械式駆動手段2304によって可変リターダ全体が並進される。本発明による広帯域可変リターダは、従来技術による水晶板スキームの場合と同様、実現可能である。たとえば、C−プレートからA−プレートまで変化させることができる連続LC配向子を有する単層LC膜を使用して、λ=400nmから1600nmまでカバーする、最長波長で最大1波のリターダンスの可変リターダを構成することができる。LC膜は、長い波長端で約0.1の複屈折をもたらすことが仮定されている。したがって、LC膜の厚さは約16μmである。短い波長は、この帯域内の法線材料屈折率分散のため、1波のリターダンスより大きいリターダンスを見ることになる。
有利には、LC面外傾斜を直線位置の関数として連続的に傾斜させ、かつ、所与の方位方向を維持することによって得られるこの同調可能リターダは、デバイスの厚さの適切な選択と共に、λの微小倍数までの可変リターダンスを提供する。
さらに有利には、非エッチ・フラット・リターダ技術の大型基板処理能力により、多重リターダ量ランプをパターン化し、かつ、大型フォーマット基板の上に露出させることができる。ウェーハのレベルでは、格子/ホログラム・タイプの粗い分解能パターンが得られる。大型ウェーハ基板内の個々の「周期」は、特異化ステージで離散可変リターダの中に市松模様にすることができる。通常、モノリシック可変リターダの遅軸/速軸は、リターダの長方形幾何構造に対する±45度などの必要な方位に沿って均質に固定することができる。均質な方位配向のため、偏光選択性は、このNEF回折光素子に固有のものであるが、使用に際しては、通常、可変リターダが必ずしも偏光選択型回折光素子として機能しないよう、探索用ビームを可変リターダの寸法に対して小さくすることができる(たとえば、端から端まで10mmの並進範囲に対して1mmのビーム・サイズにすることができる)。
上で説明した実施形態の各々では、NEF回折光素子を生成するために使用される製造技法に要求されるのは単一の基板のみであり、したがって、比較的安価で、かつ、広範囲にわたるアプリケーションに適した、より薄い受動光素子が製造される。それに対して、従来技術の参考文献である米国特許第7,375、784号および米国特許第6,304,312号の場合、いずれも2つの透明基板が必要であり、これらの基板が協同して、比較的分厚い液晶セルの中に液晶のアライメントを誘導している。また、これらの従来技術による製造技法では、多重レベル位相限定ホログラムを提供することはできない。一方、本発明によれば、1μm以下(たとえば複数の可変光路領域のアレイを予め決められた方法で提供する場合)のフィーチャを有する多重レベル位相限定ホログラムが提供される。注目すべきことには、NEF回折光素子のために使用される製造技法には、表面レリーフ構造(SRS)を提供する従来のマスク・プロセスおよびエッチング・プロセスは不要である。また、本発明のための製造技法には、中間ステップとしての液晶セルの製造は不要であり、また、LCアライメントを必要とするため、電気パルスを印加するための透明電極も不要である。さらに、吸収に基づく(たとえば強度変調)ホログラムとは異なり、得られる位相限定ホログラムを無損失にすることができる。また、これらの受動位相限定LCホログラムは、SLMピクセル・アレイが行/列アドレス指定線およびピクセル・アドレス指定回路を必要とする、能動的にスイッチされるLCホログラムと比較すると、ピクセル−フィル・デューティ・サイクル比の制御がより良好であるため、より高い回折効率が得られることが期待される。
当然、上記実施形態は、例として提供されたものにすぎない。本発明の精神および範囲を逸脱することなく、様々な修正、代替構成および/または等価物を使用することができることは当業者には理解されよう。たとえば、様々な周期パターンおよび非周期パターンを使用して偏光選択型位相ホログラム(たとえばビーム方向付けのために使用されるホログラム)を形成することができる。いくつかの実施形態では、これらの偏光選択型位相ホログラムは、ピクセル化された位相特性を有している。他の実施形態では、偏光選択型位相ホログラムは、連続する位相特性を有している。したがって、本発明の範囲は、特許請求の範囲によってのみ制限されるものとする。
図1aは、方位角分布を備えた従来技術によるLCホログラムの屈折率楕円体投影を示す側面図である。図1bは、図1aに示すLCホログラムの平面図である。 本発明の一実施形態による極角分布を備えたLCホログラムの屈折率楕円体を示す側面図である。 図2aに示すLCホログラムの平面図である。 極角分布を備えたLCホログラムの配向子配向を示す平面図である。傾斜面は格子ベクトルと一致していない。 LCP層の中に可変傾斜傾斜アライメントを強制するためのLPPのためのLPUV露光システム構成を示す略図である。 LPPアライメント層のLPUV線量を関数とした実効面内複屈折および実効面外LC配向子傾斜を示すグラフである。 非対称再生を与え、かつ、4つの離散状態のLC極角傾斜を有するσ=−1/4偏光選択型格子の面外極角傾斜特性を示す図である。 面内複屈折成分および面外複屈折成分への単軸O−プレート複屈折の投影を示すグラフである。 所有権を主張することができるLCP単軸材料をλ=400nmで使用した、A−プレート構成のピクセルと比較した、所与のLC配向子傾斜の位相差を示すグラフである。 対称再生を与え、かつ、2つの離散状態のLC極角傾斜を有するσ=±1/2偏光選択型格子の面外極角傾斜特性を示す図である。 σ=±1/2分数次数を備えた2値LC格子の空間位相特性を示す図である。暗い縞/明るい縞は、π位相の光路差(OPD)を有する2つのLC極角傾斜を表している。 対称スポット・アレイ発生器に対する2値ホログラムの空間位相特性を示す図である。σ=±1/2およびτ=±1/2分数次数である。 非均一間隔スポット・アレイ発生器に対する2値ホログラムの空間位相特性を示す図である。σ=±1/8、τ=±3/8分数次数である。 従来技術による3波長HD−DVD/DVD/CD光ピックアップ・ユニット(OPU)を示す略図である。 従来技術による、偏光選択型波面収差補償板として機能する非周期位相マスクを備えたOPUを示す略図である。 従来技術による、環状領域を備えた非周期位相マスクを示す略図である。単軸A−プレートの光軸は、すべてのひとみ位置全体に一様に配向されている。 図12に示す位相マスクのXZ断面に沿った位相特性を示すグラフである。 本具体例の一実施形態による、偏光選択型波面収差補償板として機能する偏光選択型非エッチ・フラット(NEF)ホログラフィック光素子を備えたOPUを示す略図である。 本発明の一実施形態によるLCホログラムの極角傾斜特性を示す図である(一番上のプロットは、最大LC配向子傾斜角の2つの事例に対する個々の位相マスク領域の面外極角傾斜特性を示し、一方、中央および一番下のプロットは、断面平面XZおよびYZに沿った、必要な屈折率楕円体投影をそれぞれ示している)。 従来技術による、表面レリーフ構造(SRS)および/または偏光選択型ビーム方向付けデバイスとして平面ホログラムを備えたOPUを示す略図である。 本発明の一実施形態による、偏光選択型ビーム方向付けデバイスとして偏光選択型非エッチ・フラット・ホログラフィック光素子を備えたOPUを示す略図である。 光ビームを第1次数に方向付けする3波長周期格子構造を示すグラフである。 図18に示す位相特性に対する、3波長BD/DVD/CDシステムの回折角スペクトルを示すグラフである。個々の符号化ピクセルは1μmである。 偏光選択型波面収差補償板およびビーム方向付けデバイスとして偏光選択型非エッチ・フラット・ホログラフィック光素子を備えたOPUの一部を示す略図である。 ビームレットをディスク・トラッキング内にタップ・オフし、また、対物レンズを集束させ、制御し、かつ、フィードバックするための偏光選択型ビーム方向付けデバイスとして偏光選択型非エッチ・フラット・ホログラフィック光素子を備えたOPUの一部を示す略図である。 本発明の一実施形態による、4分の1波長板に結合された薄いLCホログラムを示す略図である。 本発明の一実施形態による、反射型基板の上または透明基板上の反射層の上に取り付けられた薄いLCホログラムを示す略図である。 偏光選択型ビーム方向付けのために使用される平らなLCホログラムを示す略図である。 従来技術による、方解石またはα−BBOなどの負の単軸複屈折結晶を利用したローション偏光子を示す略図である。 平面−平面反射体を利用した外部共振器レーザを示す略図である。レーザは、レーザ結晶、平らなLCホログラム偏光選択型ビーム方向付けデバイスおよび第二高調波発生結晶を備えている。 平らな2段LCホログラム・ビーム方向付けデバイスを示す略図である。これらの両方の段で選択される偏光は平行である。 平らなLCホログラム・ビーム方向付けデバイスを備えた2段ビーム・ディスプレーサを示す略図である。これらの両方の段で選択される偏光は平行であり、回折角の方向は互いに逆方向である。 平らな2段LCホログラム・ビーム方向付けデバイスを示す略図である。これらの両方の段で選択される偏光は互いに直交し、両方の偏光ビームレットは互いに逆の角方向に偏向する。 平らな2段LCホログラム・ビーム・ウォークオフ・デバイスを示す略図である。これらの両方の段で選択される偏光は互いに直交し、両方の偏光ビームレットは同じ角方向に偏向する。 GSolver模擬単一段格子(a)、2段右−右ブレーズ型格子(b)および2段左−右ブレーズ型格子(c)を示すグラフである。 平行o−ビームおよびe−ビーム出力を生成する平らな2段LCホログラム・ビーム・ウォークオフ・デバイスを示す略図である。 基板の上に取り付けられた、平行o−ビームおよびe−ビーム出力を生成する平らな2段LCホログラム・ビーム・ウォークオフ・デバイスを示す略図である。 光低域通過フィルタリングのための二次元ビーム・ウォークオフ・デバイスを示す略図である。 正方形2Dウォークオフ(a)および菱形2Dウォークオフ(b)を示す略図である。 (a)第1段LCホログラム、(b)第2段QWPおよび(c)直交の方向付けを有する第3段LCホログラムを示す平面図である。 (a)水平格子ベクトルを有する第1段LCホログラム、(b)第1段LCホログラムの直交直線偏光出力、および新しい座標基準に対して平行および直角のそれらの分解成分、および(c)直交の方向付け(垂直格子ベクトル)および回転傾斜面を有する第2段LCホログラムを示す平面図である。 従来技術による、可動頂部複屈折くさびを備えたバビネ−ソレイユ補償板を示す略図である。 本発明の一実施形態による、極角分布を有するLC膜を備えた可変リターダを示す略図である。
符号の説明
30 ホログラム
31 基板
32、33 ARコーティング・スタック
40 ピクセル化されたLC層
41、42、43、44 ピクセル
45 ホログラム・ベクトル
46傾斜面
50 入力光
51 主回折次数
52 偏向角

Claims (17)

  1. 基板と、
    前記基板上に配置されたアライメント層と、
    前記アライメント層上に配置された液晶重合体膜であって、前記液晶重合体膜が第1の面に平行に配向された複数の液晶配向子を含み、前記第1の面が前記液晶重合体膜の表面に直角であり、前記複数の液晶配向子の面外傾斜が予め決められたパターンで横空間座標により変化するものであり、前記液晶重合体膜が偏光選択型位相ホログラムを形成するように前記予め決められたパターンが選択される前記液晶重合体膜と
    を備えた偏光選択型回折光素子であって、
    第1の偏光を有する直線偏光が、前記液晶重合体膜の空間的に別個の第1および第2の領域を一定の相対位相遅延で透過して非第ゼロ次数の回折出力を提供するものであり、第2の偏光を有する直線偏光が、空間的に別個の前記第1および第2の領域を実質的にゼロ相対位相遅延で透過して第ゼロ次数の回折出力を提供するものであり、前記第1の偏光が前記第1の面に平行であり、前記第2の偏光が前記第1の偏光に対して直角であり、前記第1の領域が第1の液晶配向子を含み、前記第2の領域が第2の液晶配向子を含み、前記第1および第2の液晶配向子が異なる面外傾斜を有する、偏光選択型回折光素子。
  2. 前記予め決められたパターンが、前記液晶重合体膜が単一の液晶配向子配列でそれぞれ符号化された複数のピクセルを含むように選択される、請求項1に記載の偏光選択型回折光素子。
  3. 前記予め決められたパターンが、有限の数の異なる面外傾斜角を含み、前記有限の数が2より大きく、かつ、65より小さい、請求項2に記載の偏光選択型回折光素子。
  4. 前記位相ホログラムが、前記第1の面に平行または直角の格子ベクトルを備えた、請求項1に記載の偏光選択型回折光素子。
  5. 前記位相ホログラムが、前記第1の面に対して傾斜した角度の格子ベクトルを備えた、請求項1に記載の偏光選択型回折光素子。
  6. 前記予め決められたパターンが、光ピックアップ・ユニットに収差修正を提供するための非周期位相マスクを形成するように選択される、請求項1から5のいずれかに記載の偏光選択型回折光素子。
  7. 前記予め決められたパターンが、光ピックアップ・ユニット内に配置された光ディスクで反射した光のビームを入力光路から遠ざかる方向に向けるための格子を形成するように選択される、請求項1から5のいずれかに記載の偏光選択型回折光素子。
  8. 前記予め決められたパターンが、外部共振器レーザに偏光弁別を提供するための格子を形成するように選択される、請求項1から5のいずれかに記載の偏光選択型回折光素子。
  9. 前記ピクセルのサイズおよび前記予め決められたパターンが、前記第1の偏光を有する光にビーム方向付けを提供するための格子を形成するように選択される、請求項2に記載の偏光選択型回折光素子。
  10. 前記液晶重合体膜が第2の液晶重合体膜に直列に配置され、前記第2の液晶重合体膜が、第2の面に平行に配向された第2の複数の液晶配向子を備え、前記第2の面が前記第2の液晶重合体膜の表面に直角であり、前記第2の複数の液晶配向子の面外傾斜が前記予め決められたパターン内の横空間座標により変化する、請求項9に記載の偏光選択型回折光素子。
  11. 前記第1の面および前記第2の面が実質的に平行である、請求項10に記載の偏光選択型回折光素子。
  12. 前記液晶重合体膜が、前記偏光選択型回折光素子に入射する光の非偏光ビームが、直交偏光を有する2つの実質的に平行の光のビームに変換されるように、前記第2の液晶重合体膜に対して配向された、請求項11に記載の偏光選択型回折光素子。
  13. 前記基板が、波長板および反射表面のうちの少なくとも1つを含む、請求項1に記載の偏光選択型回折光素子。
  14. 直線偏光UV光を使用して、フォトマスクを介して、傾斜した角度でアライメント層を照射するステップと、
    照射された前記アライメント層の上に、液晶重合体前駆体を含有した液晶層をコーティングするステップと、
    液晶重合体膜を形成するために前記液晶層を照射するステップであって、前記液晶重合体膜が、前記液晶重合体膜の表面に直角の第1の面に平行に配向された複数の液晶配向子を備え、前記複数の液晶配向子の面外傾斜が、前記液晶重合体膜が偏光選択型位相ホログラムを形成するように選択される予め決められたパターンで、横空間座標により変化するステップと
    を備えた偏光選択型回折光素子を製造する方法であって、
    第1の偏光を有する直線偏光が、前記液晶重合体膜の空間的に別個の第1および第2の領域を一定の相対位相遅延で透過して非第ゼロ次数の回折出力を提供し、第2の偏光を有する直線偏光が、空間的に別個の前記第1および第2の領域を実質的にゼロ相対位相遅延で透過して第ゼロ次数の回折出力を提供し、前記第1の偏光が前記第1の面に平行であり、前記第2の偏光が前記第1の偏光に対して直角であり、前記第1の領域が第1の液晶配向子を含み、前記第2の領域が第2の液晶配向子を含み、前記第1および第2の液晶配向子が異なる面外傾斜を有する方法。
  15. 前記フォトマスクが、可変透過率マスクおよび可変サイズ開口マスクのうちのいずれかからなる、請求項14に記載の方法。
  16. 基板と、
    前記基板によって支持された、有限の数の異なる液晶配向子配列を使用して符号化された複数のピクセル領域のアレイを有する薄い平らな膜の形態の液晶層と
    を備えた偏光選択型回折光素子であって、
    個々のピクセル領域の前記液晶配向子配列が前記ピクセル全体にわたって実質的に一様で、かつ、恒久的であり、
    個々のピクセル領域の前記液晶配向子配列が、前記アレイに入射する、前記液晶配向子の前記面に平行に偏光される直線偏光に位相遅延を付与し、かつ、前記アレイに入射する、前記液晶配向子の前記面に直角に偏光される直線偏光に影響を及ぼす位相遅延を実質的に有さないよう、前記基板の表面に直角の共通面に位置し、
    前記ピクセル・アレイ内における位相遅延の取り合わせ、ピクセルのサイズおよびピクセルの形状が、前記液晶配向子の前記面に平行に偏光される光に対しては前記液晶層が非第ゼロ次数の回折出力を提供し、また、前記液晶配向子の前記面に直角に偏光される光に対しては前記液晶層が第ゼロ次数の回折出力を提供するように予め決定される偏光選択型回折光素子。
  17. 第1の偏光を有する直線偏光を放出するための光源と、
    前記直線偏光を平行にするためのコリメータ・レンズと、
    平行にされた前記直線偏光を光ディスク上に集束させるための対物レンズと、
    前記コリメータ・レンズと前記対物レンズの間に配置された、前記光ディスクで反射した光が前記第1の偏光に対して直角の第2の偏光を有する直線偏光として第1のレンズに向かって透過するよう、4分の1波長リターダンスを提供するための4分の1波長板と、
    前記コリメータ・レンズと前記4分の1波長板の間に配置された偏光選択型回折光素子であって、前記偏光選択型回折光素子が、基板と、前記基板の上に配置されたアライメント層と、前記アライメント層の上に配置された液晶重合体膜とを備え、前記液晶重合体膜が、前記液晶重合体膜の表面に直角の第1の面に平行に配向された複数の液晶配向子を備え、前記複数の液晶配向子の面外傾斜が、前記液晶重合体膜が偏光選択型位相ホログラムを形成するように選択される予め決められたパターンで、横空間座標により変化する、偏光選択型回折光素子と
    を備えた光ピックアップ・ユニットであって、
    前記偏光選択型回折光素子が、前記第1の偏光が前記第1の面に対して直角に偏光されるように配置され、また、前記偏光選択型位相ホログラムが、前記第1の偏光を有する前記直線偏光に対してはゼロ次数回折を提供し、前記第2の偏光を有する前記直線偏光に対しては非第ゼロ次数回折を提供するように配置され、前記非第ゼロ次数回折が、前記第2の偏光を有する前記直線偏光を前記光源から遠ざかる方向にその方向を変え、検出器の方向に向けるだけの十分なビーム偏向を提供する光ピックアップ・ユニット。
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